JP2002072472A - 感光性ペースト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】無機粉末を含む感光性ペーストは、無機粉末が
光線を散乱、遮蔽すするため、膜の内部まで光線が到達
し難く、膜厚を厚くすることが困難であった。本発明は
高解像度を必要とする電子部品や、セラミック多層基板
に好適に使用することが出来る感光性ペーストを提供す
る。 【解決手段】無機粉末と、感光性有機成分として少なく
ともアルカリ可溶性のポリマーと、１分子中に炭素炭素
２重結合を２個以上有する多官能モノマーを必須成分と
する感光性ペーストであって、有機リン化合物を含有す
ることを特徴とする感光性ペーストである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はセラミックス基板や
ガラス基板上に導体パターンや絶縁層スルーホールを形
成するための感光性ペーストに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、パソコンおよびＰＣカードに搭載
するマルチチップモジュール、チップサイズパッケー
ジ、あるいは携帯電話などの移動体通信機器用途の高周
波用フィルター、チップインダクター、積層コンデンサ
ーなどの電子部品あるいはセラミックス多層基板に対し
て、小型化や高密度化、高精細化、高信頼性の要求が高
まってきている。また、プラズマディスプレイなどの表
示装置の高精細化に伴い、電極の微細化への要求も高ま
ってきている。これらの要求に対して、各種の微細な導
体膜形成方法が提案されている。

【０００３】代表的な方法としては、薄膜法、メッキ法
および厚膜印刷法がある。なかでも、スクリーン印刷で
成膜される厚膜印刷法では、導体膜を厚くすることや、
抵抗体などの受動素子を同時形成することが容易である
が、その反面、Ｌ／Ｓ＝５０／５０μｍ以下の解像度
で、一定幅のライン形成が困難であり、また断面形状が
蒲鉾上になり電気的特性面の設計が困難であるという問
題があった。

【０００４】厚膜印刷法の解像性、断面形状を改善する
ものとして、感光性ペースト法がある。これは、厚膜印
刷用の導体ペーストとして感光性を有するものを使用
し、印刷後にマスク露光、現像の工程を経ることで高解
像度の厚膜導体パターンを形成し得るものである。感光
性ペーストとしては、金属やカーボンなどの導体粉末を
光硬化性樹脂に混合したものが多く用いられ、光硬化性
樹脂には光重合開始剤も含んでいる場合がある。

【０００５】従来から光重合開始剤として、光の照射に
よってラジカルを発生する光ラジカル開始剤であるアセ
トフェノン誘導体やベンゾフェノン誘導体が広く使われ
ている。これらは炭素、水素、酸素を含む化合物であ
り、さらに高性能の光ラジカル開始剤として窒素原子を
含んだα−アミノアセトフェノン誘導体も近年多く用い
られている。

【０００６】なお、電子部品やセラミックス多層基板で
は導体間にガラスやセラミックスのペーストを焼成した
絶縁層を形成するが、部品や基板の小型化のためには上
下層の導体を接続するためのスルーホールも微細化する
必要があり、絶縁層形成用のペーストも感光性ペースト
を用いることが有用である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】感光性ペースト法はこ
のように優れた方法ではあるが、光線を通しにくい導体
粉末やセラミックス粉末を感光性樹脂に混合するため、
膜の内部まで光線が到達し難く、膜厚を厚くすることが
困難であった。露光量を増加させることにより膜の内部
まで硬化させようとすると、表面付近が過剰な露光にな
るために、マスクパターンに比べてパターンが大きくな
る問題が生じる。その結果、現像後の導体パターンは、
表面近傍はマスクサイズより大きく、基板近傍はマスク
サイズより小さい、いわゆるオーバーハングの形状にな
る。また、表面近傍のパターンサイズが大きくなってし
まうと、導体パターンの間隔が狭い場合に隣接するパタ
ーンが接触してしまい、解像できなくなってしまう。絶
縁層のスルーホールの場合は、大きな膜厚で微細なスル
ーホールを形成しようとすると膜の内部まで硬化するた
めに露光量が大きくなり微細なスルーホールが埋まって
しまうことがあった。

【０００８】そこで、上記に挙げられたような光重合開
始剤が種々用いられているが、これらの開始剤は、通常
の感光性樹脂では好適に用いることが出来るが、本発明
における導体粉末、セラミック粉末を含む感光性ペース
トにおいては光線が透過し難いため、膜の内部まで硬化
させることが非常に困難であった。

