JP2002277411A - Method and apparatus for inspecting transparent laminate - Google Patents
Method and apparatus for inspecting transparent laminateInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本願発明は、液晶表示装置
(LCD)などの透明積層体の内部に異物が存在してい
るか否かを検査する技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for inspecting a transparent laminate such as a liquid crystal display (LCD) for the presence of foreign matter inside.
【0002】[0002]
【従来の技術】複数の透明体が積層された透明積層体と
しては、たとえば図6に示した液晶表示装置(LCD)
2がある。このLCD2は、たとえば一対の透明基板2
1a,21bの間に液晶22を封止した形態とされ、各
透明基板21a,21bの表面に偏光板23a,23b
が配置された透過型として構成されている。このような
LCD2では、通常は、工場からの出荷段階では、偏光
板23aの表面に樹脂製などの保護シート24を貼り付
けて偏光板23aを保護している。この状態において、
LCD2の内部に、ガラスカレット、樹脂粒、ファイバ
ー、気泡などの異物が存在していないかが検査される。2. Description of the Related Art As a transparent laminated body in which a plurality of transparent bodies are laminated, for example, a liquid crystal display (LCD) shown in FIG.
There are two. The LCD 2 includes, for example, a pair of transparent substrates 2
The liquid crystal 22 is sealed between the transparent substrates 1a and 21b, and the polarizing plates 23a and 23b are provided on the surfaces of the transparent substrates 21a and 21b.
Are arranged as a transmission type. In such an LCD 2, usually, at the stage of shipment from a factory, a protective sheet 24 made of resin or the like is attached to the surface of the polarizing plate 23a to protect the polarizing plate 23a. In this state,
The LCD 2 is inspected for foreign matter such as glass cullet, resin particles, fibers, and bubbles.
【0003】異物の検査は、たとえば図7に示したよう
に照明装置3によりLCD2に光を照射するとともに、
CCDカメラなどの固体撮像装置4によりLCD2を撮
像することにより行われる。この場合、固体撮像装置4
による撮像は、図8(a)〜(d)に示したように各透
明体(たとえば保護シート24、偏光板23aあるいは
透明基板21aなど)の表面を1画像として行われ、各
画像から各透明体の表面状態を把握して、LCD2内に
異物が存在するか否かが判断される。[0003] Inspection of foreign matter, for example, as shown in FIG.
This is performed by imaging the LCD 2 with a solid-state imaging device 4 such as a CCD camera. In this case, the solid-state imaging device 4
8A to 8D, the surface of each transparent body (for example, the protective sheet 24, the polarizing plate 23a, or the transparent substrate 21a) is taken as one image, and each transparent object is converted from each image. By grasping the surface condition of the body, it is determined whether or not a foreign substance exists in the LCD 2.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、LCD
2の保護シート24には、図6に示したようにキズ24
aが付いていたり、汚れ24bが付着していることがあ
り、この場合には、そのキズ24aや汚れ24bが、図
8(a)〜(d)に示したように保護シート24よりも
下層にある透明体(偏光板23aや透明基板21aな
ど)の画像に写り込んでしまう。このため、各画像にお
いて異物と思われるものが存在しても、それが保護シー
ト24のキズ24aや汚れ24bの影響によるものであ
ることもある。その結果、LCD2の内部には異物が存
在しておらず、LCD2自体が良品であるにもかかわら
ず、それを不良品として判断してしまうといった誤判定
が生じてしまう。このような不具合は、LCD2に限ら
ず、他の透明積層体においても生じることである。However, LCDs
As shown in FIG. 6, the protective sheet 24 of FIG.
a, or the dirt 24b may be attached. In this case, the scratches 24a and dirt 24b are lower than the protective sheet 24 as shown in FIGS. 8 (a) to 8 (d). In the transparent body (such as the polarizing plate 23a and the transparent substrate 21a). For this reason, even if there is a foreign substance in each image, it may be due to the influence of the scratch 24a or the dirt 24b of the protective sheet 24. As a result, there is no foreign substance inside the LCD 2, and an erroneous determination occurs that the LCD 2 itself is determined to be defective even though the LCD 2 itself is good. Such a problem occurs not only in the LCD 2 but also in other transparent laminates.
【0005】本願発明は、このような事情のもとに考え
だされたものであって、透明積層体における異物の存在
を精度良く検査できるようにすることをその課題として
いる。The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to enable accurate inspection of the presence of foreign matter in a transparent laminate.
【0006】[0006]
【発明の開示】本願発明では、上記した課題を解決すべ
く、次の技術的手段を講じている。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention employs the following technical means to solve the above-mentioned problems.
