JP2003130696A - Flowmeter - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、管路内を流れる液
体や粉体などの流体の流量を測定する流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter for measuring the flow rate of fluid such as liquid or powder flowing in a pipeline.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、管路内を流動するガス、液体、粉
体などの流量を測定する方式、特に液体の流量を測定す
る方式としては、面積式、容積式、差圧式、熱式、電磁
式、コリオリ式、超音波式、渦式、羽根車式などの流量
計が存在する。しかし、これらはすべて管路内に流体が
充満して流動していることが必要であり、正常な測定を
するためには、圧力損失が大きく、また液体中に空気な
どのガスが混入した状態で流動している場合には、正確
な測定ができないという問題があった。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for measuring the flow rate of gas, liquid, powder, etc. flowing in a pipe, especially as a method for measuring the flow rate of liquid, area type, volume type, differential pressure type, thermal type, There are electromagnetic, Coriolis, ultrasonic, vortex, impeller, and other flowmeters. However, it is necessary that all of these are filled with fluid and flowing, and in order to perform normal measurements, the pressure loss is large, and gas such as air is mixed in the liquid. There was a problem that accurate measurement could not be performed when it was flowing in.
【0003】また、粉体の流量を測定するのに用いられ
る流量計として、インパクトライン流量計が存在する。
この流量計は、支点によって移動可能に支持された被検
出板と、支点に対して被検出板と対向する端部に設けら
れた作動トランスとを有している。そして、自由落下す
る粉体を被検出板で受け、これに連結された作動トラン
スにより変位を計測することで、流量を測定する。この
流量計は、ガスとともに流れる液体、管路を充満してい
ない液体、重力によって流れ落ちる液体等の流量を測定
するのに応用可能である。しかし、構造上、可動部、摺
動部を有し、これらに液体などが付着して固化したり、
計測部であるトランスが温度変化、腐食、結露、湿度な
どによる作動障害を生じ、故障が発生しやすいことか
ら、化学プロセスなどの管路内に配置することは不可能
である。また、小型化が難しく、管路内に収めることも
難しい。Further, there is an impact line flowmeter as a flowmeter used to measure the flow rate of powder.
This flowmeter has a detected plate movably supported by a fulcrum, and an operation transformer provided at an end portion facing the detected plate with respect to the fulcrum. Then, the free-falling powder is received by the plate to be detected, and the displacement is measured by the operation transformer connected to the plate to measure the flow rate. This flow meter can be applied to measure the flow rate of a liquid that flows with gas, a liquid that does not fill a pipeline, a liquid that flows down due to gravity, and the like. However, due to the structure, it has a movable part and a sliding part, and liquid etc. adheres to these and solidifies,
Since the transformer, which is the measurement unit, is liable to malfunction due to temperature change, corrosion, dew condensation, humidity, etc., it is impossible to place it in a pipeline for chemical processes. In addition, it is difficult to reduce the size, and it is difficult to fit it in the pipeline.
【0004】このように、ガスとともに管路を流れる液
体、管路を充満していない液体、重力によって流れ落ち
る液体等の流量測定を行うことは困難であった。As described above, it has been difficult to measure the flow rate of a liquid flowing in a pipe together with gas, a liquid not filling the pipe, a liquid flowing down due to gravity, and the like.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明が
解決しようとする技術的課題は、管路を充満していない
流体の流量を測定することができる管路内に配置可能な
流量計を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the technical problem to be solved by the present invention is to provide a flow meter which can be arranged in a pipeline and which can measure the flow rate of a fluid not filling the pipeline. It is to be.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記技術的課
題を解決するために、以下の構成の流量計を提供する。In order to solve the above technical problems, the present invention provides a flow meter having the following configuration.
【0007】管路内を流動する流体の流量を計測する流
量計であって、前記管路の系内に組み込まれた計測ケー
シングと、該計測ケーシング内部にそれぞれ配置され
る、前記流体の動圧を受けて変位する被検出体を有する
変位手段、及び、前記変位手段を初期位置方向に付勢す
る付勢手段と、前記計測ケーシングの外面に配置された
非接触型の変位センサとを備え、前記変位手段が流体の
流量に応じた動圧を受けることにより、前記付勢手段の
付勢力に抗して前記流体の動圧に応じた変位量だけ変位
し、前記変位センサが前記被検出体の変位量を検出する
ことで流量を測定する。A flow meter for measuring the flow rate of a fluid flowing in a pipe, wherein a measuring casing incorporated in the system of the pipe and a dynamic pressure of the fluid respectively arranged inside the measuring casing. Displacement means having an object to be received and displaced, and biasing means for biasing the displacement means in the initial position direction, and a non-contact type displacement sensor arranged on the outer surface of the measurement casing, When the displacement means receives the dynamic pressure according to the flow rate of the fluid, the displacement means is displaced by the displacement amount corresponding to the dynamic pressure of the fluid against the urging force of the urging means, and the displacement sensor detects the object to be detected. The flow rate is measured by detecting the displacement amount of.
【0008】上記構成において、計測ケーシングは、流
体が流れる管路の系内に組み込まれる。すなわち、計測
ケーシングは、管路の中に組み込まれており、計測ケー
シング内を流体が流動するようになっている。なお、必
ずしもケーシングは管路と別部材で構成されている必要
はなく、管路内に後述の変位手段と付勢手段とを直接配
置するようなものも含まれる。計測ケーシング内には、
流体の動圧を受けて変位する変位手段と変位手段を初期
位置方向に付勢する付勢手段とが設けられている。変位
手段は管路内を流れる流体が衝突し、その動圧を受けて
変位を生じるように、移動可能に管路内に設けられてい
る。変位手段は、付勢手段によって付勢されているた
め、流体が衝突しても、その流量が所定量よりも少ない
ときは、移動しない。一方、流体の流量が所定量よりも
大きいと、変位手段は、流体の流量に応じた動圧を受け
て移動する。変位手段が移動を開始するために必要な流
量及び変位手段の移動量は、付勢手段の付勢力によって
決定される。したがって、適切な付勢力を有する付勢手
段の選択により測定可能な流量の範囲を変えることがで
きる。付勢手段は、好適には、バネ、ゴム、永久磁石、
電磁石、浮子、バランサーを用いて構成することができ
る。In the above structure, the measuring casing is incorporated in the system of the pipeline through which the fluid flows. That is, the measurement casing is incorporated in the pipe, and the fluid flows in the measurement casing. It should be noted that the casing does not necessarily have to be configured as a separate member from the pipe line, and may include one in which a displacement means and a biasing means, which will be described later, are directly arranged in the pipe line. In the measuring casing,
Displacement means for displacing the dynamic pressure of the fluid and urging means for urging the displacement means toward the initial position are provided. The displacing means is movably provided in the pipe so that the fluid flowing in the pipe collides with the displacing means and receives the dynamic pressure to generate displacement. Since the displacing means is urged by the urging means, even if the fluid collides, it does not move when the flow rate is less than a predetermined amount. On the other hand, when the flow rate of the fluid is larger than the predetermined amount, the displacement means moves by receiving the dynamic pressure according to the flow rate of the fluid. The flow rate required for the displacement means to start moving and the movement amount of the displacement means are determined by the biasing force of the biasing means. Therefore, the measurable flow rate range can be changed by selecting the biasing means having an appropriate biasing force. The biasing means is preferably a spring, rubber, a permanent magnet,
It can be configured using an electromagnet, a float, and a balancer.
【0009】計測ケーシングの外面には、変位手段に備
えられている被検出体の移動量を外部から非接触で計測
可能な変位センサが設けられている。変位センサとして
は、渦電流式、超音波式、レーザー式などの変位センサ
を用いることができるが、非接触型の変位センサが好適
であり、その中でも渦電流変位センサが特に好適であ
る。上述したように、変位手段すなわち被検出体の変位
量は、衝突した流体の流量に比例するため、変位センサ
によって被検出体の変位量を測定することによって、流
体の流量を計測することができる。On the outer surface of the measuring casing, a displacement sensor is provided which is capable of measuring the amount of movement of the object to be detected provided in the displacing means from the outside in a non-contact manner. As the displacement sensor, an eddy current type, an ultrasonic type, a laser type, or the like can be used, but a non-contact type displacement sensor is preferable, and an eddy current displacement sensor is particularly preferable. As described above, since the displacement means, that is, the displacement amount of the detected object is proportional to the flow rate of the colliding fluid, the displacement sensor can measure the displacement amount of the detected object to measure the fluid flow rate. .
【0010】上記構成によれば、流体が衝突することに
より変位手段が受ける動圧によって被検出体が変位を生
じ、その変位量を計測ケーシングの外面に設けられた変
位センサによって計測することで流体の流量を測定す
る。したがって、管路を流れる流体が変位手段に衝突す
れば流量を測定できるため、流体が管路を充満していな
い場合であっても計測を行うことができる。また、変位
センサは計測ケーシング外面に存在するため、計測ケー
シング内の高温、高湿、溶剤の存在下などの使用環境の
厳しい状況にさらされることがなく、流体の測定を行な
うことが可能である。According to the above structure, the object to be detected is displaced by the dynamic pressure received by the displacement means due to the collision of the fluid, and the displacement amount is measured by the displacement sensor provided on the outer surface of the measuring casing. Measure the flow rate of. Therefore, since the flow rate can be measured if the fluid flowing through the pipe collides with the displacement means, the measurement can be performed even when the fluid does not fill the pipe. Further, since the displacement sensor is present on the outer surface of the measurement casing, it is possible to measure the fluid without being exposed to the severe conditions of the use environment such as high temperature, high humidity and the presence of a solvent in the measurement casing. .
