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JP2002179438A - Method of exfoliating picture element - Google Patents

Method of exfoliating picture element

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Publication number
JP2002179438A
JP2002179438A JP2000373819A JP2000373819A JP2002179438A JP 2002179438 A JP2002179438 A JP 2002179438A JP 2000373819 A JP2000373819 A JP 2000373819A JP 2000373819 A JP2000373819 A JP 2000373819A JP 2002179438 A JP2002179438 A JP 2002179438A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
pixels
peeling
pixel
pretreatment
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000373819A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Mihashi
修一 三橋
Akira Fujita
晶 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inctec Inc
Original Assignee
Inctec Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inctec Inc filed Critical Inctec Inc
Priority to JP2000373819A priority Critical patent/JP2002179438A/en
Publication of JP2002179438A publication Critical patent/JP2002179438A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/008Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments comprising a lixiviation step
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/30Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/32After-treatment
    • C03C2218/328Partly or completely removing a coating
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of exfoliating picture elements, by which the picture elements of a recovered or off-grade color filter can be easily exfoliated in a short time without giving a damage on a glass substrate, and the glass substrate can be regenerated and reused. SOLUTION: The method of exfoliating the picture elements on the glass substrate comprises a process for previously treating the picture elements with a pretreatment liquid containing an inorganic acid and a process for post- treating the picture elements with an exfoliation liquid containing an alkali.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、着色画素(以下単
に画素という)の剥離方法に関し、さらに詳しくは、液
晶ディスプレーなどのカラーフィルターのガラス基板上
に形成されている画素を、ガラス基板を損傷することな
く容易に剥離できる画素の剥離方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for removing colored pixels (hereinafter simply referred to as "pixels"), and more particularly, to a method for removing a pixel formed on a glass substrate of a color filter such as a liquid crystal display by damaging the glass substrate. The present invention relates to a method for peeling pixels which can be easily peeled without performing.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カラーフィルターは、ガラス基板
上に着色感光性樹脂を使用して、フォトリソグラフィー
法によってRGBの画素を形成したものである。これら
の画素は、カラーフィルターの製造工程にて、品質基準
を満足しないものが発生した場合には、該画素を剥離し
てカラーフィルターからガラス基板を再生し、カラーフ
ィルターの製造工程にて再利用することが望ましい。ま
た、カラーフィルターを有する使用済みの各種の電気製
品から、カラーフィルターを回収し、該カラーフィルタ
ーから画素を剥離してガラス基板を再生し、同様に再利
用することが要望されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a color filter is formed by forming RGB pixels by a photolithography method using a colored photosensitive resin on a glass substrate. If any of these pixels does not meet the quality standards in the color filter manufacturing process, peel off the pixel to regenerate the glass substrate from the color filter and reuse it in the color filter manufacturing process. It is desirable to do. Further, there is a demand for collecting a color filter from various used electric appliances having a color filter, peeling pixels from the color filter, regenerating a glass substrate, and similarly reusing the glass substrate.

【0003】上記のガラス基板上の画素は、一般に、ア
ルカリ性の剥離液を使用して、浸漬やスプレーなどの剥
離法によって除去している。しかしながら、これらのア
ルカリ性の剥離液を使用して、画素を剥離する方法で
は、剥離する際に、ガラス表面が露出しているため、該
剥離液とガラス基板とが反応して、ガラス表面に白やけ
や青やけなどが発現したり、微小な傷により、ガラス表
面が曇って見える潜傷が発現したりする。このような損
傷を発現したガラス基板は、カラーフィルター用のガラ
ス基板として再利用することはできない。
[0003] The pixels on the glass substrate are generally removed by a peeling method such as immersion or spraying using an alkaline peeling solution. However, in the method of peeling pixels using these alkaline peeling liquids, since the glass surface is exposed at the time of peeling, the peeling liquid reacts with the glass substrate, and the glass surface becomes white. Burns, bluish burns, etc. appear, and latent scratches appear on the glass surface due to minute scratches. A glass substrate that has exhibited such damage cannot be reused as a glass substrate for a color filter.

