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JP2011115701A - Drawing device and method - Google Patents

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JP2011115701A
JP2011115701A JP2009274226A JP2009274226A JP2011115701A JP 2011115701 A JP2011115701 A JP 2011115701A JP 2009274226 A JP2009274226 A JP 2009274226A JP 2009274226 A JP2009274226 A JP 2009274226A JP 2011115701 A JP2011115701 A JP 2011115701A
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JP
Japan
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space
ultraviolet
sealed
functional liquid
optical path
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JP2009274226A
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Seigo Momose
成悟 百瀬
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drawing device and method capable of achieving both the ultraviolet illuminance for sufficiently curing an ultraviolet-curable functional liquid and the heat release amount which does not ruin a drawing medium. <P>SOLUTION: The drawing device, provided with a functional liquid disposition means that disposes the ultraviolet-curable functional liquid to the drawing medium and an ultraviolet irradiation means that irradiates the ultraviolet ray to the drawing medium on which the functional liquid is disposed, includes: a medium supporting means that supports the drawing medium to which the ultraviolet ray is irradiated by the ultraviolet irradiation means; and an optical path interposing means at least a part of which is located at a position to intersect an optical path of the ultraviolet ray from the ultraviolet irradiation means to the medium supporting means, wherein the optical path interposing means has a negative pressure space disposed at a position to intersect the optical path. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、描画対象物に機能液を配置し当該機能液を硬化させて、描画対象物上に画像などを描画する描画装置、及び描画方法に関する。   The present invention relates to a drawing apparatus and a drawing method for arranging a functional liquid on a drawing target, curing the functional liquid, and drawing an image or the like on the drawing target.

従来から、描画対象物としての被描画媒体に機能液を配置する機能液配置装置と、被描画媒体に配置された機能液を硬化させる硬化手段とを備え、被描画媒体に配置した機能液を、短時間の間に硬化させて描画する描画装置が知られている。例えば、機能液としてUV(Ultraviolet)硬化型の機能液を吐出する吐出装置と、UV光を照射する硬化装置とを備える描画装置が知られている。これらの描画装置においては、効率よく硬化させることができるUV光を照射する硬化装置として、メタルハライドランプなどが用いられている。しかし、メタルハライドランプなどはUV光の出力に伴う発熱が大きいため、被描画基材に熱ストレスを加えるという課題があった。描画装置は様々な被描画媒体に描画することが可能であるが、樹脂製の被描画媒体などは、耐熱性が乏しく、機能液を硬化する際に加えられる熱によって被描画媒体が損なわれる場合があった。したがって、硬化装置に起因して被描画媒体が制限されるという課題があった。   Conventionally, a functional liquid placement device that places a functional liquid on a drawing medium as a drawing target and a curing unit that hardens the functional liquid placed on the drawing medium, and the functional liquid placed on the drawing medium is provided. A drawing apparatus is known that draws by hardening in a short time. For example, a drawing apparatus is known that includes a discharge device that discharges a UV (Ultraviolet) curable functional liquid as a functional liquid and a curing apparatus that irradiates UV light. In these drawing apparatuses, a metal halide lamp or the like is used as a curing apparatus that emits UV light that can be efficiently cured. However, since metal halide lamps and the like generate a large amount of heat due to the output of UV light, there has been a problem of applying thermal stress to the substrate to be drawn. Although the drawing device can draw on various drawing media, the drawing media made of resin have poor heat resistance, and the drawing media is damaged by the heat applied when the functional liquid is cured. was there. Therefore, there is a problem that the drawing medium is limited due to the curing device.

特許文献1には、記録媒体に着弾したインクの近傍の湿度を検知する湿度検知部と、湿度検知部によって検知された湿度に基づいて、光照射部から照射される光の照度を制御する制御部を備えることで、記録媒体自体の温度上昇をなるべく抑えた状態でカチオン重合系インクの硬化性を高めるインクジェットプリンタ及び画像記録方法が開示されている。特許文献1のインクジェットプリンタ及び画像記録方法に拠れば、カチオン重合系インクの硬化特性は湿度に影響されるため、湿度に対応して、硬化性が損なわれない範囲で光源の出力を調整し、記録媒体(被描画媒体)の温度上昇を抑制することができる。   Patent Document 1 discloses a humidity detection unit that detects the humidity in the vicinity of ink landed on a recording medium, and a control that controls the illuminance of light emitted from the light irradiation unit based on the humidity detected by the humidity detection unit. An ink jet printer and an image recording method are disclosed in which by providing a portion, the curability of the cationic polymerization ink is improved while suppressing the temperature rise of the recording medium itself as much as possible. According to the ink jet printer and the image recording method of Patent Document 1, since the curing characteristics of the cationic polymerization ink are affected by humidity, the output of the light source is adjusted in a range that does not impair the curability, corresponding to the humidity, An increase in the temperature of the recording medium (the drawing medium) can be suppressed.

特開2004−106543号公報JP 2004-106543 A

しかしながら、特許文献1に開示されたようなインクジェットプリンタ及び画像記録方法を用いても、光照射部において、充分な照度の光の発光には大量の熱の放出が伴うことは改善されておらず、充分な硬化性を実現するための光の照度と、被描画媒体を損なうことのない放熱量と、の両方を実現することはできない場合があるという課題があった。光の照度に対して放熱量が小さい媒体として、UV光を発生するLED(Light Emitting Diode)が開発されているが、メタルハライドランプなどに比べて積算エネルギー量が小さいことや、発光可能な波長が特定領域に限られるため、ランプを代替するには充分な機能の実現に至っていない。   However, even if an ink jet printer and an image recording method disclosed in Patent Document 1 are used, it is not improved that light emission with sufficient illuminance is accompanied by emission of a large amount of heat in the light irradiation unit. However, there is a problem that it is sometimes impossible to realize both the illuminance of light for realizing sufficient curability and the heat radiation amount without damaging the drawing medium. An LED (Light Emitting Diode) that generates UV light has been developed as a medium that emits less heat than the illuminance of light. However, the integrated energy amount is smaller than that of a metal halide lamp, and the wavelength at which light can be emitted. Since it is limited to a specific area, a function sufficient for replacing the lamp has not been realized.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]本適用例にかかる描画装置は、被描画媒体に紫外線硬化型の機能液を配置する機能液配置手段と、前記機能液が配置された前記被描画媒体に紫外線を照射する紫外線照射手段とを備える描画装置であって、前記紫外線照射手段によって紫外線を照射される前記被描画媒体を支持する媒体支持手段と、前記紫外線照射手段から前記媒体支持手段に至る紫外線の光路と交差する位置に少なくとも一部分が配設された光路介在手段と、を備え、前記光路介在手段は、前記光路と交差する位置に配置された負圧空間を有することを特徴とする。   Application Example 1 A drawing apparatus according to this application example includes a functional liquid disposing unit that disposes an ultraviolet curable functional liquid on a drawing medium, and an ultraviolet ray that irradiates the drawing medium on which the functional liquid is disposed. A drawing apparatus including an irradiation unit, the medium support unit supporting the drawing medium irradiated with ultraviolet rays by the ultraviolet irradiation unit, and an optical path of ultraviolet rays extending from the ultraviolet irradiation unit to the medium support unit An optical path interposing means at least partially disposed at a position, wherein the optical path interposing means has a negative pressure space arranged at a position intersecting the optical path.

本適用例にかかる描画装置によれば、機能液配置手段によって被描画媒体に紫外線硬化型の機能液を配置し、当該被描画媒体に紫外線照射手段によって紫外線を照射することで、当該被描画媒体に配置された機能液に紫外線を照射して、当該機能液を配置された位置において硬化させることができる。被描画媒体に照射される紫外線は、光路介在手段が有する紫外線の光路と交差する位置に配置された負圧空間を透過する。紫外線照射手段は紫外線を照射するのに伴い熱も放射し、当該放射熱は、紫外線の光路と同じ経路で被描画媒体に伝導される。熱は大気中にくらべて負圧空間中は伝導され難いため、光路と交差する位置に配置された負圧空間によって、被描画媒体に伝導される熱を減少させることができる。   According to the drawing apparatus according to this application example, an ultraviolet curable functional liquid is arranged on the drawing medium by the functional liquid arranging unit, and the drawing medium is irradiated with ultraviolet rays by the ultraviolet irradiation unit, thereby the drawing medium By irradiating the functional liquid disposed in the ultraviolet ray with ultraviolet light, the functional liquid can be cured at the disposed position. The ultraviolet rays applied to the drawing medium pass through a negative pressure space arranged at a position intersecting with the optical path of the ultraviolet rays included in the optical path interposing means. The ultraviolet irradiation means radiates heat as it irradiates ultraviolet rays, and the radiant heat is conducted to the drawing medium through the same path as the optical path of the ultraviolet rays. Since heat is less likely to be conducted in the negative pressure space than in the atmosphere, the heat conducted to the drawing medium can be reduced by the negative pressure space arranged at a position intersecting the optical path.