【0011】本発明の流量計は、具体的には以下のよう
に種々の態様で構成することができる。The flow meter of the present invention can be constructed in various modes as follows.
【0012】好ましくは、前記計測ケーシングは、その
側部に位置して前記管路の上流側に接続する入口ポート
と、その下部でかつ入口ポートより低位に位置するとと
もに前記管路の下流側に接続する出口ポートと、その上
部に位置する計測室とを備え、前記変位手段は、入口ポ
ートより低位でかつ出口ポートより上位に位置して入口
ポートから出口ポートに向けて落下する流体を一時的に
受け止める流体受け板と、該流体受け板を吊り下げて計
測室に向けて上方に延在する吊り下げ棒と、計測室の最
上方に位置しかつ吊り下げ棒の上端に固定された被検出
体とを備え、前記付勢手段は、該被検出体を吊り下げ棒
及び流体受け板とともに弾力的に支持して被検出体を常
時最上端位置に付勢するバネ部材よりなり、前記変位セ
ンサは、被検出体と対向する位置において、計測ケーシ
ングの上壁外面に配置される。[0012] Preferably, the measuring casing is located at a side portion thereof and connected to an upstream side of the pipeline, and at a lower portion thereof and at a lower position than the inlet port and at a downstream side of the pipeline. An outlet port to be connected and a measurement chamber located above the outlet port are provided, and the displacement means is positioned lower than the inlet port and higher than the outlet port, and temporarily moves the fluid that drops from the inlet port toward the outlet port. A fluid receiving plate that receives the fluid, a hanging rod that hangs the fluid receiving plate and extends upward toward the measuring chamber, and a detection target that is located at the top of the measuring chamber and fixed to the upper end of the hanging rod. The displacement sensor comprises a spring member for elastically supporting the detected body together with the suspension rod and the fluid receiving plate to constantly urge the detected body to the uppermost end position. Is the detected object In opposing positions, it is disposed on the wall outer surface of the measuring casing.
【0013】上記構成において、計測ケーシングは入口
ポートから流入した流体が出口ポートに向かって落下す
るように構成されている。そして、その落下途中で変位
手段の流体受け板によって一時的に受け止められる。流
体受け板は、バネ部材の弾性力に抗して流体受け板が受
け止めた流体の流量に応じた変位量で吊り下げ棒で連結
された計測室上方に設けられた被検出体とともに下向き
に移動する。被検出体の移動は、計測ケーシングの上壁
外面に配置された変位センサによって検知される。流体
受け板によって一時的に受け止められた流体は、出口ポ
ートから管路へ流れ込む。In the above construction, the measurement casing is constructed so that the fluid flowing from the inlet port drops toward the outlet port. Then, during the fall, it is temporarily received by the fluid receiving plate of the displacement means. The fluid receiving plate moves downward together with the object to be detected provided above the measuring chamber connected by the suspension rod with the displacement amount according to the flow rate of the fluid received by the fluid receiving plate against the elastic force of the spring member. To do. The movement of the object to be detected is detected by a displacement sensor arranged on the outer surface of the upper wall of the measurement casing. The fluid temporarily received by the fluid receiving plate flows into the conduit from the outlet port.
【0014】上記構成によれば、簡単な構成で変位手段
に流体を導くことができる。また、流体の落下距離を調
整することにより、変位手段にかかる動圧を調整するこ
とも可能である。According to the above construction, the fluid can be guided to the displacement means with a simple construction. Further, the dynamic pressure applied to the displacement means can be adjusted by adjusting the drop distance of the fluid.
【0015】好ましくは、前記計測ケーシングは、前記
管路の上流側に接続する入口ポートと、前記入口ポート
より低位に位置するとともに前記管路の下流側に接続す
る出口ポートと、前記出口ポートの上部に位置する計測
室と、前記計測室の上壁に設けられ、かつ略鉛直方向に
延在する前記変位センサを嵌入するための細径凹部が設
けられており、前記変位手段は、入口ポートより低位か
つ出口ポートより上位で略水平に固定され、入口ポート
から出口ポートに向けて落下する流体を一時的に受け止
める流体受け板バネであり、前記被検出体は、前記流体
受け板バネに固定され、前記細径凹部が嵌入可能な筒状
体である。Preferably, the measuring casing includes an inlet port connected to the upstream side of the pipeline, an outlet port located lower than the inlet port and connected to the downstream side of the pipeline, and the outlet port. A measurement chamber located at an upper portion and a small-diameter concave portion for fitting the displacement sensor, which is provided on the upper wall of the measurement chamber and extends in a substantially vertical direction, are provided, and the displacement means is an inlet port. A fluid receiving plate spring that is fixed substantially horizontally at a lower position and above the outlet port, and temporarily receives the fluid that falls from the inlet port toward the outlet port.The detected body is fixed to the fluid receiving plate spring. And a cylindrical body into which the small-diameter recess can be fitted.
【0016】上記構成において、計測ケーシングは入口
ポートから流入した流体が出口ポートに向かって落下す
るように構成されている。そして、その落下途中で変位
手段である流体受け板バネによって一時的に受け止めら
れる。流体受け板バネは、バネの弾性力に抗して受け止
めた流体の流量に応じた変位量で下向きに撓み変形す
る。被検出体は流体受け板バネに設けられた筒状体であ
り、この筒状体は、変位センサが設けられた細径凹部に
嵌入する。変位センサは、特開2000−180109
号公報に開示されているものなどが好適に使用可能であ
り、細径凹部に挿入される筒状体の位置を検出し、これ
に基づいて流量を算出する。In the above construction, the measurement casing is constructed so that the fluid flowing from the inlet port drops toward the outlet port. Then, during the fall, it is temporarily received by the fluid receiving plate spring which is the displacing means. The fluid receiving plate spring flexes and deforms downward with an amount of displacement corresponding to the flow rate of the received fluid against the elastic force of the spring. The object to be detected is a tubular body provided on the fluid receiving plate spring, and the tubular body is fitted into a small-diameter recess provided with a displacement sensor. The displacement sensor is disclosed in JP-A-2000-180109.
It is possible to suitably use the one disclosed in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2003-242242, the position of the cylindrical body inserted into the small-diameter recess is detected, and the flow rate is calculated based on this.
【0017】上記構成によれば、簡単な構成で、変位手
段に流体を導くことができる。また、流体の落下距離を
調整することにより、変位手段にかかる動圧を調整する
ことも可能である。According to the above structure, the fluid can be guided to the displacement means with a simple structure. Further, the dynamic pressure applied to the displacement means can be adjusted by adjusting the drop distance of the fluid.
【0018】また、本発明は次の流量計を提供する。The present invention also provides the following flow meter.
【0019】流量計は、管路内を流動する流体の流量を
計測する流量計であって、前記管路の系内に組み込まれ
た計測ケーシングと、該計測ケーシング内部にそれぞれ
配置される、支持軸に固着される回転部材とを備えた分
散手段、前記流体の動圧を受けて変位する被検出体を有
する変位手段、及び、前記変位手段を初期位置方向に付
勢する付勢手段と、前記変位手段の変位を検知する変位
センサとを備え、前記回転部材は、前記管路から供給さ
れた流体を、その回転中心近傍で一時的に受け止め、前
記回転部材の回転によって発生する遠心力で前記回転部
材の周囲に放射状に飛散させて、前記回転部材の周囲に
配置された変位手段に衝突させる。The flow meter is a flow meter for measuring the flow rate of the fluid flowing in the pipe, and includes a measuring casing incorporated in the system of the pipe and a support arranged inside the measuring casing. Dispersing means including a rotating member fixed to a shaft, displacing means having a detected body that is displaced by receiving the dynamic pressure of the fluid, and urging means for urging the displacing means in the initial position direction. A displacement sensor for detecting the displacement of the displacement means, wherein the rotating member temporarily receives the fluid supplied from the conduit in the vicinity of its rotation center, and the centrifugal force generated by the rotation of the rotating member. It is scattered radially around the rotating member and collides with a displacement means arranged around the rotating member.
【0020】上記構成において、計測ケーシング内に
は、分散手段、変位手段、付勢手段が配置される。変位
センサは、前記変位手段の変位を検知することができれ
ば、ケーシングの内側でも外側でもよい。変位センサは
変位手段の近傍に配置されるのが好ましい。分散手段
は、変位手段に流体を供給するためのものであり、流体
に遠心力を与えて放射状に飛散させ、流体の速度を大き
くさせて変位手段へ衝突するときの衝撃を大きくさせ
る。すなわち、回転部材上に流体を導くことで容易に適
度な遠心力を流体に付与し、飛散した流体を変位部材と
衝突させることで、衝撃力を増大させることができる。
したがって、管内を流れる流量が少ない流量であって
も、遠心力を付加することによる衝撃力の増大に伴ない
動圧が増加し、流量の測定が可能となる。In the above structure, the dispersing means, the displacing means, and the urging means are arranged in the measuring casing. The displacement sensor may be inside or outside the casing as long as it can detect the displacement of the displacement means. The displacement sensor is preferably arranged near the displacement means. The dispersing means is for supplying the fluid to the displacing means, and applies a centrifugal force to the fluid to scatter the fluid in a radial manner to increase the velocity of the fluid and increase the impact when the fluid collides with the displacing means. That is, the impact force can be increased by easily imparting an appropriate centrifugal force to the fluid by guiding the fluid onto the rotating member and causing the scattered fluid to collide with the displacement member.
