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JP2008293004A - Optical fiber grating device and optical fiber laser - Google Patents

Optical fiber grating device and optical fiber laser Download PDF

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JP2008293004A
JP2008293004A JP2008114313A JP2008114313A JP2008293004A JP 2008293004 A JP2008293004 A JP 2008293004A JP 2008114313 A JP2008114313 A JP 2008114313A JP 2008114313 A JP2008114313 A JP 2008114313A JP 2008293004 A JP2008293004 A JP 2008293004A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical fiber grating device having a stable optical characteristic independent of input light intensity and environmental temperature, and to provide an optical fiber laser using the optical fiber grating device. <P>SOLUTION: The optical fiber grating device comprises: the optical fiber grating having a core part and a clad part formed on the outer periphery of the core part, and a part of the core part has, in its longitudinal direction, a grating formed part on which a grating is formed to reflect light having a predetermined wavelength band; a base having a housing groove for housing the grating formed part, and a negative linear expansion coefficient; a resin member which is so formed to cover at least the outer periphery of the grating formed part and fix the grating formed part in the housing groove and conduct the heat which is generated in the grating formed part to the base. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、光ファイバグレーティングデバイスおよび光ファイバレーザに関するものである。   The present invention relates to an optical fiber grating device and an optical fiber laser.

従来、光ファイバのコア部に周期的に変化する屈折率のグレーティングを形成することによって作製された光ファイバグレーティングが知られている。この光ファイバグレーティングは、形成したグレーティングによって、所定の波長を中心とする波長帯域の光を反射するものであり、たとえば反射型波長選択フィルタとして機能する。この光ファイバグレーティングは、たとえば光ファイバレーザにおいて光共振器を構成するために用いられる(特許文献1参照)。   Conventionally, an optical fiber grating manufactured by forming a grating having a refractive index that periodically changes in a core portion of an optical fiber is known. This optical fiber grating reflects light in a wavelength band centered on a predetermined wavelength by the formed grating, and functions as, for example, a reflective wavelength selection filter. This optical fiber grating is used, for example, to constitute an optical resonator in an optical fiber laser (see Patent Document 1).

この光ファイバグレーティングの反射波長帯域の中心波長は、形成したグレーティングの周期とコア部の実効屈折率とによって定まるブラッグ反射波長と一致する。ここで、この光ファイバグレーティングにおいては、グレーティングの周期とコア部の実効屈折率とは、いずれも温度依存性を有する。したがって、この光ファイバグレーティングにおいては、中心波長が環境温度によって変化してしまうという課題がある。そこで、従来の光ファイバグレーティングデバイスは、中心波長の変化を抑制するために、種々の温度補償機構を備えている(特許文献2、3参照)。   The center wavelength of the reflection wavelength band of the optical fiber grating coincides with the Bragg reflection wavelength determined by the period of the formed grating and the effective refractive index of the core portion. Here, in this optical fiber grating, both the period of the grating and the effective refractive index of the core part have temperature dependence. Therefore, in this optical fiber grating, there is a problem that the center wavelength changes depending on the environmental temperature. Therefore, the conventional optical fiber grating device is provided with various temperature compensation mechanisms in order to suppress the change in the center wavelength (see Patent Documents 2 and 3).

たとえば、特許文献2に開示される光ファイバグレーティングデバイスは、光ファイバグレーティングの一端を台座部に固定し、他の一端を台座部とは線膨張係数が異なる材料からなる梁部に固定した構成を有する温度補償用パッケージを備えている。   For example, an optical fiber grating device disclosed in Patent Document 2 has a configuration in which one end of an optical fiber grating is fixed to a pedestal portion and the other end is fixed to a beam portion made of a material having a linear expansion coefficient different from that of the pedestal portion. A temperature compensation package is provided.

一方、特許文献3に開示される光ファイバグレーティングデバイスは、負の線膨張係数を有する円筒形状の基材のスリット内に光ファイバグレーティングを挿入し、この光ファイバグレーティングの両端部を基材内に接着剤で固定した構成を有する。   On the other hand, in the optical fiber grating device disclosed in Patent Document 3, an optical fiber grating is inserted into a slit of a cylindrical base material having a negative linear expansion coefficient, and both ends of the optical fiber grating are placed in the base material. The structure is fixed with an adhesive.

特許文献2、3によれば、上記のいずれの光ファイバグレーティングデバイスも、上記したそれぞれの構成の温度補償機構を有する結果、中心波長の温度依存変化が抑制されている。   According to Patent Documents 2 and 3, each of the optical fiber grating devices described above has the temperature compensation mechanism having the above-described configuration, and as a result, temperature-dependent changes in the center wavelength are suppressed.

米国特許第6167066号明細書US Pat. No. 6,167,066 特開2003−4956号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-4956 特開2001−318242号公報JP 2001-318242 A

しかしながら、従来の光ファイバグレーティングデバイスは、入力する光の強度が変化した場合に、中心波長が変化してしまうという課題がある。   However, the conventional optical fiber grating device has a problem that the center wavelength changes when the intensity of input light changes.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、入力光強度および環境温度によらず安定した光学特性を有する光ファイバグレーティングデバイスおよびこれを用いた光ファイバレーザを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide an optical fiber grating device having stable optical characteristics regardless of input light intensity and ambient temperature, and an optical fiber laser using the same. .

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、コア部と該コア部の外周に形成したクラッド部とを備え、該コア部の長手方向の一部に所定の波長帯域の光を反射するグレーティングを形成したグレーティング形成部を有する光ファイバグレーティングと、前記グレーティング形成部を収容する収容溝を備え、負の線膨張係数を有する基台と、少なくとも前記グレーティング形成部の外周を覆うように形成され、該グレーティング形成部を前記収容溝内に固着するとともに該グレーティング形成部において発生する熱を前記基台に伝導する樹脂部材と、を備えたことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, an optical fiber grating device according to the present invention includes a core portion and a cladding portion formed on the outer periphery of the core portion, and a part of the core portion in the longitudinal direction. An optical fiber grating having a grating forming portion in which a grating that reflects light in a predetermined wavelength band is formed, a receiving groove that contains the grating forming portion, a base having a negative linear expansion coefficient, and at least the grating A resin member that is formed so as to cover the outer periphery of the forming portion, and that fixes the grating forming portion in the housing groove and conducts heat generated in the grating forming portion to the base. To do.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記光ファイバグレーティングは、前記グレーティング形成部を除いた前記クラッド部の外周に形成した被覆部を備え、前記基台は、前記光ファイバグレーティングを前記被覆部において支持する支持溝を備えることを特徴とする。   Further, the optical fiber grating device according to the present invention is the optical fiber grating device according to the above invention, wherein the optical fiber grating includes a covering portion formed on an outer periphery of the cladding portion excluding the grating forming portion, and the base includes the optical fiber. A support groove for supporting the grating in the covering portion is provided.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記光ファイバグレーティングは、前記クラッド部を内側クラッドとし、前記被覆部を外側クラッドとするダブルクラッド型光ファイバ構造を有することを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the optical fiber grating has a double clad type optical fiber structure in which the clad portion is an inner clad and the covering portion is an outer clad. To do.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材は、前記グレーティング形成部の外周と、前記被覆部の該グレーティング形成部に隣接する部分の外周とを覆うように形成されていることを特徴とする。   In the optical fiber grating device according to the present invention, in the above invention, the resin member is formed so as to cover an outer periphery of the grating forming portion and an outer periphery of a portion of the covering portion adjacent to the grating forming portion. It is characterized by.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材は、前記グレーティング形成部から漏洩する光を透過することを特徴とする。   In the optical fiber grating device according to the present invention as set forth in the invention described above, the resin member transmits light leaking from the grating forming portion.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材の屈折率は、前記光ファイバグレーティングのクラッド部の屈折率よりも高いことを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the refractive index of the resin member is higher than the refractive index of the cladding portion of the optical fiber grating.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材の屈折率は、前記光ファイバグレーティングのクラッド部の屈折率よりも低いことを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the refractive index of the resin member is lower than the refractive index of the cladding portion of the optical fiber grating.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材は、UV硬化樹脂からなることを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the resin member is made of a UV curable resin.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記基台は、−70〜−80ppm/℃の線膨張係数を有することを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the base has a linear expansion coefficient of −70 to −80 ppm / ° C.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記収容溝は、V字状に形成されたことを特徴とする。   In the optical fiber grating device according to the present invention as set forth in the invention described above, the receiving groove is formed in a V shape.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記収容溝は、前記支持溝に比して幅広且つ深底に形成されたことを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the receiving groove is formed wider and deeper than the support groove.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記支持溝は、V字状に形成されたことを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the support groove is formed in a V shape.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材に密着するように配置され、該樹脂部材を伝導した熱を放熱する放熱部材を備えたことを特徴とする。   Moreover, the optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the optical fiber grating device includes a heat radiating member disposed so as to be in close contact with the resin member and radiating heat conducted through the resin member.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記放熱部材は、前記基台の上部を覆うように形成されていることを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the heat dissipation member is formed so as to cover an upper portion of the base.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記放熱部材は、アルミニウム、銅、鉄、およびニッケルの少なくとも一つを含む金属部材を用いて形成されることを特徴とする。   In the optical fiber grating device according to the present invention as set forth in the invention described above, the heat dissipation member is formed using a metal member including at least one of aluminum, copper, iron, and nickel.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記光ファイバグレーティングは、所定の張力を印加した状態で前記基台に固定されていることを特徴とする。   The optical fiber grating device according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the optical fiber grating is fixed to the base in a state where a predetermined tension is applied.

また、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、上記発明において、前記樹脂部材よりも高い硬度を有し、前記グレーティング形成部を挟むように配置され、前記光ファイバグレーティングを前記収容溝内に固着する補強樹脂部材をさらに備えたことを特徴とする。   Further, the optical fiber grating device according to the present invention has a higher hardness than the resin member in the above invention, is disposed so as to sandwich the grating forming portion, and fixes the optical fiber grating in the housing groove. A reinforced resin member is further provided.

また、本発明に係る光ファイバレーザは、上記発明のいずれか1つに係る2つの光ファイバグレーティングデバイスと、前記2つの光ファイバグレーティングデバイス間に配置した希土類元素添加光ファイバと、前記希土類元素添加光ファイバに励起光を供給する励起光源と、を備え、前記2つの光ファイバグレーティングデバイスの各反射波長帯域は重畳しており、前記励起光源が前記希土類元素添加光ファイバに励起光を供給することによって、前記2つの光ファイバグレーティングデバイスのいずれか一方の端部から前記重畳した波長帯域内の発振波長を有するレーザ光を出力することを特徴とする。   An optical fiber laser according to the present invention includes two optical fiber grating devices according to any one of the above inventions, a rare earth element-doped optical fiber disposed between the two optical fiber grating devices, and the rare earth element doped A pumping light source for supplying pumping light to an optical fiber, the reflection wavelength bands of the two optical fiber grating devices are superimposed, and the pumping light source supplies pumping light to the rare earth element-doped optical fiber. Thus, laser light having an oscillation wavelength within the superimposed wavelength band is output from one end of either of the two optical fiber grating devices.

また、本発明に係る光ファイバレーザは、上記発明において、前記レーザ光を出力する出力端部側に配置され、前記レーザ光を受付け該レーザ光の波長を変換して出力する波長変換素子を備えたことを特徴とする。   The optical fiber laser according to the present invention includes a wavelength conversion element that is disposed on an output end side that outputs the laser light, receives the laser light, converts the wavelength of the laser light, and outputs the laser light. It is characterized by that.