【0007】本願発明の第1の側面により提供される透
明積層体の検査方法は、複数の透明体が積層された透明
積層体の内部に異物が存在するか否かを検査する方法で
あって、上記透明体に光を照射するとともに、上記各透
明体の表面における光の反射状態から上記各透明体の表
面状態を把握する第1のステップと、上記各透明体の表
面状態から、その表面または内部に異物が存在する可能
性のある透明体を特定する第2のステップと、この第2
のステップにおいて特定された透明体の表面状態と、こ
の透明体に隣接する少なくとも1つの透明体の表面状態
とを比較して、上記透明積層体内に異物が存在するか否
かを判断する第3のステップと、を含むことを特徴とし
ている。[0007] The method for inspecting a transparent laminate provided by the first aspect of the present invention is a method for inspecting whether or not a foreign substance exists inside a transparent laminate in which a plurality of transparent bodies are laminated. A first step of irradiating the transparent body with light and grasping the surface state of each transparent body from the reflection state of light on the surface of each transparent body; Or a second step of specifying a transparent body in which foreign matter may be present inside;
Comparing the surface state of the transparent body specified in the step with the surface state of at least one transparent body adjacent to the transparent body to determine whether or not there is a foreign substance in the transparent laminate; And a step of:
【0008】本願発明の第2の側面においては、複数の
透明体が積層された透明積層体の内部に異物が存在する
か否かを検査する装置であって、上記透明積層体に光を
照射する照明手段と、上記透明積層体からの反射光を受
光する受光手段と、この受光手段により得られた光の光
量に応じて画像情報を演算する演算手段と、を備えた透
明積層体の検査装置において、上記演算手段は、上記各
透明体毎にこの透明体の表面状態の画像情報を演算し、
かつ、上記各透明体の表面状態から、異物が存在する可
能性のある透明体を特定するとともに、この透明体の表
面状態と当該透明体に隣接する少なくも1つの透明体の
表面状態とを比較して上記透明積層体内に異物が存在す
るか否かを判断する異物判断手段をさらに備えたことを
特徴とする、透明積層体の検査装置が提供される。According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting the presence or absence of a foreign substance inside a transparent laminate in which a plurality of transparent bodies are laminated, and irradiating the transparent laminate with light. Inspection of a transparent laminate comprising: an illuminating means for receiving light; a light receiving means for receiving reflected light from the transparent laminate; and a calculating means for calculating image information according to the amount of light obtained by the light receiving means. In the apparatus, the calculating means calculates, for each of the transparent bodies, image information of a surface state of the transparent body,
In addition, from the surface state of each transparent body, a transparent body in which a foreign substance may be present is specified, and the surface state of this transparent body and the surface state of at least one transparent body adjacent to the transparent body are determined. An apparatus for inspecting a transparent laminate is provided, further comprising a foreign matter judging means for judging whether or not there is a foreign matter in the transparent laminate.
【0009】好ましい実施の形態においては、上記各透
明体の表面状態は、当該透明体からの光反射状態を輝度
として測定することにより把握され、上記透明積層体に
異物が存在するか否かは、異物の存在する可能性のある
透明体と、この透明体に隣接する少なくとも1つの透明
体との輝度の差分が、閾値よりも大きいか否かにより判
断される。In a preferred embodiment, the surface state of each of the transparent bodies is grasped by measuring the state of light reflection from the transparent bodies as luminance, and it is determined whether or not foreign matter exists in the transparent laminate. The determination is made based on whether or not the difference in luminance between the transparent body in which a foreign substance may be present and at least one transparent body adjacent to the transparent body is larger than a threshold value.
【0010】ところで、透明体の表面状態を透明積層体
に光を照射したときの反射光の輝度を基準として特定す
る場合には、キズや異物が存在する部分、あるいは上層
の透明体のキズなどの影響を受けた部分の輝度は同一の
透明体における他の部分に比べて大きくなる。一方、上
層にある透明体のキズなどが当該透明体よりも下層にあ
る透明体に与える影響の程度は、キズなどがある透明体
から離れた透明体ほど小さくなる。In the case where the surface state of the transparent body is specified based on the luminance of the reflected light when the transparent laminate is irradiated with light, a part where a flaw or a foreign substance is present, or a flaw of the upper transparent body is determined. The brightness of a portion affected by the above becomes greater than other portions of the same transparent body. On the other hand, the degree of the effect of a flaw or the like of the transparent body in the upper layer on the transparent body in the lower layer than the transparent body becomes smaller as the distance of the flaw or the like from the transparent body increases.
【0011】そのため、異物が存在する可能性のある透
明体(異物候補透明体)の表面状態を、これよりも上層
あるいは下層にある透明体のうちの少なくとも一方の透
明体の表面状態と比較すれば、異物と思われるものが上
層にある透明体のキズなどによる影響なのか、あるいは
特定された透明体の表面または内部に異物が存在してい
るために輝度が大きくなっているのかを判別できるよう
になる。Therefore, the surface state of the transparent body in which foreign matter may be present (the foreign body candidate transparent body) is compared with the surface state of at least one of the transparent bodies above or below the transparent body. For example, it can be determined whether the foreign substance is considered to be an effect of a scratch on the upper transparent body, or whether the luminance is increased due to the presence of the foreign substance on the surface or inside of the specified transparent body. Become like
【0012】たとえば、キズなどがある透明体における
キズなどの部分の輝度が、下層の透明体ではどの程度の
輝度として測定されるかを予め調べておき、異物候補透
明体における対応部分(異物候補部分)の輝度と、異物
候補透明体よりも上層および下層にある透明体の少なく
とも一方における対応部分の輝度の差分をとり、その値
が予め定められた閾値よりも大きいか否かを判断すれ
ば、異物候補部分が実際に異物が存在しているために輝
度が大きくなっているのか、あるいは上層にある透明体
のキズなどの影響を受けて輝度が大きくなっているのか
を判断できるようになる。その結果、たとえば異物候補
透明体よりも上層にある透明体のキズなどの影響よる誤
判定を回避して、透明積層体の内部に異物が存在するか
否かを確実に検査できるようになる。For example, the luminance of a portion such as a flaw in a transparent body having a flaw or the like is measured in advance as to what degree of luminance is measured in the lower transparent body, and the corresponding portion (foreign substance candidate) in the foreign substance candidate transparent body is checked. The difference between the brightness of the corresponding portion and the brightness of the corresponding portion in at least one of the transparent body above and below the foreign object candidate transparent body is determined, and it is determined whether or not the value is greater than a predetermined threshold. It is possible to determine whether the luminance of the candidate foreign substance part is increased due to the presence of a foreign substance, or whether the luminance is increased due to a flaw of a transparent body in an upper layer. . As a result, for example, it is possible to avoid erroneous determination due to the influence of, for example, a flaw of the transparent body located above the foreign body candidate transparent body, and to reliably inspect whether or not foreign matter exists inside the transparent laminate.