Therefore, even if the flow rate in the pipe is small, the dynamic pressure increases as the impact force increases due to the centrifugal force, and the flow rate can be measured.
【0021】上記構成において、好ましくは、前記変位
手段は、前記回転部材の周囲複数個所に設けられる。In the above structure, preferably, the displacement means are provided at a plurality of locations around the rotary member.
【0022】上記構成において、回転部材からは周方向
に均一に流体が飛散するため、回転部材の周囲であれば
任意の位置に変位手段を設けても均等に測定を行なうこ
とができる。よって、変位手段を複数設けて、周方向に
飛散した流体をそれぞれの変位手段によって、同様の精
度で計測することができる。複数の変位手段によって計
測することで計測点が増え、全体としての計測値の精度
を向上させることができる。一方、付勢力を違えた付勢
手段をそれぞれの変位手段に設けることによって、それ
ぞれの変位手段の計測範囲を変えることができ、装置全
体としての計測範囲を広げることができる。In the above structure, since the fluid is evenly scattered from the rotating member in the circumferential direction, even if the displacement means is provided at any position around the rotating member, the measurement can be performed uniformly. Therefore, a plurality of displacement means are provided, and the fluid scattered in the circumferential direction can be measured with the same accuracy by each displacement means. By measuring with a plurality of displacement means, the number of measurement points increases, and the accuracy of the measurement value as a whole can be improved. On the other hand, by providing each displacement means with the biasing means having different biasing forces, the measurement range of each displacement means can be changed and the measurement range of the entire apparatus can be widened.
【0023】上記各構成において、好ましくは、前記計
測ケーシングは、前記分散手段と前記変位手段と前記付
勢手段を収納する計測室と、前記管路の下流側に接続し
かつ計測室に連通する出口ポートと、前記管路の上流側
に接続しかつ前記出口ポートよりも上位の位置において
該計測室に連通する入口ポートとを備え、前記回転部材
は、前記入口ポートから供給された流体を、その回転中
心近傍で一時的に受け止め、前記回転部材の回転によっ
て発生する遠心力で前記回転部材の周囲に放射状に飛散
させて、前記回転部材の周囲に配置された変位手段に衝
突させる。上記構成によれば、簡単な構成で変位手段に
流体を導くことができる。In each of the above-mentioned configurations, preferably, the measurement casing is connected to the measurement chamber for accommodating the dispersion means, the displacement means and the urging means, and is connected to the downstream side of the pipeline and communicates with the measurement chamber. An outlet port, an inlet port that is connected to the upstream side of the conduit and communicates with the measurement chamber at a position higher than the outlet port, the rotary member, the fluid supplied from the inlet port, It is temporarily received in the vicinity of the center of rotation, and is radially scattered around the rotating member by the centrifugal force generated by the rotation of the rotating member to collide with the displacement means arranged around the rotating member. According to the above configuration, the fluid can be guided to the displacement means with a simple configuration.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1実施形態に
かかる流量計の構造を示す説明図である。この流量計1
は、入口ポート11、入口ポートよりも下位位置に設け
られた出口ポート12、出口ポートの上端に入口ポート
よりも上位位置に設けられた可動部分を収納する計測室
13を備えるケーシング2を備えている。ケーシング
は、入口ポート11及び出口ポート12がそれぞれ管路
5,6と接続するほかは完全に密閉するように構成され
ている。1 is an explanatory view showing the structure of a flow meter according to a first embodiment of the present invention. This flow meter 1
Is provided with a casing 2 including an inlet port 11, an outlet port 12 provided at a position lower than the inlet port, and a measurement chamber 13 for accommodating a movable portion provided at a position higher than the inlet port at an upper end of the outlet port. There is. The casing is constructed so as to be completely sealed except that the inlet port 11 and the outlet port 12 are connected to the conduits 5 and 6, respectively.
【0025】入口ポート11は、水平方向に伸び、上流
側の管路5に接続している。また、出口ポート12は、
垂直方向に伸び、下流側の管路6に連結している。計測
の対象である流体は、上流側の管路5から入口ポート1
1に送られ、途中で落下して出口ポート12から排出さ
れ、これに接続されている下流側の管路6に流れ込む。The inlet port 11 extends horizontally and is connected to the upstream pipe line 5. Also, the outlet port 12
It extends in the vertical direction and is connected to the pipeline 6 on the downstream side. The fluid to be measured is from the upstream pipeline 5 to the inlet port 1
1, is dropped on the way, is discharged from the outlet port 12, and flows into the downstream side pipe line 6 connected to the outlet port 12.
【0026】出口ポート12の上部に連結する計測室1
3は入口ポート11から所定の距離を隔てるため連結管
21により接続されており、収納室13に流体が流れ込
まないように構成されている。計測室13には、流量計
の可動部分が収納されている。Measuring chamber 1 connected to the upper part of the outlet port 12
3 is connected by a connecting pipe 21 so as to be separated from the inlet port 11 by a predetermined distance, and is configured so that the fluid does not flow into the storage chamber 13. The measuring chamber 13 accommodates the movable part of the flowmeter.
【0027】計測室13には、連結管21に対して大径
に構成され、かつ、垂直方向に力を加えると縮小変形す
るバネ20が配置されている。バネ20は、連結管21
よりも大きい径寸法を有するため、落下することがな
く、計測室13内に固定される。In the measuring chamber 13, there is arranged a spring 20 which has a large diameter with respect to the connecting pipe 21 and which contracts and deforms when a vertical force is applied. The spring 20 is a connecting pipe 21.
Since it has a larger diameter, it is fixed in the measuring chamber 13 without falling.
【0028】バネ20の上端には、バネ20を貫通する
ように設けられた変位部材3の被検出板16が固定され
ている。被検出板16は、計測室13の最上位位置に配
置され、被検出板16の下側には、バネ20を貫通して
鉛直方向に伸びる吊り下げ棒15が固定されている。被
検出板16がバネの径寸法よりも大きいため、これがバ
ネに係止されることによって変位部材3を支持してい
る。被検出板16は金属等の導電体で構成されているこ
とが必要であり、管路の壁を挟んで対向して設けられて
いる渦電流変位センサ17による、変位計測される対象
としての役割も有する。これについては、詳しくは後述
する。A plate to be detected 16 of the displacement member 3 provided so as to penetrate the spring 20 is fixed to the upper end of the spring 20. The plate to be detected 16 is arranged at the uppermost position of the measurement chamber 13, and the hanging bar 15 extending through the spring 20 in the vertical direction is fixed to the lower side of the plate to be detected 16. Since the plate to be detected 16 is larger than the diameter of the spring, it is supported by the spring to support the displacement member 3. The plate 16 to be detected needs to be made of a conductor such as a metal, and the role of the eddy current displacement sensor 17 provided opposite to each other with the wall of the conduit as a target of displacement measurement. Also has. This will be described later in detail.
【0029】変位部材3の吊り下げ棒15の下端は、流
体受け板14が水平方向に固着されている。流体受け板
14は、入口ポート11から出口ポート12へ落下する
流体を一時的に受け止めるものである。流体受け板14
は、入口ポート11よりも低位置でかつ出口ポート12
内に収まるように配置される。流体が入口ポート11か
ら流れてくると、重力に引かれて出口ポート12に落下
する。このとき、入口ポート11から流れてくるすべて
流体が流体受け板14の上面へ落下するように構成され
る。流体受け板14上に落下した流体は、矢印51に示
すように出口ポート12の下側から外部へ排出される。A fluid receiving plate 14 is horizontally fixed to the lower end of the suspension rod 15 of the displacement member 3. The fluid receiving plate 14 temporarily receives the fluid falling from the inlet port 11 to the outlet port 12. Fluid receiving plate 14
Is lower than the inlet port 11 and the outlet port 12
Arranged to fit inside. When the fluid flows from the inlet port 11, it is pulled by gravity and falls to the outlet port 12. At this time, all the fluid flowing from the inlet port 11 is configured to drop onto the upper surface of the fluid receiving plate 14. The fluid dropped on the fluid receiving plate 14 is discharged from the lower side of the outlet port 12 to the outside as shown by an arrow 51.
【0030】上記の被検出板16の上側には、ケーシン
グ2の壁を挟んで渦電流変位センサ17が配置される。
渦電流変位センサ17は、高周波電流を発生させて、対
向して配置される被検出板16に渦電流を発生させ、そ
の大きさを測定することにより被検出板がどの程度離れ
ているかを測定するものである。本流量計の動作中は、
渦電流変位センサ17は、略一定の所定時間ごとに被検
出板16との距離を測定する。渦電流変位センサ17か
ら出力される信号は、被検出板16の位置についての情
報であり、流量を求めるためには、これを用いて演算を
行う。An eddy current displacement sensor 17 is arranged above the plate to be detected 16 with the wall of the casing 2 interposed therebetween.