【0004】また、画素を構成する着色感光性樹脂は、
その用途や要求される性能に応じて、ノボラック系、ア
クリル系などの紫外線硬化型樹脂、ポリビニルシンナメ
ート系、環化ゴム−ビスアジド系、不飽和ポリエステル
系、エポキシ系、シリコーン系などの電子線硬化型樹
脂、X線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂などの各種の硬化型
樹脂からなっている。そのためにガラス基板から画素を
剥離する際に、アルカリ性の剥離液を画素の種類に合わ
せて調製しなければならない。また、画素を保護するた
めにオーバーコート材が施されている画素の剥離に際し
ては、オーバーコート材を含めた画素全体の層厚が厚く
なるため、画素の剥離時間が長くなり、また、画素の剥
離が十分にできない。このように、画素の種類やオーバ
ーコート材などによって剥離時間、剥離温度などの剥離
条件や剥離プロセスの変更、画素剥離液の調製などの変
更が必要となり、これらの画素剥離液や剥離条件などの
変更により、ガラス基板への損傷も増加する傾向であっ
た。
[0004] The colored photosensitive resin constituting the pixel is:
Depending on the application and the required performance, UV curable resins such as novolak type and acrylic type, polyvinyl cinnamate type, cyclized rubber-bisazide type, unsaturated polyester type, epoxy type, silicone type etc. It is made of various curable resins such as a mold resin, an X-ray curable resin, and a thermosetting resin. Therefore, when peeling the pixel from the glass substrate, an alkaline peeling liquid must be prepared according to the type of the pixel. In addition, when a pixel to which an overcoat material is applied to protect a pixel is peeled, the layer thickness of the entire pixel including the overcoat material is increased, so that the pixel peel time becomes longer, and Peeling is not enough. As described above, depending on the type of the pixel, the overcoat material, and the like, it is necessary to change the peeling conditions such as the peeling time and the peeling temperature, the peeling process, and the preparation of the pixel peeling solution. The change also tended to increase the damage to the glass substrate.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の回収
した、あるいは不良品となったカラーフィルターの画素
を、ガラス基板を前記のように損傷することなく、容易
に短時間で剥離して再生して再利用することができる画
素の剥離方法の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, the recovered or defective pixel of the color filter is easily peeled in a short time without damaging the glass substrate as described above. It is an object of the present invention to provide a method for separating a pixel which can be reproduced and reused.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的は、以下の本
発明によって達成される。すなわち、本発明は、無機酸
を含有する前処理液にて前処理する工程と、アルカリを
含有する剥離液にて後処理する工程からなることを特徴
とするガラス基板上の画素の剥離方法を提供する。
The above objects are achieved by the present invention described below. That is, the present invention provides a method for separating pixels on a glass substrate, comprising a step of pre-treating with a pre-treatment liquid containing an inorganic acid and a step of post-treating with a stripping liquid containing an alkali. provide.

【0007】本発明者は、前記の課題を解決すべく鋭意
検討した結果、上記の画素の剥離方法が、回収した、あ
るいは不良品となったカラーフィルターのガラス基板上
の各種の感光性着色樹脂からなる画素の剥離に際して、
公知のアルカリを含有する剥離液を使用して、ガラス基
板を損傷することなく、容易に短時間で画素を剥離する
ことが可能である画素の剥離方法であることを見い出し
た。
The inventor of the present invention has conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned problems. As a result, the above-mentioned pixel peeling method has revealed that various types of photosensitive colored resins on a glass substrate of a recovered or defective color filter are used. When peeling the pixel consisting of
It has been found that this is a pixel peeling method that can easily peel a pixel in a short time without damaging a glass substrate using a known peeling solution containing an alkali.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に好ましい実施の形態を挙げて
本発明をさらに詳しく説明する。本発明の剥離方法にお
ける前処理工程は、前処理液を使用して前記の各種画素
や画素面を保護するオーバーコート材を施した画素に対
して、膨潤、クラック、多孔質化、一部溶解などのダメ
ージを与え、後工程の画素の剥離を容易にするために行
われる。使用する前処理液は、無機酸単体、あるいは該
無機酸に酸化剤を添加した処理液である。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments. The pre-treatment step in the peeling method of the present invention includes swelling, cracking, porosity, and partial dissolution of the above-mentioned various pixels and pixels to which an overcoat material that protects the pixel surface is applied using a pre-treatment liquid. This is performed in order to cause damage such as the above and to facilitate the peeling of the pixel in a later process. The pretreatment liquid to be used is an inorganic acid alone or a treatment liquid obtained by adding an oxidizing agent to the inorganic acid.

