JP2013523494A - 不連続金属層を備えた日射制御コーティング - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の例示的で非限定的な日射制御コーティング30を、図2に示す。この例示的なコーティング30は、基板の主面(例えば、第1のプライ12のNo.2の面16)の少なくとも一部を覆って堆積されたベース層又は第1の誘電体層40を含む。第1の誘電体層40は、単層とすることができ、又は反射防止材料及び/又は誘電体材料、例えば金属酸化物、金属合金の酸化物、窒化物、酸窒化物、又はこれらの混合物であるがこれらに限定されない材料の複数のフィルムを含むことができる。第1の誘電体層40は、可視光を透過させることができる。第1の誘電体層40に適した金属酸化物の例には、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、ニオブ、亜鉛、ビスマス、鉛、インジウム、スズの酸化物、及びこれらの混合物が含まれる。これらの金属酸化物は、酸化ビスマス中のマンガン、酸化インジウム中のスズなど、少量のその他の材料を有することができる。さらに、亜鉛及びスズを含有する酸化物(例えば、以下に定義されるスズ酸亜鉛)、インジウム−スズ合金の酸化物、窒化ケイ素、ケイ素アルミニウム窒化物、又は窒化アルミニウムなど、金属合金又は金属混合物の酸化物を使用することができる。さらに、アンチモン若しくはインジウムがドープされた酸化スズ、又はニッケル若しくはホウ素がドープされた酸化ケイ素など、ドープされた金属酸化物を使用することができる。第1の誘電体層40は、金属合金酸化物フィルム、例えばスズ酸亜鉛など、実質的に単相フィルムとすることができ、又は酸化亜鉛と酸化スズからなる相の混合物とすることができ、又は複数のフィルムからなるものとすることができる。
本発明の別の例示的なコーティング130を、図4に示す。この例示的なコーティング130は、基板の主面(例えば、第1のプライ12のNo.2の面16)の少なくとも一部を覆って堆積された、ベース層又は第1の誘電体層140を含む。第1の誘電体層140は、上述の第1の誘電体層40に類似させることができる。例えば、第1の誘電体層140は、単層とすることができ、又は、金属酸化物、金属合金の酸化物、窒化物、酸窒化物、又はこれらの混合物などであるがこれらに限定されない反射防止材料及び/又は誘電体材料の、複数のフィルムを含むことができる。第1の誘電体層140は、可視光を透過させることができる。第1の誘電体層140に適した金属酸化物の例には、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、ニオブ、亜鉛、ビスマス、鉛、インジウム、スズ、及びこれらの混合物の酸化物が含まれる。これらの金属酸化物は、酸化ビスマス中のマンガン、酸化インジウム中のスズなど、少量のその他の材料を有することができる。さらに、亜鉛及びスズを含有する酸化物(例えば、以下に定義されるスズ酸亜鉛)、インジウム−スズ合金の酸化物、窒化ケイ素、ケイ素アルミニウム窒化物、又は窒化アルミニウムなど、金属合金又は金属混合物の酸化物を使用することができる。さらに、アンチモン若しくはインジウムがドープされた酸化スズ、又はニッケル若しくはホウ素がドープされた酸化ケイ素など、ドープされた金属酸化物を使用することができる。第1の誘電体層140は、例えばスズ酸亜鉛の金属合金酸化物フィルムなど、実質的に単相フィルムとすることができ、又は酸化亜鉛及び酸化スズからなる相の混合物とすることができ、又は複数のフィルムからなるものとすることができる。