【０００９】従って本発明の目的は、膜の内部の硬化が
速く、且つ横方向へのパターン広がりが少ないために、
大きな膜厚で微細なパターンの形成が可能である感光性
ペーストを供給することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、無機
粉末と、感光性有機成分として少なくともアルカリ可溶
性のポリマーと、１分子中に炭素炭素２重結合を２個以
上有する多官能モノマーと、光重合開始剤を必須成分と
する感光性ペーストであって、有機リン化合物を含有す
ることを特徴とする感光性ペーストである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下本発明を具体的に説明する。
本発明は、感光性ペーストの膜内部での硬化速度を上
げ、膜厚が大きいときでも高い解像度が得られるように
するものであり、無機粉末と、感光性有機成分として少
なくともアルカリ可溶性のポリマーと、１分子中に炭素
炭素２重結合を２個以上有する多官能モノマーを必須成
分とする感光性ペーストであって、有機リン化合物を含
有することを特徴とする感光性ペーストにより達成でき
る。

【００１２】本発明は、感光性ペーストに有機リン化合
物を含有することを特徴とし、光重合開始剤として用い
ている。有機リン化合物のなかでも、アシルフォスフィ
ンオキサイド誘導体が好ましく、なかでもビスアシルフ
ォスフィンオキサイド誘導体がより好ましく、さらにビ
スアシルアリールフォスフィンオキサイド誘導体を含有
することが好ましい。具体的なビスアシルフォスフィン
オキサイド誘導体は、ビス（２，４，６−トリメチルベ
ンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサイドが特に好
ましく挙げられるが、これに限定されるものではない。
粉体を多く含む系において有機リン化合物が厚膜内部の
硬化に有利な理由として、長波長まで吸光度を有するこ
とと、広い波長範囲において光退色性を持つことによる
と考えられる。通常、無機粉末を含有したペーストで光
線が膜内部まで到達しない原因は、粒子による散乱や遮
蔽、そして有機成分による吸収である。光線の波長が短
い方が粒子による散乱を受けやすい。すなわち波長の長
い光線の方が膜の内部まで到達しやすいので、長波長ま
で吸収と感度を有する光開始剤の方が粒子を含む感光性
樹脂の厚膜硬化に有利である。また、光線は光重合開始
剤自体の吸収によっても膜の内部への到達を妨げられ
る。従って、光退色性と呼ばれる光線の照射によって吸
光度が減少する性質を持つ光重合開始剤が厚膜の硬化に
有利である。

【００１３】図１〜２に、アクリル樹脂中での光開始剤
の光線照射による吸光度減少の例を示した。（ａ）は、
α−アミノアセトフェノン誘導体の中でも厚膜硬化に優
れると言われている光重合開始剤、２−ベンジル−２−
ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−
ブタノン−１であり、（ｂ）が本発明のペーストにおけ
る光重合開始剤の一例であるビス（２，４，６−トリメ
チルベンゾイル）−フェニルフェスフィンオキサイドで
ある。高圧水銀ランプの照射に伴う吸光度の変化を矢印
で示している。（ａ）は光退色性は示してはいるが、４
００ｎｍ以上の吸光度は小さく、また光退色性を示すの
は波長３００ｎｍ〜３７０ｎｍ付近までであり、３７０
ｎｍ以上の波長では吸光度は上昇、つまり光退色性は低
下している。これに対して（ｂ）では４００ｎｍ以上に
も吸光度を有し、さらに３００ｎｍ〜４２０ｎｍまで一
様に光退色を示している。（ａ）のように長波長におけ
る吸光度の増加は無く、長波長領域でも吸光度は減少し
ている。従って、単にある波長だけの光退色性を示すだ
けでなく４００ｎｍ以上の長波長に至るまでの広い波長
範囲での光退色性を持つことが、粒子を含む感光性樹脂
厚膜の硬化に有効である。

【００１４】有機リン化合物の好ましい含有量は、感光
性有機成分中のポリマー成分に対して１重量％以上３０
重量％未満であり、より好ましくは５重量％以上２０重
量％未満である。

【００１５】光重合開始剤として、有機リン化合物とと
もにアセトフェノン誘導体やベンゾフェノン誘導体など
の従来の光重合開始剤を併用することも感度向上のため
に有効である。例えばベンゾフェノン、２，２−ジエト
キシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジ
フェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキ
シルフェニルケトンが好ましく用いられる。これら有機
リン化合物と併用する光重合開始剤の添加量としては、
開始剤により異なるが、例えば２，２−ジメトキシ−
１，２−ジフェニルエタン−１−オンアセトフェノンの
場合は有機リン化合物１重量部に対して１重量部以上３
重量部未満、１−ヒドロキシシクロへキシルベンゾフェ
ノンの場合は有機リン化合物１重量部に対して３重量部
以上１０重量部未満が適切である。