また、本発明に係る光ファイバレーザは、上記発明において、前記希土類元素添加光ファイバおよび前記2つの光ファイバグレーティングデバイスは、偏波保持型光ファイバ構造を有し、前記一方の光ファイバグレーティングデバイスの互いに直交する偏波の光に対する反射波長帯域のいずれか1つと、前記他方の光ファイバグレーティングデバイスの互いに直交する偏波の光に対する反射波長帯域のいずれか1つとを重畳させて、該重畳した波長帯域内の発振波長を有する単一偏波のレーザ光を発振することを特徴とする。   The optical fiber laser according to the present invention is the optical fiber laser according to the above invention, wherein the rare earth element-doped optical fiber and the two optical fiber grating devices have a polarization maintaining optical fiber structure, By superimposing any one of the reflection wavelength bands for the orthogonally polarized light and the one of the reflection wavelength bands for the mutually orthogonally polarized light of the other optical fiber grating device, the superimposed wavelength A single-polarized laser beam having an oscillation wavelength in the band is oscillated.

また、本発明に係る光ファイバレーザは、上記発明において、前記2つの光ファイバグレーティングデバイスは、互いのスロー軸とファースト軸とが平行になるように前記希土類元素添加光ファイバに接続していることを特徴とする。   Further, in the optical fiber laser according to the present invention, in the above invention, the two optical fiber grating devices are connected to the rare earth element-doped optical fiber so that their slow axes and first axes are parallel to each other. It is characterized by.

また、本発明に係る光ファイバレーザは、上記発明において、前記2つの光ファイバグレーティングデバイスは、互いのスロー軸が互いのファースト軸と平行になるように前記希土類元素添加光ファイバに接続していることを特徴とする。   The optical fiber laser according to the present invention is the optical fiber laser according to the present invention, wherein the two optical fiber grating devices are connected to the rare earth element-doped optical fiber so that their slow axes are parallel to their fast axes. It is characterized by that.

本発明によれば、負の線膨張係数を有する基台と、少なくとも光ファイバグレーティングのグレーティング形成部の外周を覆うように形成され、グレーティング形成部を基台の収容溝内に固着するとともに、グレーティング形成部において発生する熱を基台に伝導する樹脂部材とを備えたことによって、光ファイバグレーティングの光学特性の温度依存変化および入力光強度依存変化が抑制されるので、入力光強度および環境温度によらず安定した光学特性を有する光ファイバグレーティングデバイスを実現できるという効果を奏する。   According to the present invention, a base having a negative linear expansion coefficient and at least the outer periphery of the grating forming portion of the optical fiber grating are formed, the grating forming portion is fixed in the receiving groove of the base, and the grating By providing a resin member that conducts heat generated in the forming portion to the base, temperature-dependent changes and input light intensity-dependent changes in the optical characteristics of the optical fiber grating are suppressed, so that the input light intensity and the environmental temperature can be reduced. Regardless of this, it is possible to realize an optical fiber grating device having stable optical characteristics.

以下に、図面を参照して本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスおよび光ファイバレーザの実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。   Embodiments of an optical fiber grating device and an optical fiber laser according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る光ファイバグレーティングデバイスを模式的に表した斜視概略図である。図1に示すように、この光ファイバグレーティングデバイス1は、光ファイバグレーティング11と、基台12と、樹脂部材13とを備える。以下、各構成要素について具体的に説明する。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic perspective view schematically showing an optical fiber grating device according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 1, the optical fiber grating device 1 includes an optical fiber grating 11, a base 12, and a resin member 13. Hereinafter, each component will be specifically described.

光ファイバグレーティング11は、正の線膨張係数を有する石英系ガラスからなる光ファイバ部111と、被覆部112、112とを備え、光ファイバ部111は、コア部の長手方向の一部に所定の波長帯域の光を反射するグレーティングを形成したグレーティング形成部113を有する。また、被覆部112、112は、グレーティング形成部113を除いた光ファイバ部111の外周に形成されている。   The optical fiber grating 11 includes an optical fiber portion 111 made of silica-based glass having a positive linear expansion coefficient, and covering portions 112 and 112. The optical fiber portion 111 has a predetermined length in a part in the longitudinal direction of the core portion. It has a grating forming portion 113 in which a grating that reflects light in the wavelength band is formed. The covering portions 112 and 112 are formed on the outer periphery of the optical fiber portion 111 excluding the grating forming portion 113.

また、基台12は、光ファイバグレーティング11のグレーティング形成部113を収容する収容溝121と、光ファイバグレーティング11を被覆部112、112において支持する支持溝122、122とを備える。この基台12は、負の線膨張係数を有している。   Further, the base 12 includes an accommodation groove 121 that accommodates the grating forming portion 113 of the optical fiber grating 11 and support grooves 122 and 122 that support the optical fiber grating 11 at the covering portions 112 and 112. The base 12 has a negative linear expansion coefficient.

また、樹脂部材13は、UV硬化樹脂からなり、収容溝121と支持溝122、122とを充填するように形成されている。すなわち、この樹脂部材13は、グレーティング形成部113の外周と、被覆部112、112のグレーティング形成部113に隣接する部分の外周を覆うように形成されている。そして、樹脂部材13は、グレーティング形成部113を収容溝121内に固着するとともに、被覆部112、112の一部を支持溝122、122内に固着している。   The resin member 13 is made of a UV curable resin and is formed so as to fill the housing groove 121 and the support grooves 122 and 122. That is, the resin member 13 is formed so as to cover the outer periphery of the grating forming portion 113 and the outer periphery of the portion adjacent to the grating forming portion 113 of the covering portions 112 and 112. The resin member 13 fixes the grating forming portion 113 in the housing groove 121 and also fixes a part of the covering portions 112 and 112 in the support grooves 122 and 122.

つぎに、光ファイバグレーティング11の構成について、さらに具体的に説明する。図2は、図1に示す光ファイバグレーティング11の概略断面と対応する屈折率分布とを示す図である。図2に示すように、光ファイバグレーティング11において、光ファイバ部111は、コア部1111とクラッド部1112とを備えている。また、屈折率分布については、コア部1111、クラッド部1112、被覆部112の順で低くなっている。その結果、光ファイバグレーティング11は、クラッド部1112を内側クラッドとし、被覆部112を外側クラッドとするダブルクラッド型光ファイバ構造を有している。なお、上記屈折率分布については、所定の波長の光がコア部1111をシングルモード伝搬し、クラッド部1112によってマルチモード伝搬するように設定されている。   Next, the configuration of the optical fiber grating 11 will be described more specifically. FIG. 2 is a diagram showing a schematic cross section of the optical fiber grating 11 shown in FIG. 1 and a corresponding refractive index distribution. As shown in FIG. 2, in the optical fiber grating 11, the optical fiber portion 111 includes a core portion 1111 and a cladding portion 1112. The refractive index distribution is lower in the order of the core part 1111, the cladding part 1112, and the covering part 112. As a result, the optical fiber grating 11 has a double clad type optical fiber structure in which the clad portion 1112 is an inner clad and the covering portion 112 is an outer clad. The refractive index distribution is set so that light of a predetermined wavelength propagates in the single mode through the core portion 1111 and propagates in the multimode through the cladding portion 1112.

つぎに、基台12の構成について、さらに具体的に説明する。図3は、図1に示す光ファイバグレーティングデバイス1のA矢視図であり、図4は、B矢視図であり、図5は、図4におけるC-C線一部断面図である。   Next, the configuration of the base 12 will be described more specifically. 3 is a view as viewed from an arrow A of the optical fiber grating device 1 shown in FIG. 1, FIG. 4 is a view as viewed from an arrow B, and FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along line CC in FIG.

図3〜5に示すように、基台12の互いに対向する各縁部には支持溝122、122がそれぞれ形成され、基台12の縁部の内側であって支持溝122、122の間の領域には収容溝121が形成されている。支持溝122、122は、V字状に形成されたV字溝であり、光ファイバグレーティング11の被覆部112の外径よりも大きい開口幅W1を有する。また、支持溝122、122は、一直線上に並ぶように形成される。このような支持溝122、122が光ファイバグレーティング11を被覆部112、112において支持することによって、基台12は、収容溝121にグレーティング形成部113を弛みおよび曲げが殆ど無い状態で収容できる。   As shown in FIGS. 3 to 5, support grooves 122 and 122 are respectively formed at opposite edges of the base 12, and are inside the edges of the base 12 and between the support grooves 122 and 122. An accommodation groove 121 is formed in the region. The support grooves 122 and 122 are V-shaped grooves formed in a V-shape, and have an opening width W <b> 1 that is larger than the outer diameter of the covering portion 112 of the optical fiber grating 11. The support grooves 122 and 122 are formed so as to be aligned on a straight line. Since the support grooves 122 and 122 support the optical fiber grating 11 in the covering portions 112 and 112, the base 12 can accommodate the grating forming portion 113 in the housing groove 121 with almost no slack and bending.

また、支持溝122、122の深さD1は、被覆部112、112を支持溝122、122内に完全に収容できるような深さとされている。その結果、支持溝122、122は、光ファイバグレーティング11を基台12の上面から突出しないよう支持することができるので、光ファイバグレーティング11が外部のものと接触して破損することを防止できる。   The depth D1 of the support grooves 122 and 122 is set to such a depth that the covering portions 112 and 112 can be completely accommodated in the support grooves 122 and 122. As a result, the support grooves 122 and 122 can support the optical fiber grating 11 so as not to protrude from the upper surface of the base 12, so that the optical fiber grating 11 can be prevented from being damaged due to contact with an external one.

一方、収容溝121は、支持溝122、122よりも幅広且つ深底に形成されている。すなわち、収容溝121は、支持溝122、122の開口幅W1よりも大きい幅W2を有するとともに、支持溝122、122の深さD1よりも大きい深さD2を有する直方体状の溝である。その結果、グレーティング形成部113を収容溝121に収容する際および収容した状態で、グレーティング形成部113が収容溝121の内面に接触して傷付いたり破損したりすることが、確実に防止される。   On the other hand, the accommodation groove 121 is formed wider and deeper than the support grooves 122 and 122. That is, the accommodation groove 121 is a rectangular parallelepiped groove having a width W2 larger than the opening width W1 of the support grooves 122 and 122 and a depth D2 larger than the depth D1 of the support grooves 122 and 122. As a result, when the grating forming portion 113 is housed in the housing groove 121 and in the housed state, the grating forming portion 113 is reliably prevented from coming into contact with the inner surface of the housing groove 121 and being damaged or damaged. .

ここで、光ファイバグレーティングデバイス1に光を入力した場合について説明する。図6は、光ファイバグレーティングデバイス1に光を入力した場合について説明する説明図である。図6に示すように、光ファイバグレーティングデバイス1に紙面左方から光を入力すると、グレーティング形成部113のグレーティングの反射波長帯域内の波長を有する光は反射して紙面左方に出力し、それ以外の波長の光はグレーティング形成部113を透過して紙面右方に出力する。   Here, a case where light is input to the optical fiber grating device 1 will be described. FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining a case where light is input to the optical fiber grating device 1. As shown in FIG. 6, when light is input to the optical fiber grating device 1 from the left side of the drawing, light having a wavelength within the reflection wavelength band of the grating of the grating forming unit 113 is reflected and output to the left side of the drawing. Light of other wavelengths passes through the grating forming part 113 and is output to the right side of the paper.

