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JP2002353777A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ

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JP2002353777A
JP2002353777A JP2001159768A JP2001159768A JP2002353777A JP 2002353777 A JP2002353777 A JP 2002353777A JP 2001159768 A JP2001159768 A JP 2001159768A JP 2001159768 A JP2001159768 A JP 2001159768A JP 2002353777 A JP2002353777 A JP 2002353777A
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JP
Japan
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electrode
acoustic wave
filter
surface acoustic
idt
Prior art date
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Application number
JP2001159768A
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Naoki Takahashi
直樹 高橋
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toyo Communication Equipment Co Ltd filed Critical Toyo Communication Equipment Co Ltd
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  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 縦結合二重モードSAWフィルタを2つ縦続
接続したフィルタの通過域の平坦化と、挿入損失の低減
とを図る手段を得る。 【解決手段】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
に沿って3つのIDT電極と、これらのIDT電極の両
側に反射器とを配置した縦結合二重モードSAWフィル
タであって、中央のIDT電極の近接する2本の電極指
をIDT電極に亘って均等に間引きし、その位置に短絡
グレーティングを設けて、フィルタを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
に関し、特に入出力インピーダンスの異なる縦続接続型
弾性表面波フィルタのフィルタ特性を改善した弾性表面
波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、弾性表面波フィルタ(以下、SA
Wフィルタと称す)は通信分野で広く利用され、高性
能、小型、量産性等の優れた特徴を有することから特に
携帯電話機等に多く用いられている。また、最近の携帯
電話機等ではデジタル回路とアナログ回路とを非常に小
さな空間に収容する必要から、他の回路からのノイズを
極力低減する必要がある。このため、RF回路、IF回
路の入出力回路を平衡型化して、ノイズを低減する手段
が採用されるようになり、RF及びIF回路等に用いら
れるデバイスにも平衡型化が要求されている。特に、携
帯端末機のRFフィルタ、例えば欧州のE−GSMに用
いられるTXフィルタの規格は、中心周波数が897.5M
Hz、帯域幅が35MHzであり、入出力インピーダンス
として、例えば入力平衡型200Ω−出力不平衡型50
ΩのSAWフィルタが要求されている。
【0003】図9は縦1次−3次モードを用いた縦結合
1次−3次二重モード表面波フィルタ(以下、二重モー
ドSAWフィルタと称す)の構成を示す平面図であっ
て、圧電基板51の主表面上に表面波の伝搬方向に沿っ
てIDT電極52、53、54を近接配置すると共に、
該IDT電極52、53、54の両側にグレーティング
反射器(以下、反射器と称す)55a、55bを配設し
て二重モードSAWフィルタを構成する。IDT電極5
2、53、54はそれぞれ互いに間挿し合う複数の電極
指を有する一対のくし形電極から形成され、IDT電極
52の一方のくし形電極を入力端子INに接続し、他方
のくし形電極を接地する。さらに、IDT電極53、5
4のそれぞれ一方のくし形電極を出力端子OUT1、O
UT2に接続すると共に、他方のくし形電極を接地して
二重モードSAWフィルタを構成する。なお、IDT電
極52の最外側の電極指幅を幅広にするのは、周知のよ