【００１６】本発明で用いるアルカリ可溶性のポリマー
としては、アクリル系共重合体を好ましく用いることが
出来る。アクリル系共重合体とは、共重合成分に少なく
ともアクリル系モノマーを含む共重合体であり、アクリ
ル系モノマーとは、具体的な例としては、メチルアクリ
レート、エチルアクリレート、ｎ−プロピルアクリレー
ト、イソプロピルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレー
ト、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレ
ート、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、ｎ−ペンチルア
クリレート、アリルアクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレ
ングリコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレー
ト、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテ
ニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、
グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレート、
ヘプタデカフロロデシルアクリレート、２−ヒドロキシ
エチルアクリレート、イソボニルアクリレート、２−ヒ
ドロキシプロピルアクリレート、イソデキシルアクリレ
ート、イソオクチルアクリレート、ラウリルアクリレー
ト、２−メトキシエチルアクリレート、メトキシエチレ
ングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコ
ールアクリレート、オクタフロロペンチルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリ
レート、トリフロロエチルアクリレート、アクリルアミ
ド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、１−ナフチルアク
リレート、２−ナフチルアクリレート、チオフェノール
アクリレート、ベンジルメルカプタンアクリレートなど
のアクリル系モノマー、およびこれらのアクリレートを
メタクリレートに代えたものなどが挙げられる。望まし
くはアクリル酸アルキルあるいはメタクリル酸アルキ
ル、より好ましくは少なくともメタクリル酸メチルを含
むことで、熱分解性の良好な重合体を得ることが出来
る。アクリル系モノマー以外の共重合成分としては、炭
素−炭素２重結合を有する全ての化合物が使用可能であ
るが、好ましくはスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｏ−
メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、α−メチルスチ
レン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルスチレ
ンなどのスチレン類、γ−メタクリロシキプロピルトリ
メトキシシラン、１−ビニル−２−ピロリドン等が挙げ
られる。

【００１７】ポリマーがアルカリ可溶性を有することで
現像液として環境に問題のある有機溶媒ではなくアルカ
リ水溶液を用いることが出来る。アクリル系共重合体に
アルカリ可溶性を付与するためには、モノマーとして不
飽和カルボン酸等の不飽和酸を加えることにより達成さ
れる。不飽和酸の具体的な例としては、アクリル酸、メ
タクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フ
マル酸、酢酸ビニル、またはこれらの酸無水物等が挙げ
られる。これらを加えることによるポリマーの酸価は、
現像性の観点から７０〜１４０の範囲であることが好ま
しい。

【００１８】硬化速度を向上させるためには、ポリマー
の少なくとも一部が、側鎖または分子末端に炭素−炭素
２重結合を有することが好ましい。炭素−炭素２重結合
を有する基としては、ビニル基、アリル基、アクリル
基、メタクリル基などが挙げられる。このような官能基
をポリマーに付加させるには、ポリマー中のメルカプト
基、アミノ基、水酸基、カルボキシル基に対して、グリ
シジル基やイソシアネート基と炭素炭素２重結合を有す
る化合物や、アクリル酸クロライド、メタクリル酸クロ
ライドまたはアリルクロライドを付加反応させてつくる
方法がある。

【００１９】グリシジル基と炭素炭素２重結合を有する
化合物としては、グリシジルメタクリレート、グリシジ
ルアクリレート、アリルグリシジルエーテル、グリシジ
ルエチルアクリレート、クロトニルグリシジルエーテ
ル、グリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネ
ートなどが挙げられる。イソシアナート基と炭素−炭素
２重結合を有する化合物としては、アクリロイルイソシ
アネート、メタクロイルイソシアネート、アクリロイル
エチルイソシアネート、メタクリロイルエチルイソシア
ネート等がある。