本発明の別の例示的な非限定的なコーティング230を、図5に示す。例示的なコーティング230は、基板の主面(例えば、第1のプライ12のNo.2の面16)の少なくとも一部を覆って堆積されたベース層又は第1の誘電体層240を含む。第1の誘電体層240は、単層とすることができ、又は、金属酸化物、金属合金の酸化物、窒化物、酸窒化物、又はこれらの混合物などであるがこれらに限定されない反射防止材料及び/又は誘電体材料の複数のフィルムを含むことができる。第1の誘電体層240は、可視光を透過させることができる。第1の誘電体層240に適した金属酸化物の例には、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、ニオブ、亜鉛、ビスマス、鉛、インジウム、スズ、及びこれらの混合物の酸化物が含まれる。これらの金属酸化物は、酸化ビスマス中のマンガン、酸化インジウム中のスズなどの、少量のその他の材料を有することができる。さらに、亜鉛及びスズを含有する酸化物(例えば、以下に定義されるスズ酸亜鉛)、インジウム−スズ合金の酸化物、窒化ケイ素、ケイ素アルミニウム窒化物、又は窒化アルミニウムなどの、金属合金又は金属混合物の酸化物を使用することができる。さらに、アンチモン若しくはインジウムがドープされた酸化スズ、又はニッケル若しくはホウ素がドープされた酸化ケイ素など、ドープされた金属酸化物を使用することができる。第1の誘電体層240は、金属合金酸化物フィルム、例えばスズ酸亜鉛などの実質的に単相フィルムとすることができ、酸化亜鉛及び酸化スズを含む相の混合物とすることができ、又は複数のフィルムを含むことができる。
本発明の、別の例示的な非限定的なコーティング330を、図6に示す。この例示的なコーティング330は、基板の主面(例えば、第1のプライ12のNo.2の面16)の少なくとも一部を覆って堆積されたベース層又は第1の誘電体層340を含む。第1の誘電体層340は、上述の第1の誘電体層40に類似させることができる。例えば第1の誘電体層340は、単層とすることができ、又は、金属酸化物、金属合金の酸化物、窒化物、酸窒化物、又はこれらの混合物などであるがこれらに限定されない反射防止材料及び/又は誘電体材料の複数のフィルムを含むことができる。第1の誘電体層340は、可視光を透過させることができる。第1の誘電体層340に適した金属酸化物の例には、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、ニオブ、亜鉛、ビスマス、鉛、インジウム、スズ、及びこれらの混合物の酸化物が含まれる。これらの金属酸化物は、酸化ビスマス中のマンガン、酸化インジウム中のスズなど、少量のその他の材料を有することができる。さらに、亜鉛及びスズを含有する酸化物(例えば、以下に定義されるスズ酸亜鉛)、インジウム−スズ合金の酸化物、窒化ケイ素、ケイ素アルミニウム窒化物、又は窒化アルミニウムなど、金属合金又は金属混合物の酸化物を使用することができる。さらに、アンチモン若しくはインジウムがドープされた酸化スズ、又はニッケル若しくはホウ素がドープされた酸化ケイ素など、ドープされた金属酸化物を使用することができる。第1の誘電体層340は、金属合金酸化物フィルム、例えばスズ酸亜鉛など、実質的に単相フィルムとすることができ、又は酸化亜鉛及び酸化スズを含む相の混合物とすることができ、又は複数のフィルムを含むことができる。
上述のように、亜臨界銀層を表面に付着させることができ、次いで金属酸化物又は金属層などの別の層を亜臨界銀層を覆うように付着させて、銀島を本質的に包封し保護することができる。しかし、本発明の別の実施形態では、ナノ結晶質金属相が誘電体マトリックス相に埋め込まれ又は組み込まれているナノ複合層を堆積することができる。図7は、基板388上に堆積された第1の材料382に金属ナノ粒子386が組み込まれている、第1の材料384を有するナノ複合層382を示す。このナノ複合層382は、日射制御コーティング、例えば上述のコーティングのいずれかなどにおいて、1つ又は複数の金属銀層の代わりをすることができる。そのようなナノ複合層382は、第1の材料及び少なくとも1種の第2の材料を有する標的を使用した従来の反応性スパッタリングによって、得ることができる。第1の材料は、第2の材料よりも、窒化し又は酸化する比較的より強力な傾向を有する材料とすることができる。これらの材料は、合金として又は複合標的として存在することができる。例えば第1の材料は、Cr、Al、Ti、又はSiとすることができる。第2の材料は、Ag、Cu、若しくはAuなどの貴金属、又はFe、Ni、若しくはCoを含めた遷移金属とすることができる。標的が、例えば酸素含有雰囲気中でスパッタリングされると、第1の材料は酸化し、誘電体マトリックス相を形成し、第2の材料がこの相内に、金属ナノ粒子の形などで含有される。ナノ複合層382は、所望の厚さのナノ複合層を形成するために、反応性ガス、スパッタリング電圧などを適切に選択することによって調節することができる。第1の材料384内に埋め込まれた金属粒子386を有するこのナノ複合層382は、連続金属フィルムを備えたコーティングよりも、熱処理又は強化に伴う高温に対してより良好に耐えることができる。