【0013】本願発明のその他の利点および特徴につい
ては、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明
らかとなるであろう。[0013] Other advantages and features of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments of the present invention.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図1ないし図5を参照して具体的に説明
する。ここで、図1は本願発明に係る透明積層体の検査
装置の一例を示す模式図、図2は図1の検査装置による
各透明体の表面状態の撮像方法を説明するための要部概
略拡大図、図3は撮像時における透明体積層体の要部平
面図、図4は透明体を撮像した画像の例を示す図、図5
は異物判断処理を説明するためのフローチャートであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an inspection apparatus for a transparent laminate according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic enlarged view of an essential part for explaining a method of imaging the surface state of each transparent body by the inspection apparatus of FIG. FIG. 3 is a plan view of a main part of the transparent body laminate at the time of imaging, FIG. 4 is a view showing an example of an image of the transparent body taken, and FIG.
9 is a flowchart for explaining a foreign matter determination process.
【0015】図1に示すように、検査装置1は、透明積
層体2の内部に異物が存在しているか否かを検査するも
のであり、照明装置3、撮像装置4、情報処理装置5を
備えて大略構成されている。As shown in FIG. 1, an inspection apparatus 1 inspects whether or not a foreign substance exists inside a transparent laminate 2. The inspection apparatus 1 includes an illumination device 3, an imaging device 4, and an information processing device 5. It is roughly configured.
【0016】透明積層体2は、複数の透明体が積層され
たものであり、図2および図6には透明積層体2の一例
としての液晶表示装置(LCD)が表されている。この
LCD2は、透過型として構成されたものであり、線状
の透明電極20a,20bが複数設けられた一対の透明
基板21a,21bが、これらの透明電極21a,21
bどうしが対向するようにして配置されている。一対の
透明基板21a,21bの間には、液晶が充填されて液
晶層22が設けられており、各透明基板20a,20b
における液晶層22と隣接する面とは反対の面には偏光
板23a,23bが配置されている。また、LCD2を
工場から出荷する段階においては、偏光板23aの表面
には、樹脂製などの透明の保護シート24が設けられて
いる。The transparent laminate 2 is formed by laminating a plurality of transparent bodies, and FIGS. 2 and 6 show a liquid crystal display (LCD) as an example of the transparent laminate 2. The LCD 2 is configured as a transmissive type, and a pair of transparent substrates 21a and 21b provided with a plurality of linear transparent electrodes 20a and 20b are used as the transparent electrodes 21a and 21b.
b are arranged so as to face each other. A liquid crystal layer 22 is provided between the pair of transparent substrates 21a and 21b and filled with liquid crystal.
The polarizers 23a and 23b are arranged on the surface opposite to the surface adjacent to the liquid crystal layer 22 in FIG. When the LCD 2 is shipped from the factory, a transparent protective sheet 24 made of resin or the like is provided on the surface of the polarizing plate 23a.
【0017】なお、LCD2では、少なくとも一対の透
明基板21a,21b、液晶層22、偏光板23a,2
3b、および保護シート24が透明積層体2の透明体を
構成している。また、LCD2は、その内部に異物が存
在するか否かを検査する場合には、スライドテーブル6
0に対して支持部61を介して固定され、照明装置3お
よび撮像装置4に対して、図中の矢印X方向に相対的に
移動させられるものとする。In the LCD 2, at least a pair of transparent substrates 21a and 21b, a liquid crystal layer 22, and polarizing plates 23a and 2a.
3b and the protection sheet 24 constitute the transparent body of the transparent laminate 2. In addition, the LCD 2 checks the slide table 6 when inspecting whether or not foreign matter exists inside the LCD 2.
0 is fixed via a support portion 61 and is relatively moved with respect to the illumination device 3 and the imaging device 4 in the arrow X direction in the figure.
【0018】照明装置3は、図2に示すように透明積層
体2に対する入射角がθとなるように光を照射するもの
である。この照明装置3は、たとえばレーザ光源、コリ
メータレンズおよび非球面のシリンダーレンズ(図示
略)を有しており、透明積層体2の幅方向の全長にわた
って線状にレーザ光を照射可能とされている。上述した
通り、LCD2は照明装置3および撮像装置4に対して
相対的に移動せられるため、LCD2の検査において
は、照明装置3によるレーザ光はLCD2のX方向(図
1参照)を走査させられることとなる。このレーザ光
は、たとえば波長が635nm、ライン幅が30μmと
される。The illuminating device 3 irradiates light so that the incident angle with respect to the transparent laminate 2 becomes θ as shown in FIG. The illuminating device 3 has, for example, a laser light source, a collimator lens, and an aspherical cylinder lens (not shown), and can irradiate the laser beam linearly over the entire length of the transparent laminate 2 in the width direction. . As described above, since the LCD 2 is relatively moved with respect to the illumination device 3 and the imaging device 4, in the inspection of the LCD 2, the laser light from the illumination device 3 is caused to scan the LCD 2 in the X direction (see FIG. 1). It will be. This laser beam has, for example, a wavelength of 635 nm and a line width of 30 μm.