【００２０】多官能モノマーとしては、１分子中に炭素
−炭素２重結合を２つ以上有する化合物が用いられ、そ
の具体的な例としては、アリル化シクロヘキシルジアク
リレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、
１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレン
グリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジア
クリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、
ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチロー
ルプロパンテトラアクリレート、グリセロールジアクリ
レート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、ネ
オペンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリ
コールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジア
クリレート、トリグリセロールジアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、ビスフェノールＡ
ジアクリレート、ビスフェノールＡ−エチレンオキサイ
ド付加物のジアクリレート、ビスフェノールＡ−プロピ
レンオキサイド付加物のジアクリレート、または上記化
合物のアクリル基を１部または全てメタクリル基に代え
た化合物等が挙げられる。

【００２１】上記の感光性樹脂の構成に加えて、感光性
ペースト膜の光線透過率を向上させることで、内部の光
硬化をより速やかにする事が可能である。光線を最も遮
るものはこの場合は粉末であり、この導電粉末の大きさ
と形状を適切なものにすることが必要である。

【００２２】本発明で用いられる無機粉末としては、金
属粉末、ガラス粉末、セラミック粉末などがある。金属
粉末としては、金、銀、白金、パラジウム、銅、ニッケ
ル、タングステン、モリブデン等の金属粉末が好適に用
いられる。ガラス粉末としては、ホウケイ酸ガラス、ホ
ウケイ酸鉛ガラス、ビスマス系ガラスなどが、セラミッ
ク粉末としてはアルミナ、コージェライト、ムライト粉
末などがあげられるが本発明に用いる粉末はこれらに限
定されるものではない。

【００２３】粉末の形状は、板状、鱗片状、円錐状、角
状、棒状、粒状、針状などがあるが、単分散で凝集がな
く、球状あるいは粒状であることが望ましい。この場
合、球状とは球形率が８０個数％以上が好ましい。球状
率の測定は、粉末を光学顕微鏡で３００倍の倍率にて撮
影して計数し球状のものの比率を表した。球状であると
露光時に光線の散乱が非常に少なくなり、膜の内部まで
光線を透過させやすい。

【００２４】粉末の平均粒子径は、２〜５μｍの範囲で
あることが望ましい。平均粒子径が２μｍ以下である
と、樹脂に対して同体積の導体粉末を添加した場合に、
粉末の表面積が大きくなるためにより多くの光を遮り、
ペースト内部への光線透過率を低下させる。５μｍより
大きい場合は、塗布した場合の表面粗さが大きくなり、
さらにパターン精度や寸法精度が低下するため好ましく
ない。

【００２５】また、膜内部を硬化させるべく光線を多く
照射した場合に、表面近傍のパターンが散乱光により広
がりパターンが大きくなることを防ぐために、有機染料
からなる紫外線吸光剤を添加することが好ましい。ま
た、吸光剤による吸収で光線が厚膜内部に到達出来なく
なることを防ぐために、吸光剤は光線の照射によって吸
光度を減少させることが望ましい。有機系染料として
は、アゾ系、ベンゾフェノン系が好ましく、例えば、ア
ゾ系染料としてはスダンブルー、スダンＲ、スダンII、
スダンIII、スダンIV、オイルオレンジＳＳ、オイルバ
イオレット、オイルイエローＯＢなどがあり、ベンゾフ
ェノン系染料としては、ユビナールＤ−５０、ユビナー
ルＭＳ４０、ユビナールＤＳ４９等があるがこれらに限
定されるものではない。

【００２６】紫外線吸光剤の添加は、０．０１〜１重量
％が好ましい。０．０１重量％未満では添加によるパタ
ーン広がりを抑える効果が低く、１重量％以上では吸収
が大きすぎて膜内部の硬化が妨げられる。

【００２７】本発明のペーストは、上記構成物を、例え
ば３本ロールミル、コボールミルなどの混練装置や分散
装置によって均一に混合することで得られる。一例を上
げて説明する。有機成分をミキサーやスターラーで完全
に均一に混合した後、無機粉末を加え、更に混合して予
備分散を行う。その後、３本ロールミルを通して混練す
る。３本ロールミルは２回から８回連続して通すことが
好ましい。