The eddy current displacement sensor 17 generates a high-frequency current to generate an eddy current in the plate 16 to be detected facing the eddy current, and measures the magnitude of the eddy current to measure how far the plate to be detected is separated. To do. During operation of this flow meter,
The eddy current displacement sensor 17 measures the distance to the plate to be detected 16 at substantially constant intervals of time. The signal output from the eddy current displacement sensor 17 is information about the position of the plate to be detected 16, and calculation is performed using this to obtain the flow rate.
【0031】流量計1のケーシング2は、その大部分が
金属で構成されているが、渦電流変位センサ17と被検
出板16との間の壁については、導電体である金属で構
成すると、被検出板16の計測に支障を生じることが考
えられる。したがって、本実施形態では、計測室13の
上壁には、ジルコニアセラミックス製の非伝導性壁19
を用いる。渦電流変位センサ17及び非伝導性壁19
は、初期位置における被検出板16にできるだけ接近す
るように配置することが好ましく、これを固定する固定
部18によってしっかりと固定される。なお、非伝導性
壁19に用いられる材料としては、ジルコニアセラミッ
クス以外にガラスや炭化ケイ素なども利用可能である。
ただし、ジルコニアセラミックスは、強度が高く、管路
内の厳しい高温、高圧の条件に対応可能であり、非伝導
性壁19の厚みを薄くすることができ、渦電流変位セン
サ17による被検出板16の検出精度を高く維持するこ
とができる点で好適である。また、熱伝導率も比較的低
く、内部の熱を外部に逃がしにくい点においても好適で
ある。Most of the casing 2 of the flowmeter 1 is made of metal. However, if the wall between the eddy current displacement sensor 17 and the plate to be detected 16 is made of metal that is a conductor, It is conceivable that the measurement of the detected plate 16 may be hindered. Therefore, in the present embodiment, the non-conductive wall 19 made of zirconia ceramics is provided on the upper wall of the measurement chamber 13.
To use. Eddy current displacement sensor 17 and non-conductive wall 19
Is preferably arranged so as to be as close as possible to the plate to be detected 16 in the initial position, and is firmly fixed by the fixing portion 18 for fixing this. As the material used for the non-conductive wall 19, glass, silicon carbide, or the like can be used in addition to zirconia ceramics.
However, the zirconia ceramics has high strength, can cope with severe conditions of high temperature and high pressure in the pipeline, can reduce the thickness of the non-conductive wall 19, and can detect the plate 16 to be detected by the eddy current displacement sensor 17. It is preferable in that the detection accuracy of can be maintained high. In addition, the thermal conductivity is also relatively low, and it is also suitable in that the heat inside cannot easily escape to the outside.
【0032】次に本実施形態にかかる流量計の動作につ
いて説明する。本実施形態にかかる流量計1では、流体
は前述のように上流側管路5から入口ポート11に入っ
て、出口ポート12へ落下して下流側管路6から外部に
排出される。このとき矢印50に示したように、流体は
変位部材3の流体受け板14上面に落下する。すると、
変位部材3には、流体受け板14上に落下した流体の重
量すなわち流量に比例して、下向きに動圧が働く。変位
部材3は、バネ20によって支持されているため、バネ
20の上端は、吊り下げ棒15によって流体受け板14
と連結されている被検出板16によって下向きに押圧さ
れて変形し、バネ20の変形に伴なう弾性力と流体によ
り変位部材3に加えられた押圧力がつりあうまで、変位
部材3は、矢印52に示したように、下向きに移動す
る。Next, the operation of the flowmeter according to this embodiment will be described. In the flowmeter 1 according to this embodiment, the fluid enters the inlet port 11 through the upstream pipe line 5, falls into the outlet port 12 and is discharged to the outside through the downstream pipe line 6 as described above. At this time, as shown by the arrow 50, the fluid drops onto the upper surface of the fluid receiving plate 14 of the displacement member 3. Then,
Dynamic pressure acts on the displacement member 3 downward in proportion to the weight of the fluid dropped on the fluid receiving plate 14, that is, the flow rate. Since the displacement member 3 is supported by the spring 20, the upper end of the spring 20 is supported by the suspension rod 15 on the fluid receiving plate 14.
The displacement member 3 is pressed downward by the plate 16 to be connected and is deformed, and the displacement member 3 is moved by the arrow until the elastic force accompanying the deformation of the spring 20 and the pressing force applied to the displacement member 3 by the fluid are balanced. As shown at 52, move downward.
【0033】変位部材3の移動は、その上に非伝導性壁
19を隔てて設けられている渦電流変位センサ17によ
ってその位置が測定される。渦電流変位センサ17は、
変位部材3の位置のみを検出することができるため、こ
の情報から初期状態における位置との差、すなわち変位
量を求め、流体の流量を算出する。具体的には、この情
報を図示しない演算部に入力し、バネの弾性力の情報を
用いて、変位部材の流体受け板14に接触した流体の重
量を算出し、これから流体の流量を算出する。The position of the displacement member 3 is measured by an eddy current displacement sensor 17 provided on the displacement member 3 with a non-conductive wall 19 therebetween. The eddy current displacement sensor 17 is
Since only the position of the displacement member 3 can be detected, the difference from the position in the initial state, that is, the displacement amount is obtained from this information, and the flow rate of the fluid is calculated. Specifically, this information is input to a calculation unit (not shown), the weight of the fluid in contact with the fluid receiving plate 14 of the displacement member is calculated using the information of the elastic force of the spring, and the flow rate of the fluid is calculated from this. .
【0034】本実施形態にかかる流量計1では、流量を
直接計測する渦電流変位センサ17がケーシング2の外
側に設けられており、管路外から変位部材3の変位を非
接触で検知、計測することによって、変位部材3に接触
した流体の量を測定することができる。したがって、高
温、高圧、高湿、高真空などの使用環境が厳しい状況下
においても流量を測定することができる。In the flowmeter 1 according to the present embodiment, the eddy current displacement sensor 17 for directly measuring the flow rate is provided outside the casing 2, and the displacement of the displacement member 3 is detected and measured from the outside of the pipeline without contact. By doing so, the amount of fluid in contact with the displacement member 3 can be measured. Therefore, the flow rate can be measured even in a severe environment such as high temperature, high pressure, high humidity, and high vacuum.
【0035】次に本発明の第2実施形態にかかる流量計
について説明する。図2は、本発明の第2実施形態にか
かる流量計1aの構造を示す説明図である。この流量計
1aは、可動部分を収納する計測室33と、計測室に連
通する入口ポート31、入口ポート31よりも低位置に
おいて計測室33に連通する出口ポート32から構成さ
れるケーシング2aを備えている。ケーシング2aは、
入口ポート31及び出口ポート32が管路5,6と接続
するほかは完全に密閉するように構成されている。Next, a flowmeter according to the second embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is an explanatory view showing the structure of the flow meter 1a according to the second embodiment of the present invention. The flowmeter 1a includes a casing 2a that includes a measurement chamber 33 that houses a movable part, an inlet port 31 that communicates with the measurement chamber, and an outlet port 32 that communicates with the measurement chamber 33 at a position lower than the inlet port 31. ing. The casing 2a is
The inlet port 31 and the outlet port 32 are configured to be completely sealed except that they are connected to the conduits 5 and 6.
【0036】入口ポート31は、計測室33に水平方向
に連通し、上流側の管路5に接続している。また、出口
ポート32は、計測室33の底壁から鉛直方向に延在
し、下流側の管路6に接続している。流体は、上流側の
管路5から入口ポート31に流れ込み、計測室33内で
落下して出口ポート32から排出され、これに接続され
ている下流側の管路6に流れ込む。The inlet port 31 communicates with the measurement chamber 33 in the horizontal direction and is connected to the upstream pipe line 5. Further, the outlet port 32 extends in the vertical direction from the bottom wall of the measurement chamber 33 and is connected to the pipeline 6 on the downstream side. The fluid flows into the inlet port 31 from the upstream pipe line 5, falls in the measurement chamber 33, is discharged from the outlet port 32, and flows into the downstream pipe line 6 connected thereto.
【0037】計測室には、入口ポート31から落下する
流体を受け止める回転部材35及び流体が接触すること
によって変位する変位部材3aとが設けられている。The measuring chamber is provided with a rotating member 35 for receiving the fluid falling from the inlet port 31 and a displacing member 3a which is displaced by the contact of the fluid.