うに、二重モードSAWフィルタの通過帯域を拡大する
ためである。
【0004】二重モードSAWフィルタの減衰傾度を急
峻にし、あるいは保証減衰量を大きくするには、図10
に示すように、同じ構成の二重モードSAWフィルタを
2段縦続接続することにより得られる。図11(a)に
示すフィルタ特性は、図10に示した縦続接続型の電極
パターン構成を用いて、圧電基板に39°LiTaO3、中央
のIDT電極52、52’を18.5対、両端のIDT
電極53、54、53’、54’をそれぞれ12.5
対、反射器55a、55b、55’a、55’bの本数
をそれぞれ200本、交叉幅を60λ(λはIDT電極
52等の電極周期)、電極膜厚を7%λと設定した場合
のフィルタ特性である。また、フィルタは不平衡型構成
で、入出力インピーダンスは50Ω−50Ωである。次
に、図11(b)に示す円線図は、図10に示した二重
モードSAWフィルタF1の出力2端子(あるいは、フ
ィルタF2の入力2端子)を短絡し、該端子から測定し
たインピーダンスをスミス図表で示したもので、図中の
数字1と3とは帯域(35MHz)の両端の周波数を、
数字2は中心周波数を表している。このスミス図表より
フィルタF1(F2)のインピーダンスは帯域内では実
軸(水平の軸)に近い値になっていることが分かる。
【0005】数年前より携帯電話機等の通話品質を改善
するために、平衡型RF回路に用いられるIC回路(チ
ップセット)が標準化され、その入力インピーダンスは
必ずしも50Ωではなく、50Ωから200Ωの種々の
値にわたる。これらのチップセットのインピーダンスに
合わせるべく、例えば入力平衡型200Ω−出力不平衡
型50Ωの縦続接続型二重モードSAWフィルタが要求
されるようになった。そこで、出力側フィルタには図9
に示したインピーダンス50Ωの不平衡型二重モードS
AWフィルタを用い、入力側のフィルタには図12に示
すように、入出力インピーダンスを互いに異にした二重
モードSAWフィルタを用いたものが提案されている。
即ち、中央のIDT電極62の両端から相等しい本数の
電極指を所定の本数だけそれぞれ分離し、両側のIDT
電極63、64の内側寄りで、且つ一方のくし形電極の
バスバーにそれぞれ接続してダミー電極66、67を構
成する。このような構成にすると、入力インピーダンス
はIDT電極62の対数でほぼ決定されるために、分離
された電極指の本数に応じて入力インピーダンスは増大
される。一方IDT電極63、64の電極対数は変化し
ないので出力インピーダンスはほぼ不変である。
【0006】しかし、IDT電極62、63、64及び
分離したダミー電極66、67のそれぞれのピッチを全
て等ピッチにして、縦続型二重モードSAWフィルタを
構成すると、通過帯域内の平坦性が得られないことが分
かった。そこでIDT電極62のピッチをL、IDT
電極63、64のピッチをL、ダミー電極のピッチを
とするとき、L=L>Lと設定すれば、通過
域内の平坦性が改善できることが知られている。
【0007】図13に示すフィルタ特性の実線Bは、入
力平衡型200Ω−出力不平衡型50Ωの縦続接続型二
重モードSAWフィルタの通過域特性を示す図であっ
て、このフィルタは図9に示す二重モードSAWフィル
タを出力側フィルタとして用い、図12に示す二重モー
ドSAWフィルタを入力側フィルタとして縦続接続した
フィルタである。出力側フィルタの諸定数は図11に示
した値を用い、入力側のフィルタの定数値として、中央
のIDT電極62の対数を13対、両側のIDT電極6
3、64の電極対数をそれぞれ12.5対、ダミー電極
66、67の本数をそれぞれ5本、IDT電極の交差幅
60λ(λはIDT電極の電極周期)、電極膜厚を7%
λと設定したときのフィルタ特性である。比較のため
に、図11に示した不平衡型入力50Ω−出力50Ωの
縦続型フィルタの通過域特性(破線A)を重ね書きして
ある。また、図13(b)は、図12に示した入出力イ
ンピーダンスダンスを互いに異なるようにした二重モー
ドSAWフィルタにおいて、出力側OUT1とOUT2
とを接続して測定した出力インピーダンスのスミス図表
である。図11(b)に示したスミス図表と比べると、
帯域内(数字の1と3)で周波数が高周波側に変化する
と、図上で右上がりの曲線を描いていることが分かる。
即ち、段間接続する両側IDT電極のインピーダンスが
図11(b)に比べ、実軸からずれていることが分か
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように従来の入力平衡型−出力不平衡型のフィルタであ
って、且つ、入出力インピーダンスの異なる縦続接続型
二重モードSAWフィルタにおいては、不平衡型入力5
0Ω−出力50Ωの縦続型二重モードSAWフィルタに
比べて、通過域内の平坦性が劣化すると共に、挿入損失
が大きくなるという問題があった。本発明は上記問題を
解決するためになされたものであって、入出力インピー
ダンスの互いに異なる縦続接続型二重モードSAWフィ