このとき、入力した光の一部はグレーティングによって吸収または散乱される。すると、吸収または散乱された光が熱に変換されることによって、グレーティング形成部113の温度が上昇する。上述したように、光ファイバ部111は正の線膨張係数を有するので、温度上昇によってグレーティング形成部113を伸長させようとする応力f1、f2が発生する。   At this time, part of the input light is absorbed or scattered by the grating. Then, the absorbed or scattered light is converted into heat, and the temperature of the grating forming portion 113 rises. As described above, since the optical fiber portion 111 has a positive coefficient of linear expansion, stresses f1 and f2 that cause the grating forming portion 113 to expand due to a temperature rise are generated.

一方、グレーティング形成部113の外周を覆うように形成された樹脂部材13は、グレーティング形成部113において発生した熱を基台12に伝導する。その結果、基台12の温度が上昇する。上述したように、基台12は負の線膨張係数を有するので、温度上昇によって基台12を収縮させようとする応力f3、f4が発生する。   On the other hand, the resin member 13 formed so as to cover the outer periphery of the grating forming portion 113 conducts heat generated in the grating forming portion 113 to the base 12. As a result, the temperature of the base 12 rises. As described above, since the base 12 has a negative linear expansion coefficient, stresses f3 and f4 that cause the base 12 to contract due to a temperature rise are generated.

ここで、グレーティング形成部113は、樹脂部材13によって基台12の収容溝121内に固着しているので、グレーティング形成部113に発生する応力f1、f2は、基台12に発生する応力f3、f4によってキャンセルされる。その結果、グレーティング形成部113の長さが伸長することが抑制されるので、グレーティングの中心波長の変化も抑制される。   Here, since the grating forming portion 113 is fixed in the accommodation groove 121 of the base 12 by the resin member 13, the stresses f1 and f2 generated in the grating forming portion 113 are the stress f3 generated in the base 12, Canceled by f4. As a result, since the length of the grating forming portion 113 is suppressed, the change in the center wavelength of the grating is also suppressed.

また、入力光の強度が増加すれば、グレーティング形成部113において発生する熱量も増加するので、応力f1、f2も増加する。しかし、同時に、基台12に伝導する熱量も増加するので、応力f3、f4も増加し、応力f1、f2がキャンセルされる。入力光の強度が減少する場合も同様である。   Further, if the intensity of the input light increases, the amount of heat generated in the grating forming portion 113 also increases, so that the stresses f1 and f2 also increase. However, at the same time, since the amount of heat conducted to the base 12 increases, the stresses f3 and f4 also increase, and the stresses f1 and f2 are canceled. The same applies when the intensity of the input light decreases.

すなわち、入力光強度の変化によるグレーティング形成部113の長さの変化は常に抑制される。その結果、光ファイバグレーティングデバイス1は、入力光強度によらず安定した中心波長を有するものとなる。   That is, a change in the length of the grating forming portion 113 due to a change in the input light intensity is always suppressed. As a result, the optical fiber grating device 1 has a stable center wavelength regardless of the input light intensity.

一方、たとえば光ファイバグレーティングデバイス1の環境温度が上昇した場合は、グレーティング形成部113には応力f1、f2と同様の応力が発生し、基台12には応力f3、f4と同様の応力が発生する。しかしながら、上述したように、グレーティング形成部113は樹脂部材13によって基台12の収容溝121内に固着しているので、グレーティング形成部113に発生する応力は、基台12に発生する応力によってキャンセルされる。環境温度が下降した場合も同様である。   On the other hand, for example, when the environmental temperature of the optical fiber grating device 1 is increased, stress similar to the stresses f1 and f2 is generated in the grating forming portion 113, and stress similar to the stresses f3 and f4 is generated in the base 12. To do. However, as described above, since the grating forming portion 113 is fixed in the receiving groove 121 of the base 12 by the resin member 13, the stress generated in the grating forming portion 113 is canceled by the stress generated in the base 12. Is done. The same applies when the environmental temperature falls.

したがって、この光ファイバグレーティングデバイス1は、入力光強度および環境温度によらず安定した反射中心波長を有するものとなる。また、この光ファイバグレーティングデバイス1は、簡単な構造を有しているので、低コストなものとなる。   Therefore, the optical fiber grating device 1 has a stable reflection center wavelength regardless of the input light intensity and the environmental temperature. Further, since the optical fiber grating device 1 has a simple structure, the cost is low.

なお、この光ファイバグレーティングデバイスは、以下のように作製できる。はじめに、従来の方法を用いて作製した光ファイバグレーティング11と、収容溝121および支持溝122、122を形成した基台12とを用意する。つぎに、グレーティング形成部113が収容溝121に収容され、被覆部112、112が支持溝122、122に支持されるように、光ファイバグレーティング11を基台12に載置する。つぎに、樹脂部材13を、収容溝121および支持溝122、122に充填し、樹脂部材13に紫外線を照射して固化することによって、光ファイバグレーティングデバイス1が完成する。   This optical fiber grating device can be manufactured as follows. First, an optical fiber grating 11 manufactured using a conventional method and a base 12 on which an accommodation groove 121 and support grooves 122 and 122 are formed are prepared. Next, the optical fiber grating 11 is placed on the base 12 so that the grating forming portion 113 is accommodated in the accommodating groove 121 and the covering portions 112 and 112 are supported by the supporting grooves 122 and 122. Next, the optical fiber grating device 1 is completed by filling the resin member 13 into the housing groove 121 and the support grooves 122 and 122 and irradiating the resin member 13 with ultraviolet rays to solidify.

ここで、光ファイバグレーティング11を基台12に載置する際に、光ファイバグレーティング11に所定の張力を印加し、反射波長帯域が所望の中心波長を有するように光ファイバグレーティング11を伸長させた状態で、基台12の収容溝121および支持溝122、122に収容し、樹脂部材13によって固着することができる。   Here, when the optical fiber grating 11 is placed on the base 12, a predetermined tension is applied to the optical fiber grating 11, and the optical fiber grating 11 is extended so that the reflection wavelength band has a desired center wavelength. In this state, it can be housed in the housing groove 121 and the support grooves 122, 122 of the base 12 and can be fixed by the resin member 13.

なお、基台12の材質は、負の線膨張係数を有するものであれば特に限定されないが、たとえば、β−ユークリプタイトまたはβ−石英固溶体を主結晶とする多結晶体、ZrおよびHfの少なくともいずれかを含み、リン酸タングステン酸塩またはタングステン酸塩を主結晶とする多結晶体、および液晶ポリマーのいずれかとすればよい。なお、たとえば、石英系ガラスの線膨張係数は+0.5ppm/℃であるが、基台12が−70〜−80ppm/℃の線膨張係数を有するものであれば、石英系ガラスからなるグレーティング形成部113に発生する応力を効果的にキャンセルできる。このような材質としては、日本電気硝子社製のCERSAT(登録商標)がある。   The material of the base 12 is not particularly limited as long as it has a negative linear expansion coefficient. For example, the base 12 is a polycrystal having a main crystal of β-eucryptite or β-quartz solid solution, Zr and Hf. It may be any one of a polycrystal including at least one and having a tungstate phosphate or a tungstate as a main crystal, and a liquid crystal polymer. For example, the linear expansion coefficient of quartz glass is +0.5 ppm / ° C. However, if the base 12 has a linear expansion coefficient of −70 to −80 ppm / ° C., a grating formed of quartz glass is formed. The stress generated in the portion 113 can be canceled effectively. An example of such a material is CERSAT (registered trademark) manufactured by Nippon Electric Glass.

また、樹脂部材13は、たとえばUV硬化型エポキシ樹脂などのUV硬化樹脂からなる。しかし、樹脂材料13としては、UV硬化樹脂からなるものに限定されず、熱硬化樹脂等であっても、熱伝導率が十分に高く、グレーティング形成部113において発生した熱を効果的に基台12に伝導することができるものであればよい。さらに、ヤング率が十分に高く、グレーティング形成部113において発生した応力を、基台12において発生した応力によって効果的にキャンセルできるものであればよい。   The resin member 13 is made of a UV curable resin such as a UV curable epoxy resin. However, the resin material 13 is not limited to the one made of UV curable resin, and even if it is a thermosetting resin or the like, the heat conductivity is sufficiently high, and the heat generated in the grating forming portion 113 can be effectively used as a base. Any material that can conduct to 12 may be used. Further, the Young's modulus may be sufficiently high so that the stress generated in the grating forming portion 113 can be effectively canceled by the stress generated in the base 12.

また、樹脂部材13の屈折率がクラッド部1112の屈折率よりも低い場合は、クラッド部1112を伝搬する光が樹脂部材13に漏洩することを防止できる。したがって、たとえば光をクラッド部1112内においてマルチモードで伝搬させたい場合は、樹脂部材13の屈折率をクラッド部1112の屈折率よりも低いものとすることが好ましい。   Further, when the refractive index of the resin member 13 is lower than the refractive index of the cladding part 1112, it is possible to prevent light propagating through the cladding part 1112 from leaking to the resin member 13. Therefore, for example, when light is desired to propagate in multimode in the clad portion 1112, it is preferable that the refractive index of the resin member 13 be lower than the refractive index of the clad portion 1112.

また、樹脂部材13の屈折率がクラッド部1112の屈折率よりも高い場合は、クラッド部1112を伝搬する光を樹脂部材13に漏洩させることができる。したがって、たとえばコア部1111から漏洩した光がクラッド部1112を伝搬してしまうことを防止したい場合には、樹脂部材13の屈折率をクラッド部1112の屈折率よりも高いものとすることが好ましい。   Further, when the refractive index of the resin member 13 is higher than the refractive index of the cladding part 1112, light propagating through the cladding part 1112 can be leaked to the resin member 13. Therefore, for example, when it is desired to prevent light leaked from the core part 1111 from propagating through the cladding part 1112, it is preferable that the refractive index of the resin member 13 is higher than the refractive index of the cladding part 1112.

また、グレーティングによる散乱などによって、コア部1111を伝搬する光が、グレーティング形成部113から漏洩する場合がある。この漏洩光が樹脂部材13に到達した場合、樹脂部材13が漏洩光を吸収して発熱し、劣化するおそれがある。したがって、樹脂部材13は、グレーティング形成部113から漏洩する光を透過するものであることが好ましい。   In addition, light propagating through the core portion 1111 may leak from the grating forming portion 113 due to scattering by the grating or the like. When this leaked light reaches the resin member 13, the resin member 13 absorbs the leaked light and generates heat, which may deteriorate. Therefore, the resin member 13 preferably transmits light leaking from the grating forming portion 113.

また、この光ファイバグレーティングデバイス1は、樹脂部材13を伝導した熱を放熱する放熱部材を備えていてもよい。図7は、実施の形態1の変形例に係る光ファイバグレーティングデバイス1aを模式的に表した斜視概略図である。この光ファイバグレーティングデバイス1aは、光ファイバグレーティングデバイス1の上面に放熱部材14を備えたものである。この放熱部材14は、樹脂部材13および基台12の上面に密着させて配置されている。その結果、樹脂部材13を伝導して上面に到達した熱が効率的に放熱されるので、樹脂部材13に熱が蓄積して劣化することが防止される。さらに、基台12が有する熱も効率的に放熱されるので、基台12に熱が蓄積して劣化することが防止される。なお、この放熱部材14は、たとえば、熱伝導率が高いアルミニウム、銅、鉄、およびニッケルの少なくとも一つを含む金属部材を用いて形成されることが好ましい。また、この放熱部材14は、樹脂部材13を保護する蓋としても機能しており、樹脂部材13の損傷、劣化などが防止される。   Further, the optical fiber grating device 1 may include a heat radiating member that radiates heat conducted through the resin member 13. FIG. 7 is a schematic perspective view schematically showing an optical fiber grating device 1a according to a modification of the first embodiment. This optical fiber grating device 1 a includes a heat radiating member 14 on the upper surface of the optical fiber grating device 1. The heat radiating member 14 is disposed in close contact with the upper surfaces of the resin member 13 and the base 12. As a result, the heat that has passed through the resin member 13 and reached the upper surface is efficiently dissipated, so that the heat is prevented from accumulating and deteriorating in the resin member 13. Furthermore, since the heat of the base 12 is also efficiently radiated, it is possible to prevent heat from accumulating and deteriorating in the base 12. In addition, it is preferable that this heat radiating member 14 is formed using the metal member containing at least one of aluminum, copper, iron, and nickel with high heat conductivity, for example. The heat radiating member 14 also functions as a lid for protecting the resin member 13, and damage, deterioration, etc. of the resin member 13 are prevented.