【0019】照明装置3によりLCD2に対して線状の
レーザ光を照射した場合には、レーザ光の大部分がLC
D2を透過するが、その一部は各透明体(保護シート2
4や偏光板23a)の表面(界面)において反射する。
したがって、照明装置3によりLCD2に対して線状の
レーザ光を照射した状態を平面視すれば、図3に示した
ように複数本の輝線A,B,C,D,Eが確認される。When the illumination device 3 irradiates the LCD 2 with linear laser light, most of the laser light
D2, but a part of each of the transparent bodies (protective sheet 2)
4 and the surface (interface) of the polarizing plate 23a).
Therefore, when the illumination device 3 irradiates the LCD 2 with linear laser light in a plan view, a plurality of bright lines A, B, C, D, and E are confirmed as shown in FIG.
【0020】撮像装置4は、図2に示したように固体撮
像素子40と集光レンズ41とを有している。The image pickup device 4 has a solid-state image pickup device 40 and a condenser lens 41 as shown in FIG.
【0021】固体撮像素子40は、図面上には表れてい
ないが、LCD2の幅方向(図1の矢印X方向と交差す
る方向)に延びる列状に配置された複数の受光素子を有
している。もちろん、このような列を複数を設けて、複
数の受光素子をマトリックス状に配置してもよい。各受
光素子は、LCD2からの反射光の光量に応じた量の電
荷を出力するものであり、複数の受光素子が列状に配置
された結果、輝線A〜Eとして現れた反射光は、複数の
ドットデータからなるラインデータとして出力される。Although not shown in the drawing, the solid-state image pickup device 40 has a plurality of light-receiving elements arranged in a row extending in the width direction of the LCD 2 (direction intersecting with the arrow X direction in FIG. 1). I have. Of course, a plurality of such rows may be provided, and the plurality of light receiving elements may be arranged in a matrix. Each light receiving element outputs an electric charge of an amount corresponding to the amount of reflected light from the LCD 2. As a result of arranging the plurality of light receiving elements in a row, reflected light appearing as bright lines A to E becomes a plurality. Is output as line data composed of dot data of.
【0022】一方、集光レンズ41は、各受光素子に対
して個別に光を集光可能な構成とされている。この集光
レンズ41は、たとえばアクチュエータ42により光軸
方向に往復動可能とされており、集光レンズ41を移動
させることにより複数本の輝線A〜Eのいずれにも焦点
を合わせることができる。したがって、固体撮像装置4
は、各透明体毎に、その表面からの反射光を重点的に受
光することができる。その結果、固体撮像装置4は、L
CD2における照明ラインに応じた反射状態のラインデ
ータを、各透明体毎に出力することができる。もちろ
ん、各輝線A〜Eに対するピント合わせは、その他の構
成により達成してもよい。On the other hand, the condenser lens 41 is configured to be capable of individually condensing light on each light receiving element. The condenser lens 41 can be reciprocated in the optical axis direction by, for example, an actuator 42. By moving the condenser lens 41, any one of the plurality of bright lines A to E can be focused. Therefore, the solid-state imaging device 4
Can mainly receive the reflected light from the surface of each transparent body. As a result, the solid-state imaging device 4
Line data in a reflection state corresponding to the illumination line in the CD 2 can be output for each transparent body. Of course, focusing on each of the bright lines A to E may be achieved by another configuration.
【0023】情報処理装置5は、たとえばCPU、RA
MおよびROMなどを備えて構成されており、図1に示
したように制御手段50、演算手段51、および異物判
断手段52としての機能を有している。The information processing device 5 includes, for example, a CPU, RA
M and a ROM, etc., and have functions as a control unit 50, a calculation unit 51, and a foreign matter determination unit 52 as shown in FIG.
【0024】制御手段50は、照明装置3(図1参照)
の点灯・消灯、スライドテーブル60(図1参照)の移
動、固体撮像装置4の集光レンズ41(図2参照)の移
動などを制御するものである。The control means 50 controls the lighting device 3 (see FIG. 1).
, The movement of the slide table 60 (see FIG. 1), the movement of the condenser lens 41 (see FIG. 2) of the solid-state imaging device 4, and the like.
【0025】演算手段51は、固体撮像素子40から出
力に基づいて、各透明体(保護シート24や偏光板23
a(図2参照))の表面状態を表現するのに必要なデー
タを演算するものである。より具体的には、固体撮像素
子40からの出力に応じて、各透明体毎に各ラインを構
成するドットの輝度を演算し、これを集積して、図4
(a)〜(c)に例示したように各透明体毎に輝度を基
準とて表現されたドットマップデータ(画像情報)を演
算するものである。The calculating means 51 outputs the respective transparent bodies (the protection sheet 24 and the polarizing plate 23) based on the output from the solid-state image sensor 40.
a (see FIG. 2)) to calculate data necessary to represent the surface state. More specifically, in accordance with the output from the solid-state imaging device 40, the brightness of the dots constituting each line is calculated for each transparent body, and the calculated brightness is integrated.
As shown in (a) to (c), dot map data (image information) expressed based on luminance is calculated for each transparent body.
【0026】なお、図4(a)〜(c)では、説明の簡
便のために8×8のドットマップとして各透明体毎に1
枚の画像としてデータが演算された結果を示している。
また、図4(a)〜(c)では、黒色、クロスハッチィ
ング、シングルハッチィング、白色の4種類のドットが
描かれているが、これらのドット表現は図面に表現する
ための便宜的な手法であり、実際の画像としては、たと
えば輝度の大小が濃淡として表現される。さらに、図4
では、黒色>クロスハッチィング>シングルハッチィン
グ>白色の順に輝度が大きくなるように表示されてあ
り、キズや異物が存在する部分に対応するドットは輝度
が大きくなることから、たとえば図4(a)〜(c)に
おいては、白色のドット以外は、異物が存在する可能性
があるために白色ドットよりも輝度が大きくなっている
ドット(異物候補ドット)を示している。In FIGS. 4A to 4C, for the sake of simplicity of explanation, one 8 × 8 dot map is used for each transparent body.