【0009】無機酸としては、例えば、硫酸、硝酸、燐
酸、塩酸など、およびそれらの混合物が挙げられる。好
ましい無機酸としては98重量%の濃硫酸が挙げられ
る。
Examples of the inorganic acid include sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid and the like, and a mixture thereof. Preferred inorganic acids include 98% by weight concentrated sulfuric acid.

【0010】酸化剤としては、H22、Na22、Ba
2、(C65CO)22などの無機過酸化物および有
機過酸化物、過ホウ酸ナトリウム(ペルオクソホウ酸ナ
トリウム)、Na228(過硫酸ナトリウム)、HC
3H、C65CO3H、CF3CO3Hなどのペルオクソ
酸(塩)、HIO4、Na32IO6、KIO4などの酸
素酸(塩)、HMnO4などの過マンガン酸(塩)、C
eO2などの酸化物、FeCl3などの金属塩、HN
3、N24、N23などの硝酸化合物、その金属塩、
窒素酸化物、オゾンなど、およびそれらの混合物が挙げ
られる。好ましい酸化剤としては過酸化水素、過ホウ酸
ナトリウム、過酸化ナトリウム、過硫酸ナトリウムなど
が挙げられる。特に好ましい酸化剤としては、過硫酸ナ
トリウムが挙げられる。
As the oxidizing agent, H 2 O 2 , Na 2 O 2 , Ba
O 2 , inorganic and organic peroxides such as (C 6 H 5 CO) 2 O 2 , sodium perborate (sodium peroxoborate), Na 2 S 2 O 8 (sodium persulfate), HC
O 3 H, C 6 H 5 CO 3 H, peroxo acids, such as CF 3 CO 3 H (salt), HIO 4, Na 3 H 2 IO 6, oxyacids such as KIO 4 (salt), over such HMnO 4 Manganese acid (salt), C
oxides such as eO 2 , metal salts such as FeCl 3 , HN
Nitric compounds such as O 3 , N 2 O 4 and N 2 O 3, and metal salts thereof;
Nitrogen oxides, ozone, and the like, and mixtures thereof. Preferred oxidizing agents include hydrogen peroxide, sodium perborate, sodium peroxide, sodium persulfate and the like. Particularly preferred oxidizing agents include sodium persulfate.

【0011】前処理液は、上記の無機酸単体でも使用で
きるが、好ましくは上記の無機酸と酸化剤との混合物が
挙げられる。上記の酸化剤を併用する場合は、無機酸1
00重量部に対して酸化剤2〜20重量部、好ましくは
5〜15重量部の量で使用する。酸化剤の配合割合が上
記上限を越える場合には、画素に対する前処理液による
ダメージ効果が低下するという問題があり、一方、酸化
剤の配合割合が上記下限未満の場合には、前処理の時間
の経過に伴い処理効果が低下するという問題がある。好
ましい前処理液としては、98重量%濃硫酸単体または
無機酸と過硫酸ナトリウムとの混合物が挙げられる。ま
た、必要に応じて、画素に対する濡れ性向上剤として、
界面活性剤などを添加することができる。該前処理液
は、溶液単体、あるいは水にて希釈(50〜90重量
%)して使用することができる。該前処理溶液の希釈濃
度は、ダメージを与えるべき画素の種類によって選択す
ればよい。
As the pretreatment liquid, the above-mentioned inorganic acid alone can be used, but preferably a mixture of the above-mentioned inorganic acid and an oxidizing agent is used. When the above oxidizing agent is used in combination, the inorganic acid 1
The oxidizing agent is used in an amount of 2 to 20 parts by weight, preferably 5 to 15 parts by weight, based on 00 parts by weight. When the mixing ratio of the oxidizing agent exceeds the upper limit, there is a problem that the damage effect of the pretreatment liquid on the pixels is reduced. However, there is a problem that the processing effect decreases with the passage of time. Preferred pretreatment liquids include 98% by weight concentrated sulfuric acid alone or a mixture of an inorganic acid and sodium persulfate. Also, if necessary, as a wettability improver for pixels,
Surfactants and the like can be added. The pretreatment liquid can be used alone or diluted with water (50 to 90% by weight). The dilution concentration of the pretreatment solution may be selected depending on the type of the pixel to be damaged.