(実施の形態2)
つぎに、本発明の実施の形態2に係る光ファイバグレーティングデバイスについて説明する。本実施の形態2に係る光ファイバグレーティングデバイスは、グレーティング形成部を挟むように配置され、光ファイバグレーティングを収容溝内に固着する補強樹脂部材を備えている。
(Embodiment 2)
Next, an optical fiber grating device according to Embodiment 2 of the present invention will be described. The optical fiber grating device according to the second embodiment includes a reinforcing resin member that is disposed so as to sandwich the grating forming portion and fixes the optical fiber grating in the accommodation groove.

図8は、本実施の形態2に係る光ファイバグレーティングデバイスを模式的に表した斜視概略図である。また、図9は、図8に示す光ファイバグレーティングデバイスのE矢視図である。図8、9に示すように、この光ファイバグレーティングデバイス2は、実施の形態1におけるものと同様の光ファイバグレーティング11と、基台22と、樹脂部材23と、補強樹脂部材24、24とを備える。   FIG. 8 is a schematic perspective view schematically showing the optical fiber grating device according to the second embodiment. FIG. 9 is a view taken along the arrow E of the optical fiber grating device shown in FIG. As shown in FIGS. 8 and 9, the optical fiber grating device 2 includes an optical fiber grating 11 similar to that in the first embodiment, a base 22, a resin member 23, and reinforcing resin members 24 and 24. Prepare.

基台22は、光ファイバグレーティング11のグレーティング形成部113を収容するV字状に形成された収容溝221を備えている。この収容溝221は、光ファイバグレーティング11を被覆部112、112において支持する支持溝の役割も果たしている。また、基台22は、実施の形態1における基台12と同様に負の線膨張係数を有している。   The base 22 includes an accommodation groove 221 formed in a V shape for accommodating the grating forming portion 113 of the optical fiber grating 11. The housing groove 221 also serves as a support groove for supporting the optical fiber grating 11 in the covering portions 112 and 112. Moreover, the base 22 has a negative linear expansion coefficient similarly to the base 12 in the first embodiment.

また、樹脂部材23は、実施の形態1における樹脂13と同様に、収容溝221を充填するように形成され、グレーティング形成部113の外周と、被覆部112、112のグレーティング形成部113に隣接する部分の外周を覆うように形成されている。そして、樹脂部材23は、グレーティング形成部113と、被覆部112、112の一部とを収容溝221内に固着している。   Similarly to the resin 13 in the first embodiment, the resin member 23 is formed so as to fill the accommodation groove 221, and is adjacent to the outer periphery of the grating forming portion 113 and the grating forming portions 113 of the covering portions 112 and 112. It is formed so that the outer periphery of a part may be covered. The resin member 23 fixes the grating forming portion 113 and a part of the covering portions 112 and 112 in the housing groove 221.

また、補強樹脂部材24、24は、グレーティング形成部113を挟むように配置され、光ファイバグレーティング11を収容溝221内に固着している。ここで、補強樹脂部材24、24は、樹脂部材23よりも高い硬度を有するので、光ファイバグレーティング11は、樹脂部材23のみで固着する場合よりも一層強固に基台22に固着される。その結果、環境温度の変動に対する光ファイバグレーティングデバイス2の信頼性が一層向上する。また、補強樹脂部材24、24を備えることで、樹脂部材23に要求される硬度を低減できるので、樹脂部材23の材質の選択肢が広がり、たとえば、樹脂部材23として、熱伝導率が一層高いものを用いることができる。   Further, the reinforcing resin members 24 and 24 are arranged so as to sandwich the grating forming portion 113, and fix the optical fiber grating 11 in the accommodation groove 221. Here, since the reinforcing resin members 24 and 24 have higher hardness than the resin member 23, the optical fiber grating 11 is fixed to the base 22 more firmly than the case where the optical fiber grating 11 is fixed only by the resin member 23. As a result, the reliability of the optical fiber grating device 2 with respect to changes in environmental temperature is further improved. Further, since the hardness required for the resin member 23 can be reduced by providing the reinforced resin members 24, 24, the choice of the material of the resin member 23 is expanded. For example, the resin member 23 has a higher thermal conductivity. Can be used.

なお、樹脂部材23として、たとえば熱伝導率が1.3W/m・Kよりも大きい熱硬化樹脂であるジェル状のアルミナ含有シリコーン樹脂を用いることができる。また、補強樹脂部材24として、ショアD硬度が80よりも大きいUV硬化樹脂を用いることができる。   As the resin member 23, for example, a gel-like alumina-containing silicone resin which is a thermosetting resin having a thermal conductivity higher than 1.3 W / m · K can be used. Further, as the reinforcing resin member 24, a UV curable resin having a Shore D hardness of more than 80 can be used.

(実施の形態3)
つぎに、本発明の実施の形態3に係る光ファイバレーザについて説明する。本実施の形態3に係る光ファイバグレーティングは、実施の形態1に係るものと同様の光ファイバグレーティングデバイスを用いて構成した光共振器を備えるものである。
(Embodiment 3)
Next, an optical fiber laser according to Embodiment 3 of the present invention will be described. The optical fiber grating according to the third embodiment includes an optical resonator configured using the same optical fiber grating device as that according to the first embodiment.

図10は、本実施の形態3に係る光ファイバレーザを模式的に表した概略図である。この光ファイバレーザ10は、励起光源である半導体レーザ素子21〜2nと、半導体レーザ素子21〜2nが出力する励起光を導波するマルチモード光ファイバ211〜21nと、マルチモード光ファイバ211〜21nが導波した励起光を結合し、ダブルクラッド光ファイバ31から出力させるTFB(Tapered Fiber Bundle)3と、光ファイバグレーティングデバイス1と同様の構成を有し、ダブルクラッド光ファイバ31と接続点C1において接続する光ファイバグレーティングデバイス1bと、光ファイバグレーティングデバイス1bと接続点C2において接続するダブルクラッド型の希土類元素添加光ファイバ4と、光ファイバグレーティングデバイス1と同様の構成を有し、希土類元素添加光ファイバ4と接続点C3において接続する光ファイバグレーティングデバイス1cと、光ファイバグレーティングデバイス1cと接続点C4において接続するシングルモード光ファイバ51を備えるコリメータ部品5と、コリメータ部品5の出力端側に配置されるとともに、光学ステージ61に載置された波長変換素子6とを備える。 FIG. 10 is a schematic diagram schematically showing the optical fiber laser according to the third embodiment. This optical fiber laser 10 includes semiconductor laser elements 2 1 to 2 n that are pumping light sources, multimode optical fibers 21 1 to 21 n that guide pumping light output from the semiconductor laser elements 2 1 to 2 n , The TFB (Tapered Fiber Bundle) 3 that couples the pumping light guided by the mode optical fibers 21 1 to 21 n and outputs it from the double clad optical fiber 31, and the optical fiber grating device 1 have the same configuration. An optical fiber grating device 1b connected to the optical fiber 31 at the connection point C1, a double clad rare earth element-doped optical fiber 4 connected to the optical fiber grating device 1b at the connection point C2, and a configuration similar to the optical fiber grating device 1 And is connected to the rare earth element-doped optical fiber 4 at the connection point C3. The fiber grating device 1c, the collimator component 5 including the single mode optical fiber 51 connected to the optical fiber grating device 1c at the connection point C4, and the collimator component 5 are disposed on the output end side and mounted on the optical stage 61. The wavelength conversion element 6 is provided.

半導体レーザ素子21〜2nが出力する励起光の波長は915nm近傍である。また、光ファイバグレーティングデバイス1bは、中心波長が1064nmであり、中心波長およびその周辺の約2nmの幅の波長帯域における反射率が約100%であり、波長915nmの光はほとんど透過する。また、光ファイバグレーティングデバイス1cは、中心波長が1064nmであり、中心波長における反射率が10〜30%程度であり、反射波長帯域の半値全幅が約0.1nmであり、波長915nmの光はほとんど透過する。したがって、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cは、波長1064nmの光に対して光共振器を構成する。 The wavelength of the excitation light output from the semiconductor laser elements 2 1 to 2 n is around 915 nm. The optical fiber grating device 1b has a center wavelength of 1064 nm, a reflectivity of about 100% in the wavelength band having a width of about 2 nm around the center wavelength and its periphery, and light with a wavelength of 915 nm is almost transmitted. The optical fiber grating device 1c has a center wavelength of 1064 nm, a reflectivity at the center wavelength of about 10 to 30%, a full width at half maximum of the reflection wavelength band of about 0.1 nm, and most of light with a wavelength of 915 nm. To Penetrate. Therefore, the optical fiber grating devices 1b and 1c constitute an optical resonator with respect to light having a wavelength of 1064 nm.

また、希土類元素添加光ファイバ4は、コア部にイットリビウム(Yb)イオンが添加されている。また、波長変換素子6は、PPLN等の非線形光学媒質からなる第二次高調波発生(SHG)素子である。また、光学ステージ61は、波長変換素子6の位置と角度を調整するものである。さらに、光学ステージ61は、ペルチェ素子などの冷却素子あるいはヒータなどの加熱素子が内蔵されており、これらの冷却または加熱素子によって波長変換素子6を所望の温度に調整する。   The rare earth element-doped optical fiber 4 has yttrium (Yb) ions added to the core. The wavelength conversion element 6 is a second harmonic generation (SHG) element made of a nonlinear optical medium such as PPLN. The optical stage 61 is for adjusting the position and angle of the wavelength conversion element 6. Furthermore, the optical stage 61 incorporates a cooling element such as a Peltier element or a heating element such as a heater, and adjusts the wavelength conversion element 6 to a desired temperature by these cooling or heating elements.

つぎに、この光ファイバレーザ10の動作について説明する。半導体レーザ素子21〜2nが波長915nm近傍の励起光を出力すると、マルチモード光ファイバ211〜21nが各励起光を導波し、TFB3が導波した各励起光を結合してダブルクラッド光ファイバ31に出力する。ダブルクラッド光ファイバ31は結合した励起光をマルチモードで伝搬する。その後、光ファイバグレーティングデバイス1bがダブルクラッド光ファイバ31を伝搬した励起光を透過して、希土類元素添加光ファイバ4に到達させる。 Next, the operation of the optical fiber laser 10 will be described. When the semiconductor laser elements 2 1 to 2 n output pumping light having a wavelength in the vicinity of 915 nm, the multimode optical fibers 21 1 to 21 n guide each pumping light and combine the pumping lights guided by the TFB 3 to double them. Output to the clad optical fiber 31. The double clad optical fiber 31 propagates coupled pumping light in multimode. Thereafter, the optical fiber grating device 1 b transmits the excitation light propagated through the double clad optical fiber 31 to reach the rare earth element-doped optical fiber 4.

