JP2003288842A - プラズマディスプレイ装置の製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイ装置の製造方法Info
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- JP2003288842A JP2003288842A JP2002087849A JP2002087849A JP2003288842A JP 2003288842 A JP2003288842 A JP 2003288842A JP 2002087849 A JP2002087849 A JP 2002087849A JP 2002087849 A JP2002087849 A JP 2002087849A JP 2003288842 A JP2003288842 A JP 2003288842A
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマディスプレイ装置において、放電領
域の形成精度を向上させ、製品の品質を向上させること
を目的とする。 【解決手段】 前面側基板１上に表示電極４形成時に形
成した張り合わせ用アライメントマーカー３１を設け、
かつ前記背面側基板８上に前記前面側基板１の張り合わ
せ用アライメントマーカー３１とで位置合わせを行うた
めの張り合わせ用アライメントマーカー３２を隔壁１１
形成時に形成し、基板１，８の張り合わせ時に、前記張
り合わせ用マーカー３１，３２を用いて位置合わせを行
う。
域の形成精度を向上させ、製品の品質を向上させること
を目的とする。 【解決手段】 前面側基板１上に表示電極４形成時に形
成した張り合わせ用アライメントマーカー３１を設け、
かつ前記背面側基板８上に前記前面側基板１の張り合わ
せ用アライメントマーカー３１とで位置合わせを行うた
めの張り合わせ用アライメントマーカー３２を隔壁１１
形成時に形成し、基板１，８の張り合わせ時に、前記張
り合わせ用マーカー３１，３２を用いて位置合わせを行
う。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、大画面で、薄型、
軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマデ
ィスプレイ装置の製造方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、プラズマディスプレイ装置は、視
認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注
目されており、高精細化および大画面化が進められてい
る。 【０００３】このプラズマディスプレイ装置には、大別
して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では
面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大
画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面
放電型のプラズマディスプレイ装置が主流を占めるよう
になってきている。 【０００４】図２にプラズマディスプレイ装置における
パネル構造の一例を示し、図３に図２のＡ−Ａ線で切断
した断面を示し、図４に図２のＢ−Ｂ線で切断した断面
を示している。図に示すように、ガラス基板などの透明
な前面側の基板１上には、走査電極２と維持電極３とで
対をなすストライプ状の表示電極４が複数対形成され、
そして基板１上の隣り合う表示電極４間には遮光層５が
配置形成されている。この走査電極２および維持電極３
は、それぞれ透明電極２ａ，３ａおよびこの透明電極２
ａ，３ａに電気的に接続された銀等の母線２ｂ，３ｂと
から構成されている。また、前記前面側の基板１には、
前記複数対の電極群を覆うように誘電体層６が形成さ
れ、その誘電体層６上には保護膜７が形成されている。 【０００５】また、前記前面側の基板１に対向配置され
る背面側の基板８上には、走査電極２および維持電極３
の表示電極４と直交する方向に、絶縁体層９で覆われた
複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されてい
る。このデータ電極１０間の絶縁体層９上には、データ
電極１０と平行にストライプ状の複数の隔壁１１が配置
され、この隔壁１１間の側面１１ａおよび絶縁体層９の
表面に蛍光体層１２が設けられている。 【０００６】これらの基板１と基板８とは、走査電極２
および維持電極３とデータ電極１０とが直交するよう
に、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、
周囲が封止され、そして前記放電空間には、ヘリウム、
ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガ
スが放電ガスとして封入されている。また、放電空間
は、隔壁１１によって複数の区画に仕切ることにより、
表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の
放電セル１３が設けられ、その各放電セル１３には、赤
色、緑色および青色となるように蛍光体層１２が一色ず
つ順次配置されている。 【０００７】このパネル本体の電極配列は、図５に示す