【0012】後工程の画素の剥離に使用するアルカリを
含有する剥離液としては、公知の画素の剥離に使用され
ている剥離液を使用することができる。該アルカリとし
ては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなど
の水酸化物;重炭酸ナトリウムなどの炭酸アルカリ金属
塩;第3リン酸ナトリウム、第2リン酸ナトリウムなど
のリン酸アルカリ金属塩、ピロリン酸ナトリウム、トリ
ポリリン酸ナトリウムなどのリン酸アルカリ金属塩;オ
ルソケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどのケ
イ酸アルカリ金属塩などのアルカリおよびそれらの混合
物が挙げられる。好ましくは水酸化ナトリウム水溶液
(10重量%)が挙げられる。その他、有機アミン系な
どの有機アルカリを含有する剥離液も使用することがで
きる。
As the stripping solution containing an alkali used for stripping the pixels in the subsequent step, a known stripping solution used for stripping pixels can be used. Examples of the alkali include hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide; alkali metal salts such as sodium bicarbonate; alkali metal phosphates such as sodium tribasic phosphate and sodium dibasic phosphate; Alkali metals such as sodium silicate and sodium tripolyphosphate; alkalis such as sodium orthosilicate and sodium metasilicate; and mixtures thereof. Preferably, an aqueous sodium hydroxide solution (10% by weight) is used. In addition, a stripper containing an organic alkali such as an organic amine can also be used.

【0013】また、上記の剥離液に添加剤を添加したも
のも使用できる。添加剤としては、例えば、ポリカルボ
ン酸アンモニウム塩、ポリオキシアルキレンアルキルエ
ーテル、その他のアニオン系、ノニオン系、カチオン
系、両性界面活性剤などの界面活性剤、エチレンジアミ
ンテトラ酢酸、メタリン酸などの硬水軟化剤としてのキ
レート剤、エチレングリコール、プロピレングリコー
ル、イソプロピルアルコールなどの有機溶剤などが挙げ
られる。
Further, the above-mentioned stripping solution obtained by adding an additive thereto can also be used. As additives, for example, polycarboxylic acid ammonium salt, polyoxyalkylene alkyl ether, other anionic, nonionic, cationic, amphoteric surfactants and other surfactants, ethylenediaminetetraacetic acid, hard water softening such as metaphosphoric acid Examples of the agent include chelating agents and organic solvents such as ethylene glycol, propylene glycol, and isopropyl alcohol.