希土類元素添加光ファイバ4に到達した励起光は、希土類元素添加光ファイバ4の内側クラッド内をマルチモードで伝搬しながら、希土類元素添加光ファイバ4のコア部に添加したYbイオンを光励起し、波長1064nmを含む波長帯域を有する蛍光を発光させる。この蛍光は、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cが構成する光共振器内をシングルモードで往復しながら、Ybイオンの誘導放出作用により増幅され、発振波長1064nmにおいてレーザ発振する。   The excitation light that has reached the rare earth element-doped optical fiber 4 is optically pumped with Yb ions added to the core of the rare earth element-doped optical fiber 4 while propagating in the inner cladding of the rare earth element-doped optical fiber 4 in multimode. Fluorescence having a wavelength band including 1064 nm is emitted. This fluorescence is amplified by the stimulated emission action of Yb ions while reciprocating in the optical resonator formed by the optical fiber grating devices 1b and 1c in a single mode, and laser oscillation occurs at an oscillation wavelength of 1064 nm.

図11は、各光ファイバグレーティングデバイス1b、1cの反射スペクトルと、レーザ発振光の出力スペクトルとの関係を示す図である。なお、図11において、波長λ1は1064nmであり、反射率R1は約100%であり、反射率R2は10〜30%程度である。図11に示すように、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cは、それぞれ波長λ1を中心波長とする反射スペクトルS1、S2を有し、両者の反射波長帯域は重畳している。その結果、レーザ光は、出力スペクトルS3が示すように、重畳した反射帯域内の波長λ1で発振する。   FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the reflection spectra of the optical fiber grating devices 1b and 1c and the output spectrum of the laser oscillation light. In FIG. 11, the wavelength λ1 is 1064 nm, the reflectance R1 is about 100%, and the reflectance R2 is about 10 to 30%. As shown in FIG. 11, the optical fiber grating devices 1b and 1c have reflection spectra S1 and S2 each having a wavelength λ1 as a central wavelength, and the reflection wavelength bands of both are superimposed. As a result, the laser light oscillates at a wavelength λ1 within the superimposed reflection band, as indicated by the output spectrum S3.

以上説明したように、発振波長1064nmのレーザ光が、光ファイバグレーティングデバイス1cの一端から出力する。つぎに、シングルモード光ファイバ51は、このレーザ光をコリメータ部品5に導波し、コリメータ部品5はこのレーザ光を平行光であるレーザ光L1として出力する。このレーザ光L1は、波長変換素子6に入力する。そして、波長変換素子6は、レーザ光L1を受付け、レーザ光L1の波長を変換し、波長532nmの波長変換レーザ光L2として出力する。なお、効率的に波長変換を行うためには、波長変換素子6が、レーザ光L1に対して、位相整合条件を満たすように配置されていることが好ましい。そのため、波長変換素子6は、光学ステージ61によって、その角度、位置、および温度が、位相整合条件を満たすように調整されている。   As described above, laser light having an oscillation wavelength of 1064 nm is output from one end of the optical fiber grating device 1c. Next, the single mode optical fiber 51 guides the laser light to the collimator component 5, and the collimator component 5 outputs the laser light as laser light L 1 that is parallel light. The laser light L1 is input to the wavelength conversion element 6. Then, the wavelength conversion element 6 receives the laser beam L1, converts the wavelength of the laser beam L1, and outputs it as a wavelength conversion laser beam L2 having a wavelength of 532 nm. In addition, in order to perform wavelength conversion efficiently, it is preferable that the wavelength conversion element 6 is disposed so as to satisfy the phase matching condition with respect to the laser light L1. Therefore, the wavelength conversion element 6 is adjusted by the optical stage 61 so that the angle, position, and temperature satisfy the phase matching condition.

ここで、半導体レーザ素子21〜2nが出力する各励起光の強度はたとえば10〜50Wであり、光ファイバグレーティングデバイス1bにはこれらの励起光が結合した強度50W以上の励起光が入力する。一方、光ファイバグレーティングデバイス1cの一端から出力するレーザ光の強度は1〜10Wである。すなわち、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cには、極めて高い強度の光が入力することとなる。 Here, the intensity of each pumping light output from the semiconductor laser elements 2 1 to 2 n is, for example, 10 to 50 W, and pumping light having an intensity of 50 W or more obtained by combining these pumping lights is input to the optical fiber grating device 1 b. . On the other hand, the intensity of the laser beam output from one end of the optical fiber grating device 1c is 1 to 10W. That is, extremely high intensity light is input to the optical fiber grating devices 1b and 1c.

しかしながら、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cは、実施の形態1に係る光ファイバグレーティングデバイス1と同様の構成を有するので、上述したような極めて高い強度の光が入力し、かつその強度が変化しても、反射波長帯域の変化がきわめて少ない。また、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cは、環境温度が変化しても、反射波長帯域の変化がきわめて少ない。したがって、この光ファイバレーザ10は、その出力強度や環境温度にかかわらず、発振波長がきわめて安定したレーザ光L1を出力することができる。   However, since the optical fiber grating devices 1b and 1c have the same configuration as that of the optical fiber grating device 1 according to the first embodiment, extremely high intensity light as described above is input and the intensity changes. However, the change in the reflection wavelength band is extremely small. Further, the optical fiber grating devices 1b and 1c have very little change in the reflection wavelength band even when the environmental temperature changes. Therefore, the optical fiber laser 10 can output the laser light L1 whose oscillation wavelength is extremely stable regardless of the output intensity or the environmental temperature.

さらに、上述した波長変換素子6の位相整合条件は、レーザ光L1の波長にも依存し、レーザ光L1の波長が位相整合条件を満たす波長から外れると、波長変換素子6の波長変換効率は急激に低下する。しかしながら、この光ファイバレーザ10は、レーザ光L1の波長がきわめて安定しているので、その出力強度や環境温度にかかわらず、波長変換効率を高い値に維持することができる。また、この光ファイバレーザ10は、光ファイバグレーティングデバイス1b、1cの中心波長を調整するための特別な温度調整手段を設ける必要がないので、低コストなものとなる。   Further, the phase matching condition of the wavelength conversion element 6 described above also depends on the wavelength of the laser light L1, and when the wavelength of the laser light L1 deviates from the wavelength satisfying the phase matching condition, the wavelength conversion efficiency of the wavelength conversion element 6 increases rapidly. To drop. However, since the wavelength of the laser beam L1 is extremely stable, the optical fiber laser 10 can maintain the wavelength conversion efficiency at a high value regardless of the output intensity and the environmental temperature. Further, the optical fiber laser 10 is low in cost since it is not necessary to provide a special temperature adjusting means for adjusting the center wavelength of the optical fiber grating devices 1b and 1c.

なお、この光ファイバレーザ10が備える光ファイバグレーティングデバイス1bにおいては、樹脂部材の屈折率が、クラッド部の屈折率よりも低いものとなっている。その結果、このクラッド部をマルチモードで伝搬する励起光が樹脂部材に漏洩しない。したがって、この光ファイバグレーティングデバイス1bは、励起光を効果的に希土類元素添加光ファイバ4に到達させることができる。   In the optical fiber grating device 1b provided in the optical fiber laser 10, the refractive index of the resin member is lower than the refractive index of the cladding part. As a result, the excitation light propagating in the clad portion in multimode does not leak into the resin member. Therefore, the optical fiber grating device 1b can effectively make the excitation light reach the rare earth element-doped optical fiber 4.

また、上述したように、光ファイバグレーティングデバイス1cは、波長915nmの励起光をほとんど透過する。このため、希土類元素添加光ファイバ4において吸収されなかった残留励起光が、光ファイバグレーティングデバイス1cとシングルモード光ファイバ51との接続点C4に到達し、接続点C4においてシングルモード光ファイバ51のクラッド部に結合して伝搬し、波長変換素子6に到達してノイズ光を発生させる場合がある。そこで、この光ファイバレーザ10においては、上述したように、光ファイバグレーティングデバイス1cにおいて、樹脂部材の屈折率をクラッド部の屈折率よりも高くすることが好ましい。このようにすれば、光ファイバグレーティングデバイス1cにおいて、クラッド部を伝搬する残留励起光が樹脂部材に漏洩するので、残留励起光が接続点C4に到達することが防止される。その結果、波長変換素子6においてノイズ光が発生するのを防止できる。   Further, as described above, the optical fiber grating device 1c almost transmits the excitation light having a wavelength of 915 nm. Therefore, the residual pumping light that has not been absorbed in the rare earth element-doped optical fiber 4 reaches the connection point C4 between the optical fiber grating device 1c and the single mode optical fiber 51, and the cladding of the single mode optical fiber 51 at the connection point C4. In some cases, noise light is generated by reaching the wavelength conversion element 6 and propagating. Therefore, in the optical fiber laser 10, as described above, in the optical fiber grating device 1c, it is preferable to make the refractive index of the resin member higher than the refractive index of the cladding portion. In this way, in the optical fiber grating device 1c, the residual excitation light propagating through the cladding leaks into the resin member, so that the residual excitation light is prevented from reaching the connection point C4. As a result, generation of noise light in the wavelength conversion element 6 can be prevented.

(実施の形態4)
つぎに、本発明の実施の形態4に係る光ファイバレーザについて説明する。本実施の形態4に係る光ファイバレーザは、実施の形態3に係る光ファイバレーザと同様の構成を有するが、希土類元素添加光ファイバおよび2つの光ファイバグレーティングが、偏波保持型光ファイバ構造を有し、単一偏波のレーザ光を発振させるものである。以下、本実施の形態3に係る希土類元素添加光ファイバおよび2つの光ファイバグレーティングデバイスの光ファイバ部について具体的に説明する。
(Embodiment 4)
Next, an optical fiber laser according to Embodiment 4 of the present invention will be described. The optical fiber laser according to the fourth embodiment has the same configuration as the optical fiber laser according to the third embodiment, but the rare earth element-doped optical fiber and the two optical fiber gratings have a polarization maintaining optical fiber structure. And oscillates single-polarized laser light. Hereinafter, the rare earth element-doped optical fiber and the optical fiber portion of the two optical fiber grating devices according to the third embodiment will be specifically described.

図12は、本実施の形態4に係る希土類元素添加光ファイバ4と2つの光ファイバグレーティングデバイス1b、1cの光ファイバ部111b、111cとの各接続部を模式的に表した概略図である。なお、方向を説明するために、図12においてXY軸を定義している。図12に示すように、光ファイバ部111b、111cは、いずれも互いに直交する2軸方向についてコア部に複屈折特性を持たせた光ファイバであり、具体的には、それぞれコア部1111b、1111cと、クラッド部1112b、1112cと、クラッド部1112b、1112c内に、コア部1111bまたは1111cと一直線上に配列するように形成した応力付与母材1113b、1113cとを備えるPANDA型の偏波保持型光ファイバである。また、光ファイバ部111b、111cは、それぞれコア部1111b、1111cにグレーティングが形成されたグレーティング形成部113b、113cを有する。   FIG. 12 is a schematic diagram schematically showing each connection portion between the rare earth element-doped optical fiber 4 according to the fourth embodiment and the optical fiber portions 111b and 111c of the two optical fiber grating devices 1b and 1c. In order to describe the direction, the XY axes are defined in FIG. As shown in FIG. 12, the optical fiber portions 111b and 111c are both optical fibers in which the core portion has birefringence characteristics in the biaxial directions orthogonal to each other. Specifically, the core portions 1111b and 1111c are respectively provided. PANDA-type polarization-maintaining light comprising: clad portions 1112b and 1112c; and stress applying base materials 1113b and 1113c formed in the clad portions 1112b and 1112c so as to be aligned with the core portions 1111b or 1111c. Fiber. The optical fiber portions 111b and 111c have grating forming portions 113b and 113c in which gratings are formed on the core portions 1111b and 1111c, respectively.