【0038】回転部材35は、回転軸34bと、その下
端に固定された円板34aとから構成される。回転軸3
4bは、鉛直方向に設けられており、計測室33の壁を
貫通して計測室33の外に伸びている。回転軸34b
は、図示しない駆動部材によって、駆動力が伝えられ、
矢印53に示すように回転する。回転軸35bの下端に
設けられた円板34aは、回転軸34bの回転に伴なっ
て回転する。円板34aの上側には、円板34aの上面
かつ回転中心近傍に入口ポート31から流れてきた流体
を供給するためのノズル41が設けられている。ノズル
41から流出する流体42は、円板34aの回転中心近
傍に落下し、円板34aの回転によって遠心力が加わ
り、円板34a上を広がり、周囲に向かうにつれて均一
な厚みの薄膜を形成する。遠心力によってさらに周方向
に広がった流体の薄膜は、遠心力によって略均一な薄膜
状又は微細な液滴36となって円板34aの周縁から外
側ヘ飛散する。流体に与えられる遠心力は、円板34a
の回転数と径寸法によって調整することができる。The rotary member 35 comprises a rotary shaft 34b and a disc 34a fixed to the lower end of the rotary shaft 34b. Rotating shaft 3
4b is provided in the vertical direction, penetrates the wall of the measurement chamber 33, and extends to the outside of the measurement chamber 33. Rotating shaft 34b
Is transmitted by a driving member (not shown),
It rotates as shown by arrow 53. The disk 34a provided at the lower end of the rotary shaft 35b rotates as the rotary shaft 34b rotates. A nozzle 41 for supplying the fluid flowing from the inlet port 31 is provided on the upper surface of the disk 34a and near the center of rotation of the disk 34a. The fluid 42 flowing out from the nozzle 41 drops near the center of rotation of the disc 34a, and centrifugal force is applied by the rotation of the disc 34a, spreads on the disc 34a, and forms a thin film having a uniform thickness toward the periphery. . The thin film of the fluid further spread in the circumferential direction by the centrifugal force becomes a substantially uniform thin film or fine droplet 36 by the centrifugal force and is scattered from the peripheral edge of the disc 34a to the outside. The centrifugal force applied to the fluid is the disk 34a.
It can be adjusted by the number of rotations and the diameter dimension.
【0039】変位部材3aは、流体受け部材37と流体
受け部材37に固定される被検出板39とで構成され
る。流体受け部材37は、支持軸38によって支持され
ており、支持軸を中心として回転することができるよう
になっている。支持軸38を流体受け部材37の重心よ
り上側に位置させることによって、流体受け部材37は
全体としてバランサーを構成し、重力によって鉛直方向
に静止するようになっている。流体受け部材37の重量
を調整したり支持軸の位置を上下にすることによって、
流体受け部材37の変位量を調整することができる。流
体受け部材37の上端近傍37bには、被検出板39が
設けられており、流体受け部材37が矢印54に示すよ
うに支持軸を中心として回動すると、被検出板39も矢
印55に示す方向に移動する。被検出板39に対して、
管路の壁を隔てて渦電流変位センサ40が設けられてい
る。渦電流変位センサ40は、高周波電流を発生させ
て、対向して配置される被検出板39に渦電流を発生さ
せ、その大きさを測定することにより被検出板との距離
を測定する。流量計の動作中は、渦電流変位センサ40
は、略一定の所定時間ごとに被検出板39との距離を測
定する。渦電流変位センサ40から出力される信号は、
被検出板39の位置についての情報であり、流量を求め
るためには、これを用いて演算を行う。The displacement member 3a comprises a fluid receiving member 37 and a plate 39 to be detected fixed to the fluid receiving member 37. The fluid receiving member 37 is supported by a support shaft 38 and can rotate about the support shaft. By positioning the support shaft 38 above the center of gravity of the fluid receiving member 37, the fluid receiving member 37 constitutes a balancer as a whole, and is stationary in the vertical direction due to gravity. By adjusting the weight of the fluid receiving member 37 and moving the support shaft up and down,
The displacement amount of the fluid receiving member 37 can be adjusted. A detected plate 39 is provided near the upper end 37b of the fluid receiving member 37, and when the fluid receiving member 37 rotates about the support shaft as shown by arrow 54, the detected plate 39 also shows by arrow 55. Move in the direction. For the detected plate 39,
An eddy current displacement sensor 40 is provided across the wall of the conduit. The eddy current displacement sensor 40 generates a high frequency current to generate an eddy current in the plate to be detected 39 which is arranged to face the eddy current displacement sensor, and measures the magnitude of the eddy current to measure the distance to the plate to be detected. During operation of the flowmeter, the eddy current displacement sensor 40
Measures the distance from the plate to be detected 39 at substantially constant time intervals. The signal output from the eddy current displacement sensor 40 is
This is information about the position of the plate to be detected 39, and in order to obtain the flow rate, calculation is performed using this.
【0040】流量計1aのケーシング2aは、その大部
分が金属で構成されているが、渦電流変位センサ40と
被検出板39との間の壁については、導電体である金属
で構成すると、被検出板16の計測に支障を生じること
が考えられる。したがって、計測室33の渦電流変位セ
ンサ40が設けられている側の側壁44の一部について
は、ジルコニアセラミックス製の非伝導性壁43を用い
る。Most of the casing 2a of the flowmeter 1a is made of metal, but the wall between the eddy current displacement sensor 40 and the plate to be detected 39 is made of metal which is a conductor. It is conceivable that the measurement of the detected plate 16 may be hindered. Therefore, the non-conductive wall 43 made of zirconia ceramics is used for a part of the side wall 44 of the measurement chamber 33 on the side where the eddy current displacement sensor 40 is provided.
【0041】次に本実施形態にかかる流量計の動作につ
いて説明する。本実施形態にかかる流量計1aでは、流
体は前述のように上流側管路5から入口ポート31に入
ってノズル41によって回転部材35の円板34a上に
供給される。回転部材35は上述のように回転している
ため、円板34a上に配置された流体は、薄膜36とな
って円周水平方向に飛散する。このとき、円板34aに
よって与えられた遠心力で、薄膜36は勢いよく飛散す
るため、円板34aの周囲に軸支されている流体受け部
材37の下端近傍37aに衝突する。Next, the operation of the flowmeter according to this embodiment will be described. In the flowmeter 1a according to this embodiment, the fluid enters the inlet port 31 from the upstream pipe line 5 and is supplied onto the disc 34a of the rotating member 35 by the nozzle 41 as described above. Since the rotating member 35 is rotating as described above, the fluid arranged on the disk 34a becomes a thin film 36 and is scattered in the circumferential horizontal direction. At this time, the thin film 36 vigorously scatters due to the centrifugal force given by the disc 34a, so that the thin film 36 collides with the vicinity 37a of the lower end of the fluid receiving member 37 pivotally supported around the disc 34a.
【0042】下端近傍37aに流体が衝突した流体受け
部材37は、流体による押圧力が外向きに働く。一方、
流体受け部材37は支持軸38が上側に設けられている
ため、自重による重力が下向きに働き、鉛直方向に戻ろ
うとする力が常に働いている。したがって、変位部材3
7は、重力と流体による押圧力がつりあうまで、矢印5
4に示したように支持軸を中心として移動する。流体受
け部材37が移動することによって、矢印55に示すよ
うに、その上端に設けられた被検出板39も移動する。The fluid receiving member 37 in which the fluid collides with the vicinity 37a of the lower end is pressed outward by the fluid. on the other hand,
Since the support shaft 38 is provided on the upper side of the fluid receiving member 37, gravity due to its own weight works downward, and the force of returning to the vertical direction always works. Therefore, the displacement member 3
7 indicates arrow 5 until gravity and fluid pressure balance each other.
As shown in FIG. 4, it moves around the support shaft. As the fluid receiving member 37 moves, the detected plate 39 provided at the upper end also moves, as indicated by the arrow 55.
【0043】被検出板39の移動は、その間に非伝導性
壁43を隔てて設けられている渦電流変位センサ40に
よって測定される。渦電流変位センサ40は、被検出板
39の位置のみを検出することができるため、この情報
から変位量を求め、流体の流量を算出する必要がある。
具体的には、この情報を図示しない演算部に入力し、流
体受け部材の下端37aに衝突した流体の重量を算出す
る。The movement of the plate 39 to be detected is measured by an eddy current displacement sensor 40 provided with a non-conductive wall 43 therebetween. Since the eddy current displacement sensor 40 can detect only the position of the detection target plate 39, it is necessary to obtain the displacement amount from this information and calculate the fluid flow rate.
Specifically, this information is input to a calculation unit (not shown) to calculate the weight of the fluid that has collided with the lower end 37a of the fluid receiving member.
【0044】図3に示すように、流体受け部材に衝突す
る流体は、円板34aの全周方向に飛散するため、入口
ポート31から流れ込んだ流体の一部に過ぎない。しか
し、飛散した流体は均一な薄膜36であるため、流体受
け部材37に接触する流体の全量に対する割合は、全周
に対する流体受け部材37の円周を囲む角度範囲の全周
(360度)に対する割合にほぼ等しい。したがって、
流体受け部材37に衝突した流体の重量から、入口ポー
ト31に流れ込んだ流体の全量を導くことができる。As shown in FIG. 3, since the fluid that collides with the fluid receiving member scatters in the entire circumferential direction of the disc 34a, it is only a part of the fluid that has flowed in from the inlet port 31. However, since the scattered fluid is a uniform thin film 36, the ratio of the fluid contacting the fluid receiving member 37 to the total amount is relative to the entire circumference (360 degrees) of the angular range surrounding the circumference of the fluid receiving member 37. Almost equal to the proportion. Therefore,
From the weight of the fluid that collides with the fluid receiving member 37, the total amount of the fluid that has flowed into the inlet port 31 can be derived.