[適用例2]上記適用例にかかる描画装置は、前記光路介在手段が、前記媒体支持手段に支持された前記被描画媒体を覆って密閉する密閉位置と、密閉しない開放位置とで移動可能であって、前記密閉位置に位置した状態における前記光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成されている密閉形成筐体と、前記密閉位置に在る前記密閉形成筐体によって密閉された空間の圧力を調整可能な圧力調整手段と、を備えることが好ましい。   Application Example 2 In the drawing apparatus according to the application example described above, the optical path interposing means is movable between a sealed position where the drawing medium supported by the medium support means is sealed and an open position where the drawing medium is not sealed. A space formed by a hermetically sealed casing formed of a material that transmits ultraviolet rays at a portion that intersects the optical path in the state positioned at the sealed position, and a space sealed by the hermetically sealed casing at the sealed position. It is preferable to include pressure adjusting means capable of adjusting the pressure of

この描画装置によれば、密閉形成筐体によって、紫外線の光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成されている密閉された空間を形成することができる。当該密閉空間の圧力を調整可能な圧力調整手段を用いて、当該密閉空間を負圧にすることができる。これにより、紫外線の光路に負圧の空間を介在させることができる。   According to this drawing apparatus, the hermetically sealed casing can form a hermetically sealed space in which a portion intersecting the ultraviolet light path is formed of a material that transmits ultraviolet rays. Using the pressure adjusting means capable of adjusting the pressure in the sealed space, the sealed space can be set to a negative pressure. As a result, a negative pressure space can be interposed in the optical path of the ultraviolet rays.

[適用例3]上記適用例にかかる描画装置は、前記光路介在手段が、前記光路と交差して配設されており、前記光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成された第一の介在体及び第二の介在体と、前記第一の介在体及び前記第二の介在体と協働して、前記第一の介在体と前記第二の介在体の間の空間を密閉する密閉空間形成体とを備え、前記第一の介在体と前記第二の介在体と前記密閉空間形成体とで形成された密閉空間が前記負圧空間であることが好ましい。   Application Example 3 In the drawing apparatus according to the application example described above, the optical path interposing means is disposed so as to intersect the optical path, and a portion intersecting the optical path is formed of a material that transmits ultraviolet rays. The space between the first intermediate body and the second intermediate body is sealed in cooperation with the first intermediate body and the second intermediate body, and the first intermediate body and the second intermediate body. It is preferable that the sealed space formed by the first interposed body, the second interposed body, and the sealed space forming body is the negative pressure space.

この描画装置によれば、第一の介在体と第二の介在体と密閉空間形成体とで、紫外線の光路と交差する密閉空間を形成することができる。当該密閉空間が負圧であることで、紫外線の光路に負圧の空間を介在させることができる。   According to this drawing device, a sealed space that intersects the optical path of the ultraviolet light can be formed by the first interposed body, the second interposed body, and the sealed space forming body. Since the sealed space has a negative pressure, the negative pressure space can be interposed in the optical path of the ultraviolet rays.

[適用例4]上記適用例にかかる描画装置は、前記光路介在手段が、前記紫外線照射手段を密閉する照射手段密閉筐体を備え、前記照射手段密閉筐体によって密閉された空間が前記負圧空間であることが好ましい。   Application Example 4 In the drawing apparatus according to the application example described above, the optical path interposing unit includes an irradiation unit sealing casing that seals the ultraviolet irradiation unit, and a space sealed by the irradiation unit sealing casing is the negative pressure. A space is preferable.

この描画装置によれば、照射手段密閉筐体によって紫外線照射手段を密閉することで、紫外線照射手段から射出される紫外線の光路と交差する密閉空間を形成することができる。当該密閉空間が負圧であることで、紫外線の光路に負圧の空間を介在させることができる。   According to this drawing apparatus, the sealed space that intersects the optical path of the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet irradiation means can be formed by sealing the ultraviolet irradiation means with the irradiation means sealed casing. Since the sealed space has a negative pressure, the negative pressure space can be interposed in the optical path of the ultraviolet rays.

[適用例5]本適用例にかかる描画方法は、被描画媒体に紫外線硬化型の機能液を配置する機能液配置工程と、前記機能液が配置された前記被描画媒体に紫外線を照射する紫外線照射工程と、を有し、前記紫外線照射工程では、負圧空間を透過させた紫外線光を、前記被描画媒体に照射することを特徴とする。   Application Example 5 A drawing method according to this application example includes a functional liquid arranging step of arranging an ultraviolet curable functional liquid on a drawing medium, and an ultraviolet ray irradiating the drawing medium on which the functional liquid is arranged. An irradiation step, and in the ultraviolet irradiation step, the drawing medium is irradiated with ultraviolet light transmitted through a negative pressure space.

本適用例にかかる描画方法によれば、機能液配置工程において被描画媒体に紫外線硬化型の機能液を配置し、当該被描画媒体に紫外線照射工程において紫外線を照射することで、当該被描画媒体に配置された機能液に紫外線を照射して、当該機能液を配置された位置において硬化させることができる。被描画媒体に照射される紫外線は、負圧空間を透過させた紫外線である。紫外線を照射する機器の多くは紫外線を照射するのに伴い熱も放射し、当該放射熱は、紫外線の光路と同じ経路で被描画媒体に伝導される。熱は大気中にくらべて負圧空間中は伝導され難いため、紫外線が透過させられる負圧空間によって、被描画媒体に伝導される熱を減少させることができる。   According to the drawing method according to this application example, an ultraviolet curable functional liquid is arranged on the drawing medium in the functional liquid arranging step, and the drawing medium is irradiated with ultraviolet rays in the ultraviolet irradiation step. By irradiating the functional liquid arranged in the ultraviolet ray with ultraviolet rays, the functional liquid can be cured at the arranged position. The ultraviolet rays applied to the drawing medium are ultraviolet rays that have passed through the negative pressure space. Many devices that irradiate ultraviolet rays also radiate heat as they irradiate ultraviolet rays, and the radiant heat is conducted to the drawing medium along the same path as the optical path of the ultraviolet rays. Since heat is less likely to be conducted in the negative pressure space than in the atmosphere, the heat conducted to the drawing medium can be reduced by the negative pressure space through which ultraviolet rays are transmitted.

[適用例6]上記適用例にかかる描画方法は、前記紫外線照射工程が、前記機能液配置工程において前記機能液が配置された前記被描画媒体を、前記被描画媒体に紫外線を照射可能な状態で密閉する密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間形成工程において形成された前記密閉空間を負圧にして前記負圧空間を形成する負圧形成工程と、負圧にされた前記密閉空間を透過させて、紫外線を前記機能液が配置された前記被描画媒体に照射する工程と、を有することが好ましい。   Application Example 6 In the drawing method according to the application example described above, the ultraviolet irradiation process is such that the drawing medium on which the functional liquid is arranged in the functional liquid arranging process can be irradiated with ultraviolet rays on the drawing medium. A sealed space forming step of forming a sealed space to be sealed in, a negative pressure forming step of forming the negative pressure space by setting the sealed space formed in the sealed space forming step to a negative pressure, and the negative pressure It is preferable that the method includes a step of irradiating the drawing medium on which the functional liquid is disposed, through the sealed space.

この描画方法によれば、密閉空間形成工程によって、被描画媒体に紫外線を照射可能な状態で被描画媒体を密閉する空間を形成することができる。当該密閉空間の圧力を、負圧形成工程において負圧にすることができる。これにより、被描画媒体に照射する工程は、負圧にされた密閉空間を透過させて、紫外線を被描画媒体に配置された機能液に照射することができる。   According to this drawing method, the sealed space forming step can form a space for sealing the drawing medium in a state where the drawing medium can be irradiated with ultraviolet rays. The pressure in the sealed space can be set to a negative pressure in the negative pressure forming step. Thereby, the step of irradiating the drawing medium can transmit the ultraviolet rays to the functional liquid disposed on the drawing medium through the sealed space that is set to a negative pressure.

[適用例7]上記適用例にかかる描画方法は、前記負圧空間が、紫外線の光路と交差して配設されており、前記光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成された第一の介在体及び第二の介在体と、前記第一の介在体及び前記第二の介在体と協働して、前記第一の介在体と前記第二の介在体の間の空間を密閉する密閉空間形成体とで形成された密閉空間が負圧にされた空間であることが好ましい。   Application Example 7 In the drawing method according to the application example described above, the negative pressure space is disposed so as to intersect with an optical path of ultraviolet rays, and a portion intersecting with the optical path is formed of a material that transmits ultraviolet rays. A space between the first and second inclusions is sealed in cooperation with the one and second inclusions and the first and second inclusions. It is preferable that the sealed space formed with the sealed space forming body to be a negative pressure space.