いくつかの適用例では、コーティングの日射制御性能に影響を及ぼすことなく、特定の透過色を修正することが望ましいと考えられる。このための1つの方法は、電磁スペクトルの可視領域にバンドギャップエッジを有する日射制御コーティングに、半導体材料を組み入れる手法の使用によると考えられる。当業者に理解されるように、半導体バンドギャップのエッジでは、より短い波長の放射線が半導体材料により吸収され、一方より長い波長のエネルギーは、この材料を透過する。即ち、この材料は、バンドギャップのエッジよりも上方で放射線を透過させる。可視領域にバンドギャップエッジを有する材料を選択することによって、半導体材料に吸収され又は通過する電磁放射線の波長を選択することができる。ゲルマニウム又はゲルマニウムをベースにした合金などであるがこれらに限定されない小バンドギャップを有する半導体材料を使用することにより、吸収エッジは、可視スペクトルの長波長側付近に位置することができる。このように、光透過率を、近赤外線又は遠赤外線を吸収することなく低減させることができ、ガラスが不必要に加熱されて吸収されるのを最小限に抑えることができる。この半導体材料は、2つの銀層の間、銀層の上方、銀層の下方、又は積層体内のその他の場所など、従来の日射制御コーティング内に配置することができる。
コーティングを、従来のMSVD塗布機(Applied Materialsから市販されている)により、透明ガラスの6mm小片上に堆積させた。コーティングされたガラスは、下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 190Å
酸化亜鉛(90/10) 80Å
チタン 30Å
銀 150Å
酸化亜鉛 120Å
スズ酸亜鉛 450Å
酸化亜鉛 120Å
Inconel 22Å
S.C.銀 25Å
スズ酸亜鉛 110Å
酸化亜鉛 70Å
チタン 30Å
銀 180Å
酸化亜鉛 110Å
スズ酸亜鉛 200Å
透明ガラス 6mm
コーティングを、Starphire(登録商標)ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 170Å
酸化亜鉛(90/10) 80Å
チタン 20Å
銀 150Å
酸化亜鉛 120Å
スズ酸亜鉛 480Å
酸化亜鉛 120Å
Inconel 22Å
S.C.銀 25Å
スズ酸亜鉛 110Å
酸化亜鉛 70Å
チタン 20Å
銀 180Å
酸化亜鉛 110Å
スズ酸亜鉛 220Å
Starphire(登録商標)ガラス 6mm
コーティングを、Optiblue(登録商標)ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 170Å
酸化亜鉛(90/10) 80Å
チタン 20Å
銀 150Å
酸化亜鉛 120Å
スズ酸亜鉛 480Å
酸化亜鉛 120Å
Inconel 22Å
S.C.銀 25Å
スズ酸亜鉛 110Å
酸化亜鉛 70Å
チタン 20Å
銀 180Å
酸化亜鉛 110Å
スズ酸亜鉛 220Å
Optiblue(登録商標)ガラス 6mm
コーティングを、透明ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 200Å
酸化亜鉛(90/10) 70Å
チタン 30Å
銀 170Å
酸化亜鉛 100Å
スズ酸亜鉛 560Å
酸化亜鉛 100Å
チタン 30Å
S.C.銀 25Å
酸化亜鉛 50Å
スズ酸亜鉛 270Å
酸化亜鉛 50Å
チタン 30Å
銀 120Å
酸化亜鉛 70Å
スズ酸亜鉛 140Å
透明ガラス 6mm
コーティングを、透明ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 170Å
酸化亜鉛(90/10) 80Å
チタン 30Å
銀 137Å
酸化亜鉛 95Å
スズ酸亜鉛 380Å
酸化亜鉛 95Å
Inconel 15Å