【0045】本実施形態にかかるの流量計1aでは、流
量を直接計測する渦電流変位センサ40がケーシングの
外側に設けられており、流動系外から変位部材3aの変
位を非接触で感知、計測することによって、流体受け部
材37に接触した流体の量を測定することができる。ま
た、流体は、円板34aの回転によって、遠心力が加わ
り、勢いよく流体受け部材37に衝突する。したがっ
て、流量が少ない場合であっても、流体受け部材の一定
量の変位を確保することができ、流量を測定することが
できる。また、流体受け部材は、その支持軸38の位置
を調整したり、その重心のバランスを調整することによ
って、変位を与えるために必要な応力を容易に調整する
ことができる。In the flow meter 1a according to the present embodiment, the eddy current displacement sensor 40 for directly measuring the flow rate is provided outside the casing, and the displacement of the displacement member 3a is sensed and measured from the outside of the flow system without contact. By doing so, the amount of fluid in contact with the fluid receiving member 37 can be measured. In addition, centrifugal force is applied to the fluid by the rotation of the disc 34 a, and the fluid vigorously collides with the fluid receiving member 37. Therefore, even when the flow rate is low, a certain amount of displacement of the fluid receiving member can be ensured and the flow rate can be measured. Further, the fluid receiving member can easily adjust the stress required to give the displacement by adjusting the position of the support shaft 38 and adjusting the balance of the center of gravity thereof.
【0046】また、本実施形態にかかる流量計の変形例
として、回転部材35の円板34aの周囲に複数の変位
部材を配置させることもできる。この構成の要部を図4
に示す。図4にかかる流量計では、回転部材35の円板
34aの周囲に3つの変位部材371〜373を配置す
る。このように変位部材を配置することによって、円板
34aから分散した流体を複数の流体受け部材に衝突さ
せ計測することで計測点が増え、全体としての計測値の
精度を向上させることができる。As a modified example of the flow meter according to this embodiment, a plurality of displacement members can be arranged around the disk 34a of the rotating member 35. The main part of this configuration is shown in FIG.
Shown in. In the flowmeter according to FIG. 4, three displacement members 371 to 373 are arranged around the disk 34a of the rotating member 35. By disposing the displacement member in this way, the number of measurement points is increased by colliding the fluid dispersed from the disk 34a with a plurality of fluid receiving members for measurement, and the accuracy of the measurement value as a whole can be improved.
【0047】また、各々の変位部材の変位に必要な応力
を変えて配置しておくことにより、計測可能範囲を広げ
ることができる。例えば、変位に必要な応力が第1の変
位部材371について最も小さく、第3の変位部材37
3について最も大きくなるように設定する。流量がごく
少ないときは、第2、第3の変位部材372,373は
変位が生じず検出することができないが、第1の変位部
材371では変位が生じ、流量を計測することができ
る。一方、流量がきわめて多く第1、第2の変位部材3
71,372の変位量が、最大量に達して計測ができな
いような場合であっても、第3の変位部材373の変位
量は最大量に達せず、計測を行うことができる。このよ
うに変位に必要な応力の値を変化させて変位部材を複数
設けることによって、計測範囲を広くすることができ
る。Further, the measurable range can be expanded by changing the stress required for the displacement of each displacement member and arranging them. For example, the stress required for displacement is the smallest for the first displacement member 371, and the third displacement member 37
3 is set to be the largest. When the flow rate is very small, the second and third displacement members 372 and 373 are not displaced and cannot be detected, but the first displacement member 371 is displaced and the flow rate can be measured. On the other hand, the flow rate is extremely large and the first and second displacement members 3
Even when the displacement amount of 71, 372 reaches the maximum amount and the measurement cannot be performed, the displacement amount of the third displacement member 373 does not reach the maximum amount and the measurement can be performed. In this way, by changing the value of the stress required for displacement and providing a plurality of displacement members, the measurement range can be widened.
【0048】次に本発明の第3実施形態にかかる流量計
について説明する。図5は、本発明の第3実施形態にか
かる流量計1bの構造を示す説明図である。この流量計
1bは、可動部分を収納する計測室63と、計測室に連
通する入口ポート61、入口ポート61よりも低位置に
おいて計測室63に連通する出口ポート62から構成さ
れるケーシングを備えている。ケーシングは、入口ポー
ト61及び出口ポート62が管路5,6と接続するほか
は完全に密閉するように構成されている。Next, a flowmeter according to the third embodiment of the present invention will be described. FIG. 5: is explanatory drawing which shows the structure of the flowmeter 1b concerning 3rd Embodiment of this invention. The flowmeter 1b includes a casing including a measurement chamber 63 that houses a movable part, an inlet port 61 that communicates with the measurement chamber, and an outlet port 62 that communicates with the measurement chamber 63 at a position lower than the inlet port 61. There is. The casing is configured to be completely sealed except that the inlet port 61 and the outlet port 62 are connected to the conduits 5 and 6.
【0049】入口ポート61は、計測室63に鉛直方向
に連通し、上流側の管路5に接続している。また、出口
ポート62は、計測室63の底壁から鉛直方向に延在
し、下流側の管路6に接続している。流体は、上流側の
管路5から入口ポート61に流れ込み、計測室63内で
落下して出口ポート62から排出され、これに接続され
ている下流側の管路6に流れ込む。The inlet port 61 communicates with the measurement chamber 63 in the vertical direction and is connected to the upstream pipe line 5. Further, the outlet port 62 extends in the vertical direction from the bottom wall of the measurement chamber 63 and is connected to the pipeline 6 on the downstream side. The fluid flows into the inlet port 61 from the upstream pipe line 5, falls in the measurement chamber 63, is discharged from the outlet port 62, and flows into the downstream pipe line 6 connected thereto.
【0050】計測室は、その上壁に変位センサを挿入す
るための細径凹部67を備えており、渦電流変位センサ
66(リベックス社製 パルスコーダー)が挿入されて配
置されるThe measuring chamber has a small-diameter recess 67 for inserting a displacement sensor in its upper wall, and an eddy current displacement sensor 66 (Pulse coder manufactured by Revex Co.) is inserted and arranged.
【0051】計測室には、入口ポート61から落下する
流体を受け止める流体受け板バネ64及び流体受け板バ
ネの中央部に配置されている筒状被検出体65とが設け
られている。The measurement chamber is provided with a fluid receiving plate spring 64 for receiving the fluid falling from the inlet port 61 and a tubular member to be detected 65 arranged in the center of the fluid receiving plate spring.
【0052】流体受け板バネ64は、略水平方向に延在
するようにその一端64aが計測室の側壁63aに固定
される。そして、流体受け板バネ64の中央部分に筒状
被検出体65が配置されるため、静止状態では流体受け
板バネは、計測室に固定されていない方の他端64bが
わずかに下がるように配置される。One end 64a of the fluid receiving plate spring 64 is fixed to the side wall 63a of the measuring chamber so as to extend in a substantially horizontal direction. Since the tubular detection target body 65 is arranged in the central portion of the fluid receiving plate spring 64, the other end 64b of the fluid receiving plate spring, which is not fixed to the measurement chamber, is slightly lowered in the stationary state. Will be placed.
【0053】筒状被検出体65は、アルミニウム等の金
属筒で構成されており、その内腔に細径凹部67が挿入
されるように配置される。そして、流体受け板バネが矢
印56で示すように上下に移動すると、筒状被検出体6
5も矢印57で示すように上下に移動し、細径凹部67
と重なる量が変化する。The tubular object to be detected 65 is made of a metal tube such as aluminum, and is arranged so that the small-diameter recess 67 is inserted into its inner cavity. Then, when the fluid receiving plate spring moves up and down as shown by an arrow 56, the tubular detected body 6
5 also moves up and down as shown by arrow 57,
The amount of overlap with changes.
【0054】次に本実施形態にかかる流量計の動作につ
いて説明する。本実施形態にかかる流量計1bでは、流
体は前述のように上流側管路5から入口ポート61に入
り、ノズル68から液滴69が流体受け板バネ64の自
由端64b上に供給される。流体受け板バネ64は、液
滴69を一時的に受け止め、流体による押圧力が下向き
に働く。一方、流体受け板バネ64は、下向きに変位し
ようとする力に対する弾性力を有する。したがって、流
体受け板バネ64は、弾性力と流体による押圧力がつり
あうまで、矢印56に示したように下向きに撓んで移動
する。Next, the operation of the flowmeter according to this embodiment will be described. In the flowmeter 1b according to the present embodiment, the fluid enters the inlet port 61 from the upstream pipe line 5 and the droplet 69 is supplied from the nozzle 68 onto the free end 64b of the fluid receiving spring 64 as described above. The fluid receiving plate spring 64 temporarily receives the droplet 69, and the pressing force of the fluid acts downward. On the other hand, the fluid receiving leaf spring 64 has an elastic force with respect to the force of displacing downward. Therefore, the fluid receiving plate spring 64 bends and moves downward as shown by the arrow 56 until the elastic force and the pressing force of the fluid are balanced.