そして、光ファイバ部111b、111cは、応力付与母材1113bまたは1113cによって、互いに直交し、屈折率が異なるスロー軸(Slow軸)とファースト軸(Fast軸)とが形成されている。光ファイバ部111bについては、Slow軸がX軸方向に平行になっており、Fast軸がY軸方向に平行になっている。また、光ファイバ部111cについては、Fast軸がX軸方向に平行になっており、Slow軸がY軸方向に平行になっている。   The optical fiber portions 111b and 111c are formed with a slow axis (Slow axis) and a fast axis (Fast axis) which are orthogonal to each other and have different refractive indexes by the stress applying base material 1113b or 1113c. Regarding the optical fiber portion 111b, the Slow axis is parallel to the X-axis direction, and the Fast axis is parallel to the Y-axis direction. For the optical fiber portion 111c, the Fast axis is parallel to the X-axis direction, and the Slow axis is parallel to the Y-axis direction.

一方、希土類元素添加光ファイバ4も、コア部41と、クラッド部42と、クラッド部42内に、コア部41と一直線上に配列するように形成した応力付与母材43とを備えるPANDA型の偏波保持型光ファイバである。   On the other hand, the rare earth element-doped optical fiber 4 is also of a PANDA type including a core portion 41, a clad portion 42, and a stress applying base material 43 formed so as to be aligned with the core portion 41 in the clad portion 42. This is a polarization maintaining optical fiber.

そして、希土類元素添加光ファイバ4も、応力付与母材43によって、直交するSlow軸とFast軸とが形成されている。なお、希土類元素添加光ファイバ4については、Fast軸がX軸方向に平行になっており、Slow軸がY軸方向に平行になっている。   In the rare earth element-doped optical fiber 4, the Slow axis and the Fast axis that are orthogonal to each other are formed by the stress applying base material 43. In the rare earth element-doped optical fiber 4, the Fast axis is parallel to the X-axis direction, and the Slow axis is parallel to the Y-axis direction.

そして、光ファイバ部111bと希土類元素添加光ファイバ4とは、接続点C2において、互いのSlow軸が互いのFast軸と平行になるように接続している。一方、光ファイバ部111cと希土類元素添加光ファイバ4とは、接続点C3において、互いのSlow軸とSlow軸とが平行になるように接続している。その結果、光ファイバ部111b、111cは、互いのSlow軸が互いのFast軸と平行になるように希土類元素添加光ファイバ4に接続していることとなる。   The optical fiber portion 111b and the rare earth element-doped optical fiber 4 are connected at the connection point C2 so that their slow axes are parallel to their fast axes. On the other hand, the optical fiber portion 111c and the rare earth element-doped optical fiber 4 are connected so that their Slow axes and Slow axes are parallel at the connection point C3. As a result, the optical fiber portions 111b and 111c are connected to the rare earth element-doped optical fiber 4 so that their slow axes are parallel to their fast axes.

本実施の形態4に係る光ファイバレーザは、光ファイバ部111b、111cと希土類元素添加光ファイバ4とを上記のように接続していることによって、単一偏波のレーザ光を発振することができる。以下、具体的に説明する。   The optical fiber laser according to Embodiment 4 can oscillate single-polarized laser light by connecting the optical fiber portions 111b and 111c and the rare earth element-doped optical fiber 4 as described above. it can. This will be specifically described below.

図13は、各光ファイバ部111b、111cの反射スペクトルと、レーザ発振光の出力スペクトルとの関係を示す図である。なお、図13において、波長λ1は1064nmであり、反射率R1は約100%であり、反射率R2は10〜30%程度である。ここで、光ファイバ部111b、111cは、コア部に複屈折性を持たせたものなので、反射スペクトルには、Slow軸とFast軸のそれぞれに対応する2つの反射波長帯が現われる。   FIG. 13 is a diagram illustrating the relationship between the reflection spectrum of each of the optical fiber portions 111b and 111c and the output spectrum of the laser oscillation light. In FIG. 13, the wavelength λ1 is 1064 nm, the reflectance R1 is about 100%, and the reflectance R2 is about 10 to 30%. Here, since the optical fiber portions 111b and 111c have a birefringence in the core portion, two reflection wavelength bands corresponding to the Slow axis and the Fast axis appear in the reflection spectrum.

ここで、この複屈折率差を調整して、図13に示すように、光ファイバ部111bの反射スペクトルS4を、Fast軸方向の偏光を有する光に対しては波長λ1を中心波長とするピークを有し、Slow軸方向の偏光を有する光に対しては波長λ2を中心波長とするピークを有するスペクトル形状となるようにしておく。同様に、光ファイバ部111cの反射スペクトルS5を、Fast軸方向の偏光を有する光に対しては波長λ3を中心波長とするピークを有し、Slow軸方向の偏光を有する光に対しては波長λ1を中心波長とするピークを有するスペクトル形状となるようにしておく。すなわち、光ファイバ部111bのFast軸方向の偏光を有する光に対する反射波長帯域と、光ファイバ部111cのSlow軸方向の偏光を有する光に対する反射波長帯域とを重畳させるようにしておく。   Here, by adjusting this birefringence difference, as shown in FIG. 13, the reflection spectrum S4 of the optical fiber portion 111b is a peak centered at the wavelength λ1 for light having polarization in the Fast axis direction. For light having polarization in the slow axis direction, a spectral shape having a peak with the wavelength λ2 as the center wavelength is set. Similarly, the reflection spectrum S5 of the optical fiber portion 111c has a peak centered on the wavelength λ3 for light having polarization in the Fast axis direction, and has a wavelength for light having polarization in the Slow axis direction. A spectral shape having a peak with λ1 as the center wavelength is set. That is, the reflection wavelength band for light having polarization in the Fast axis direction of the optical fiber portion 111b and the reflection wavelength band for light having polarization in the Slow axis direction of the optical fiber portion 111c are overlapped.

すると、希土類元素添加光ファイバ4において発生した蛍光のうち、Y軸方向の直線偏波を有するものについては、希土類元素添加光ファイバ4内をその偏光方向を維持したまま伝搬する。そして、光ファイバ部111b内に入射すると、Fast軸方向の偏光方向を維持したまま伝搬し、グレーティング形成部113bのグレーティングによって、波長λ1をピークとする反射帯域内の光だけが反射される。   Then, among the fluorescence generated in the rare earth element-doped optical fiber 4, one having linear polarization in the Y-axis direction propagates in the rare earth element-doped optical fiber 4 while maintaining the polarization direction. When entering the optical fiber portion 111b, the light propagates while maintaining the polarization direction in the Fast axis direction, and only the light within the reflection band having the wavelength λ1 as the peak is reflected by the grating of the grating forming portion 113b.

この反射した光は、希土類元素添加光ファイバ4内をその偏光方向を維持したまま伝搬し、光ファイバ部111cに入射すると、Slow軸方向の偏光方向を維持したまま伝搬し、グレーティング形成部113cのグレーティングによって、再び反射される。すなわち、Y軸方向の直線偏波を有する光に対しては、光ファイバ部111b、111cが光共振器を構成することになる。したがって、上記の反射が繰り返される結果、中心波長がλ1の出力スペクトルS6を有し、Y軸方向の直線偏波を有するレーザ光が発振する。   The reflected light propagates in the rare earth element-doped optical fiber 4 while maintaining its polarization direction, and enters the optical fiber portion 111c, and propagates while maintaining the polarization direction in the slow axis direction. Reflected again by the grating. That is, for light having linearly polarized waves in the Y-axis direction, the optical fiber portions 111b and 111c constitute an optical resonator. Therefore, as a result of the above reflection being repeated, laser light having an output spectrum S6 with a center wavelength of λ1 and linearly polarized in the Y-axis direction oscillates.

一方、希土類元素添加光ファイバ4において発生した蛍光のうち、X軸方向の直線偏波を有するものについては、光ファイバ部111b内に入射すると、Slow軸方向の偏光方向を維持したまま伝搬し、グレーティング形成部113bのグレーティングによって、波長λ2をピークとする反射帯域内の光だけが反射される。   On the other hand, among the fluorescence generated in the rare earth element-doped optical fiber 4, one having linear polarization in the X-axis direction propagates while maintaining the polarization direction in the Slow axis direction when entering the optical fiber portion 111 b, Only the light within the reflection band having the wavelength λ2 as the peak is reflected by the grating of the grating forming portion 113b.

しかし、この反射した光は、光ファイバ部111cに入射すると、Slow軸方向の偏光方向を維持したまま伝搬し、グレーティング形成部113cのグレーティングを透過してしまうので、レーザ発振は起こらない。同様に、X軸方向の直線偏波を有する光が光ファイバ部111c内に入射すると、グレーティング形成部113cのグレーティングによって、波長λ3をピークとする反射帯域内の光だけが反射されるが、この反射した光はグレーティング形成部113bのグレーティングを透過するので、レーザ発振は起こらない。   However, when the reflected light is incident on the optical fiber portion 111c, it propagates while maintaining the polarization direction in the slow axis direction and passes through the grating of the grating forming portion 113c, so that laser oscillation does not occur. Similarly, when light having linear polarization in the X-axis direction enters the optical fiber portion 111c, only the light within the reflection band having the wavelength λ3 as a peak is reflected by the grating of the grating forming portion 113c. Since the reflected light passes through the grating of the grating forming portion 113b, laser oscillation does not occur.

以上説明したように、本実施の形態4に係る光ファイバレーザにおいては、Y軸方向の直線偏波を有するレーザ光のみが発振する。すなわち、この光ファイバレーザは、単一偏波のレーザ光を発振する単一偏波光ファイバレーザとなる。さらに、この光ファイバレーザは、実施の形態3に係る光ファイバレーザと同様の構成を有するので、その出力強度や環境温度にかかわらず、発振波長がきわめて安定したレーザ光および波長変換レーザ光を出力することができる。   As described above, in the optical fiber laser according to the fourth embodiment, only the laser light having linear polarization in the Y-axis direction oscillates. That is, this optical fiber laser is a single-polarization optical fiber laser that oscillates single-polarization laser light. Further, since this optical fiber laser has the same configuration as that of the optical fiber laser according to the third embodiment, laser light and wavelength-converted laser light whose oscillation wavelength is extremely stable are output regardless of the output intensity and environmental temperature. can do.

なお、上記実施の形態4では、偏波保持型光ファイバとしてPANDA型の光ファイバを用いたが、本発明はこれに限らず、コア部の断面形状が楕円である楕円コア型の光ファイバを用いてもよい。なお、楕円コア型の光ファイバにおいては、一般的にFast軸とSlow軸との複屈折率差が小さいので、各軸に対応する2つの反射波長帯域が近接する。しかし、本発明に係る光ファイバグレーティングデバイスは、環境温度や入射する光の強度に関わらず、反射波長帯域がシフトせずに安定しているので、2つの反射波長帯域が近接しているとしても、重畳することはない。その結果、環境温度や入射する光の強度に関わらず、確実に単一偏波でのレーザ発振が維持される。   In the fourth embodiment, a PANDA optical fiber is used as the polarization maintaining optical fiber. However, the present invention is not limited to this, and an elliptical core optical fiber having an elliptical cross-sectional shape is used. It may be used. In the elliptical core type optical fiber, since the birefringence difference between the Fast axis and the Slow axis is generally small, the two reflection wavelength bands corresponding to the respective axes are close to each other. However, the optical fiber grating device according to the present invention is stable without shifting the reflection wavelength band regardless of the environmental temperature or the intensity of incident light, so even if the two reflection wavelength bands are close to each other. , Do not overlap. As a result, laser oscillation with a single polarization is reliably maintained regardless of the ambient temperature and the intensity of incident light.