この描画方法によれば、第一の介在体と第二の介在体と密閉空間形成体とで、紫外線の光路と交差する密閉空間を形成することができる。当該密閉空間が負圧であることで、紫外線照射工程では、負圧にされた密閉空間を透過させて、紫外線を被描画媒体に配置された機能液に照射することができる。   According to this drawing method, it is possible to form a sealed space that intersects the optical path of the ultraviolet ray by the first interposed body, the second interposed body, and the sealed space forming body. Since the sealed space has a negative pressure, in the ultraviolet irradiation process, the sealed space that has been set to a negative pressure can be transmitted to irradiate the functional liquid disposed on the drawing medium.

[適用例8]上記適用例にかかる描画方法は、前記負圧空間が、前記被描画媒体に紫外線を照射する紫外線照射手段を密閉する照射手段密閉空間が負圧にされた空間であることが好ましい。   Application Example 8 In the drawing method according to the application example, the negative pressure space is a space in which the irradiation unit sealed space that seals the ultraviolet irradiation unit that irradiates the drawing medium with ultraviolet rays is set to a negative pressure. preferable.

この描画方法によれば、照射手段密閉筐体によって紫外線照射手段を密閉することで、紫外線照射手段から射出される紫外線の光路と交差する密閉空間を形成することができる。当該密閉空間が負圧であることで、紫外線照射工程では、負圧にされた密閉空間を透過させて、紫外線を被描画媒体に配置された機能液に照射することができる。   According to this drawing method, it is possible to form a sealed space that intersects the optical path of the ultraviolet light emitted from the ultraviolet irradiation means by sealing the ultraviolet irradiation means with the irradiation means sealed casing. Since the sealed space has a negative pressure, in the ultraviolet irradiation process, the sealed space that has been set to a negative pressure can be transmitted to irradiate the functional liquid disposed on the drawing medium.

(a)は、描画装置全体の概略構成を示す外観斜視図。(b)は、描画装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。(A) is an external appearance perspective view which shows schematic structure of the whole drawing apparatus. FIG. 2B is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge head provided in the drawing apparatus. 描画工程を示すフローチャート。The flowchart which shows a drawing process. (a)は、ワークに機能液を配置する工程における硬化ユニットの状態を示す説明図。(b)は、硬化位置に移動したワークと硬化ユニットの状態を示す説明図。(c)は、密閉空間を形成した硬化ユニットの状態を示す説明図。(d)は、硬化工程における硬化ユニットの状態を示す説明図。(A) is explanatory drawing which shows the state of the hardening unit in the process of arrange | positioning a functional liquid to a workpiece | work. (B) is explanatory drawing which shows the state of the workpiece | work and hardening unit which moved to the hardening position. (C) is explanatory drawing which shows the state of the hardening unit which formed sealed space. (D) is explanatory drawing which shows the state of the hardening unit in a hardening process. (a)は、固定型の紫外線ユニットの構成例の説明図。(b)は、他の固定型の紫外線ユニットの構成例の説明図。(A) is explanatory drawing of the structural example of a fixed-type ultraviolet unit. (B) is explanatory drawing of the structural example of another fixed type ultraviolet unit.

以下、描画装置及び描画方法について、図面を参照して説明する。本実施形態は、機能液の液滴をワーク上の任意の位置に着弾させる液滴吐出装置と、ワークの上に液滴を着弾させることで配置された機能液に紫外線を照射して硬化させる紫外線ユニットと、を備える描画装置を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。   Hereinafter, a drawing apparatus and a drawing method will be described with reference to the drawings. In the present embodiment, a droplet discharge device for landing a droplet of a functional liquid on an arbitrary position on a workpiece, and the functional liquid arranged by landing the droplet on the workpiece is irradiated with ultraviolet rays to be cured. A drawing apparatus including an ultraviolet unit will be described as an example. In the drawings referred to in the following description, the vertical and horizontal scales of members or portions may be shown differently from actual ones for convenience of illustration.

<描画装置>
最初に、液滴吐出装置100と紫外線ユニット140とを備える描画装置10について、図1を参照して説明する。図1は、描画装置の概略構成を示す外観斜視図である。図1(a)は、描画装置全体の概略構成を示す外観斜視図であり、図1(b)は、描画装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図である。
図1(a)に示すように、描画装置10は、液滴吐出装置100と紫外線ユニット140とを備えている。
<Drawing device>
First, the drawing apparatus 10 including the droplet discharge device 100 and the ultraviolet unit 140 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an external perspective view showing a schematic configuration of the drawing apparatus. FIG. 1A is an external perspective view showing a schematic configuration of the entire drawing apparatus, and FIG. 1B is an external perspective view showing a schematic configuration of a droplet discharge head provided in the drawing apparatus.
As illustrated in FIG. 1A, the drawing apparatus 10 includes a droplet discharge device 100 and an ultraviolet unit 140.

液滴吐出装置100は、ヘッド機構部2と、ワーク機構部3と、機能液供給部4と、メンテナンス装置部5とを備えている。ヘッド機構部2は、紫外線硬化特性を有する機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド20を有している。ワーク機構部3は、液滴吐出ヘッド20から吐出された液滴の吐出対象であるワークWを載置するワーク載置台23を有している。機能液供給部4は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド20に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド20に供給される。メンテナンス装置部5は、液滴吐出ヘッド20の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置100は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部6を備えている。さらに、床上に設置された複数の支持脚8と、支持脚8によって支持されており、扁平な略直方体形状を有する定盤9とを備えている。   The droplet discharge device 100 includes a head mechanism unit 2, a work mechanism unit 3, a functional liquid supply unit 4, and a maintenance device unit 5. The head mechanism unit 2 includes a droplet discharge head 20 that discharges a functional liquid having ultraviolet curing characteristics as droplets. The work mechanism unit 3 includes a work mounting table 23 on which a work W that is a discharge target of droplets discharged from the droplet discharge head 20 is mounted. The functional liquid supply unit 4 includes a relay tank and a liquid supply tube. The liquid supply tube is connected to the droplet discharge head 20, and the functional liquid is discharged to the droplet discharge head 20 through the liquid supply tube. To be supplied. The maintenance device unit 5 includes devices that perform inspection or maintenance of the droplet discharge head 20. The droplet discharge device 100 also includes a discharge device control unit 6 that comprehensively controls these mechanisms and the like. Furthermore, a plurality of support legs 8 installed on the floor and a surface plate 9 supported by the support legs 8 and having a flat, substantially rectangular parallelepiped shape are provided.

ヘッド機構部2は、液滴吐出ヘッド20を有するヘッドユニット21と、ヘッドユニット21を有するヘッドキャリッジ25と、ヘッドキャリッジ25が吊設された移動枠22と、移動枠22を移動可能に支持するY軸テーブル12とを備えている。移動枠22を、Y軸テーブル12によってY軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド20をY軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。   The head mechanism unit 2 supports a head unit 21 having a droplet discharge head 20, a head carriage 25 having a head unit 21, a moving frame 22 in which the head carriage 25 is suspended, and the moving frame 22 so as to be movable. Y-axis table 12 is provided. By moving the moving frame 22 in the Y-axis direction by the Y-axis table 12, the droplet discharge head 20 is freely moved in the Y-axis direction. Moreover, it holds at the moved position.

ワーク機構部3は、ワーク載置台23と、ワーク載置台23を移動可能に支持するX軸テーブル11とを備えている。X軸テーブル11は、定盤9上にX軸方向に延在して配設されたX軸レール11aを備えている。ワーク載置台23は、載置されたワークWを吸着固定する載置部23aと、載置部23aに固定されて載置部23aを支持する一対の載置台スライダー23b,23bとを備えている。載置台スライダー23bは、X軸レール11aに摺動自在に係合しており、X軸レール11aに形成された駆動子と、載置台スライダー23bに形成された摺動子を有するリニアモーターによって、X軸方向に移動させられる。載置台スライダー23bをX軸レール11aに沿って移動させることで、ワーク載置台23はX軸方向に移動する。ワーク載置台23を、X軸方向に移動させることで、ワーク載置台23に載置されたワークWをX軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
液滴吐出装置100が、機能液配置手段に相当する。ワーク載置台23又はワーク機構部3が、媒体支持手段に相当する。ワークWが、被描画媒体に相当する。
The workpiece mechanism unit 3 includes a workpiece mounting table 23 and an X-axis table 11 that supports the workpiece mounting table 23 so as to be movable. The X-axis table 11 includes an X-axis rail 11 a that is disposed on the surface plate 9 so as to extend in the X-axis direction. The workpiece mounting table 23 includes a mounting portion 23a that sucks and fixes the mounted workpiece W, and a pair of mounting table sliders 23b and 23b that are fixed to the mounting portion 23a and support the mounting portion 23a. . The mounting table slider 23b is slidably engaged with the X-axis rail 11a, and a linear motor having a driver formed on the X-axis rail 11a and a slider formed on the mounting table slider 23b. It is moved in the X-axis direction. By moving the mounting table slider 23b along the X-axis rail 11a, the workpiece mounting table 23 moves in the X-axis direction. By moving the workpiece mounting table 23 in the X-axis direction, the workpiece W mounted on the workpiece mounting table 23 is freely moved in the X-axis direction. Moreover, it holds at the moved position.
The droplet discharge device 100 corresponds to a functional liquid arranging unit. The work mounting table 23 or the work mechanism unit 3 corresponds to a medium support unit. The work W corresponds to a drawing medium.