The result of calculating data as one image is shown.
Also, in FIGS. 4A to 4C, four types of dots of black, cross hatching, single hatching, and white are drawn, but these dot expressions are convenient for expressing in the drawings. This is a method, and as an actual image, for example, the magnitude of the luminance is expressed as a shade. Further, FIG.
In FIG. 4, the luminance is displayed such that the luminance increases in the order of black> cross hatching> single hatching> white, and the dot corresponding to a portion where a flaw or a foreign substance exists has a higher luminance. 3) to (c) show dots (foreign matter candidate dots) whose luminance is higher than that of the white dots due to the possibility of foreign matter other than white dots.
【0027】異物判断手段52は、異物が存在している
可能性のある透明体(異物候補透明体)を特定し、この
透明体に実際に異物が存在しているか否かを判断するも
のである。その具体的な異物判断処理手法を図5のフロ
ーチャートを参照しつつ、図1および図4をも同時に参
照して説明する。The foreign matter determining means 52 specifies a transparent body (foreign matter candidate transparent body) in which a foreign matter may exist, and determines whether or not a foreign matter actually exists in this transparent body. is there. The specific foreign matter determination processing method will be described with reference to the flowchart of FIG. 5 and also to FIG. 1 and FIG.
【0028】異物判断手段52は、まずLCD2の透明
体の中に異物の存在する可能性のある透明体(異物候補
透明体)があるか否かを判断する(S1)。各透明体に
異物が存在する場合には、その部分における輝度が大き
くなることから、異物判断手段52は、たとえば各透明
体毎に輝度が250cd/m2以上である異物候補ドッ
トが存在するか否かにより異物候補透明体が有無を判断
する。The foreign matter determining means 52 first determines whether or not there is a transparent body (foreign matter candidate transparent body) in which foreign matter may exist in the transparent body of the LCD 2 (S1). When a foreign substance is present in each transparent body, the luminance in that part increases. Therefore, the foreign substance determining unit 52 determines whether there is a foreign substance candidate dot having a luminance of 250 cd / m 2 or more for each transparent body. The presence or absence of the foreign object candidate transparent body is determined based on whether or not there is no foreign object candidate.
【0029】異物判断手段52がいずれかの透明体に異
物候補ドットがあると判断した場合には(S1:YE
S)、そのようなドットの存在する透明体を異物候補透
明体として特定する(S2)。なお、保護シート24が
貼り付けられたLCD2では、保護シート24は、LC
D2が良品であるか、あるいは不良品であるかの判断要
素とはなり得ない。そのため、保護シート24に、たと
えば輝度が250cd/m2以上であるドットが存在し
ていたとしても、保護シート24は異物候補透明体とし
ては特定されない。また、以下の説明においては、S2
において異物候補透明体としての1つとして透明基板2
1aが特定されたものとする。If the foreign matter determining means 52 determines that there is a foreign matter candidate dot on any of the transparent bodies (S1: YE
S), a transparent body having such dots is specified as a foreign substance candidate transparent body (S2). In the LCD 2 to which the protection sheet 24 is attached, the protection sheet 24 is LC
It cannot be a factor for determining whether D2 is a good product or a defective product. Therefore, even if dots having a luminance of, for example, 250 cd / m 2 or more exist on the protection sheet 24, the protection sheet 24 is not specified as a foreign substance candidate transparent body. In the following description, S2
In the transparent substrate 2 as one of the foreign substance candidate transparent bodies
It is assumed that 1a is specified.
【0030】次いで、異物判断手段52は、異物候補透
明体、たとえば透明基板21aにおける異物候補ドット
を特定する(S3)。本実施の形態では、図4(b)に
示したように、透明基板21aにおいては、(I,J)
21a=(2,2)21a、(2,4)21a、(3,6)21a、
(5,2〜4)21a、(6,2〜4)21a、(75,1〜
4)21aの13ドットが異物候補ドットとして特定され
たものとする。Next, the foreign matter determining means 52 specifies a foreign matter candidate transparent body, for example, a foreign matter candidate dot on the transparent substrate 21a (S3). In the present embodiment, as shown in FIG. 4B, (I, J)
21a = (2,2) 21a , (2,4) 21a , (3,6) 21a ,
(5,2-4) 21a , (6,2-4) 21a , (75,1-
4) It is assumed that 13 dots 21a are specified as foreign object candidate dots.
【0031】続いて、異物判断手段52は、1つの異物
候補ドット(たとえば(2,2)21 a)の輝度から、1
つの上層である偏光板23aにおける異物候補ドットに
対応するドット(2,2)23aの輝度を差分を演算し、
それが0cd/m2よりも大きいか否かを判断する(S
4)。差分が0cd/m2よりも大きいか否かを判断す
るのは、保護シート24のキズなどの影響により輝度が
大きくなっている異物候補ドット(2,2)21aでは、
これに対応する上層のドット(2,2)23aと比べて、
輝度が小さくなるか、もしくは同じ程度となるからであ
る。Subsequently, the foreign matter judging means 52 outputs one foreign matter
Candidate dot (for example, (2,2)twenty one a), 1
Foreign matter candidate dots on the polarizing plate 23a, which is the upper layer,
Corresponding dot (2,2)23aCalculate the difference between the brightness of
That is 0 cd / mTwoIt is determined whether it is greater than (S
4). Difference is 0 cd / mTwoDetermine if it is greater than
The reason is that the brightness is affected by the influence of scratches on the protection sheet 24 and the like.