ルタの通過域内の平坦性を改善すると共に挿入損失を改
善したフィルタを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る弾性表面波フィルタの請求項1記載の発
明は、圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って
3つのIDT電極と、これらのIDT電極の両側にグレ
ーティング反射器とを配設した1次−3次縦結合二重モ
ード弾性表面波フィルタにおいて、前記中央のIDT電
極を構成する電極指の少なくとも一対を間引きすると共
に、その位置に短絡グレーティングを設けたことを特徴
とする弾性表面波フィルタである。請求項2記載の発明
は、前記短絡グレーティングが口字型、U字型、H字型
のいずれかであること特徴とする請求項1に記載の弾性
表面波フィルタである。請求項3記載の発明は、圧電基
板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT
電極と、これらのIDT電極の両側にグレーティング反
射器とを配設した1次−3次縦結合二重モード弾性表面
波フィルタにおいて、前記中央のIDT電極を構成する
電極指の少なくとも2本を間引きすると共に、その位置
に短絡グレーティングを設けたことを特徴とする弾性表
面波フィルタである。請求項4記載の発明は、前記中央
のIDT電極全体に亘ってほぼ均等に間引きが施されて
いることを特徴とする請求項1乃至3記載の弾性表面波
フィルタである。請求項5記載の発明は、前記中央のI
DT電極を構成するくし形電極のそれぞれの電極指数を
同数としたことを特徴とする請求項1乃至4に記載の弾
性表面波フィルタである。請求項6記載の発明は、圧電
基板の主表面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのID
T電極と、これらのIDT電極の両側にグレーティング
反射器とを配設した1次−3次縦結合二重モード弾性表
面波フィルタと、請求項1乃至5に記載の1次−3次縦
結合二重モード弾性表面波フィルタとを縦続接続したこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタである。
【0010】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る二
重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であって、
圧電基板1の主表面上に表面波の伝搬方向に沿ってID
T電極2、3、4を近接配置すると共に、これらIDT
電極2、3、4の両側に反射器5a、5bを配置して構
成した二重モードSAWフィルタである。本発明の特徴
は中央のIDT電極2の構成法であって、正規型IDT
電極を構成する電極指を一対ずつ、即ち、隣接する2本
の電極指をIDT電極全体に亘って均等に間引きすると
共に、間引きした位置に短絡グレーティング(図1の場
合は縦長の口字型)を配設して形成する。なお、IDT
電極3、4は通常の正規型電極で、互いに間挿し合う複
数の電極指を有する一対のくし形電極より形成される。
そして、IDT電極2のそれぞれのくし形電極から平衡
型入力端子IN1、IN2にボンディングワイヤ等にて
接続し、IDT電極3、4のそれぞれ一方のくし形電極
と出力端子OUT1、OUT2とそれぞれボンディング
ワイヤを接続すると共に、他のくし形電極はそれぞれ接
地する。
【0011】図1に示すように二重モードSAWフィル
タを構成すると、図9に示したような従来のIDT電極
構成の二重モードSAWフィルタの入出力インピーダン
スと比較して、出力側のOUT1−OUT2から見たイ
ンピーダンスダンスはほぼ同じであるが、入力側のIN
1−IN2からみたインピーダンスは大きくなる。これ
は、短絡グレーティングは表面波の駆動には寄与せず、
駆動電極のみがフィルタのインピーダンスに関与してく
るからである。従って、短絡グレーティングが多くなる
ほど、インピーダンスは大きくなり、所望のインピーダ
ンスが得られるように、短絡グレーティングの個数を設
定することになる。
【0012】図2は、図1に示した本発明に係る二重モ
ードSAWフィルタを入力側のフィルタF2として採用
し、図9に示した従来の不平衡型50Ωの二重モードS
AWフィルタを出力側フィルタF1として用いて構成し
た入出力インピーダンスが互いに異なる縦続接続型二重
モードSAWフィルタである。入力インピーダンスダン
スは、短絡グレーティングの個数を適宜設定することに
より、要求するインピーダンスが得られるように設定す
る。図3(a)は、図2に示した入出力インピーダンス
が互いに異なる縦続接続型二重モードSAWフィルタの
フィルタ特性であって、出力側不平衡フィルタF1(5
0Ω)の諸定数値は図11に示した諸定数値を用い、入
力側平衡型フィルタF2(200Ω)のIDT電極3、
4はそれぞれ12.5対、反射器5a、5bはそれぞれ