紫外線ユニット140は、支持枠47と、昇降機構48と、密閉筐体42と、UV(Ultraviolet)ランプ45と、ランプ筐体44と、吸引ポンプ55(図3参照)とを備えている。支持枠47は、X軸テーブル11の脇に立設されている。昇降機構48は、支持枠47に取り付けられており、密閉筐体42が、昇降機構48を介して昇降自在であって任意の位置に保持可能に支持枠47に支持されている。密閉筐体42は、X軸テーブル11の上方に位置して支持されている。   The ultraviolet unit 140 includes a support frame 47, an elevating mechanism 48, a sealed housing 42, a UV (Ultraviolet) lamp 45, a lamp housing 44, and a suction pump 55 (see FIG. 3). The support frame 47 is erected on the side of the X-axis table 11. The elevating mechanism 48 is attached to the support frame 47, and the sealed casing 42 is supported by the support frame 47 so that it can be raised and lowered via the elevating mechanism 48 and can be held at an arbitrary position. The sealed housing 42 is positioned and supported above the X-axis table 11.

密閉筐体42は、略直方体形状の外形を有し、内部に略直方体形状で一面が開口した筐体室43(図3参照)が形成されている。筐体室43は、X軸テーブル11に臨んで開口している。筐体室43の開口と反対側の壁には、透光窓54(図3参照)が形成されている。ランプ筐体44は、密閉筐体42の上に、透光窓54を覆う位置に固定されている。ランプ筐体44の内部には、紫外線を射出するUVランプ45が、透光窓54側に紫外線を射出する状態で固定されている。
UVランプ45は、X軸テーブル11によって筐体室43に臨む位置に移動させられたワーク載置台23に載置されたワークWに、透光窓54を介して紫外線を照射することができる。UVランプ45としては、例えば、高輝度及び長寿命であることからメタルハライドランプを用いる。
密閉筐体42が、光路介在手段に相当し、密閉筐体42が密閉形成筐体に相当し、UVランプ45が、紫外線照射手段に相当する。UVランプ45から筐体室43に臨む位置に移動させられたワーク載置台23に載置されたワークWに到る経路が、紫外線の光路に相当し、透光窓54が、密閉形成筐体における紫外線を透過させる材料で形成された部分に相当する。
The sealed casing 42 has a substantially rectangular parallelepiped outer shape, and a casing chamber 43 (see FIG. 3) having a substantially rectangular parallelepiped shape and having one surface opened therein is formed. The housing chamber 43 is opened facing the X-axis table 11. A translucent window 54 (see FIG. 3) is formed on the wall opposite to the opening of the housing chamber 43. The lamp housing 44 is fixed on the hermetic housing 42 at a position covering the translucent window 54. Inside the lamp housing 44, a UV lamp 45 that emits ultraviolet rays is fixed in a state in which ultraviolet rays are emitted toward the transparent window 54 side.
The UV lamp 45 can irradiate the work W placed on the work placing table 23 moved to the position facing the housing chamber 43 by the X-axis table 11 through the translucent window 54. As the UV lamp 45, for example, a metal halide lamp is used because of its high luminance and long life.
The sealed casing 42 corresponds to the optical path interposing means, the sealed casing 42 corresponds to the sealed forming casing, and the UV lamp 45 corresponds to the ultraviolet irradiation means. The path from the UV lamp 45 to the workpiece mounting table 23 moved to the position facing the casing chamber 43 corresponds to the ultraviolet light path, and the translucent window 54 is a hermetically sealed casing. Corresponds to a portion formed of a material that transmits ultraviolet rays.

図1(b)に示すように、液滴吐出ヘッド20は、多数の吐出ノズル120が略一直線状に並んだノズル列120Aを2列備えている。吐出ノズル120から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にあるワークWなどに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列120Aは、液滴吐出ヘッド20が液滴吐出装置100に装着された状態で、図1(a)に示したX軸方向に延在している。ノズル列120Aにおいて吐出ノズル120は等間隔のノズルピッチで並んでおり、2列のノズル列120A間で、吐出ノズル120の位置がX軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド20としては、X軸方向に半ノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。   As shown in FIG. 1B, the droplet discharge head 20 includes two nozzle rows 120A in which a large number of discharge nozzles 120 are arranged in a substantially straight line. The functional liquid is ejected as droplets from the ejection nozzle 120 and landed on the workpiece W or the like at the opposing position, thereby arranging the functional liquid at the position. The nozzle row 120A extends in the X-axis direction shown in FIG. 1A in a state where the droplet discharge head 20 is mounted on the droplet discharge device 100. In the nozzle row 120A, the discharge nozzles 120 are arranged at an equally spaced nozzle pitch, and the position of the discharge nozzle 120 is shifted by a half nozzle pitch in the X-axis direction between the two nozzle rows 120A. Therefore, as the liquid droplet ejection head 20, functional liquid droplets can be arranged at half nozzle pitch intervals in the X-axis direction.

液滴吐出装置100において、最初に、ワーク載置台23を、X軸テーブル11によって、X軸方向に移動させることで、ワーク載置台23に載置されたワークWを、液滴吐出ヘッド20の下方に位置させる。次に、液滴吐出ヘッド20をY軸方向に移動させながら、液滴吐出ヘッド20のY軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。これにより、ノズル列120Aの長さの範囲で、任意の位置に機能液の液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
所望する平面形状に機能液を配置したワークWを、ワーク載置台23をX軸テーブル11によってX軸方向に移動させることで、UVランプ45に臨む位置に移動させる。当該位置で、UVランプ45によって紫外線をワークW上に配置された機能液に照射することで、配置された位置において機能液を硬化させる。
In the droplet discharge device 100, first, the workpiece mounting table 23 is moved in the X-axis direction by the X-axis table 11, so that the workpiece W placed on the workpiece mounting table 23 is transferred to the droplet discharging head 20. Position it below. Next, while moving the droplet discharge head 20 in the Y-axis direction, the functional liquid is discharged as droplets in synchronization with the movement of the droplet discharge head 20 in the Y-axis direction. As a result, it is possible to perform drawing of a desired planar shape by causing droplets of the functional liquid to land at arbitrary positions within the range of the length of the nozzle row 120A.
The workpiece W in which the functional liquid is arranged in a desired planar shape is moved to a position facing the UV lamp 45 by moving the workpiece mounting table 23 in the X-axis direction by the X-axis table 11. At this position, the functional liquid disposed on the workpiece W is irradiated with ultraviolet rays by the UV lamp 45, so that the functional liquid is cured at the disposed position.

X軸方向の描画範囲を広げるためには、液滴吐出ヘッド20をX軸方向に連ねてもよいし、ワークWをX軸方向に移動させて、液滴吐出ヘッド20のY軸方向の移動と吐出を、複数回実施してもよい。
X軸方向の液滴の配置ピッチを小さくするためには、複数の液滴吐出ヘッド20を、X軸方向における吐出ノズル120の位置を互いにずらしてY軸方向に並べてもよいし、3列以上のノズル列を備える液滴吐出ヘッドを用いてもよい。もちろん、製造可能な範囲であれば、ノズルピッチが小さい液滴吐出ヘッドを用いることもできる。
In order to expand the drawing range in the X-axis direction, the droplet discharge head 20 may be connected in the X-axis direction, or the workpiece W is moved in the X-axis direction, and the droplet discharge head 20 moves in the Y-axis direction. And discharging may be performed a plurality of times.
In order to reduce the arrangement pitch of the droplets in the X-axis direction, a plurality of droplet ejection heads 20 may be arranged in the Y-axis direction by shifting the positions of the ejection nozzles 120 in the X-axis direction, or three or more rows A droplet discharge head having a nozzle row of may be used. Of course, a droplet discharge head having a small nozzle pitch can be used as long as it can be manufactured.

<描画工程>
次に、描画装置10を用いてワークWの上に描画パターンを形成する描画工程について、図2、及び図3を参照して説明する。図2は、描画工程を示すフローチャートである。図3は、描画工程の各工程における硬化ユニットの状態を示す説明図である。図3(a)は、ワークに機能液を配置する工程における硬化ユニットの状態を示す説明図であり、図3(b)は、硬化位置に移動したワークと硬化ユニットの状態を示す説明図であり、図3(c)は、密閉空間を形成した硬化ユニットの状態を示す説明図であり、図3(d)は、硬化工程における硬化ユニットの状態を示す説明図である。
<Drawing process>
Next, a drawing process for forming a drawing pattern on the workpiece W using the drawing apparatus 10 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a flowchart showing the drawing process. FIG. 3 is an explanatory diagram showing the state of the curing unit in each step of the drawing step. FIG. 3A is an explanatory diagram showing the state of the curing unit in the step of placing the functional liquid on the workpiece, and FIG. 3B is an explanatory diagram showing the state of the workpiece and the curing unit moved to the curing position. FIG. 3C is an explanatory view showing the state of the curing unit in which the sealed space is formed, and FIG. 3D is an explanatory view showing the state of the curing unit in the curing step.