Foreign matter candidate dot (2, 2) growing21aThen
The corresponding upper dot (2, 2)23aCompared to
Because the brightness is lower or about the same.
You.
【0032】S4において、差分が0cd/m2よりも
小さいと異物判断手段52が判断した場合には(S4:
NO)、当該異物候補ドット(2,2)21aについて
は、保護シート24のキズなどの影響により輝度が大き
くなっているものと判断し、透明基板21aにおける異
物候補ドット(2,2)21aに対応する部分には異物が
存在しないと判断する(S5)。In S4, when the foreign matter judging means 52 judges that the difference is smaller than 0 cd / m 2 (S4:
NO), the said foreign object candidate dots (2, 2) 21a, it is determined that the brightness is increased due to the influence of scratches in the protective sheet 24, the foreign object candidate dots (2, 2) 21a of the transparent substrate 21a It is determined that no foreign matter exists in the corresponding portion (S5).
【0033】一方、S4において、差分が0cd/m2
よりも大きいと異物判断手段52が判断した場合には
(S4:YES)、異物判断手段52は、異物候補ドッ
ト(2,2)21aの輝度から、1つの下層である液晶層
22における異物候補ドットに対応するドット(2,
2)22の輝度を差分を演算し、それが50cd/m2よ
りも大きいか否かを判断する(S6)。On the other hand, in S4, the difference is 0 cd / m 2
If the foreign matter determination means 52 determines that the size is larger than the threshold value (S4: YES), the foreign matter determination means 52 determines the foreign matter candidate in one lower liquid crystal layer 22 from the luminance of the foreign matter candidate dot (2, 2) 21a. Dot (2,
2) The difference between the luminances of 22 is calculated, and it is determined whether or not the difference is greater than 50 cd / m 2 (S6).
【0034】差分が50cd/m2よりも大きいか否か
を判断するのは、次の理由によるものである。透明基板
21aに異物が存在する場合には、液晶層22における
異物候補ドット(2,2)21aに対応するドット(2,
2)22の輝度に影響を与える場合があるが、その影響の
程度はキズの場合よりも小さくなる。つまり、異物の存
在による影響とキズの存在による影響とでは、下層の透
明体における輝度の減衰の程度に差異がある。そのた
め、両者を区別するための閾値をLCD2について検討
した結果、閾値の1つとして50cd/m2という値が
得られるのである。したがって、透明積層体2がLCD
でない場合、あるいは透明積層体2がLCDであって
も、各透明体の組成や厚みなどが異なる場合には、それ
に応じて閾値が決定される。The determination as to whether the difference is greater than 50 cd / m 2 is based on the following reason. When a foreign substance is present on the transparent substrate 21a, the dot (2, 2) corresponding to the foreign substance candidate dot (2, 2) 21a on the liquid crystal layer 22 is displayed.
2) The luminance of 22 may be affected, but the degree of the influence is smaller than that of the case of the scratch. In other words, there is a difference in the degree of attenuation of luminance in the lower transparent body between the influence of the presence of foreign matter and the influence of the presence of scratches. Therefore, as a result of examining the threshold value for distinguishing the LCD 2 from the LCD 2, a value of 50 cd / m 2 is obtained as one of the threshold values. Therefore, when the transparent laminate 2 is
Otherwise, or even if the transparent laminate 2 is an LCD, if the composition, thickness, etc. of each transparent body are different, the threshold value is determined accordingly.
【0035】S6において、差分が50cd/m2より
も小さいと異物判断手段52が判断した場合には(S
6:NO)、異物候補ドット(2,2)21aが輝度が大
きくなっているのは、保護シート24のキズなどの影響
によるものであると判断し、透明基板21aにおける異
物候補ドットに対応する部分には異物が存在しないと判
断する(S5)。In S6, when the foreign matter judging means 52 judges that the difference is smaller than 50 cd / m 2 (S6).
6: NO), it is determined that the luminance of the foreign substance candidate dot (2, 2) 21a is increased due to the influence of a scratch or the like on the protective sheet 24, and corresponds to the foreign substance candidate dot on the transparent substrate 21a. It is determined that no foreign matter exists in the portion (S5).
【0036】一方、S6において、差分が50cd/m
2よりも大きいと異物判断手段52が判断した場合には
(S6:YES)、異物判断手段52は、透明基板21
aにおける異物候補ドット(2,2)21aに対応する部
分に異物が存在していると判断する(S7)。On the other hand, in S6, the difference is 50 cd / m
If the foreign matter judging means 52 judges that it is larger than 2 (S6: YES), the foreign matter judging means 52
It is determined that a foreign object exists in a portion corresponding to the foreign object candidate dot (2, 2) 21a in (a) (S7).