【００２８】次に本発明による感光性ペーストを用いた
パターンの形成例について説明するが、本発明はこれに
限定されるものではない。

【００２９】アルミナ基板、ガラス基板等の上にスクリ
ーン印刷でペーストを塗布し、乾燥する。７０℃〜１０
０℃で数分から１時間加熱して乾燥した後、マスクを介
して露光する。マスクは、所望する電極形状に対してネ
ガ型のものを使用し、露光は高圧水銀灯等により、露光
量は例えばｉ線（３６５ｎｍ）における測定で１０〜３
００ｍＪ／ｃｍ²で行う。露光後、アルカリ水溶液を現
像液として現像を行う。アルカリ水溶液は、金属分の残
留を防ぐためにテトラメチルアンモニウムヒドロキシド
やエタノールアミンなどの有機アルカリが好ましい。現
像液で所定時間現像した後、水洗を行う。これら現像と
水洗は、浸漬、スプレー、パドルなどで行うことが出来
るが、高い解像度が得られ、矩形断面形状のパターンが
得られるのでスプレー現像が好ましい。現像液のスプレ
ー時間は２０秒から２００秒であり、水洗は同じくスプ
レーで１０秒から６０秒で行う。スプレーする際に、基
板を回転させておくことが現像の均一性の点から好まし
い。回転速度は１００〜１０００ｒｐｍが好ましい。水
洗後、回転を上げて余分な水を振り切り、乾燥させる。
このときの回転数は１０００〜４０００回転である。必
要であればオーブンなどで完全に水分を除去した後、電
気炉、ベルト炉等で焼成を行い、有機成分を揮発させる
と共に無機粉末を焼結させることにより無機膜パターン
を形成できる。焼成雰囲気や温度は無機粉末や基板の種
類により異なるが、大気雰囲気、窒素雰囲気、酸素を１
０〜１００ｐｐｍ含有する窒素雰囲気、水素雰囲気等
で、５００〜１６００℃の温度で１〜６０分保持して焼
成する。

【００３０】光線透過性のあるガラスよりも、金属粉末
の方がより厚膜硬化が困難であるが、このペーストを使
用することにより、金属粉末を含む場合においても膜厚
１０μｍ以上で、電極幅が１５μｍ以下、電極と電極の
間が１５μｍ以下であり断面が矩形の微細電極パターン
を得ることが出来るものである。

【００３１】本発明の感光性ペーストにより形成するパ
ターンは、ノートパソコンや携帯電話に実装されるＭＣ
Ｍ（マルチチップモジュール）用基板の電極や絶縁層、
ＣＳＰ（チップサイズパッケージ）用基板の電極をはじ
め、チップインダクター、チップコンデンサーなどのチ
ップ部品の電極、誘電体層、モジュール基板の電極、絶
縁層、またプラズマアドレス液晶、プラズマディスプレ
イパネル用電極などに好適に用いられるが、これらの用
途に限定されるものではない。

【００３２】

【実施例】以下の実施例で本発明を具体的に説明する
が、本発明はこれら実施例により何等の制限を受けるも
のではない。

【００３３】実施例１〜４、比較例１〜３において表１
に示した各組成について、以下に述べる要領でペースト
の調整を行い、パターン加工性の試験を行った。使用し
た原料類を以下に示す。

【００３４】Ａ．無機粉末 ａ．銀粉末 単分散粒状 平均粒子径３μｍ 比表面積
０．３２（ｍ²／ｇ）タップ密度 ５．１（ｇ／ｃｍ³） ｂ．ガラス粉末 単分散球状 平均粒子径２．７μｍ
比表面積１．９１（ｍ ²／ｇ） ガラス転移点 ６７０
℃ Ｂ．ポリマー グリシジルメタクリレート変性メタクリル酸−メタクリ
ル酸メチル共重合体（酸価１１０ 数平均分子量 ２３
０００ ２重結合当量 ６９０） Ｃ．多官能モノマー ジペンタエリスリトールペンタアクリレート／ヘキサア
クリレート混合物（”カヤラッド”ＤＰＨＡ 日本化薬
（株）製：５，６官能モノマー ２重結合当量９６〜１
０４）。

【００３５】Ｄ．光重合開始剤 ａ．ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェ
ニルフォスフィンオキサイド：“イルガキュア”８１９
（チバスペシャリティケミカルズ社製）以下ＩＣ８１９
とする。 ｂ．２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モ
ルフォリノフェニル）−ブタノン−１：“イルガキュ
ア”３６９（チバスペシャリティケミカルズ社製）以下
ＩＣ３６９とする。 ｃ．２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−
１−オン：“イルガキュア”６５１（チバスペシャリテ
ィケミカルズ社製）以下ＩＣ６５１とする。