上述したように、紫外線ユニット140は、支持枠47と、昇降機構48と、密閉筐体42と、UVランプ45と、ランプ筐体44と、吸引ポンプ55とを備えている。支持枠47は、X軸テーブル11の脇に立設されている。昇降機構48は、支持枠47に取り付けられており、密閉筐体42が、昇降機構48を介して昇降自在であって任意の位置に保持可能に支持枠47に支持されている。密閉筐体42は、X軸テーブル11の上方に位置して支持されている。   As described above, the ultraviolet unit 140 includes the support frame 47, the lifting mechanism 48, the sealed housing 42, the UV lamp 45, the lamp housing 44, and the suction pump 55. The support frame 47 is erected on the side of the X-axis table 11. The elevating mechanism 48 is attached to the support frame 47, and the sealed casing 42 is supported by the support frame 47 so that it can be raised and lowered via the elevating mechanism 48 and can be held at an arbitrary position. The sealed housing 42 is positioned and supported above the X-axis table 11.

図3に示すように、密閉筐体42は、筐体枠52と当接枠53と透光窓54とを備えている。筐体枠52は略直方体形状の外形を有する箱形状であって、内部に上述した筐体室43が形成されている。密閉筐体42は、筐体枠52が昇降機構48を介して支持枠47に支持されることで、昇降自在であって任意の位置に保持可能に支持枠47に支持されている。筐体室43は略直方体形状で一面が開口した空間であり、筐体室43を構成する5面の壁面のうち、開口と反対側の壁の大部分は、板状形状の透光窓54で形成されており、5面の壁面のうちの4面の大部分は筐体枠52で形成されている。筐体枠52における筐体室43の開放端側の端には、開口の周囲を囲む状態で、平板な額縁形状の当接枠53が固定されている。筐体枠52は、例えばステンレス鋼などのように強靭な材料で形成されている。透光窓54は、例えば石英ガラスなどのように、UVランプ45が射出する紫外線を透過し易く強度が高い材料で形成されている。当接枠53は、ゴム状弾性体で形成されている。
筐体枠52の壁面には導通管56の一端が筐体室43に開口しており、導通管56のもう一端は吸引ポンプ55に接続されている。筐体室43は、導通管56を介して吸引ポンプ55に接続されており、吸引ポンプ55を用いて筐体室43内の流体を吸引することが可能である。
As shown in FIG. 3, the hermetically sealed housing 42 includes a housing frame 52, a contact frame 53, and a translucent window 54. The housing frame 52 has a box shape having a substantially rectangular parallelepiped outer shape, and the housing chamber 43 described above is formed therein. The hermetic casing 42 is supported by the support frame 47 so that the casing frame 52 is supported by the support frame 47 via the elevating mechanism 48 so that it can be raised and lowered and held at an arbitrary position. The casing chamber 43 is a space having a substantially rectangular parallelepiped shape and one surface opened. Of the five wall surfaces constituting the casing chamber 43, most of the wall opposite to the opening is a plate-shaped transparent window 54. Most of the four of the five wall surfaces are formed by the casing frame 52. A flat frame-shaped contact frame 53 is fixed to an end of the housing frame 52 on the open end side of the housing chamber 43 so as to surround the periphery of the opening. The housing frame 52 is formed of a tough material such as stainless steel. The translucent window 54 is formed of a material that easily transmits ultraviolet rays emitted from the UV lamp 45, such as quartz glass. The contact frame 53 is formed of a rubber-like elastic body.
One end of the conducting tube 56 opens into the housing chamber 43 on the wall surface of the housing frame 52, and the other end of the conducting tube 56 is connected to the suction pump 55. The housing chamber 43 is connected to the suction pump 55 via the conducting tube 56, and the fluid in the housing chamber 43 can be sucked using the suction pump 55.

紫外線ユニット140が描画装置10に取り付けられた状態で、筐体室43は、X軸テーブル11に臨んで開口している。ランプ筐体44は、密閉筐体42の透光窓54が配置された面の上に、透光窓54を覆う位置に固定されている。ランプ筐体44の内部には、紫外線を射出するUVランプ45が、透光窓54側に紫外線を射出する状態で固定されている。
UVランプ45は、X軸テーブル11によって筐体室43に臨む位置に移動させられたワーク載置台23に載置されたワークWに、透光窓54を介して紫外線を照射することができる。
In a state in which the ultraviolet unit 140 is attached to the drawing apparatus 10, the housing chamber 43 is opened facing the X-axis table 11. The lamp housing 44 is fixed to a position where the light transmitting window 54 is covered on the surface of the sealed housing 42 where the light transmitting window 54 is disposed. Inside the lamp housing 44, a UV lamp 45 that emits ultraviolet rays is fixed in a state in which ultraviolet rays are emitted toward the transparent window 54 side.
The UV lamp 45 can irradiate the work W placed on the work placing table 23 moved to the position facing the housing chamber 43 by the X-axis table 11 through the translucent window 54.

図2のステップS1では、ワークWの予め定められた位置に、定められた機能液を配置する。図3(a)に示すように、ワーク載置台23の載置部23aに吸着固定されたワークWを、ワーク載置台23をX軸テーブル11によってX軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド20に対向する位置に移動して保持する。次に、Y軸テーブル12によって液滴吐出ヘッド20をY軸方向に移動させながら、液滴吐出ヘッド20のY軸方向の移動に同調して、吐出ノズル120から紫外線硬化特性を有する機能液を液滴として吐出することで、ワークWの予め定められた位置に、機能液を配置する。   In step S1 of FIG. 2, a predetermined functional liquid is disposed at a predetermined position of the workpiece W. As shown in FIG. 3A, droplet discharge is performed by moving the workpiece mounting table 23 in the X-axis direction by the X-axis table 11 on the workpiece W sucked and fixed to the mounting unit 23 a of the workpiece mounting table 23. Move to a position facing the head 20 and hold it. Next, in synchronization with the movement of the droplet discharge head 20 in the Y-axis direction while moving the droplet discharge head 20 in the Y-axis direction by the Y-axis table 12, a functional liquid having ultraviolet curing characteristics is discharged from the discharge nozzle 120. By discharging as a droplet, the functional liquid is arranged at a predetermined position of the workpiece W.

次に、図2のステップS2では、機能液を配置されたワークWを、硬化位置に移動させる。硬化位置は、図3(b)に示すように、ワークWが筐体室43に臨んでおり、UVランプ45から照射される紫外線が、ワークW上に配設された機能液に照射される位置である。   Next, in step S <b> 2 of FIG. 2, the workpiece W on which the functional liquid is disposed is moved to the curing position. As shown in FIG. 3B, the curing position is such that the workpiece W faces the housing chamber 43, and the ultraviolet rays irradiated from the UV lamp 45 are irradiated to the functional liquid disposed on the workpiece W. Position.

次に、図2のステップS3では、機能液を配置されたワークWを密閉する密閉空間を形成する。図3(c)に示すように、昇降機構48によって密閉筐体42を下降させて、密閉筐体42の当接枠53を載置部23aに当接させる。ゴム状弾性体からなる当接枠53が弾性変形して載置部23aに密着することで、筐体室43の開口が載置部23aによって塞がれた密閉空間43aが形成される。形成された密閉空間43aは、ワークWを密閉する空間である。当該密閉空間43aは、筐体枠52の壁面に開口した導通管56を介して吸引ポンプ55に接続されている。   Next, in step S3 of FIG. 2, a sealed space for sealing the work W on which the functional liquid is disposed is formed. As shown in FIG. 3 (c), the closed casing 42 is lowered by the elevating mechanism 48, and the contact frame 53 of the sealed casing 42 is brought into contact with the mounting portion 23a. The abutting frame 53 made of a rubber-like elastic body is elastically deformed and is in close contact with the mounting portion 23a, whereby a sealed space 43a in which the opening of the housing chamber 43 is blocked by the mounting portion 23a is formed. The formed sealed space 43a is a space for sealing the workpiece W. The sealed space 43 a is connected to the suction pump 55 via a conducting pipe 56 that is opened in the wall surface of the housing frame 52.

次に、図2のステップS4では、形成された密閉空間43aを負圧化する。吸引ポンプ55を稼動させて、導通管56を介して密閉空間43aから大気を吸引することで密閉空間43aを負圧化する。吸引ポンプ55が、圧力調整手段に相当する。負圧の密閉空間43aが、負圧空間に相当する。   Next, in step S4 of FIG. 2, the formed sealed space 43a is negatively pressurized. The suction pump 55 is operated, and the air is sucked from the sealed space 43 a through the conduction pipe 56, thereby reducing the pressure in the sealed space 43 a. The suction pump 55 corresponds to a pressure adjusting unit. The negative pressure sealed space 43a corresponds to a negative pressure space.