【0014】有機系の剥離液として、アミン、グリコー
ルモノアルキルエーテル、糖アルコールおよび水からな
る剥離液が挙げられ、該アミンとしては、例えば、モノ
エタノールアミン、トリエタノールアミン、ジエタノー
ルアミン、ジエチルアミノエタノールなどのアルカノー
ルアミン、アルカノールアミン、アルコキシアルキルア
ミンまたはアルコキシアルカノールアミンなどが挙げら
れる。また、アルカノールアルコキシアルキルアミンま
たはアルコキシアルカノールアミン、グリコールモノア
ルキルエーテル、糖アルコール、第4級アンモニウム水
酸化物および水からなる剥離液などの有機アミン系剥離
液が挙げられる。
The organic stripping solution includes a stripping solution comprising an amine, a glycol monoalkyl ether, a sugar alcohol and water. Examples of the amine include monoethanolamine, triethanolamine, diethanolamine, diethylaminoethanol and the like. Examples thereof include alkanolamine, alkanolamine, alkoxyalkylamine and alkoxyalkanolamine. Further, an organic amine-based stripping solution such as a stripping solution composed of an alkanolalkoxyalkylamine or an alkoxyalkanolamine, a glycol monoalkyl ether, a sugar alcohol, a quaternary ammonium hydroxide, and water may be used.

【0015】本発明の画素の剥離方法は、前処理液を常
温〜70℃にし、好ましくは50〜60℃に加熱して、
該前処理液中に回収されたカラーフィルターを20〜3
0分間浸漬し、ガラス基板上の画素に、膨潤、クラッ
ク、多孔質化、部分溶解などのダメージを与える。次
に、該画素を水によって洗浄する。洗浄後、上記の前処
理された画素に対して、常温〜70℃のアルカリを含有
する剥離液を浸漬法やスプレー法などによって20〜3
0分間適用し、ガラス基板上の前処理された画素を剥離
し、水によって洗浄して、カラーフィルター用のガラス
基板を回収することができる。なお、前処理条件および
剥離条件は、使用されている画素の種類によって適宜選
択することができる。
In the method of peeling pixels according to the present invention, the pretreatment liquid is heated to room temperature to 70 ° C., preferably 50 to 60 ° C.
The color filter recovered in the pretreatment liquid is used for 20 to 3
Immersion for 0 minutes causes damage such as swelling, cracks, porosity, partial dissolution, etc. to the pixels on the glass substrate. Next, the pixel is washed with water. After the cleaning, the pretreated pixels are exposed to an alkali-containing stripper at room temperature to 70 ° C. for 20 to 3 times by dipping or spraying.
Applying for 0 minutes, the pre-processed pixels on the glass substrate can be peeled off and washed with water to recover the glass substrate for the color filter. Note that the pretreatment condition and the peeling condition can be appropriately selected depending on the type of the pixel used.

【0016】なお、本発明の剥離方法は、ノボラック
系、アクリル系などの紫外線硬化型樹脂、ポリビニルシ
ンナメート系、環化ゴム−ビスアジド系、不飽和ポリエ
ステル系、エポキシ系、シリコーン系などの電子線硬化
型樹脂、X線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂などの各種着色
感光性樹脂、および該感光性樹脂からなる透明オーバー
コート剤が施された画素などに使用することができる。
The peeling method of the present invention can be applied to an electron beam such as an ultraviolet curable resin such as a novolak type or an acrylic type, a polyvinyl cinnamate type, a cyclized rubber-bisazide type, an unsaturated polyester type, an epoxy type or a silicone type. It can be used for various colored photosensitive resins such as a curable resin, an X-ray curable resin, and a thermosetting resin, and for a pixel to which a transparent overcoating agent made of the photosensitive resin has been applied.

【0017】本発明の画素の剥離方法は、上記のよう
に、各種の画素に対して、従来のような剥離液を調製す
る必要がなく、前処理によって画素にダメージを与え、
通常の剥離液で短時間で容易にガラス基板を損傷するこ
となく画素の剥離ができるため、各種の画素に対する剥
離効果の幅が広がり、回収された、あるいは不良品とな
ったカラーフィルターからガラス基板の回収が迅速にか
つ容易にでき、ガラス基板の再生と再利用ができる。
As described above, the method of peeling a pixel according to the present invention does not require the use of a conventional peeling liquid for various pixels, and damages the pixel by pretreatment,
Since the pixels can be peeled off easily and without damage to the glass substrate in a short time with a normal peeling liquid, the range of the peeling effect for various pixels is expanded, and the glass substrate is removed from the collected or defective color filters. Can be quickly and easily recovered, and the glass substrate can be recycled and reused.