(実施例、比較例)
本発明の実施例として、実施の形態4に係る光ファイバレーザと同様のものを作製し、環境温度25℃において、励起光源から出力する励起光の強度を変化させながらコリメータ部品におけるレーザ光の出力および波長を測定し、レーザ光の出力と波長の変化量との関係について調べた。また、比較例として、実施例に係る光ファイバレーザと同様の構成を有するが、励起光源側に配置する光ファイバグレーティングとして温度補償機構を備えていないものを用い、コリメータ部品側に配置する光ファイバグレーティングとして特許文献2に開示されたものと同様の温度補償機構を備えるものと用いた光ファイバレーザを作製し、実施例と同様の方法を用いてレーザ光の出力と波長の変化量との関係について調べた。
(Examples and comparative examples)
As an example of the present invention, an optical fiber laser similar to the optical fiber laser according to the fourth embodiment is manufactured, and the laser light output from the collimator component is changed while changing the intensity of the excitation light output from the excitation light source at the environmental temperature of 25 ° C. And the wavelength was measured, and the relationship between the output of the laser beam and the amount of change in wavelength was investigated. Further, as a comparative example, an optical fiber having the same configuration as that of the optical fiber laser according to the embodiment but having no temperature compensation mechanism as an optical fiber grating disposed on the pumping light source side is disposed on the collimator component side. An optical fiber laser using a grating having a temperature compensation mechanism similar to that disclosed in Patent Document 2 is manufactured, and the relationship between the output of the laser beam and the amount of change in wavelength using the same method as in the example. Investigated about.

図14は、実施例と比較例とについて、レーザ光の出力と波長の変化量との関係について示す図である。なお、波長変化量は、出力が約1Wの場合の発振波長を基準としたものである。図14に示すように、実施例に係る光ファイバレーザにおいては、出力に対する波長変化量が小さく、発振波長がきわめて安定していることが確認された。一方、比較例に係る光ファイバレーザにおいては、出力に対する波長変化量が、実施例の場合の6倍以上であり、きわめて大きかった。   FIG. 14 is a diagram illustrating the relationship between the output of the laser beam and the amount of change in wavelength for the example and the comparative example. The amount of wavelength change is based on the oscillation wavelength when the output is about 1 W. As shown in FIG. 14, in the optical fiber laser according to the example, it was confirmed that the amount of wavelength change with respect to the output was small and the oscillation wavelength was extremely stable. On the other hand, in the optical fiber laser according to the comparative example, the amount of wavelength change with respect to the output was 6 times or more that in the example, which was extremely large.

つぎに、環境温度を変化させた場合の実施例および比較例に係る光ファイバレーザの特性の変化について測定した。はじめに、環境温度を変化させた場合の、各光ファイバレーザに用いられている光ファイバグレーティングデバイスの反射中心波長の変化について測定した。   Next, changes in the characteristics of the optical fiber lasers according to the example and the comparative example when the environmental temperature was changed were measured. First, the change in the reflection center wavelength of the optical fiber grating device used in each optical fiber laser when the environmental temperature was changed was measured.

図15は、実施例と比較例とについて、環境温度と各光ファイバグレーティングデバイスの反射中心波長との関係について示す図である。なお、図15において、HRは、励起光源側に配置する光ファイバグレーティングデバイスを表し、OCは、コリメータ部側に配置する光ファイバグレーティングデバイスを表す。図15に示すように、温度補償機構を備えていない比較例のHRは、中心波長の環境温度依存性が極めて大きく、その温度係数は24.2pm/℃であった。一方、従来の温度補償機構を備える比較例のOC、および実施例のHR、OCは、温度係数が小さく、その値はそれぞれ1.5pm/℃、0.6pm/℃、3.3pm/℃であった。   FIG. 15 is a diagram illustrating the relationship between the environmental temperature and the reflection center wavelength of each optical fiber grating device in the example and the comparative example. In FIG. 15, HR represents an optical fiber grating device disposed on the pumping light source side, and OC represents an optical fiber grating device disposed on the collimator unit side. As shown in FIG. 15, the HR of the comparative example not provided with the temperature compensation mechanism has an extremely large environmental temperature dependence of the center wavelength, and its temperature coefficient is 24.2 pm / ° C. On the other hand, the OC of the comparative example having the conventional temperature compensation mechanism and the HR and OC of the examples have small temperature coefficients, and the values are 1.5 pm / ° C., 0.6 pm / ° C., and 3.3 pm / ° C., respectively. there were.

つぎに、環境温度を変化させた場合の、実施例および比較例に係る光ファイバレーザの出力安定性について測定した。具体的には、環境温度を25℃として、各光ファイバレーザのレーザ光出力が約1Wになるように各励起光の強度を固定し、その後環境温度を変化させながら、各レーザ光出力の1時間以内の出力の変動幅を測定した。   Next, the output stability of the optical fiber lasers according to Examples and Comparative Examples when the environmental temperature was changed was measured. More specifically, the ambient temperature is set to 25 ° C., the intensity of each excitation light is fixed so that the laser light output of each optical fiber laser is about 1 W, and then the laser light output is changed to 1 while changing the environmental temperature. The fluctuation range of the output within the time was measured.

図16は、実施例と比較例とについて、環境温度とレーザ光出力の変動幅との関係について示す図である。図16に示すように、実施例に係る光ファイバレーザにおいては、環境温度が0〜70℃にわたって、レーザ光出力の変動幅が2%以内であり、きわめて安定していた。一方、比較例に係る光ファイバレーザにおいては、環境温度が変化するとHRの中心波長が大きく変化するので、環境温度が25℃前後の場合にしかレーザ発振が起こらず、またレーザ発振が起こったとしても、レーザ光出力の変動幅は大きく、きわめて不安定であった。   FIG. 16 is a diagram illustrating the relationship between the environmental temperature and the fluctuation range of the laser beam output for the example and the comparative example. As shown in FIG. 16, in the optical fiber laser according to the example, the fluctuation range of the laser light output was within 2% over the environment temperature of 0 to 70 ° C., and was extremely stable. On the other hand, in the optical fiber laser according to the comparative example, when the environmental temperature changes, the center wavelength of the HR changes greatly, so that laser oscillation occurs only when the environmental temperature is around 25 ° C. However, the fluctuation range of the laser light output was large and extremely unstable.

また、実施例に係る光ファイバレーザの励起光の強度を増加し、レーザ光出力を約10Wとしたが、レーザ光出力の変動幅はきわめて安定していた。一方、環境温度25℃において、比較例に係る光ファイバレーザの励起光の強度を増加したところ、やがてレーザ発振が起こらなくなった。   Further, although the intensity of the excitation light of the optical fiber laser according to the example was increased and the laser light output was about 10 W, the fluctuation range of the laser light output was very stable. On the other hand, when the intensity of the pumping light of the optical fiber laser according to the comparative example was increased at an environmental temperature of 25 ° C., laser oscillation eventually stopped.

なお、上記実施の形態4においては、光ファイバ部111b、111cが、互いのSlow軸が互いのFast軸と平行になるように希土類元素添加光ファイバ4に接続している。しかしながら、たとえば図12において、光ファイバ部111bを中心軸の回りに時計回りに90度回転させて希土類元素添加光ファイバ4と接続して、光ファイバ部111b、111cが、互いのSlow軸とFast軸とが平行になるように希土類元素添加光ファイバ4に接続するようにしてもよい。この場合は、たとえばY軸方向の直線偏波を有するレーザ光のみを発振させる場合には、複屈折率差を調整し、光ファイバ部111b、111cのSlow軸方向の偏光を有する光に対する反射波長帯域同士が重畳させるようにし、Fast軸方向の偏光を有する光に対する反射波長帯域同士は重畳しないようにしておく。   In the fourth embodiment, the optical fiber portions 111b and 111c are connected to the rare earth element-doped optical fiber 4 so that their slow axes are parallel to their fast axes. However, for example, in FIG. 12, the optical fiber portion 111b is rotated 90 degrees clockwise around the central axis and connected to the rare earth element-doped optical fiber 4, and the optical fiber portions 111b and 111c are connected to each other with the Slow axis and the Fast axis. You may make it connect with the rare earth element addition optical fiber 4 so that an axis | shaft may become parallel. In this case, for example, when only laser light having linear polarization in the Y-axis direction is oscillated, the birefringence difference is adjusted, and the reflection wavelength for light having polarization in the Slow axis direction of the optical fiber portions 111b and 111c. The bands are overlapped, and the reflection wavelength bands for the light having the polarization in the Fast axis direction are not overlapped.

また、上記実施の形態3,4では、希土類元素添加光ファイバのコア部にYbイオンを添加したが、エルビウム(Er)イオンを添加したり、YbイオンとErイオンとを共添加したりしてもよい。この場合、励起光の波長はたとえば980nmとする。また、レーザ発振波長については、1064nmに限られず、各光ファイバグレーティングの中心波長を調整すれば発振波長を調整できる。   In the third and fourth embodiments, Yb ions are added to the core of the rare earth element-doped optical fiber, but erbium (Er) ions are added or Yb ions and Er ions are added together. Also good. In this case, the wavelength of excitation light is 980 nm, for example. Further, the laser oscillation wavelength is not limited to 1064 nm, and the oscillation wavelength can be adjusted by adjusting the center wavelength of each optical fiber grating.

また、上記実施の形態1〜4では、光ファイバグレーティングデバイスおよび希土類元素添加光ファイバとしてダブルクラッド型光ファイバを用いたが、いずれの場合もシングルモード光ファイバを用いてもよい。   In the first to fourth embodiments, the double-clad optical fiber is used as the optical fiber grating device and the rare earth element-doped optical fiber. However, in either case, a single mode optical fiber may be used.

また、上記実施の形態1、3、4では、収容溝は、支持溝よりも幅広且つ深底に形成されているが、基台の加工性を高めるために、実施の形態2のように、収容溝と支持溝とを同一形状のV字溝としてもよい。   In the first, third, and fourth embodiments, the housing groove is formed wider and deeper than the support groove, but in order to improve the workability of the base, as in the second embodiment, The housing groove and the support groove may be V-shaped grooves having the same shape.