200本、交差幅を60λ、電極膜を7%λに設定し
た。IDT電極2の構成は、縦長の口字型短絡グレーテ
ィングを「S」、IDT電極1対を「1」にて表すもの
として、{1−S−0.5−S−1−S−1−S−1−S
−1−S−1−S−1−S−0.5−S−1}と、計9
対のIDT電極と、9個の短絡グレーティングSにて構
成している。
【0013】図3(b)はフィルタ特性を比較するため
に、同図(a)の本発明に係るフィルタの通過域特性
(実線A)と、図13(a)に示した従来の入力平衡型
200Ω−出力不平衡型50Ωの通過域特性を破線Bに
て重ね書きしたものである。本発明のフィルタは通過域
特性が広く、且つ平坦になると共に挿入損失が改善され
ている。図3(c)は、図2に示したフィルタF2の出
力側2端子を短絡して測定したインピーダンスをスミス
図表で表したものである。この図から通過帯域の周波数
においてはスミス図表は、図13(b)のスミス図表に
比較して、実軸により近接していることが分かる。即
ち、図11(b)のスミス図表と、図3(c)のスミス
図表とを比較すると、互いのインピーダンスダンス同志
が実軸上でより近接した値となっていることが、通過域
の平坦性と、挿入損失の改善に寄与していると考えられ
る。
【0014】図4は本発明に係る第2の実施例であっ
て、IDT電極16、17、18を近接配置すると共
に、該IDT電極16、17、18の両側に反射器19
a、19bを配設して構成した、入出力インピーダンス
を互いに異にする二重モードSAWフィルタである。こ
のフィルタの特徴は中央IDT電極16の構成であり、
正規型IDT電極を構成する電極指を一対ずつ、IDT
電極全体に亘って均等に間引きすると共に、間引きした
位置に逆U字型短絡グレーティング(あるいはU字型短
絡グレーティング)を配設して形成する。このようなI
DT電極16とすることにより入力インピーダンスは短
絡グレーティングの個数に応じてインピーダンスが大き
くなる。一方、出力側のインピーダンスはIDT電極1
7、18の電極対数で決まるので、対数を50Ωになる
ように設定すればよい。
【0015】図5は第3の実施例であって、図4で示し
たIDT電極16の逆U字型短絡電極を、図5のIDT
電極20に示すようにH字型短絡電極に置換したもので
ある。このH字型短絡電極でも図4の逆U字型短絡電極
とほぼ同様な効果がある。図6は第4の実施例であっ
て、IDT電極24を構成するそれぞれのくし形電極の
電極指本数を同数とし、伝送特性の振幅及び位相のバラ
ンスを改善したフィルタである。バランスの測定は、出
力側OUT1及び2を短絡して入力とし、平衡型入力I
N1、IN2の一方を所定の抵抗値の1/2で終端し、
他方の端子の振幅と位相とを測定する。次に端子を入れ
替えて同様に測定し、測定した2つの振幅同志がほぼ等
しく、位相がほぼ180°異なるようにしたフィルタで
ある。中央IDT電極24に構成に伴い、極性を合わせ
るためにIDT電極26を図4、5のそれと極性を反転
させた。図7は第5の実施例でIDT電極28は図6の
IDT電極24と同様であるが、極性を合わせるために
IDT電極30を図4、5のそれと同極性とするが、I
DT電極28の最外側の電極指と、IDT電極30の最
内側の電極指の間隔を3λ/4だけ離している。
【0016】図8は第6の実施例の二重モードSAWフ
ィルタの構成を示す平面図であって、中央IDT電極4
0の構成に特徴がある。即ち、正規型の中央IDT電極
40を構成する電極指を3本ずつ、IDT電極全体に亘
って均等に間引きすると共に、間引きした位置に短絡グ
レーティングを配設して構成する。このようなIDT電
極40とすることにより入力インピーダンスは短絡グレ
ーティングの個数に応じてインピーダンスを大きくする
ことができる。一方、出力側のインピーダンスはIDT
電極41、42の電極対数で決まるので、対数を50Ω
になるように設定すればよい。この例のように、電極指
を一対ずつ短絡グレーティングに置き換えるだけでな
く、相隣接する3本以上の電極を組みとして短絡グレー
ティングに置き換えても同様の効果が得られる。
【0017】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、請求項1に記載の発明は入出力インピーダンスを
互いに異ならせることができると共に、そのインピーダ
ンス値を従来の二重モードSAWフィルタのインピーダ
ンス値に近づけることが可能であるという優れた特徴を
有する。請求項2に記載の発明は短絡グレーティングの
形状を具体的に示しており、実用上有益である。請求項
3に記載の発明は間引き電極をほぼ均等の行うことによ
り、インピーダンスを改善し、縦続接続する際のフィル
タの整合を改善する。請求項4に記載の発明は間引き電
極指の本数を2本以上とすることにより、インピーダン
スを大きくする場合に特徴を発揮する。請求項5に記載
の発明はIDT電極を構成するそれぞれのくし形電極の
電極指数を同数とすることにより、平衡型入力のバラン