ように、Ｍ行×Ｎ列の放電セルからなるマトリックス構
成であり、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ1〜ＳＣＮM
および維持電極ＳＵＳ1〜ＳＵＳMが配列され、列方向に
はＮ列のデータ電極Ｄ1〜ＤNが配列されている。 【０００８】図６は従来のプラズマディスプレイ装置の
製造方法における一対の基板の張り合わせ前の位置合わ
せ方法の一例を示したもので、データ電極１０と直交す
る方向にも隔壁１４を形成し、井桁状の隔壁を有するパ
ネルの例を示すものである。 【０００９】前面側基板１ともう一対の基板８を張り合
わせする際には、各基板上に形成されるアライメントマ
ーカー間で位置合わせを行い、同相対位置で張り合わせ
を行う。このとき各基板上におけるアライメントマーカ
ーは、各基板上に形成する構造物のうち、任意の一構造
を形成する際に同時に形成することが多い。 【００１０】従来は、前面側基板１上の表示電極４の形
成時に、基板周端部にアライメントマーカー２１を形成
し、また前記前面側基板１と対を成す基板８上には、下
地誘電体としての絶縁体層９形成時に、同基板周端部に
アライメントマーカー２２を形成し、そして張り合わせ
前の位置合わせは、そのアライメントマーカー２１，２
２をカメラにより画像認識し、アライメントマーカー２
１，２２を通して基板間の相対位置座標を調整すること
により行っている。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方法で
は、透明な一対の基板同士の張り合わせ時において使用
する各アライメントマーカーは、任意の構造形成時に形
成されている。従って、最も精密な相対位置合わせを行
いたい対照構造が、前面側基板および同基板と対を成す
基板上において各々存在し、かつ前記各当該構造形成時
にアライメントマーカーが同時に形成されていない場
合、同方法では前記対照構造間の位置合わせは恒久的に
精度が低くなるという課題があった。 【００１２】図７は従来のプラズマディスプレイ装置の
製造方法において、一対の基板の位置合わせずれの一例
を示したものである。前記位置合わせずれが生じる原因
として、同図中の前面側基板上の表示電極４形成時に、
形成済み透明電極との相対位置合わせずれが生じたこと
が考えられ、透明電極と隔壁１４との接触部分が発生す
る可能性が生じる。この現象は、一対の各基板上で、相
対位置合わせが必要な構造に関して、前記構造以外の構
造形成時に形成したアライメントマークを用いて位置合
わせを行っている点が根本原因となっている。 【００１３】本発明はこのような課題を解決するもの
で、放電領域の形成精度を向上させ、製品の品質を向上
させることを目的とするものである。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のプラズマディスプレイ装置は、前面側基板上
に表示電極形成時に形成した張り合わせ用アライメント
マーカーを設け、かつ前記背面側基板上に前記前面側基
板の張り合わせ用アライメントマーカーとで位置合わせ
を行うための張り合わせ用アライメントマーカーを隔壁
形成時に形成したことを特徴とするものである。 【００１５】 【発明の実施の形態】すなわち本発明は、少なくとも前
面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成され
るように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に
仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔
壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように前
面側基板に表示電極を配置するとともに、背面側基板に
前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して構
成したプラズマディスプレイ装置の製造方法において、
前記前面側基板上に表示電極形成時に形成した張り合わ
せ用アライメントマーカーを設け、かつ前記背面側基板
上に前記前面側基板の張り合わせ用アライメントマーカ
ーとで位置合わせを行うための張り合わせ用アライメン
トマーカーを隔壁形成時に形成したことを特徴とするも
のである。 【００１６】以下、本発明の一実施の形態によるプラズ
マディスプレイ装置について、図１を用いて説明する。 【００１７】図１に本発明の一実施の形態によるプラズ
マディスプレイ装置の製造方法において、一対の基板の
封着処理前における位置合わせ方法の一例を示してお
り、図２〜図４に示す部分と同一個所については、同一
番号を付している。 【００１８】図１において、３１は前面側の基板１に形
成したアライメントマーカーで、表示電極４のうち透明
電極２ａ，３ａ形成時に形成されたものである。この透
明電極２ａ，３ａはＩＴＯ薄膜もしくはＳｎＯ2薄膜に
より形成されている。 【００１９】３２は背面側の基板８に形成したアライメ
ントマーカーで、隔壁１１および隔壁１４の形成時に形
成されたものである。 【００２０】本実施の形態では、透明な前面側基板１と
透明な背面側基板８とを張り合わせて放電空間を有する
パネルを形成する時、基板１，８の相対位置合わせは、
表示電極４形成時に形成されたアライメントマーカー３
１と、隔壁１１，１４形成時に形成されたアライメント