実施の形態1に係る光ファイバグレーティングデバイスを模式的に表した斜視概略図である。1 is a schematic perspective view schematically showing an optical fiber grating device according to Embodiment 1. FIG. 図1に示す光ファイバグレーティングの概略断面と対応する屈折率分布とを示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a schematic cross section of the optical fiber grating shown in FIG. 1 and a corresponding refractive index distribution. 図1に示す光ファイバグレーティングデバイスのA矢視図である。It is an A arrow directional view of the optical fiber grating device shown in FIG. 図1に示す光ファイバグレーティングデバイスのB矢視図である。It is a B arrow view of the optical fiber grating device shown in FIG. 図4におけるC-C線一部断面図である。FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along line CC in FIG. 4. 光ファイバグレーティングデバイスに光を入力した場合について説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the case where light is input into an optical fiber grating device. 実施の形態1の変形例に係る光ファイバグレーティングデバイスを模式的に表した斜視概略図である。FIG. 6 is a schematic perspective view schematically illustrating an optical fiber grating device according to a modification of the first embodiment. 実施の形態2に係る光ファイバグレーティングデバイスを模式的に表した斜視概略図である。6 is a schematic perspective view schematically illustrating an optical fiber grating device according to Embodiment 2. FIG. 図8に示す光ファイバグレーティングデバイスのE矢視図である。FIG. 9 is a view on arrow E of the optical fiber grating device shown in FIG. 8. 実施の形態3に係る光ファイバレーザを模式的に表した概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram schematically showing an optical fiber laser according to a third embodiment. 各光ファイバグレーティングデバイスの反射スペクトルと、レーザ発振光の出力スペクトルとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the reflection spectrum of each optical fiber grating device, and the output spectrum of a laser oscillation light. 実施の形態4に係る希土類元素添加光ファイバと2つの光ファイバグレーティングデバイスの光ファイバ部との各接続部を模式的に表した概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram schematically showing each connection portion between a rare earth element-doped optical fiber according to Embodiment 4 and optical fiber portions of two optical fiber grating devices. 各光ファイバ部の反射スペクトルと、レーザ発振光の出力スペクトルとの関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the reflection spectrum of each optical fiber part, and the output spectrum of a laser oscillation light. 実施例と比較例とについて、レーザ光の出力と波長の変化量との関係について示す図である。It is a figure shown about the relationship between the output of a laser beam, and the variation | change_quantity of a wavelength about an Example and a comparative example. 実施例と比較例とについて、環境温度と各光ファイバグレーティングデバイスの反射中心波長との関係について示す図である。It is a figure which shows about the relationship between an environmental temperature and the reflective center wavelength of each optical fiber grating device about an Example and a comparative example. 実施例と比較例とについて、環境温度とレーザ光出力の変動幅との関係について示す図である。It is a figure shown about the relationship between environmental temperature and the fluctuation range of a laser beam output about an Example and a comparative example.

符号の説明Explanation of symbols

1、1a〜1c、2 光ファイバグレーティングデバイス
11 光ファイバグレーティング
111、111b、111c 光ファイバ部
112 被覆部
113、113b、113c グレーティング形成部
12、22 基台
121、221 収容溝
122 支持溝
13、23 樹脂部材
14 放熱部材
1〜2n 半導体レーザ素子
211〜21n マルチモード光ファイバ
3 TFB
31 ダブルクラッド光ファイバ
4 希土類元素添加光ファイバ
41、1111、1111b、1111c コア部
42、1112、1112b、1112c クラッド部
43、1113b、1113c 応力付与母材
5 コリメータ部品
51 シングルモード光ファイバ
6 波長変換素子
61 光学ステージ
10 光ファイバレーザ
C1〜C4 接続点
f1〜f4 応力
L1 レーザ光
L2 波長変換レーザ光
S1〜S6 スペクトル
W1、W2 幅
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a-1c, 2 Optical fiber grating device 11 Optical fiber grating 111, 111b, 111c Optical fiber part 112 Covering part 113, 113b, 113c Grating formation part 12, 22 Base 121, 221 Accommodation groove 122 Support groove 13, 23 resin member 14 radiating member 2 1 to 2 n semiconductor laser device 21 1 through 21 n multimode optical fiber 3 TFB
31 Double-clad optical fiber 4 Rare earth element-doped optical fiber 41, 1111, 1111b, 1111c Core portion 42, 1112, 1112b, 1112c Cladding portion 43, 1113b, 1113c Stress applying base material 5 Collimator component 51 Single mode optical fiber 6 Wavelength conversion element 61 Optical stage 10 Optical fiber laser C1 to C4 Connection point f1 to f4 Stress L1 Laser light L2 Wavelength conversion laser light S1 to S6 Spectrum W1, W2 Width

Claims (22)

コア部と該コア部の外周に形成したクラッド部とを備え、該コア部の長手方向の一部に所定の波長帯域の光を反射するグレーティングを形成したグレーティング形成部を有する光ファイバグレーティングと、
前記グレーティング形成部を収容する収容溝を備え、負の線膨張係数を有する基台と、
少なくとも前記グレーティング形成部の外周を覆うように形成され、該グレーティング形成部を前記収容溝内に固着するとともに該グレーティング形成部において発生する熱を前記基台に伝導する樹脂部材と、
を備えたことを特徴とする光ファイバグレーティングデバイス。
An optical fiber grating having a grating part formed with a core part and a clad part formed on the outer periphery of the core part, and forming a grating that reflects light of a predetermined wavelength band in a part of the longitudinal direction of the core part;
A receiving groove for receiving the grating forming portion, and a base having a negative linear expansion coefficient;
A resin member that is formed so as to cover at least the outer periphery of the grating forming portion, and that fixes the grating forming portion in the housing groove and conducts heat generated in the grating forming portion to the base;
An optical fiber grating device comprising:
前記光ファイバグレーティングは、前記グレーティング形成部を除いた前記クラッド部の外周に形成した被覆部を備え、
前記基台は、前記光ファイバグレーティングを前記被覆部において支持する支持溝を備えることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバグレーティングデバイス。
The optical fiber grating includes a covering portion formed on the outer periphery of the cladding portion excluding the grating forming portion,
The optical fiber grating device according to claim 1, wherein the base includes a support groove that supports the optical fiber grating in the covering portion.
前記光ファイバグレーティングは、前記クラッド部を内側クラッドとし、前記被覆部を外側クラッドとするダブルクラッド型光ファイバ構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバグレーティングデバイス。   3. The optical fiber grating device according to claim 1, wherein the optical fiber grating has a double clad type optical fiber structure in which the clad portion is an inner clad and the covering portion is an outer clad. 前記樹脂部材は、前記グレーティング形成部の外周と、前記被覆部の該グレーティング形成部に隣接する部分の外周とを覆うように形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The said resin member is formed so that the outer periphery of the said grating formation part and the outer periphery of the part adjacent to this grating formation part of the said coating | coated part may be covered. An optical fiber grating device described in 1. 前記樹脂部材は、前記グレーティング形成部から漏洩する光を透過することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to any one of claims 1 to 4, wherein the resin member transmits light leaking from the grating forming portion. 前記樹脂部材の屈折率は、前記光ファイバグレーティングのクラッド部の屈折率よりも高いことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 1, wherein a refractive index of the resin member is higher than a refractive index of a clad portion of the optical fiber grating. 前記樹脂部材の屈折率は、前記光ファイバグレーティングのクラッド部の屈折率よりも低いことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 1, wherein a refractive index of the resin member is lower than a refractive index of a clad portion of the optical fiber grating. 前記樹脂部材は、UV硬化樹脂からなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 1, wherein the resin member is made of a UV curable resin. 前記基台は、−70〜−80ppm/℃の線膨張係数を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 1, wherein the base has a linear expansion coefficient of −70 to −80 ppm / ° C. 前記収容溝は、V字状に形成されたことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 1, wherein the housing groove is formed in a V shape. 前記収容溝は、前記支持溝に比して幅広且つ深底に形成されたことを特徴とする請求項2〜9のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to any one of claims 2 to 9, wherein the receiving groove is formed wider and deeper than the support groove. 前記支持溝は、V字状に形成されたことを特徴とする請求項2〜10のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 2, wherein the support groove is formed in a V shape. 前記樹脂部材に密着するように配置され、該樹脂部材を伝導した熱を放熱する放熱部材を備えたことを特徴とする請求項1〜12のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to any one of claims 1 to 12, further comprising a heat dissipating member disposed so as to be in close contact with the resin member and dissipating heat conducted through the resin member. 前記放熱部材は、前記基台の上部を覆うように形成されていることを特徴とする請求項13に記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 13, wherein the heat dissipation member is formed so as to cover an upper portion of the base. 前記放熱部材は、アルミニウム、銅、鉄、およびニッケルの少なくとも一つを含む金属部材を用いて形成されることを特徴とする請求項13または14に記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 13 or 14, wherein the heat dissipation member is formed using a metal member including at least one of aluminum, copper, iron, and nickel. 前記光ファイバグレーティングは、所定の張力を印加した状態で前記基台に固定されていることを特徴とする請求項1〜15のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   The optical fiber grating device according to claim 1, wherein the optical fiber grating is fixed to the base in a state where a predetermined tension is applied. 前記樹脂部材よりも高い硬度を有し、前記グレーティング形成部を挟むように配置され、前記光ファイバグレーティングを前記収容溝内に固着する補強樹脂部材をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜16のいずれか1つに記載の光ファイバグレーティングデバイス。   2. A reinforcing resin member that has a higher hardness than the resin member, is disposed so as to sandwich the grating forming portion, and further includes a reinforcing resin member that fixes the optical fiber grating in the housing groove. The optical fiber grating device according to any one of 16. 請求項1〜17のいずれか1つに記載の2つの光ファイバグレーティングデバイスと、
前記2つの光ファイバグレーティングデバイス間に配置した希土類元素添加光ファイバと、
前記希土類元素添加光ファイバに励起光を供給する励起光源と、
を備え、前記2つの光ファイバグレーティングデバイスの各反射波長帯域は重畳しており、前記励起光源が前記希土類元素添加光ファイバに励起光を供給することによって、前記2つの光ファイバグレーティングデバイスのいずれか一方の端部から前記重畳した波長帯域内の発振波長を有するレーザ光を出力することを特徴とする光ファイバレーザ。
Two optical fiber grating devices according to any one of claims 1 to 17,
A rare earth-doped optical fiber disposed between the two optical fiber grating devices;
An excitation light source for supplying excitation light to the rare earth element-doped optical fiber;
Each reflection wavelength band of the two optical fiber grating devices is superposed, and the excitation light source supplies excitation light to the rare earth element-doped optical fiber, so that either of the two optical fiber grating devices is provided. An optical fiber laser characterized in that a laser beam having an oscillation wavelength within the superimposed wavelength band is output from one end.
前記レーザ光を出力する出力端部側に配置され、前記レーザ光を受付け該レーザ光の波長を変換して出力する波長変換素子を備えたことを特徴とする請求項18に記載の光ファイバレーザ。   The optical fiber laser according to claim 18, further comprising a wavelength conversion element that is disposed on an output end side that outputs the laser light, receives the laser light, converts the wavelength of the laser light, and outputs the converted laser light. . 前記希土類元素添加光ファイバおよび前記2つの光ファイバグレーティングデバイスは、偏波保持型光ファイバ構造を有し、
前記一方の光ファイバグレーティングデバイスの互いに直交する偏波の光に対する反射波長帯域のいずれか1つと、前記他方の光ファイバグレーティングデバイスの互いに直交する偏波の光に対する反射波長帯域のいずれか1つとを重畳させて、該重畳した波長帯域内の発振波長を有する単一偏波のレーザ光を発振することを特徴とする請求項18または19に記載の光ファイバレーザ。
The rare earth element-doped optical fiber and the two optical fiber grating devices have a polarization maintaining optical fiber structure,
Any one of the reflection wavelength bands for the orthogonally polarized light of the one optical fiber grating device, and any one of the reflection wavelength bands for the orthogonally polarized light of the other optical fiber grating device, The optical fiber laser according to claim 18 or 19, wherein the optical fiber laser oscillates and oscillates a single-polarized laser beam having an oscillation wavelength within the superimposed wavelength band.
前記2つの光ファイバグレーティングデバイスは、互いのスロー軸とファースト軸とが平行になるように前記希土類元素添加光ファイバに接続していることを特徴とする請求項20に記載の光ファイバレーザ。   21. The optical fiber laser according to claim 20, wherein the two optical fiber grating devices are connected to the rare earth element-doped optical fiber so that their slow axes and fast axes are parallel to each other. 前記2つの光ファイバグレーティングデバイスは、互いのスロー軸が互いのファースト軸と平行になるように前記希土類元素添加光ファイバに接続していることを特徴とする請求項20に記載の光ファイバレーザ。   21. The optical fiber laser according to claim 20, wherein the two optical fiber grating devices are connected to the rare earth element-doped optical fiber so that their slow axes are parallel to each other's fast axis.
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