【0037】次いで、異物判断手段52は、透明基板2
1aにおいて特定された全て異物候補ドットについて、
その輝度が大きくなっている要因が異物の存在によるも
のなのか否かの判断を行ったかどうかを判断する(S
8)。S8において、透明基板21aにおいて特定され
た異物候補ドットの中に異物判断を行っていないものが
あると異物判断手段52が判断した場合には(S8:N
O)、判断を行っていない他の異物候補ドットについ
て、S4〜S7を繰り返し行って、異物候補ドットにつ
いて異物判断した行った後に、S8の判断を行う。本実
施の形態では、図5(b)に示したように13個の異物
候補ドット(2,2)21a、(2,4)21a、(3,6)
21a、(5,2〜4)21a、(6,2〜4)21a、(7
5,1〜4)21aが確認されているから、この場合には
S3〜S7の処理が13回行われる。Next, the foreign matter judging means 52
For all the foreign object candidate dots specified in 1a,
It is determined whether it has been determined whether or not the cause of the increase in luminance is due to the presence of a foreign substance (S
8). In S8, when the foreign matter determination unit 52 determines that there is any foreign matter candidate dot specified on the transparent substrate 21a for which foreign matter determination has not been performed (S8: N
O) S4 to S7 are repeated for the other foreign matter candidate dots for which no determination has been made, and after foreign matter determination has been performed for the foreign matter candidate dots, the determination of S8 is made. In the present embodiment, as shown in FIG. 5B, 13 foreign object candidate dots (2, 2) 21a , (2, 4) 21a , (3, 6)
21a , (5, 2-4) 21a , (6.2-4) 21a , (7
5, 5, 4) Since 21a has been confirmed, in this case, the processing of S3 to S7 is performed 13 times.
【0038】一方、透明基板21aにおいて特定された
全ての異物候補ドットについて異物判断を行ったと異物
判断手段52が判断した場合には(S8:YES)、特
定された全ての異物候補透明体について、異物判断が行
われたかどうかを判断する(S9)。On the other hand, when the foreign matter determination means 52 determines that foreign matter determination has been performed on all the foreign matter candidate dots specified on the transparent substrate 21a (S8: YES), the foreign matter candidate transparent body specified is It is determined whether or not a foreign object has been determined (S9).
【0039】S9において、特定された異物候補透明体
の中に異物判断を行っていない異物候補透明体があると
異物判断手段52が判断した場合には(S9:NO)、
異物判断を行っていない他の異物候補透明体に対して、
S3〜S8の処理を繰り返し行う。In S9, if the foreign matter determination means 52 determines that there is a foreign matter candidate transparent body for which foreign matter determination has not been performed among the specified foreign matter candidate transparent bodies (S9: NO),
For other foreign object candidate transparent bodies for which foreign object judgment has not been performed,
The processing of S3 to S8 is repeatedly performed.
【0040】一方、S9において特定された全ての異物
候補透明体について異物判断を行ったと異物判断手段5
2が判断した場合(S9:YES)、およびS1におい
て異物の存在する可能性のある透明体がないと判断され
た場合には(S1:NO )、異物判断処理を終了する。On the other hand, the foreign matter determination means 5 determines that foreign matter has been determined for all the foreign matter candidate transparent bodies specified in S9.
If it is determined that No. 2 is determined (S9: YES), and if it is determined in S1 that there is no transparent body in which a foreign substance may be present (S1: NO), the foreign substance determination processing ends.
【0041】このような異物判断処理では、異物候補透
明体を特定した後に、この異物候補透明体について、こ
れよりも1つ上層および1つ下層にある透明体の表面状
態とを異物候補ドットどうしの輝度を比較して異物候補
ドットの輝度が大きくなっている理由が異物が存在する
ことによるものであるか否かが判断される。したがっ
て、上層にある透明体(たとえば保護シート24)のキ
ズなどの影響により輝度が大きくなっている場合には、
当該ドットの輝度が大きくなっている理由が異物による
ものでないと判断される。その結果、透明積層体におけ
る異物の存在を精度良く検査できるようになる。In such a foreign matter judgment process, after the foreign matter candidate transparent body is specified, the surface state of the transparent body one layer above and one layer below the foreign matter candidate transparent body is compared with the foreign matter candidate dots. By comparing the brightnesses of the above, it is determined whether or not the reason why the brightness of the foreign object candidate dot is high is due to the presence of the foreign object. Therefore, when the luminance is increased due to the influence of a scratch or the like of the transparent body (for example, the protective sheet 24) in the upper layer,
It is determined that the reason why the brightness of the dot is high is not due to foreign matter. As a result, the presence of foreign matter in the transparent laminate can be accurately inspected.
【図1】本願発明に係る透明積層体の検査装置の一例を
示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of a transparent laminate inspection apparatus according to the present invention.
【図2】図1の検査装置による各透明体の表面状態の撮
像方法を説明するための要部概略拡大図である。FIG. 2 is a schematic enlarged view of a main part for describing a method of imaging the surface state of each transparent body by the inspection device of FIG. 1;
【図3】撮像時における透明体積層体の要部平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view of a main part of the transparent laminate at the time of imaging.
【図4】透明体を撮像した画像の例を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of an image of a transparent body.
【図5】異物判断処理を説明するためのフローチャート
である。本願発明に係る透明積層体の検査装置の一例を
示す模式図である。FIG. 5 is a flowchart illustrating a foreign matter determination process. It is a schematic diagram which shows an example of the inspection apparatus of the transparent laminated body which concerns on this invention.
【図6】透明積層体の一例である液晶表示装置を示す要
部斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of an essential part showing a liquid crystal display device which is an example of a transparent laminate.
【図7】従来の透明積層体の検査方法を説明するために
参照する検査装置の模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram of an inspection apparatus referred to for describing a conventional method for inspecting a transparent laminate.
【図8】各透明体の画像の例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating an example of an image of each transparent body.