S.C.銀 30Å
スズ酸亜鉛 235Å
酸化亜鉛 85Å
チタン 30Å
銀 125Å
酸化亜鉛 100Å
スズ酸亜鉛 200Å
透明ガラス 6mm
コーティングを、透明ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 320Å
酸化亜鉛(90/10) 150Å
チタン 15Å
Inconel 15Å
銀 170Å
酸化亜鉛 75Å
スズ酸亜鉛 500Å
酸化亜鉛 75Å
チタン 15Å
Inconel 5Å
銀 73Å
酸化亜鉛 85Å
スズ酸亜鉛 355Å
透明ガラス 6mm
コーティングを、透明ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 190Å
酸化亜鉛(90/10) 60Å
チタン 17Å
銀 128Å
酸化亜鉛 105Å
スズ酸亜鉛 420Å
酸化亜鉛 120Å
窒化ケイ素 100Å
Stellite(登録商標) 30Å
窒化ケイ素 80Å
スズ酸亜鉛 155Å
酸化亜鉛 75Å
チタン 16Å
銀 140Å
酸化亜鉛 50Å
スズ酸亜鉛 240Å
透明ガラス 6mm
コーティングを、透明ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 40Å
スズ酸亜鉛 180Å
酸化亜鉛(90/10) 70Å
チタン 30Å
銀 128Å
酸化亜鉛 105Å
スズ酸亜鉛 420Å
酸化亜鉛 120Å
窒化ケイ素 100Å
Stellite(登録商標) 30Å
窒化ケイ素 80Å
スズ酸亜鉛 155Å
酸化亜鉛 75Å
チタン 30Å
銀 140Å
酸化亜鉛 50Å
スズ酸亜鉛 240Å
透明ガラス 6mm
コーティングを、透明ガラスの6mm小片上に、従来のAirco MSVD塗布機によって堆積させた。コーティングされたガラスは下記の構造を有していた:
チタニア 43Å
スズ酸亜鉛 196Å
酸化亜鉛(90/10) 81Å
チタン 33Å
銀 151Å
酸化亜鉛 120Å
スズ酸亜鉛 448Å
酸化亜鉛 120Å
Inconel 22Å
S.C.銀 26Å
スズ酸亜鉛 116Å
酸化亜鉛 70Å
チタン 35Å
銀 182Å
酸化亜鉛 110Å
スズ酸亜鉛 198Å
透明ガラス 6mm
Claims (17)
- 基板と;
複数の金属層及び複数の誘電体層を含み、前記金属層の少なくとも1つが不連続金属領域を有する亜臨界金属層を含んでいる、前記基板の少なくとも一部を覆うコーティング積層体と
を含む、コーティングされた物品。 - 前記金属層の少なくとも1つが連続金属層を含む、請求項1に記載の物品。
- 前記コーティング積層体が、
前記基板の少なくとも一部を覆って形成された第1の誘電体層と;
前記第1の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された連続的な第1の金属層と;
前記第1の金属層の少なくとも一部を覆って形成された第2の誘電体層と;
不連続金属領域が形成されるように、前記第2の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された第2の亜臨界金属層と;
前記亜臨界金属層の少なくとも一部を覆う第3の誘電体層と
を含む、請求項1に記載の物品。 - 前記亜臨界金属が、銀、金、銅、パラジウム、又はこれらの混合物から選択される、請求項1に記載の物品。
- 前記連続金属層が、前記不連続金属層と同じ金属を含む、請求項2に記載の物品。
- 前記亜臨界金属層の少なくとも一部を覆って形成されたプライマー層を含み、前記プライマーは、チタン、ニッケルとクロムを含有する合金、ケイ素、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、NiCr、ジルコニウム、アルミニウム、ケイ素とアルミニウムの合金、コバルトとクロムを含有する合金から選択される、請求項3に記載の物品。
- 前記第3の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された連続的な第3の金属層と、前記第3の金属層の少なくとも一部を覆って形成された第4の誘電体層とを含む、請求項3に記載の物品。