【0055】流体受け板バネ64が移動すると、上述の
ように筒状被検出体65も移動し、細径凹部67との重
なりの量が変化する。細径凹部67に嵌入されている変
位センサは、細長く巻かれたコイルとコンデンサで構成
されている。変位センサ66にパルス波を印加すること
によりコイルに磁束が発生し、その磁束とアルミニウム
製の筒状被検出体とが対向して隣接すると、被検出体6
5表面に渦電流が発生し、金属の内部抵抗により熱に変
換される。すなわち、被検出体65とコイルとが重なる
部分では、磁束が少なくなり、コイルのインダクタンス
が減少する。When the fluid receiving plate spring 64 moves, the cylindrical object to be detected 65 also moves as described above, and the amount of overlap with the small-diameter recess 67 changes. The displacement sensor fitted in the small-diameter recess 67 is composed of a coil and a capacitor that are wound in a slender shape. When a pulse wave is applied to the displacement sensor 66, a magnetic flux is generated in the coil, and when the magnetic flux and the aluminum tubular detection object face each other, the detection object 6 is detected.
An eddy current is generated on the surface and converted into heat by the internal resistance of the metal. That is, in the portion where the detection object 65 and the coil overlap, the magnetic flux decreases and the inductance of the coil decreases.
【0056】コイルのインダクタンスが大きくなればな
るほど、コイルの自己誘導によって、コンデンサの両端
にかかる電圧がなだらかな広がりを持つ波形となる。こ
の波形の変化の程度により、コイルのインダクタンスす
なわち、コイルと被検出体66の重なりを算出し、これ
に基づいて被検出体65の位置から流体受け板バネ64
上に供給された流体の重量を算出する。As the coil inductance increases, the voltage applied to both ends of the capacitor becomes a waveform having a gentle spread due to self-induction of the coil. The inductance of the coil, that is, the overlap between the coil and the detected body 66 is calculated from the degree of the change in the waveform, and based on this, the fluid receiving leaf spring 64 is moved from the position of the detected body 65.
Calculate the weight of the fluid supplied above.
【0057】(適用例)本発明の流量計は、例えば、精
留塔などにおいて好適に使用することができる。図6は
本発明にかかる流量計を用いた精留塔のシステム構成図
である。この精留塔システム70は、精留塔71と凝縮
器72と還流分配器73、及び、流量計1とから構成さ
れる。(Application example) The flowmeter of the present invention can be preferably used in, for example, a rectification column. FIG. 6 is a system configuration diagram of a rectification column using the flow meter according to the present invention. The rectification tower system 70 is composed of a rectification tower 71, a condenser 72, a reflux distributor 73, and a flow meter 1.
【0058】精留塔71は、一般に多成分からなる液体
を加熱蒸留させるためのものである。精留塔からの蒸留
成分は矢印80に示すように凝縮器に導かれる。また、
精留塔71には、還流液を戻すための入口が設けられて
いる。The rectification column 71 is generally for heating and distilling a liquid containing multiple components. The distillation component from the rectification column is introduced to the condenser as shown by arrow 80. Also,
The rectification tower 71 is provided with an inlet for returning the reflux liquid.
【0059】凝縮器72は、精留塔71からの蒸留成分
を凝縮して液化させるものである。凝縮器72には、冷
却水が流れ込んで、蒸留成分と熱交換を行なうことによ
り、蒸留成分を凝縮させる。凝縮器72によって液化さ
れた蒸留成分は、還流分配器73に送られ、ここで所定
の割合に分配される。The condenser 72 condenses and liquefies the distillation component from the rectification column 71. Cooling water flows into the condenser 72 and heat-exchanges with the distillation component to condense the distillation component. The distillation component liquefied by the condenser 72 is sent to the reflux distributor 73, where it is distributed in a predetermined ratio.
【0060】還流分配器73は、凝縮器72によって液
化された蒸留成分のうち一部を留出液として製品タンク
74に送り、他方を還流液として精留塔に戻すために分
液するためのものである。したがって、矢印83、84
で示されるように、還流分配器のそれぞれの排出口から
は任意の割合で流体を排出することができる構成を有す
る。The reflux distributor 73 sends a part of the distillation components liquefied by the condenser 72 to the product tank 74 as a distillate, and separates the other as a reflux liquid for returning to the rectification column. It is a thing. Therefore, the arrows 83, 84
As shown by, the fluid is discharged from each outlet of the reflux distributor at an arbitrary ratio.
【0061】還流分配器は、公知のものを使用すること
ができる。公知の還流分配器としては、例えば、タイマ
ー方式のものが例示される。タイマー方式の還流分配器
は、供給された流体を分岐管に分岐させて流し、当該分
岐管のそれぞれに電磁弁やエアー作動弁などの開閉弁を
有するものである。この方式では、開閉弁を制御し、最
初の所定時間帯は一方の分岐管の弁のみを開放し、他方
の分岐管の弁を閉じることにより、一方のみの分岐管か
ら流体を排出させ、その次の時間帯においては、弁の開
閉を切り替えて流体が排出される分岐管を切り替える。
この方式では各弁の開閉時間を制御することによって、
各々の分岐管から排出される流体の流量を管理する。し
たがって、弁を開放する時間の比率によって、供給され
た流体を任意の比に分配することができる。As the reflux distributor, a known one can be used. As a known reflux distributor, for example, a timer system is illustrated. The timer-type reflux distributor is configured to branch the supplied fluid into branch pipes to flow, and each of the branch pipes has an opening / closing valve such as an electromagnetic valve or an air operated valve. In this method, the on-off valve is controlled so that only the valve of one branch pipe is opened and the valve of the other branch pipe is closed in the first predetermined time period to discharge the fluid from only one branch pipe. In the next time zone, the valve is opened / closed to switch the branch pipe through which the fluid is discharged.
In this method, by controlling the opening and closing time of each valve,
Control the flow rate of the fluid discharged from each branch pipe. Therefore, the supplied fluid can be distributed in any ratio depending on the ratio of the time for opening the valve.
【0062】還流分配器の排出口からそれぞれ排出され
た流体は、本発明にかかる流量計により流量を計測され
て、それぞれ、矢印86,85で示されるように、流出
液が製品タンク74へ、還流液が精留塔71へ移動す
る。The flow rate of each of the fluids discharged from the outlets of the reflux distributors is measured by the flow meter according to the present invention, and the effluent is discharged to the product tank 74 as indicated by arrows 86 and 85, respectively. The reflux liquid moves to the rectification column 71.
【0063】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施可能である。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be implemented in various other modes.
【0064】[0064]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の流量計に
よれば、変位部材に流体が接触することにより生じる被
検出体の変位をケーシング外に設けられた変位センサに
よって計測することで流体の流量を測定する。したがっ
て、管路を充満しない流体の測定を行うことができると
ともに、流動系内に変位センサが存在しないため、高
温、高湿、溶剤の存在下などの使用環境の厳しい管路を
流れる流体の測定を行なうことが可能である。As described above, according to the flow meter of the present invention, the displacement sensor provided outside the casing measures the displacement of the object to be detected caused by the contact of the fluid with the displacement member. Measure the flow rate of. Therefore, it is possible to measure the fluid that does not fill the pipeline, and since there is no displacement sensor in the flow system, measure the fluid that flows through the pipeline in a severe environment such as high temperature, high humidity, or in the presence of a solvent. It is possible to
【図1】 本発明の第1実施形態にかかる流量計の構造
を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a structure of a flow meter according to a first embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の第2実施形態にかかる流量計の構造
を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a structure of a flow meter according to a second embodiment of the present invention.
【図3】 図2の流量計における円板の変位部材との配
置関係を示す説明図である。3 is an explanatory diagram showing an arrangement relationship between a disc and a displacement member in the flow meter of FIG. 2. FIG.
【図4】 図2の流量計の変形例を示す要部説明図であ
る。FIG. 4 is a main part explanatory view showing a modified example of the flow meter of FIG.
【図5】 本発明の第3実施形態にかかる流量計の構造
を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a structure of a flowmeter according to a third embodiment of the present invention.
【図6】 本発明にかかる流量計を用いた精留塔のシス
テム構成図である。FIG. 6 is a system configuration diagram of a rectification column using a flow meter according to the present invention.