1 検査装置 2 LCD(透明積層体) 3 照明装置 4 撮像装置 40 固体撮像素子 51 演算手段 52 異物判断手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection apparatus 2 LCD (transparent laminated body) 3 Illumination device 4 Imaging device 40 Solid-state imaging device 51 Computing means 52 Foreign substance determination means
Claims (3)
内部に異物が存在するか否かを検査する方法であって、 上記透明体に光を照射するとともに、上記各透明体の表
面における光の反射状態から上記各透明体の表面状態を
把握する第1のステップと、 上記各透明体の表面状態から、その表面または内部に異
物が存在する可能性のある透明体を特定する第2のステ
ップと、 この第2のステップにおいて特定された透明体の表面状
態と、この透明体に隣接する少なくとも1つの透明体の
表面状態とを比較して、上記透明積層体内に異物が存在
するか否かを判断する第3のステップと、を含むことを
特徴とする、透明積層体の検査方法。1. A method for inspecting whether a foreign substance is present inside a transparent laminated body in which a plurality of transparent bodies are laminated, wherein the transparent body is irradiated with light and the surface of each of the transparent bodies is inspected. A first step of ascertaining the surface state of each of the transparent bodies from the light reflection state at the time of; and identifying a transparent body that may have a foreign substance on its surface or inside from the surface state of each of the transparent bodies. Step 2; comparing the surface state of the transparent body specified in the second step with the surface state of at least one transparent body adjacent to the transparent body; And a third step of determining whether or not the transparent laminate is inspected.
の光反射状態を輝度として測定することにより把握さ
れ、 上記透明積層体に異物が存在するか否かは、異物の存在
する可能性のある透明体と、この透明体に隣接する少な
くとも1つの透明体との輝度の差分が、閾値よりも大き
いか否かにより判断される、請求項1に記載の透明積層
体の検査方法。2. The surface state of each transparent body is grasped by measuring the light reflection state of the transparent body as luminance, and whether or not foreign matter is present in the transparent laminate is determined by the presence of foreign matter. The method for inspecting a transparent laminate according to claim 1, wherein the difference between the luminance of the transparent body having a property and at least one transparent body adjacent to the transparent body is determined based on whether or not the difference is larger than a threshold value.
内部に異物が存在するか否かを検査する装置であって、
上記透明積層体に光を照射する照明手段と、上記透明積
層体からの反射光を受光する受光手段と、この受光手段
により得られた光の光量に応じて画像情報を演算する演
算手段と、を備えた透明積層体の検査装置において、 上記演算手段は、上記各透明体毎にこの透明体の表面状
態の画像情報を演算し、かつ、 上記各透明体の表面状態から、異物が存在する可能性の
ある透明体を特定するとともに、この透明体の表面状態
と当該透明体に隣接する少なくも1つの透明体の表面状
態とを比較して、上記透明積層体内に異物が存在するか
否かを判断する異物判断手段をさらに備えたことを特徴
とする、透明積層体の検査装置。3. An apparatus for inspecting whether a foreign substance is present inside a transparent laminate in which a plurality of transparent bodies are laminated,
Illuminating means for irradiating the transparent laminate with light, light receiving means for receiving light reflected from the transparent laminate, and arithmetic means for calculating image information according to the amount of light obtained by the light receiving means, In the inspection apparatus for a transparent laminate provided with the above, the calculation means calculates image information of the surface state of the transparent body for each of the transparent bodies, and a foreign substance is present from the surface state of the transparent body. A possible transparent body is specified, and a surface state of the transparent body is compared with a surface state of at least one transparent body adjacent to the transparent body to determine whether a foreign substance is present in the transparent laminate. An inspection apparatus for a transparent laminate, further comprising: a foreign matter determination unit for determining whether or not there is a foreign matter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001075344A JP2002277411A (en) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | Method and apparatus for inspecting transparent laminate |
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JP (1) | JP2002277411A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005049258A (en) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection device and method of multilayered transparent body |
JP2006133042A (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | V Technology Co Ltd | Defect detection method of optically-transparent multilayered flat inspection object |
JP2007507707A (en) * | 2003-10-01 | 2007-03-29 | シック アイヴィピー エービー | System and method for reflecting features of an object |
JP2009128087A (en) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Canon Inc | Inspection device, exposure device, and device manufacturing method |
CH701418A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-14 | 3S Swiss Solar Systems Ag | Laminated layered body testing method for solar modules, involves scanning layered body according to dot matrix, converting extracted signals into digital data, storing data of modules as data record, and performing evaluation of data |
CN108120722A (en) * | 2018-01-20 | 2018-06-05 | 东莞市光劲光电有限公司 | The detection device and method of quick testing transparent inner concave arc surface body structure surface foreign matter |
-
2001
- 2001-03-16 JP JP2001075344A patent/JP2002277411A/en active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005049258A (en) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection device and method of multilayered transparent body |
JP4593092B2 (en) * | 2003-07-30 | 2010-12-08 | 大日本印刷株式会社 | Multilayer transparent body inspection apparatus and method |
JP2007507707A (en) * | 2003-10-01 | 2007-03-29 | シック アイヴィピー エービー | System and method for reflecting features of an object |
JP2006133042A (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | V Technology Co Ltd | Defect detection method of optically-transparent multilayered flat inspection object |
JP4619748B2 (en) * | 2004-11-04 | 2011-01-26 | 株式会社ブイ・テクノロジー | Defect detection method for multilayer flat plate inspection object having optical transparency |
JP2009128087A (en) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Canon Inc | Inspection device, exposure device, and device manufacturing method |
CH701418A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-14 | 3S Swiss Solar Systems Ag | Laminated layered body testing method for solar modules, involves scanning layered body according to dot matrix, converting extracted signals into digital data, storing data of modules as data record, and performing evaluation of data |
CN108120722A (en) * | 2018-01-20 | 2018-06-05 | 东莞市光劲光电有限公司 | The detection device and method of quick testing transparent inner concave arc surface body structure surface foreign matter |
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