【0018】[0018]

【実施例】次に実施例および比較例を挙げて本発明をさ
らに具体的に説明する。なお、文中「部」または「%」
とあるのは重量基準である。 実施例1 カラーフィルター用ガラス基板にアクリル系のネガ型の
着色感光性樹脂を0.5μm〜1.5μm(固形分)の
膜厚に塗布し、超高圧水銀灯を使用して着色感光性樹脂
膜を紫外線硬化させて画素を形成した。この画素が形成
されたガラス基板を50〜60℃に加熱した98%濃硫
酸に20〜30分間浸漬し、浸漬後、水洗浄し、次に6
0〜70℃に加熱した苛性ソーダ水溶液(10%)であ
る剥離液に20〜30分間浸漬して画素を剥離し、剥離
後、水洗処理してガラス基板上の画素を剥離処理した。
Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. In addition, "part" or "%" in the text
There is a weight basis. Example 1 An acrylic negative colored photosensitive resin was applied to a glass substrate for a color filter to a thickness of 0.5 μm to 1.5 μm (solid content), and a colored photosensitive resin film was formed using an ultra-high pressure mercury lamp. Was cured by ultraviolet rays to form pixels. The glass substrate on which the pixels are formed is immersed in 98% concentrated sulfuric acid heated to 50 to 60 ° C. for 20 to 30 minutes.
The pixels were peeled by immersion in a peeling solution, which was a caustic soda aqueous solution (10%) heated to 0 to 70 ° C., for 20 to 30 minutes, and after peeling, the pixels were washed with water to peel off the pixels on the glass substrate.

【0019】実施例2 カラーフィルター用ガラス基板にアクリル系のネガ型の
着色感光性樹脂を0.5μm〜1.5μm(固形分)の
膜厚に塗布し、超高圧水銀灯を使用して着色感光性樹脂
膜を紫外線硬化させて画素を形成した。この画素が形成
されたガラス基板を、98%濃硫酸100部と、過硫酸
ナトリウム10部とを混合して調製した前処理液を50
〜60℃にして、該処理液中に該ガラス基板を20〜3
0分間浸漬し、浸漬後、水洗浄し、次に60〜70℃に
加熱した苛性ソーダ水溶液(10%)である剥離液に2
0〜30分間浸漬して画素を剥離し、剥離後、水洗処理
してガラス基板上の画素を剥離処理した。
Example 2 An acrylic negative colored photosensitive resin having a thickness of 0.5 μm to 1.5 μm (solid content) was applied to a glass substrate for a color filter, and the colored photosensitive resin was applied using an ultra-high pressure mercury lamp. The pixel was formed by curing the conductive resin film with ultraviolet rays. The glass substrate on which the pixels were formed was mixed with 50 parts of a pretreatment liquid prepared by mixing 100 parts of 98% concentrated sulfuric acid and 10 parts of sodium persulfate.
To 60 ° C., and place the glass substrate in the treatment solution for 20 to 3 minutes.
Immersion for 0 minutes, immersion, water washing, and then to a stripping solution of caustic soda aqueous solution (10%) heated to 60 to 70 ° C.
The pixel was peeled by immersion for 0 to 30 minutes, and after the peeling, the pixel on the glass substrate was peeled off by washing with water.