- 前記第1の金属層が金属の銀を含み、前記亜臨界金属層が不連続銀領域を含む、請求項3に記載の物品。
- ガラス基板と;
前記基板の少なくとも一部を覆うコーティングと
を含み、前記コーティングは、
前記ガラス基板の少なくとも一部を覆って形成された第1の誘電体層と;
前記第1の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された連続金属層と;
前記第1の金属層の少なくとも一部を覆って形成された第2の誘電体層と;
不連続金属領域が形成されるように、前記第2の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された亜臨界金属層と;
前記亜臨界金属層の少なくとも一部を覆って形成された第3の誘電体層と;
前記第3の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された第3の連続金属層と;
前記第3の金属層の少なくとも一部を覆って形成された第3の誘電体層と;
前記第3の金属層の少なくとも一部を覆って形成された保護層と
を含む、コーティングされた物品。 - 前記亜臨界金属層が、銀、金、銅、パラジウム、及びこれらの混合物から選択される、請求項9に記載の物品。
- 前記連続金属層が、金、銅、銀、アルミニウム、及びこれらの混合物から選択される、請求項9に記載の物品。
- 前記亜臨界金属層の少なくとも一部を覆って形成されたプライマー層を含み、前記プライマー材料は、ケイ素、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、NiCr、ジルコニウム、アルミニウム、ケイ素とアルミニウムの合金、ニッケルとクロムの合金、コバルトとクロムを含有する合金から選択される、請求項9に記載の物品。
- 基板と;
前記基板の少なくとも一部を覆うコーティングと
を含み、前記コーティングは、
前記基板の少なくとも一部を覆って形成された第1の誘電体層と;
前記第1の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された第1の金属層と;
前記第1の金属層の少なくとも一部を覆って形成された第2の誘電体層と;
前記第2の誘電体層の少なくとも一部を覆って形成された第2の金属層と;
前記第2の金属層の少なくとも一部を覆って形成された第3の誘電体層と
を含み、
前記金属層の少なくとも1つは、不連続金属領域を有する亜臨界金属層である、
コーティングされた物品。 - 前記金属層の少なくとも1つが連続金属層である、請求項13に記載の物品。
- 前記第3の誘電体層を覆う第3の金属層と、前記第3の金属層の少なくとも一部を覆う第4の誘電体層とをさらに含む、請求項13に記載の物品。
- 基板と;
前記基板の少なくとも一部を覆うコーティング積層体と
を含み、前記コーティング積層体は、
第1の誘電体層と;
前記第1の誘電体層を覆う少なくとも1つの不連続金属層と;
前記不連続金属層を覆う第2の誘電体層と
を含む、コーティングされた物品。 - 基板と;
前記基板の少なくとも一部を覆うコーティングと
を含み、前記コーティングは、
前記基板の少なくとも一部を覆って形成され且つスズ酸亜鉛層を覆う酸化亜鉛層を含む、第1の誘電体層と;
前記第1の誘電体層を覆う、銀を含む第1の連続金属銀層と;
前記第1の連続金属銀層を覆い、チタンを含む、第1のプライマー層と;
酸化亜鉛層を覆うスズ酸亜鉛層を含む、前記第1のプライマー層を覆う第2の誘電体層と;
前記第2の誘電体層を覆う第2の不連続金属銀層と;
前記第2の不連続金属銀層を覆い、ニッケル−クロム合金を含む、第2のプライマーと;
前記第2のプライマー層を覆い、酸化亜鉛層、スズ酸亜鉛層、及び別の酸化亜鉛層を含む、第3の誘電体層と;
前記第3の誘電体層を覆う第3の連続金属銀層と;
前記第3の連続金属銀層を覆い、チタンを含む第3のプライマー層と;
前記第3のプライマー層を覆う、酸化亜鉛層を覆うスズ酸亜鉛層を含む第4の誘電体層と;
前記第4の誘電体コーティングを覆う、チタニアを含む保護コーティングと
を含む、コーティングされた物品。
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