JP2016085356A - 光学素子および光学素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子1であり、板面に対し各々垂直で且つ互いのなす角が直角な鏡面2B、2Uを、前記板面に沿って縦横に配列した部材3と、前記部材のうち少なくとも前記各鏡面の縁を覆う反射光抑制材4と、を備える。また、光を反射する鏡面を形成する薄膜を片面もしくは両面に成膜した光透過性の板材の積層体を、鏡面に対して垂直な方向に沿ってせん断して得た板材に、前記板材の表面に露出している前記薄膜の縁を黒化する処理を施し、前記薄膜の縁を黒化した2つの前記板材を、各板材の薄膜同士のなす角が直角となるように重ね合わせて接着する、光学素子の製造方法。
【選択図】図1
Description
から前記板材を剥離する、光学素子の製造方法を開示する。
を左側から見た場合の図を左側面図として示す。また、図2(B)は、図1において光学素子1を上側から見た場合の図を上面図として示す。また、図2(C)は、図1において光学素子1を手前側から見た場合の図を正面図として示す。例えば、光学素子1の下側の空間に置かれた被投影物から放たれる光線が光学素子1に入射すると、入射した光線が鏡面2Bに当たり、図2において破線で囲んだ円の部分で反射する。鏡面2Bで反射した光線は、鏡面2Uに当たって再び反射し、光学素子1の上側の空間へ向けて出射する。光学素子1から出射した光線は、光学素子1を挟んで被投影物と対称な位置に被投影物の像を結像する。
フレクター」という場合もある)である光学素子1の完成に至る(図4B(F))。
例に係る光学素子21の完成に至る(図6(D))。
Claims (7)
- 板面に対し各々垂直で且つ互いのなす角が直角な鏡面を、前記板面に沿って縦横に配列した部材と、
前記部材のうち少なくとも前記各鏡面の縁を覆う反射光抑制材と、を備える、
光学素子。 - 前記部材は、細長い鏡面同士を互いに平行な状態で埋め込んだ透明な2つの板材を、前記2つの板材が各々有する鏡面同士のなす角が直角になるように重ね合わせたものであり、
前記反射光抑制材は、前記2つの板材の各々の表面に露出する前記鏡面の縁を覆う、
請求項1に記載の光学素子。 - 前記部材は、内壁が前記鏡面を形成する矩形の穴を、前記板面に沿って縦横に配列したものであり、
前記反射光抑制材は、前記鏡面の縁および前記鏡面以外の部分を覆っている、
請求項1に記載の光学素子。 - 前記部材は、内壁が前記鏡面を形成する矩形の穴を、前記板面に沿って縦横に配列したものであり、
前記反射光抑制材は、前記鏡面の縁および前記穴の周囲を覆っている、
請求項1に記載の光学素子。 - 光を反射する鏡面を形成する薄膜を片面もしくは両面に成膜した光透過性の板材の積層体を、鏡面に対して垂直な方向に沿ってせん断して得た板材に、前記板材の表面に露出している前記薄膜の縁を黒化する処理を施し、
前記薄膜の縁を黒化した2つの前記板材を、各板材の薄膜同士のなす角が直角となるように重ね合わせて接着する、
光学素子の製造方法。 - 立方形の突起を縦横に配列した非導電性の突起群を表面に設けた導電性の板材にメッキ膜を形成した状態で、前記メッキ膜の表面を黒化する処理を施し、
表面が黒化された前記メッキ膜から前記板材を剥離する、
光学素子の製造方法。 - 透明な板材の表面に縦横に配列された各穴の中の壁面に鏡面を形成し、
前記各穴の中の壁面に鏡面が形成された前記板材の表面に、黒色のインクを塗布した平らな版を押し当てる、
光学素子の製造方法。
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