次に、ステップS5では、紫外線をワークWに照射することで、ワークWに配置された機能液に紫外線を照射して硬化させる。図3(d)に示すように、UVランプ45を稼動させて紫外線を照射させることで、紫外線は、密閉空間43aの上面を形成する透光窓54に向けて射出され、透光窓54を透過して密閉空間43a内に入射する。密閉空間43a内に入射された紫外線は、負圧の密閉空間43aを通過して、密閉空間43a底面を構成する載置部23aの上に載置されたワークW上に配置された機能液に照射される。紫外線を照射されることで、紫外線硬化特性を有する機能液が硬化させられる。
ステップS5を実施して、描画装置10を用いてワークW上に描画パターンを形成する描画工程を終了する。
Next, in step S5, the functional liquid disposed on the workpiece W is irradiated with ultraviolet rays to be cured by irradiating the workpiece W with ultraviolet rays. As shown in FIG. 3D, by operating the UV lamp 45 to irradiate ultraviolet rays, the ultraviolet rays are emitted toward the light transmitting window 54 that forms the upper surface of the sealed space 43a. The light passes through and enters the sealed space 43a. The ultraviolet light incident in the sealed space 43a passes through the negative pressure sealed space 43a and enters the functional liquid placed on the workpiece W placed on the placement portion 23a constituting the bottom surface of the sealed space 43a. Irradiated. By irradiating with ultraviolet rays, the functional liquid having ultraviolet curing properties is cured.
Step S5 is performed, and the drawing process of forming a drawing pattern on the workpiece W using the drawing apparatus 10 is completed.

<他の紫外線ユニット例>
次に、上述した紫外線ユニット140とは異なる紫外線ユニットの構成例について、図4を参照して説明する。図4は、紫外線ユニットの構成例を示す説明図である。図4(a)は、固定型の紫外線ユニットの構成例の説明図であり、図4(b)は、他の固定型の紫外線ユニットの構成例の説明図である。
<Other UV unit examples>
Next, a configuration example of an ultraviolet unit different from the ultraviolet unit 140 described above will be described with reference to FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a configuration example of the ultraviolet unit. FIG. 4A is an explanatory diagram of a configuration example of a fixed type ultraviolet unit, and FIG. 4B is an explanatory diagram of a configuration example of another fixed type ultraviolet unit.

図4(a)に示した紫外線ユニット160は、上述した液滴吐出装置100と同様の液滴吐出装置と組み合わされて、描画装置10と同様の描画装置を構成している。紫外線ユニット160は、図示省略した支持枠と、密閉空間筐体61と、UVランプ45と、ランプ筐体44と、を備えている。支持枠は、X軸テーブル11の脇に立設されている。密閉空間筐体61は、支持枠に固定されて支持されており、X軸テーブル11の上方に位置している。   The ultraviolet unit 160 shown in FIG. 4A is combined with a droplet discharge device similar to the droplet discharge device 100 described above to constitute a drawing device similar to the drawing device 10. The ultraviolet unit 160 includes a support frame (not shown), a sealed space housing 61, a UV lamp 45, and a lamp housing 44. The support frame is erected on the side of the X-axis table 11. The sealed space housing 61 is fixed to and supported by the support frame, and is positioned above the X-axis table 11.

密閉空間筐体61は、筐体枠64と第一透光窓62と第二透光窓63とを備えている。筐体枠64は角筒形状を有し、側面を支持枠に固定されて支持されており、角筒の穴はX軸テーブル11に対向する側(下側)と、反対側(上側)に開口している。角筒の穴の上側の一端が第一透光窓62に、下側の一端が第二透光窓63によって封止されている。筐体枠64と第一透光窓62と第二透光窓63とに囲まれた筐体空間61aは密閉された空間であって、負圧にされている。筐体枠64は、例えばステンレス鋼などのように強靭な材料で形成されている。第一透光窓62及び第二透光窓63は、例えば石英ガラスなどのように、UVランプ45が射出する紫外線を透過させ易く強度が高い材料で形成されている。
密閉空間筐体61が、光路介在手段に相当し、第一透光窓62及び第二透光窓63が、第一の介在体又は第二の介在体に相当し、筐体枠64が、密閉空間形成体に相当する。第一透光窓62及び第二透光窓63が、紫外線の光路と交差する位置に配設された部分に相当する。筐体空間61aが、負圧空間に相当する。
The sealed space housing 61 includes a housing frame 64, a first light transmission window 62, and a second light transmission window 63. The housing frame 64 has a rectangular tube shape, and the side surface is fixed and supported by the support frame. The holes of the rectangular tube are on the side (lower side) facing the X-axis table 11 and on the opposite side (upper side). It is open. One end on the upper side of the hole of the rectangular tube is sealed with the first light transmitting window 62, and the other lower end is sealed with the second light transmitting window 63. A housing space 61 a surrounded by the housing frame 64, the first light transmitting window 62, and the second light transmitting window 63 is a sealed space and is set to a negative pressure. The housing frame 64 is formed of a tough material such as stainless steel. The first light transmissive window 62 and the second light transmissive window 63 are formed of a material that easily transmits ultraviolet rays emitted from the UV lamp 45, such as quartz glass.
The sealed space housing 61 corresponds to the optical path interposing means, the first light transmitting window 62 and the second light transmitting window 63 correspond to the first interposing body or the second interposing body, and the housing frame 64, It corresponds to a sealed space forming body. The first light transmissive window 62 and the second light transmissive window 63 correspond to a portion disposed at a position intersecting the ultraviolet light path. The housing space 61a corresponds to a negative pressure space.

ランプ筐体44は、密閉空間筐体61の第一透光窓62が配置された面の上に、第一透光窓62を覆う位置に固定されている。ランプ筐体44の内部には、紫外線を射出するUVランプ45が、第一透光窓62の側に紫外線を射出する状態で固定されている。
UVランプ45は、X軸テーブル11によって密閉空間筐体61の第二透光窓63に臨む位置に移動させられたワーク載置台23に載置されたワークWに、第一透光窓62、筐体空間61a、及び第二透光窓63を介して紫外線を照射することができる。
The lamp housing 44 is fixed to a position covering the first light transmission window 62 on the surface of the sealed space housing 61 where the first light transmission window 62 is disposed. Inside the lamp housing 44, a UV lamp 45 that emits ultraviolet rays is fixed in a state of emitting ultraviolet rays to the first light transmission window 62 side.
The UV lamp 45 is formed on the work W placed on the work placing table 23 moved to a position facing the second light transmissive window 63 of the sealed space housing 61 by the X-axis table 11. Ultraviolet rays can be irradiated through the housing space 61 a and the second light transmission window 63.

図4(b)に示した紫外線ユニット170は、上述した液滴吐出装置100と同様の液滴吐出装置と組み合わされて、描画装置10と同様の描画装置を構成している。紫外線ユニット170は、図示省略した支持枠と、ランプ筐体71と、UVランプ45と、を備えている。支持枠は、X軸テーブル11の脇に立設されている。ランプ筐体71は、支持枠に固定されて支持されており、X軸テーブル11の上方に位置している。   The ultraviolet unit 170 shown in FIG. 4B is combined with a droplet discharge device similar to the droplet discharge device 100 described above, and constitutes a drawing device similar to the drawing device 10. The ultraviolet unit 170 includes a support frame (not shown), a lamp housing 71, and a UV lamp 45. The support frame is erected on the side of the X-axis table 11. The lamp housing 71 is fixed to and supported by the support frame, and is positioned above the X-axis table 11.

ランプ筐体71は、筐体枠74と透光窓72とを備えている。ランプ筐体71は、筐体枠74が支持枠に固定されることで支持枠に支持されている。筐体枠74は略直方体形状の外形を有する箱形状であって、内部に、一方が外に開口したランプ室71aが形成されている。ランプ室71aの開口部には透光窓72が固定されており、開口部が透光窓72によって封止されることで、ランプ室71aは密閉された空間となっている。密閉された空間であるランプ室71aは、負圧に保たれている。ランプ室71aの内部には、UVランプ45が、透光窓72の側に紫外線を射出する状態で固定されている。筐体枠74は、例えばステンレス鋼などのように強靭な材料で形成されている。透光窓72は、例えば石英ガラスなどのように、UVランプ45が射出する紫外線を透過し易く強度が高い材料で形成されている。
ランプ筐体71が、光路介在手段又は照射手段密閉筐体に相当し、ランプ室71aが、負圧空間又は照射手段密閉空間に相当する。
The lamp housing 71 includes a housing frame 74 and a translucent window 72. The lamp housing 71 is supported by the support frame by fixing the housing frame 74 to the support frame. The housing frame 74 has a box shape having a substantially rectangular parallelepiped outer shape, and a lamp chamber 71a is formed inside, one of which is open to the outside. A transparent window 72 is fixed to the opening of the lamp chamber 71a, and the opening is sealed by the transparent window 72, so that the lamp chamber 71a is a sealed space. The lamp chamber 71a, which is a sealed space, is maintained at a negative pressure. Inside the lamp chamber 71a, a UV lamp 45 is fixed in a state in which ultraviolet rays are emitted to the light transmitting window 72 side. The housing frame 74 is formed of a tough material such as stainless steel. The translucent window 72 is formed of a material that easily transmits ultraviolet rays emitted from the UV lamp 45, such as quartz glass.
The lamp casing 71 corresponds to the optical path interposing means or the irradiation means sealed casing, and the lamp chamber 71a corresponds to the negative pressure space or the irradiation means sealed space.

