JP2006093721A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
   前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
   前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、
   前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
   前記間隙から前記液体を回収する回収手段と、を備え、
   先行する基板に対して露光を終了した後かつ後続する基板に対して露光を開始する前において、前記最終面に対向させた前記平面板に対し、前記供給手段による液体供給と前記回収手段による液体回収とを互いに並行して行うことを特徴とする露光装置。
2. 原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を有し、前記投影光学系の最終面と前記基板との間隙に液体を満たした状態で、前記基板を露光する露光装置であって、
   前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板を保持する基板ステージと、
   前記投影光学系に対して移動可能で、前記基板ステージに保持された前記基板の上面と実質的に同じ高さの上面を有する平面板と、
   前記間隙に前記液体を供給する供給手段と、
   前記間隙から前記液体を回収する回収手段と、を備え、
   前記平面板は、前記基板ステージとは独立して移動することを特徴とする露光装置。
3. 前記基板ステージに対して基板を交換する間において、前記最終面に対向させた前記平面板に対し、前記供給手段による液体供給と前記回収手段による液体回収とを互いに並行して行うことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
4. 前記供給手段は、前記最終面に対向させた前記平面板と前記最終面との間隙に前記液体を供給し、前記回収手段は、前記最終面に対向させた前記平面板と前記最終面との間隙から前記液体を回収することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
5. 前記平面板は、前記基板ステージ上に配されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
6. 先行する基板に対して露光を終了した後かつ後続する基板に対して露光を開始する前において、前記平面板を前記最終面に対向させ、かつ前記基板ステージに対して基板の供給または回収を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
7. 先行する基板に対して露光を終了した後かつ後続する基板に対して露光を開始する前において、前記平面板を前記最終面に対向させ、かつ前記基板ステージに保持された基板の位置合わせ計測を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
8. 先行する基板に対して露光を終了した後かつ後続する基板に対して露光を開始する前において、前記平面板を前記最終面に対向させ、かつ前記露光装置の維持または管理のための作業を行うことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
9. 先行する基板に対して露光を終了した後かつ後続する基板に対して露光を開始する前において、前記最終面に対向させた前記平面板に対する液体供給量および液体回収量は、露光時の液体供給量および液体回収量よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の露光装置。
10. 前記平面板は、ステンレス鋼およびフッ素樹脂のいずれかを含むことを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の露光装置。
11. 前記投影光学系に対して移動可能で、前記原版を保持する原版ステージをさらに備え、
    前記原版および前記基板を前記投影光学系に対してスキャン移動させながら、前記原版のパターンを介して前記基板を露光することを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の露光装置。
12. 請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
    前記ステップにおいて露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。