ス特性を改善する。請求項6に記載の発明は本発明にな
る二重モードSAWフィルタと、従来の二重モードSA
Wフィルタとを縦続接続した場合に、入出力インピーダ
ンスを互いに異ならせると共に、通過域の平坦性と挿入
損失を低減するという優れた効果を表す。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る入出力インピーダンスを互いに異
にする二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図で
ある。
【図2】本発明に係る二重モードSAWフィルタを用い
て構成した入力平衡型200Ω−出力不平衡型50Ωの
縦続接続型二重モードSAWフィルタである。
【図3】(a)は図2に示したフィルタの通過域特性を
示す図、(b)は本発明になるフィルタAと従来のフィ
ルタBの通過域特性を比較した図、(c)は本発明にな
るフィルタAのスミス図表である。
【図4】本発明に係る第2の実施例である二重モードS
AWフィルタの構成を示す平面図である。
【図5】本発明に係る第3の実施例である二重モードS
AWフィルタの構成を示す平面図である。
【図6】本発明に係る第4の実施例であるバランスを改
善した二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図で
ある。
【図7】本発明に係る第5の実施例である二重モードS
AWフィルタの構成を示す平面図である。
【図8】本発明に係る第6の実施例である二重モードS
AWフィルタの構成を示す平面図である。
【図9】従来の1次−3次縦結合二重モードSAWフィ
ルタ(二重モードSAWフィルタ)の構成を示す平面図
である。
【図10】従来の不平衡型の縦続接続型二重モードSA
Wフィルタ(入出力50Ω)の構成を示す平面図であ
る。
【図11】(a)は図10の構成のフィルタの通過域特
性を示す図、(b)はその入力あるいは出力のインピー
ダンスのスミス図表である。
【図12】従来の入出力インピーダンスを互いに異にす
る二重モードSAWフィルタの構成を示す平面図であ
る。
【図13】(a)は図9と12とを縦続接続したフィル
タの通過域特性(実践B)と、比較のために、図11
(a)に示す通過域特性を波線Aにて重ね書きした図、
(b)は図12の構成のフィルタの出力側インピーダン
スをスミス図表で表した図である。
【符号の説明】
1・・圧電基板 2、3、4、12、13、14、16、1720、2
1、22、24、25、26、28、29、30、4
0、41、42・・IDT電極 5a、5b、15a、15b、19a、19b、23
a、23b、27a、27b、31a、31b、43
a、43b・・グレーティング反射器

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
    に沿って3つのIDT電極と、これらのIDT電極の両
    側にグレーティング反射器とを配設した1次−3次縦結
    合二重モード弾性表面波フィルタにおいて、 前記中央のIDT電極を構成する電極指の少なくとも一
    対を間引きすると共に、その位置に短絡グレーティング
    を設けたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】 前記短絡グレーティングが口字型、U字
    型、H字型のいずれかであること特徴とする請求項1に
    記載の弾性表面波フィルタ。
  3. 【請求項3】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
    に沿って3つのIDT電極と、これらのIDT電極の両
    側にグレーティング反射器とを配設した1次−3次縦結
    合二重モード弾性表面波フィルタにおいて、 前記中央のIDT電極を構成する電極指の少なくとも2
    本を間引きすると共に、その位置に短絡グレーティング
    を設けたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  4. 【請求項4】 前記中央のIDT電極全体に亘ってほぼ
    均等に間引きが施されていることを特徴とする請求項1
    乃至3記載の弾性表面波フィルタ。
  5. 【請求項5】 前記中央のIDT電極を構成する2つの
    くし形電極のそれぞれの電極指本数を同数としたことを
    特徴とする請求項1乃至4に記載の弾性表面波フィル
    タ。
  6. 【請求項6】 圧電基板の主表面上に表面波の伝搬方向
    に沿って3つのIDT電極と、これらのIDT電極の両
    側にグレーティング反射器とを配設した1次−3次縦結
    合二重モード弾性表面波フィルタと、請求項1乃至5に
    記載の1次−3次縦結合二重モード弾性表面波フィルタ
    とを縦続接続したことを特徴とする弾性表面波フィル
    タ。
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