【0020】実施例3 カラーフィルター用ガラス基板にノボラック系のネガ型
の着色感光性樹脂を0.5μm〜1.5μm(固形分)
の膜厚に塗布し、超高圧水銀灯を使用して着色感光性樹
脂膜を紫外線硬化させて画素を形成した。この画素が形
成されたガラス基板を、98%濃硫酸100部と、過硫
酸ナトリウム10部とを混合して調製した前処理液を5
0〜60℃にして、該処理液中に該ガラス基板を20〜
30分間浸漬し、浸漬後、水洗浄し、次に60〜70℃
に加熱した苛性カリ水溶液(10%)である剥離液に2
0〜30分間浸漬して画素を剥離し、剥離後、水洗処理
してガラス基板上の画素を剥離処理した。
Example 3 A novolak-type negative colored photosensitive resin was applied to a glass substrate for a color filter in an amount of 0.5 μm to 1.5 μm (solid content).
Then, the colored photosensitive resin film was cured with an ultraviolet ray using an ultrahigh pressure mercury lamp to form a pixel. The glass substrate on which the pixels were formed was mixed with a pretreatment liquid prepared by mixing 100 parts of 98% concentrated sulfuric acid and 10 parts of sodium persulfate.
0 to 60 ° C., and the glass substrate is placed in the treatment liquid for 20 to 60 ° C.
Immerse for 30 minutes, wash with water after immersion, then 60-70 ° C
The stripping solution, which is an aqueous caustic potassium solution (10%) heated to 2
The pixel was peeled by immersion for 0 to 30 minutes, and after the peeling, the pixel on the glass substrate was peeled off by washing with water.

【0021】比較例1 カラーフィルター用ガラス基板にアクリル系のネガ型の
着色感光性樹脂を0.5μm〜1.5μm(固形分)の
膜厚に塗布し、超高圧水銀灯を使用して着色感光性樹脂
膜を紫外線硬化させて画素を形成した。この画素が形成
されたガラス基板を、前処理液による処理をしないで、
直ちに60〜70℃に加熱した苛性ソーダ水溶液(10
%)である剥離液に20〜30分間浸漬して画素の剥離
を実施し、剥離後、水洗処理してガラス基板上の画素を
剥離処理した。
Comparative Example 1 An acrylic negative colored photosensitive resin having a film thickness of 0.5 μm to 1.5 μm (solid content) was applied to a glass substrate for a color filter, and colored with a super-high pressure mercury lamp. The pixel was formed by curing the conductive resin film with ultraviolet rays. The glass substrate on which these pixels are formed is not treated with a pretreatment liquid,
A caustic soda aqueous solution (10
%), The pixels were peeled off by immersion in a peeling liquid for 20 to 30 minutes. After the peeling, the pixels on the glass substrate were peeled off by washing with water.

【0022】比較例2 カラーフィルター用ガラス基板にノボラック系のネガ型
の着色感光性樹脂を0.5μm〜1.5μm(固形分)
の膜厚に塗布し、超高圧水銀灯を使用して着色感光性樹
脂膜を紫外線硬化させて画素を形成した。この画素が形
成されたガラス基板を、前処理液による処理をしない
で、直ちに60〜70℃に加熱した苛性カリ水溶液(1
0%)である剥離液に20〜30分間浸漬して画素の剥
離を実施し、剥離後、水洗処理してガラス基板上の画素
を剥離処理した。上記の各々のガラス基板を回収し、各
ガラス基板上の画素の剥離性およびガラス基板表面の損
傷度について下記の基準で評価した。評価結果を表1に
示す。
Comparative Example 2 A novolak type negative colored photosensitive resin was applied to a glass substrate for a color filter in an amount of 0.5 μm to 1.5 μm (solid content).
Then, the colored photosensitive resin film was cured with an ultraviolet ray using an ultrahigh pressure mercury lamp to form a pixel. The glass substrate on which the pixels were formed was immediately heated to 60 to 70 ° C. without being treated with a pretreatment solution,
(0%) was immersed in a stripping solution for 20 to 30 minutes to peel off the pixels. After the peeling, the pixels on the glass substrate were peeled off by washing with water. Each of the above glass substrates was collected, and the peelability of pixels on each glass substrate and the degree of damage to the glass substrate surface were evaluated according to the following criteria. Table 1 shows the evaluation results.

【0023】(画素の剥離性) 評価点 ◎:ガラス基板の表面に、画素の痕跡が全く認められな
い。 ×:ガラス基板の表面に、画素の痕跡がわずか認められ
る。
(Peel-off property of pixel) Evaluation point A: No trace of pixel is observed on the surface of the glass substrate. ×: Slight traces of pixels are observed on the surface of the glass substrate.