ランプ筐体71は、透光窓72がX軸テーブル11に臨む状態で、X軸テーブル11の上方に支持されている。UVランプ45から射出された紫外線は、透光窓72を透過して、X軸テーブル11に照射される。すなわち、UVランプ45は、X軸テーブル11によってランプ筐体71の透光窓72に臨む位置に移動させられたワーク載置台23に載置されたワークWに、負圧のランプ室71a及び透光窓72を介して紫外線を照射することができる。   The lamp housing 71 is supported above the X-axis table 11 with the light-transmitting window 72 facing the X-axis table 11. Ultraviolet light emitted from the UV lamp 45 passes through the light transmission window 72 and is applied to the X-axis table 11. That is, the UV lamp 45 is placed on the work W placed on the work placing table 23 moved to the position facing the light transmissive window 72 of the lamp housing 71 by the X-axis table 11, and the negative pressure lamp chamber 71 a and the transparent light. Ultraviolet light can be irradiated through the light window 72.

以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)筐体室43は、導通管56を介して吸引ポンプ55に接続されており、吸引ポンプ55を用いて筐体室43内の流体を吸引することが可能である。これにより、筐体室43の開口が載置部23aによって塞がれた密閉空間43aを、吸引ポンプ55を用いて負圧にすることができる。
Hereinafter, the effect by embodiment is described. According to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The housing chamber 43 is connected to the suction pump 55 via the conduction pipe 56, and the fluid in the housing chamber 43 can be sucked using the suction pump 55. Thereby, the sealed space 43 a in which the opening of the housing chamber 43 is blocked by the mounting portion 23 a can be made negative pressure by using the suction pump 55.

(2)筐体枠52における筐体室43の開放端側の端には、開口の周囲を囲む状態で、ゴム状弾性体で形成された当接枠53が固定されている。密閉筐体42とワーク載置台23とで密閉空間43aを形成する際には、当接枠53がワーク載置台23の載置部23aに当接し、弾性変形することで載置部23aに密着するため、密閉空間43aを確実に外部と隔絶された空間にすることができる。   (2) A contact frame 53 formed of a rubber-like elastic body is fixed to an end of the housing frame 52 on the open end side of the housing chamber 43 so as to surround the opening. When a sealed space 43a is formed by the sealed casing 42 and the work mounting table 23, the contact frame 53 contacts the mounting portion 23a of the work mounting table 23 and is elastically deformed to be in close contact with the mounting portion 23a. Therefore, the sealed space 43a can be reliably separated from the outside.

(3)紫外線ユニット140においては、UVランプ45から射出された紫外線は、負圧の密閉空間43aを通過して、ワークWの上に配置された機能液に照射される。負圧の密閉空間43aは熱を伝導し難いことから、UVランプ45が紫外線を射出する際に放出される熱を通過させ難いため、当該熱によってワークWなどが損なわれることを抑制することができる。   (3) In the ultraviolet unit 140, the ultraviolet light emitted from the UV lamp 45 passes through the negative pressure sealed space 43 a and is irradiated to the functional liquid disposed on the workpiece W. Since the negative pressure sealed space 43a is difficult to conduct heat, it is difficult to pass the heat released when the UV lamp 45 emits ultraviolet rays, so that it is possible to suppress damage to the workpiece W or the like due to the heat. it can.

(4)紫外線ユニット160においては、UVランプ45から射出された紫外線は、負圧の筐体空間61aを通過して、ワークWの上に配置された機能液に照射される。負圧の筐体空間61aは熱を伝導し難いことから、UVランプ45が紫外線を射出する際に放出される熱を通過させ難いため、当該熱によってワークWなどが損なわれることを抑制することができる。   (4) In the ultraviolet unit 160, the ultraviolet light emitted from the UV lamp 45 passes through the negative pressure housing space 61 a and is irradiated to the functional liquid disposed on the workpiece W. Since the negative pressure housing space 61a is difficult to conduct heat, it is difficult to pass the heat released when the UV lamp 45 emits ultraviolet rays, and thus the work W and the like are prevented from being damaged by the heat. Can do.

(5)紫外線ユニット170においては、UVランプ45から射出された紫外線は、負圧のランプ室71aを通過して、ワークWの上に配置された機能液に照射される。負圧のランプ室71aは熱を伝導し難いことから、UVランプ45が紫外線を射出する際に放出される熱を通過させ難いため、当該熱によってワークWなどが損なわれることを抑制することができる。   (5) In the ultraviolet unit 170, the ultraviolet light emitted from the UV lamp 45 passes through the negative pressure lamp chamber 71 a and is irradiated to the functional liquid disposed on the workpiece W. Since the negative pressure lamp chamber 71a is difficult to conduct heat, it is difficult to pass the heat released when the UV lamp 45 emits ultraviolet rays, so that it is possible to suppress damage to the workpiece W or the like due to the heat. it can.

(6)紫外線ユニット140においては、硬化工程を実施する際には、UVランプ45から射出された紫外線の光路が、液滴吐出ヘッド20が配置された描画位置と、ランプ筐体44及び筐体枠52によって遮蔽されている。これにより、UVランプ45から射出された紫外線の漏れ光によって、描画位置にある機能液が硬化されることを抑制することができる。   (6) In the ultraviolet unit 140, when performing the curing process, the optical path of the ultraviolet rays emitted from the UV lamp 45 is changed to the drawing position where the droplet discharge head 20 is disposed, the lamp casing 44, and the casing. It is shielded by the frame 52. Thereby, it can suppress that the functional liquid in a drawing position is hardened | cured by the leakage light of the ultraviolet-ray inject | emitted from the UV lamp 45. FIG.

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。   As mentioned above, although preferred embodiment was described referring an accompanying drawing, suitable embodiment is not restricted to the said embodiment. The embodiment can of course be modified in various ways without departing from the scope, and can also be implemented as follows.

(変形例1)前記実施形態においては、描画装置10は、ワーク載置台23を備えるワーク機構部3を備え、ワークWをワーク載置台23にセットして、液滴吐出ヘッド20に対向する位置などに搬送していた。しかし、描画装置におけるワークの搬送装置は、ワーク機構部3のような装置に限らない。例えば、ベルト状の搬送装置にワークを載置し、描画を実施する位置から硬化を実施する位置に連続的にワークを搬送する装置であってもよい。当該搬送装置が、複数の描画装置に共通の搬送装置であってもよい。あるいは、給除材装置のように、ワークを保持して搬送装置の描画位置に給除材するような装置であってもよい。   (Modification 1) In the above-described embodiment, the drawing apparatus 10 includes the workpiece mechanism unit 3 including the workpiece mounting table 23, sets the workpiece W on the workpiece mounting table 23, and faces the droplet discharge head 20. Etc. However, the work transport device in the drawing apparatus is not limited to the work mechanism unit 3. For example, the apparatus may be a device that places a workpiece on a belt-shaped conveyance device and continuously conveys the workpiece from a position where drawing is performed to a position where curing is performed. The conveyance apparatus may be a conveyance apparatus common to a plurality of drawing apparatuses. Or the apparatus which hold | maintains a workpiece | work and feeds and discharges material to the drawing position of a conveying apparatus like the supply / discharge material apparatus may be sufficient.

(変形例2)前記実施形態においては、硬化工程に際して密閉空間43aを形成する紫外線ユニット140では、密閉筐体42とワーク載置台23とで密閉空間43aを形成していた。しかし、硬化工程に際して密閉空間を形成する密閉形成筐体がワークの搬送手段の部分を含むことは必須ではない。密閉形成筐体を例えば二体にして、ワーク及び搬送装置を挟み込んで密閉空間を形成する構成であってもよい。密閉形成筐体がワークの搬送手段と別体の場合、ベルトを用いる搬送装置のように載置台の剛性が乏しいために密閉空間を形成する構成要素にし難い搬送装置においても、容易に密閉空間を形成することができる。   (Modification 2) In the embodiment described above, in the ultraviolet unit 140 that forms the sealed space 43a in the curing process, the sealed space 43a is formed by the sealed casing 42 and the work mounting table 23. However, it is not essential that the hermetically sealed casing that forms the hermetically sealed space in the curing process includes the part of the workpiece transfer means. For example, a configuration may be adopted in which two sealed housings are formed, and the sealed space is formed by sandwiching the workpiece and the transfer device. When the sealed housing is separate from the workpiece transport means, it is easy to form the sealed space even in a transport device that is difficult to be a component that forms a sealed space due to the lack of rigidity of the mounting table, such as a transport device using a belt. Can be formed.