1,1a,1b 流量計 2,2a,2b ケーシング 3,3a 変位部材 5 上流側管路 6 下流側管路 11,31,61 入口ポート 12,32,62 出口ポート 13,33,63 計測室 14 流体受け板 15 吊り下げ棒 16,39 被検出板 17,40,66 渦電流変位センサ 18 固定部 19,43 非伝導性壁 20 バネ 21 連結管 34a 円板 34b 回転軸 35 回転部材 37 流体受け部材 38 支持軸 41,68 ノズル 64 流体受け板バネ 65 筒状被検出体 67 細径凹部 1,1a, 1b Flowmeter 2,2a, 2b casing 3,3a Displacement member 5 Upstream pipeline 6 Downstream pipeline 11,31,61 Inlet port 12, 32, 62 Exit port 13,33,63 Measuring room 14 Fluid receiving plate 15 hanging rod 16,39 Detected plate 17, 40, 66 Eddy current displacement sensor 18 Fixed part 19,43 Non-conductive wall 20 spring 21 Connection pipe 34a disc 34b rotating shaft 35 Rotating member 37 Fluid receiving member 38 Support shaft 41,68 nozzles 64 Fluid receiving plate spring 65 Cylindrical object to be detected 67 Fine recess
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 棚橋 真一郎 和歌山県和歌山市湊1334番地 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 柴田 賢吾 和歌山県和歌山市湊1334番地 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 柴田 啓二 和歌山県和歌山市湊1334番地 花王株式会 社研究所内 Fターム(参考) 2F030 CA10 CE04 CE13 CH05 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Shinichiro Tanahashi Kao Stock Association, 1334 Minato Minato, Wakayama City, Wakayama Prefecture Company research institute (72) Inventor Kengo Shibata Kao Stock Association, 1334 Minato Minato, Wakayama City, Wakayama Prefecture Company research institute (72) Inventor Keiji Shibata Kao Stock Association, 1334 Minato Minato, Wakayama City, Wakayama Prefecture Company research institute F term (reference) 2F030 CA10 CE04 CE13 CH05
Claims (7)
流量計であって、前記管路の系内に組み込まれた計測ケ
ーシングと、該計測ケーシング内部にそれぞれ配置され
る、前記流体の動圧を受けて変位する被検出体を有する
変位手段、及び、前記変位手段を初期位置方向に付勢す
る付勢手段と、前記計測ケーシングの外面に配置された
非接触型の変位センサとを備え、 前記変位手段が流体の流量に応じた動圧を受けることに
より、前記付勢手段の付勢力に抗して前記流体の動圧に
応じた変位量だけ変位し、前記変位センサが前記被検出
体の変位量を検出することで流量を測定する流量計。1. A flowmeter for measuring a flow rate of a fluid flowing in a pipe, wherein the measuring casing incorporated in the system of the pipe and the fluid of the fluid arranged in the measuring casing, respectively. Displacement means having an object to be displaced which receives dynamic pressure, urging means for urging the displacement means in an initial position direction, and a non-contact type displacement sensor arranged on the outer surface of the measurement casing. The displacement means receives a dynamic pressure according to the flow rate of the fluid, and is displaced by a displacement amount corresponding to the dynamic pressure of the fluid against the urging force of the urging means. A flow meter that measures the flow rate by detecting the amount of displacement of the detector.
る請求項1記載の流量計。2. The flow meter according to claim 1, wherein the displacement sensor is an eddy current displacement sensor.
して前記管路の上流側に接続する入口ポートと、その下
部でかつ入口ポートより低位に位置するとともに前記管
路の下流側に接続する出口ポートと、その上部に位置す
る計測室とを備え、 前記変位手段は、入口ポートより低位でかつ出口ポート
より上位に位置して入口ポートから出口ポートに向けて
落下する流体を一時的に受け止める流体受け板と、該流
体受け板を吊り下げて計測室に向けて上方に延在する吊
り下げ棒と、計測室の最上方に位置しかつ吊り下げ棒の
上端に固定された被検出体とを備え、 前記付勢手段は、該被検出体を吊り下げ棒及び流体受け
板とともに弾力的に支持して被検出体を常時最上端位置
に付勢するバネ部材よりなり、 前記変位センサは、被検出体と対向する位置において、
計測ケーシングの上壁外面に配置された請求項1又は2
記載の流量計。3. The measuring casing is located on a side portion thereof and connected to an upstream side of the pipeline, and an inlet port is located below the measuring port and lower than the inlet port and is connected to a downstream side of the pipeline. An outlet port and a measurement chamber located above the outlet port, wherein the displacement means is positioned lower than the inlet port and higher than the outlet port, and temporarily moves the fluid that drops from the inlet port toward the outlet port. A fluid receiving plate that receives it, a hanging rod that hangs the fluid receiving plate and extends upward toward the measurement chamber, and an object to be detected that is located at the top of the measurement chamber and is fixed to the upper end of the hanging rod. And the biasing means is a spring member that elastically supports the detection target together with the suspension rod and the fluid receiving plate to constantly bias the detection target to the uppermost end position, and the displacement sensor is , Facing the object to be detected In position,
The method according to claim 1, wherein the measurement casing is arranged on the outer surface of the upper wall.
Flowmeter as described.
側に接続する入口ポートと、前記入口ポートより低位に
位置するとともに前記管路の下流側に接続する出口ポー
トと、前記出口ポートの上部に位置する計測室と、前記
計測室の上壁に設けられ、かつ略鉛直方向に延在する前
記変位センサを嵌入するための細径凹部が設けられてお
り、 前記変位手段は、入口ポートより低位かつ出口ポートよ
り上位で略水平に固定され、入口ポートから出口ポート
に向けて落下する流体を一時的に受け止める流体受け板
バネであり、 前記被検出体は、前記流体受け板バネに固定され、前記
細径凹部が嵌入可能な筒状体である請求項1又は2記載
の流量計。4. The measurement casing has an inlet port connected to an upstream side of the pipeline, an outlet port located lower than the inlet port and connected to a downstream side of the pipeline, and an upper portion of the outlet port. A measurement chamber located at, and a small-diameter recess for fitting the displacement sensor, which is provided on the upper wall of the measurement chamber and extends in a substantially vertical direction, is provided, A fluid receiving plate spring that is fixed substantially horizontally above the lower port and above the outlet port and that temporarily receives the fluid that falls from the inlet port toward the outlet port, and the detected body is fixed to the fluid receiving plate spring. The flowmeter according to claim 1 or 2, which is a tubular body into which the small-diameter recess can be fitted.
流量計であって、 前記管路の系内に組み込まれた計測ケーシングと、 該計測ケーシング内部にそれぞれ配置される、支持軸に
固着される回転部材とを備えた分散手段、前記流体の動
圧を受けて変位する被検出体を有する変位手段、及び、
前記変位手段を初期位置方向に付勢する付勢手段と、 前記変位手段の変位を検知する変位センサとを備え、 前記回転部材は、前記管路から供給された流体を、その
回転中心近傍で一時的に受け止め、前記回転部材の回転
によって発生する遠心力で前記回転部材の周囲に放射状
に飛散させて、前記回転部材の周囲に配置された変位手
段に衝突させる流量計。5. A flow meter for measuring a flow rate of a fluid flowing in a pipe, wherein a measuring casing incorporated in the system of the pipe and support shafts respectively arranged inside the measuring casing. A dispersion means having a fixed rotating member, a displacement means having an object to be displaced which receives a dynamic pressure of the fluid, and
The displacement member includes an urging unit that urges the displacement unit in the initial position direction, and a displacement sensor that detects the displacement of the displacement unit, and the rotating member is configured so that the fluid supplied from the conduit is near the rotation center thereof. A flowmeter that receives the light temporarily, causes the centrifugal force generated by the rotation of the rotating member to scatter radially around the rotating member, and collides the displacement means arranged around the rotating member.
前記変位手段と前記付勢手段を収納する計測室と、前記
管路の下流側に接続しかつ計測室に連通する出口ポート
と、前記管路の上流側に接続しかつ前記出口ポートより
も上位の位置において該計測室に連通する入口ポートと
を備え、 前記回転部材は、前記入口ポートから供給された流体
を、その回転中心近傍で一時的に受け止め、前記回転部
材の回転によって発生する遠心力で前記回転部材の周囲
に放射状に飛散させて、前記回転部材の周囲に配置され
た変位手段に衝突させる請求項5に記載の流量計。6. The measuring casing includes a measuring chamber for accommodating the dispersing means, the displacing means, and the urging means, an outlet port connected to a downstream side of the pipeline and communicating with the measuring chamber, and the pipe. An inlet port connected to the upstream side of the passage and communicating with the measurement chamber at a position higher than the outlet port, wherein the rotating member temporarily retains the fluid supplied from the inlet port near its rotation center. 6. The flowmeter according to claim 5, wherein the flowmeter is received positively and is radially scattered around the rotating member by a centrifugal force generated by the rotation of the rotating member to collide with a displacement means arranged around the rotating member.
数個所に設けられる請求項5又は6記載の流量計。7. The flowmeter according to claim 5, wherein the displacement means is provided at a plurality of locations around the rotary member.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001324865A JP2003130696A (en) | 2001-10-23 | 2001-10-23 | Flowmeter |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107101686A (en) * | 2017-06-30 | 2017-08-29 | 荆州市明德科技有限公司 | Thermal production well steam mass flow measurement target-type flow sensor and target type meter |
USD866375S1 (en) | 2017-08-02 | 2019-11-12 | Buoy Labs, Inc. | Water flow monitoring device |
US10704935B2 (en) | 2016-12-04 | 2020-07-07 | Buoy Labs, Inc. | Fluid flow detector with tethered drag block |
US11781895B2 (en) | 2018-02-23 | 2023-10-10 | Buoy Labs, Inc. | Fluid flow analysis and management |
-
2001
- 2001-10-23 JP JP2001324865A patent/JP2003130696A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10704935B2 (en) | 2016-12-04 | 2020-07-07 | Buoy Labs, Inc. | Fluid flow detector with tethered drag block |
CN107101686A (en) * | 2017-06-30 | 2017-08-29 | 荆州市明德科技有限公司 | Thermal production well steam mass flow measurement target-type flow sensor and target type meter |
USD866375S1 (en) | 2017-08-02 | 2019-11-12 | Buoy Labs, Inc. | Water flow monitoring device |
US11781895B2 (en) | 2018-02-23 | 2023-10-10 | Buoy Labs, Inc. | Fluid flow analysis and management |
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