【0024】(ガラス基板表面の損傷度) 評価点 ◎:ガラス基板の表面に、潜傷、曇り、白やけ、青やけ
などの発現が全く認められない。 ×:ガラス基板の表面に、潜傷、曇り、白やけ、青やけ
などの発現が認められる。
(Damage degree of glass substrate surface) Evaluation point :: No latent scratch, cloudiness, white blur, blue blur, etc. were observed on the surface of the glass substrate. ×: Latent scratches, fogging, white blurring, blue blurring, etc. are observed on the surface of the glass substrate.

【0025】 [0025]

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明の画素の剥離方法は、各種の画素
に対して、従来のような剥離液を調製する必要がなく、
前処理によって画素にダメージを与え、通常の剥離液を
使用して短時間で容易にガラス基板を損傷することなく
画素が剥離ができる。よって各種の画素に対する剥離効
果の幅が広がり、回収されたカラーフィルターからガラ
ス基板の回収が迅速にかつ容易にでき、ガラス基板の再
生と再利用ができる。
According to the method of peeling a pixel of the present invention, it is not necessary to prepare a peeling liquid for various pixels as in the prior art.
The pixels are damaged by the pre-treatment, and the pixels can be easily peeled in a short time using a normal peeling liquid without damaging the glass substrate. Therefore, the range of the peeling effect for various pixels is widened, the glass substrate can be quickly and easily collected from the collected color filters, and the glass substrate can be recycled and reused.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1335 505 B09B 3/00 304J Fターム(参考) 2H088 FA23 HA12 2H090 JB02 JC19 JC20 LA01 2H091 FA02Y FC14 LA09 4D004 AA07 AA18 BA10 CA22 CA34 CC11 CC12 CC20 DA03 DA06 DA10 4G059 AA08 AB01 AB05 AC30 BB04 BB12 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G02F 1/1335 505 B09B 3/00 304J F-term (Reference) 2H088 FA23 HA12 2H090 JB02 JC19 JC20 LA01 2H091 FA02Y FC14 LA09 4D004 AA07 AA18 BA10 CA22 CA34 CC11 CC12 CC20 DA03 DA06 DA10 4G059 AA08 AB01 AB05 AC30 BB04 BB12

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 無機酸を含有する前処理液にて前処理す
る工程と、アルカリを含有する剥離液にて後処理する工
程とからなることを特徴とするガラス基板上の画素の剥
離方法。
1. A method for stripping pixels on a glass substrate, comprising: a step of pre-treating with a pre-treatment liquid containing an inorganic acid; and a step of post-treating with a stripping liquid containing an alkali.
【請求項2】 前処理液が、さらに酸化剤を含有する請
求項1に記載の画素の剥離方法。
2. The method according to claim 1, wherein the pretreatment liquid further contains an oxidizing agent.
【請求項3】 前処理液が、無機酸100重量部に対し
て酸化剤2〜10重量部を含有する請求項2に記載の画
素の剥離方法。
3. The method according to claim 2, wherein the pretreatment liquid contains 2 to 10 parts by weight of an oxidizing agent based on 100 parts by weight of the inorganic acid.
【請求項4】 無機酸が、98重量%濃硫酸である請求
項1に記載の画素の剥離方法。
4. The method according to claim 1, wherein the inorganic acid is 98% by weight concentrated sulfuric acid.
【請求項5】 酸化剤が、過硫酸ナトリウムである請求
項2に記載の画素の剥離方法。
5. The method according to claim 2, wherein the oxidizing agent is sodium persulfate.
【請求項6】 前処理液を常温〜70℃にして前処理す
る請求項1に記載の画素の剥離方法。
6. The method for stripping pixels according to claim 1, wherein the pretreatment is performed at a normal temperature to 70 ° C. for pretreatment.
【請求項7】 請求項1〜5の画素の剥離方法に使用さ
れる前処理液。
7. A pretreatment liquid used in the method for stripping pixels according to claim 1.
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