マーカー３２を用いて行うものである。 【００２１】すなわち、従来の方法では、透明な一対の
基板同士の張り合わせ時において使用する各アライメン
トマーカーは、任意の構造形成時に形成しており、前面
側基板１上の表示電極４形成時に、形成済み透明電極と
の相対位置合わせずれが生じ、透明電極２ａ，３ａと隔
壁１１，１４との接触部分が発生する可能性があった
が、本発明においては、透明電極２ａ，３ａと隔壁１
１，１４の相対位置ずれは、両者の位置合わせ精度のみ
となり、従来例に見られるような位置合わせずれが発生
することがない。 【００２２】 【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
かかるプラズマディスプレイ装置の製造方法によれば、
前面側基板上の表示電極形成時に張り合わせ用アライメ
ントマーカーを形成し、背面側基板上にそのアライメン
トマーカーと位置合わせを行う張り合わせ用アライメン
トマーカーを隔壁形成時に形成し、基板の張り合わせ時
に、それらのアライメントマーカーを用いて位置合わせ
を行うものであり、一対の基板間に形成される放電領域
内の位置合わせ精度が向上するという効果が得られる。
軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマデ
ィスプレイ装置の製造方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、プラズマディスプレイ装置は、視
認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注
目されており、高精細化および大画面化が進められてい
る。 【０００３】このプラズマディスプレイ装置には、大別
して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では
面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大
画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面
放電型のプラズマディスプレイ装置が主流を占めるよう
になってきている。 【０００４】図２にプラズマディスプレイ装置における
パネル構造の一例を示し、図３に図２のＡ−Ａ線で切断
した断面を示し、図４に図２のＢ−Ｂ線で切断した断面
を示している。図に示すように、ガラス基板などの透明
な前面側の基板１上には、走査電極２と維持電極３とで
対をなすストライプ状の表示電極４が複数対形成され、
そして基板１上の隣り合う表示電極４間には遮光層５が
配置形成されている。この走査電極２および維持電極３
は、それぞれ透明電極２ａ，３ａおよびこの透明電極２
ａ，３ａに電気的に接続された銀等の母線２ｂ，３ｂと
から構成されている。また、前記前面側の基板１には、
前記複数対の電極群を覆うように誘電体層６が形成さ
れ、その誘電体層６上には保護膜７が形成されている。 【０００５】また、前記前面側の基板１に対向配置され
る背面側の基板８上には、走査電極２および維持電極３
の表示電極４と直交する方向に、絶縁体層９で覆われた
複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されてい
る。このデータ電極１０間の絶縁体層９上には、データ
電極１０と平行にストライプ状の複数の隔壁１１が配置
され、この隔壁１１間の側面１１ａおよび絶縁体層９の
表面に蛍光体層１２が設けられている。 【０００６】これらの基板１と基板８とは、走査電極２
および維持電極３とデータ電極１０とが直交するよう
に、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、
周囲が封止され、そして前記放電空間には、ヘリウム、
ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガ
スが放電ガスとして封入されている。また、放電空間
は、隔壁１１によって複数の区画に仕切ることにより、
表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の
放電セル１３が設けられ、その各放電セル１３には、赤
色、緑色および青色となるように蛍光体層１２が一色ず
つ順次配置されている。 【０００７】このパネル本体の電極配列は、図５に示す
ように、Ｍ行×Ｎ列の放電セルからなるマトリックス構
成であり、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ1〜ＳＣＮM
および維持電極ＳＵＳ1〜ＳＵＳMが配列され、列方向に
はＮ列のデータ電極Ｄ1〜ＤNが配列されている。 【０００８】図６は従来のプラズマディスプレイ装置の
製造方法における一対の基板の張り合わせ前の位置合わ
せ方法の一例を示したもので、データ電極１０と直交す
る方向にも隔壁１４を形成し、井桁状の隔壁を有するパ
ネルの例を示すものである。 【０００９】前面側基板１ともう一対の基板８を張り合
わせする際には、各基板上に形成されるアライメントマ
ーカー間で位置合わせを行い、同相対位置で張り合わせ
を行う。このとき各基板上におけるアライメントマーカ
ーは、各基板上に形成する構造物のうち、任意の一構造
を形成する際に同時に形成することが多い。 【００１０】従来は、前面側基板１上の表示電極４の形