(変形例3)前記実施形態においては、描画工程における描画パターンの硬化工程は一回であったが、硬化工程が一回であることは必須ではない。例えば、機能液が流動しない程度に硬化させる仮硬化と充分に硬化させる本硬化とを実施するように、複数回の硬化工程を実施してもよい。仮硬化は描画装置10のような描画装置において機能液の配置から短時間の間に実施し、本硬化は別の硬化装置を用いる構成であってもよい。この場合、描画装置10と本硬化用の硬化装置とを含んだ装置が描画装置に相当する。   (Modification 3) In the said embodiment, although the hardening process of the drawing pattern in a drawing process was once, it is not essential that a hardening process is once. For example, a plurality of curing steps may be performed so as to perform temporary curing that cures to the extent that the functional liquid does not flow and main curing that sufficiently cures. The temporary curing may be performed in a drawing apparatus such as the drawing apparatus 10 within a short time from the arrangement of the functional liquid, and the main curing may be performed using another curing apparatus. In this case, an apparatus including the drawing apparatus 10 and the main-curing curing apparatus corresponds to the drawing apparatus.

2…ヘッド機構部、3…ワーク機構部、10…描画装置、11…X軸テーブル、11a…X軸レール、12…Y軸テーブル、20…液滴吐出ヘッド、23…ワーク載置台、23a…載置部、23b…載置台スライダー、42…密閉筐体、43…筐体室、43a…密閉空間、44…ランプ筐体、45…UVランプ、52…筐体枠、54…透光窓、55…吸引ポンプ、61…密閉空間筐体、61a…筐体空間、62…第一透光窓、63…第二透光窓、64…筐体枠、71…ランプ筐体、71a…ランプ室、72…透光窓、74…筐体枠、100…液滴吐出装置、120…吐出ノズル、140…紫外線ユニット、160…紫外線ユニット、170…紫外線ユニット、W…ワーク。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 ... Head mechanism part, 3 ... Work mechanism part, 10 ... Drawing apparatus, 11 ... X-axis table, 11a ... X-axis rail, 12 ... Y-axis table, 20 ... Droplet discharge head, 23 ... Work mounting table, 23a ... Placement part, 23b ... Placement table slider, 42 ... Sealed housing, 43 ... Housing room, 43a ... Sealed space, 44 ... Lamp housing, 45 ... UV lamp, 52 ... Housing frame, 54 ... Translucent window, 55 ... Suction pump, 61 ... Sealed space housing, 61a ... Housing space, 62 ... First light transmission window, 63 ... Second light transmission window, 64 ... Housing frame, 71 ... Lamp housing, 71a ... Lamp chamber 72: Translucent window, 74: Housing frame, 100: Droplet discharge device, 120: Discharge nozzle, 140: UV unit, 160: UV unit, 170: UV unit, W: Workpiece.

Claims (8)

被描画媒体に紫外線硬化型の機能液を配置する機能液配置手段と、前記機能液が配置された前記被描画媒体に紫外線を照射する紫外線照射手段とを備える描画装置であって、
前記紫外線照射手段によって紫外線を照射される前記被描画媒体を支持する媒体支持手段と、
前記紫外線照射手段から前記媒体支持手段に至る紫外線の光路と交差する位置に少なくとも一部分が配設された光路介在手段と、を備え、
前記光路介在手段は、前記光路と交差する位置に配置された負圧空間を有することを特徴とする描画装置。
A drawing apparatus comprising: functional liquid arranging means for arranging an ultraviolet curable functional liquid on a drawing medium; and ultraviolet irradiation means for irradiating the drawing medium on which the functional liquid is arranged with ultraviolet light,
Medium support means for supporting the drawing medium irradiated with ultraviolet rays by the ultraviolet irradiation means;
An optical path interposing means at least partially disposed at a position intersecting with an optical path of ultraviolet rays from the ultraviolet irradiation means to the medium support means,
The drawing apparatus, wherein the optical path interposing means has a negative pressure space arranged at a position intersecting with the optical path.
前記光路介在手段は、
前記媒体支持手段に支持された前記被描画媒体を覆って密閉する密閉位置と、密閉しない開放位置とで移動可能であって、前記密閉位置に位置した状態における前記光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成されている密閉形成筐体と、
前記密閉位置に在る前記密閉形成筐体によって密閉された空間の圧力を調整可能な圧力調整手段と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の描画装置。
The optical path interposing means is
It is movable between a sealed position that covers and seals the drawing medium supported by the medium support means, and an open position that does not seal, and a portion that intersects the optical path in the state positioned at the sealed position emits ultraviolet rays. A hermetically sealed housing formed of a permeating material;
The drawing apparatus according to claim 1, further comprising: a pressure adjusting unit capable of adjusting a pressure of a space sealed by the sealing formation housing at the sealing position.
前記光路介在手段は、
前記光路と交差して配設されており、前記光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成された第一の介在体及び第二の介在体と、
前記第一の介在体及び前記第二の介在体と協働して、前記第一の介在体と前記第二の介在体の間の空間を密閉する密閉空間形成体とを備え、
前記第一の介在体と前記第二の介在体と前記密閉空間形成体とで形成された密閉空間が前記負圧空間であることを特徴とする、請求項1に記載の描画装置。
The optical path interposing means is
A first inclusion and a second inclusion, which are arranged to intersect with the optical path, and wherein a portion intersecting the optical path is formed of a material that transmits ultraviolet rays;
In cooperation with the first intermediate body and the second intermediate body, a sealed space forming body that seals a space between the first intermediate body and the second intermediate body,
The drawing apparatus according to claim 1, wherein a sealed space formed by the first interposed body, the second interposed body, and the sealed space forming body is the negative pressure space.
前記光路介在手段は、
前記紫外線照射手段を密閉する照射手段密閉筐体を備え、
前記照射手段密閉筐体によって密閉された空間が前記負圧空間であることを特徴とする、請求項1に記載の描画装置。
The optical path interposing means is
An irradiation means sealing casing for sealing the ultraviolet irradiation means;
The drawing apparatus according to claim 1, wherein the space sealed by the irradiation unit sealed casing is the negative pressure space.
被描画媒体に紫外線硬化型の機能液を配置する機能液配置工程と、
前記機能液が配置された前記被描画媒体に紫外線を照射する紫外線照射工程と、を有し、
前記紫外線照射工程では、負圧空間を透過させた紫外線光を、前記被描画媒体に照射することを特徴とする描画方法。
A functional liquid disposing step of disposing an ultraviolet curable functional liquid on the drawing medium;
An ultraviolet irradiation step of irradiating the drawing medium on which the functional liquid is arranged with ultraviolet rays,
In the ultraviolet irradiation step, the drawing medium is irradiated with ultraviolet light transmitted through a negative pressure space.
前記紫外線照射工程は、
前記機能液配置工程において前記機能液が配置された前記被描画媒体を、前記被描画媒体に紫外線を照射可能な状態で密閉する密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間形成工程において形成された前記密閉空間を負圧にして前記負圧空間を形成する負圧形成工程と、
負圧にされた前記密閉空間を透過させて、紫外線を前記機能液が配置された前記被描画媒体に照射する工程と、を有することを特徴とする、請求項5に記載の描画方法。
The ultraviolet irradiation step includes
A sealed space forming step for forming a sealed space for sealing the drawing medium on which the functional liquid is arranged in the functional liquid arranging step in a state where the drawing medium can be irradiated with ultraviolet rays;
A negative pressure forming step of forming the negative pressure space by setting the closed space formed in the sealed space forming step to a negative pressure;
The drawing method according to claim 5, further comprising a step of irradiating the drawing medium on which the functional liquid is disposed, through the sealed space that is set to a negative pressure.
前記負圧空間は、紫外線の光路と交差して配設されており、前記光路と交差する部分が紫外線を透過させる材料で形成された第一の介在体及び第二の介在体と、前記第一の介在体及び前記第二の介在体と協働して、前記第一の介在体と前記第二の介在体の間の空間を密閉する密閉空間形成体とで形成された密閉空間が負圧にされた空間であることを特徴とする、請求項5に記載の描画方法。   The negative pressure space is disposed so as to intersect with an optical path of ultraviolet rays, and the first and second inclusions formed of a material that transmits ultraviolet rays at a portion intersecting with the optical path; A sealed space formed by a sealed space forming body that seals a space between the first interposed body and the second interposed body in cooperation with one interposed body and the second interposed body is negative. The drawing method according to claim 5, wherein the drawing method is a pressurized space. 前記負圧空間は、前記被描画媒体に紫外線を照射する紫外線照射手段を密閉する照射手段密閉空間が負圧にされた空間であることを特徴とする、請求項5に記載の描画方法。   6. The drawing method according to claim 5, wherein the negative pressure space is a space in which an irradiation unit sealed space for sealing an ultraviolet irradiation unit for irradiating the drawing medium with ultraviolet rays is set to a negative pressure.
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