成時に、基板周端部にアライメントマーカー２１を形成
し、また前記前面側基板１と対を成す基板８上には、下
地誘電体としての絶縁体層９形成時に、同基板周端部に
アライメントマーカー２２を形成し、そして張り合わせ
前の位置合わせは、そのアライメントマーカー２１，２
２をカメラにより画像認識し、アライメントマーカー２
１，２２を通して基板間の相対位置座標を調整すること
により行っている。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方法で
は、透明な一対の基板同士の張り合わせ時において使用
する各アライメントマーカーは、任意の構造形成時に形
成されている。従って、最も精密な相対位置合わせを行
いたい対照構造が、前面側基板および同基板と対を成す
基板上において各々存在し、かつ前記各当該構造形成時
にアライメントマーカーが同時に形成されていない場
合、同方法では前記対照構造間の位置合わせは恒久的に
精度が低くなるという課題があった。 【００１２】図７は従来のプラズマディスプレイ装置の
製造方法において、一対の基板の位置合わせずれの一例
を示したものである。前記位置合わせずれが生じる原因
として、同図中の前面側基板上の表示電極４形成時に、
形成済み透明電極との相対位置合わせずれが生じたこと
が考えられ、透明電極と隔壁１４との接触部分が発生す
る可能性が生じる。この現象は、一対の各基板上で、相
対位置合わせが必要な構造に関して、前記構造以外の構
造形成時に形成したアライメントマークを用いて位置合
わせを行っている点が根本原因となっている。 【００１３】本発明はこのような課題を解決するもの
で、放電領域の形成精度を向上させ、製品の品質を向上
させることを目的とするものである。 【００１４】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のプラズマディスプレイ装置は、前面側基板上
に表示電極形成時に形成した張り合わせ用アライメント
マーカーを設け、かつ前記背面側基板上に前記前面側基
板の張り合わせ用アライメントマーカーとで位置合わせ
を行うための張り合わせ用アライメントマーカーを隔壁
形成時に形成したことを特徴とするものである。 【００１５】 【発明の実施の形態】すなわち本発明は、少なくとも前
面側が透明な一対の基板を基板間に放電空間が形成され
るように対向配置するとともに、前記放電空間を複数に
仕切るための隔壁を背面側の基板に配置し、かつ前記隔
壁により仕切られた放電空間で放電が発生するように前
面側基板に表示電極を配置するとともに、背面側基板に
前記表示電極と交差する方向にデータ電極を配置して構
成したプラズマディスプレイ装置の製造方法において、
前記前面側基板上に表示電極形成時に形成した張り合わ
せ用アライメントマーカーを設け、かつ前記背面側基板
上に前記前面側基板の張り合わせ用アライメントマーカ
ーとで位置合わせを行うための張り合わせ用アライメン
トマーカーを隔壁形成時に形成したことを特徴とするも
のである。 【００１６】以下、本発明の一実施の形態によるプラズ
マディスプレイ装置について、図１を用いて説明する。 【００１７】図１に本発明の一実施の形態によるプラズ
マディスプレイ装置の製造方法において、一対の基板の
封着処理前における位置合わせ方法の一例を示してお
り、図２〜図４に示す部分と同一個所については、同一
番号を付している。 【００１８】図１において、３１は前面側の基板１に形
成したアライメントマーカーで、表示電極４のうち透明
電極２ａ，３ａ形成時に形成されたものである。この透
明電極２ａ，３ａはＩＴＯ薄膜もしくはＳｎＯ2薄膜に
より形成されている。 【００１９】３２は背面側の基板８に形成したアライメ
ントマーカーで、隔壁１１および隔壁１４の形成時に形
成されたものである。 【００２０】本実施の形態では、透明な前面側基板１と
透明な背面側基板８とを張り合わせて放電空間を有する
パネルを形成する時、基板１，８の相対位置合わせは、
表示電極４形成時に形成されたアライメントマーカー３
１と、隔壁１１，１４形成時に形成されたアライメント
マーカー３２を用いて行うものである。 【００２１】すなわち、従来の方法では、透明な一対の
基板同士の張り合わせ時において使用する各アライメン
トマーカーは、任意の構造形成時に形成しており、前面
側基板１上の表示電極４形成時に、形成済み透明電極と
の相対位置合わせずれが生じ、透明電極２ａ，３ａと隔
壁１１，１４との接触部分が発生する可能性があった
が、本発明においては、透明電極２ａ，３ａと隔壁１
１，１４の相対位置ずれは、両者の位置合わせ精度のみ
となり、従来例に見られるような位置合わせずれが発生
することがない。 【００２２】 【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
かかるプラズマディスプレイ装置の製造方法によれば、
前面側基板上の表示電極形成時に張り合わせ用アライメ
ントマーカーを形成し、背面側基板上にそのアライメン
トマーカーと位置合わせを行う張り合わせ用アライメン
トマーカーを隔壁形成時に形成し、基板の張り合わせ時
に、それらのアライメントマーカーを用いて位置合わせ
を行うものであり、一対の基板間に形成される放電領域
内の位置合わせ精度が向上するという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプ
レイ装置の製造方法において、基板の位置合わせ方法の
一例を示す断面図 【図２】プラズマディスプレイ装置のパネル構造を一部
を切り欠いて示す斜視図 【図３】図２のＡ−Ａ線で切断した断面図 【図４】図２のＢ−Ｂ線で切断した断面図 【図５】同装置の電極配列を示す配線図 【図６】従来の製造方法における基板の位置合わせ方法
の一例を示す断面図 【図７】従来の製造方法において、基板の位置合わせず
れ示す断面図 【符号の説明】 １，８ 基板 ２ 走査電極 ３ 維持電極 ２ａ，３ａ 透明電極 ４ 表示電極 １０ データ電極 １１，１４ 隔壁 ３１，３２ アライメントマーカー
レイ装置の製造方法において、基板の位置合わせ方法の
一例を示す断面図 【図２】プラズマディスプレイ装置のパネル構造を一部
を切り欠いて示す斜視図 【図３】図２のＡ−Ａ線で切断した断面図 【図４】図２のＢ−Ｂ線で切断した断面図 【図５】同装置の電極配列を示す配線図 【図６】従来の製造方法における基板の位置合わせ方法
の一例を示す断面図 【図７】従来の製造方法において、基板の位置合わせず
れ示す断面図 【符号の説明】 １，８ 基板 ２ 走査電極 ３ 維持電極 ２ａ，３ａ 透明電極 ４ 表示電極 １０ データ電極 １１，１４ 隔壁 ３１，３２ アライメントマーカー
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5C012 AA09 BB07
5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 JA40
MA24
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 少なくとも前面側が透明な一対の基板を
基板間に放電空間が形成されるように対向配置するとと
もに、前記放電空間を複数に仕切るための隔壁を背面側
の基板に配置し、かつ前記隔壁により仕切られた放電空
間で放電が発生するように前面側基板に表示電極を配置
するとともに、背面側基板に前記表示電極と交差する方
向にデータ電極を配置して構成したプラズマディスプレ
イ装置の製造方法において、前記前面側基板上に表示電
極形成時に形成した張り合わせ用アライメントマーカー
を設け、かつ前記背面側基板上に前記前面側基板の張り
合わせ用アライメントマーカーとで位置合わせを行うた
めの張り合わせ用アライメントマーカーを隔壁形成時に
形成したことを特徴とするプラズマディスプレイ装置の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002087849A JP2003288842A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | プラズマディスプレイ装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002087849A JP2003288842A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | プラズマディスプレイ装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003288842A true JP2003288842A (ja) | 2003-10-10 |
Family
ID=29233894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002087849A Pending JP2003288842A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | プラズマディスプレイ装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003288842A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100367441C (zh) * | 2004-01-15 | 2008-02-06 | 友达光电股份有限公司 | 等离子体显示器面板对位结构及等离子体显示器面板 |
| US7446475B2 (en) | 2003-12-25 | 2008-11-04 | Au Optronics Corp. | Alignment mark and plasma display panel comprising the alignment mark |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002087849A patent/JP2003288842A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7446475B2 (en) | 2003-12-25 | 2008-11-04 | Au Optronics Corp. | Alignment mark and plasma display panel comprising the alignment mark |
| CN100367441C (zh) * | 2004-01-15 | 2008-02-06 | 友达光电股份有限公司 | 等离子体显示器面板对位结构及等离子体显示器面板 |
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