【００３６】Ｅ．安定剤 １，２，３−ベンゾトリアゾール Ｆ．流動性改良剤 “アエロジル”２００（日本アエロジル（株）製） Ｇ．溶剤 γ−ブチロラクトン Ｈ．分散剤 “ノプコスパース”０９２（サンノプコ（株）製） Ｉ．吸光剤 スダンIV（東京化成） Ｊ．レベリング剤 “ディスパロン”ＬＣ−９５１（楠本化成（株））（有
効濃度は１０重量％、残りは溶剤） Ｋ．現像液 テトラエチルアンモニウムヒドロキシド ０．１重量％
水溶液。

【００３７】以下の作業は、全て黄色灯下で行った。 ペースト調整 （１）ポリマーと溶剤を混合し、６０℃で３時間加熱し
て溶解させた。 （２）ポリマー溶液を室温に冷却し、その他の組成を全
て混合し、モーターと撹拌羽を用いて２００ｒｐｍで３
０分室温で完全に均一に混合した。 （３）得られたスラリーを、３本ロール（ＥＸＡＣＴ社
製 ｍｏｄｅｌ ５０）で混練し、ペーストを得た。

【００３８】パターン加工 （１）ペーストを７．５ｃｍ角の９６％アルミナ基板上
（ニッコー（株）製）にスクリーン印刷で全面塗布し
た。スクリーンはＳＵＳ＃３２５メッシュを使用する。 （２）印刷した基板を熱風オーブンで８０℃で４０分乾
燥した。乾燥後の膜厚は銀ペーストでは１５μｍ、ガラ
スペーストでは４０μｍとした。 （３）高圧水銀灯（１５ｍＷ／ｃｍ²）を用いて、パタ
ーンマスクを介してペーストの露光を行った。パターン
マスクはｌｉｎｅ／ｓｐａｃｅパターンで、線幅／線間
はそれぞれ１０、１２．５、１５、２０、３０μｍであ
る。 （４）アルカリ現像液（０．１％ＴＭＡＨ水溶液）を用
いて、露光後の基板を浸漬し、揺動させて現像し、その
後水シャワーでリンスした。 （５）光学顕微鏡でパターンの観察を行った。

【００３９】表１に、各実施例のペースト組成と、現像
方法、結果について示した。銀ペーストでは２０μｍの
線幅が剥がれなく解像されている露光量をもって感度と
した。ガラスペーストでは４０μｍの線幅が剥がれなく
解像されている露光量を持って感度とした。解像度を測
定するときの露光量はこの最少露光量の１．５倍とし
た。また解像度は、線幅は改造可能であった最少の線幅
／線間をμｍ単位で表記した。これらの数値が小さいほ
ど高解像度であるといえる。

【００４０】実施例１では、本発明の有機リン化合物の
光重合開始剤を用いた感光性銀ペーストであり良好な解
像度であった。実施例２では有機リン化合物に加えてア
セトフェノン誘導体の光重合開始剤を併用した場合であ
るが、実施例１より感度が高く更に良好な結果が得られ
た。比較例１、２はアセトフェノン誘導体の光重合開始
剤をそれぞれ単独で使用した場合であるが、いずれも解
像度は実施例のものより低かった。実施例３，４は本発
明による有機リン化合物の光重合開始剤を含む感光性ガ
ラスペーストであり、いずれも銀ペーストと同じく結果
は良好であった。比較例３は本発明によらない感光性ガ
ラスペーストであり、実施例３、４に比べて解像度は低
かった。

【００４１】

【表１】

【００４２】

【発明の効果】表１に得られた結果より、本発明による
構成によれば、高い解像度を持つ無機粉末含有感光性ペ
ーストが得られた。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の光重合開始剤（２−ベンジル−２−ジメ
チルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタ
ノン−１）を含んだアクリル樹脂の光照射による吸光度
変化

【図２】本発明ペーストで使用する光重合開始剤（ビス
（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルフェ
スフィンオキサイド）を含んだアクリル樹脂の光照射に
よる吸光度変化

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Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】無機粉末と、感光性有機成分として少なく
   ともアルカリ可溶性のポリマーと、１分子中に炭素炭素
   ２重結合を２個以上有する多官能モノマーを必須成分と
   する感光性ペーストであって、有機リン化合物を含有す
   ることを特徴とする感光性ペースト。
2. 【請求項２】有機リン化合物としてアシルフォスフィン
   オキサイド誘導体を含有することを特徴とする請求項１
   記載の感光性ペースト。
3. 【請求項３】有機リン化合物としてビス（２，４，６−
   トリメチルベンゾイル）−フェニルフォスフィンオキサ
   イドを含有することを特徴とする請求項２記載の感光性
   ペースト。
4. 【請求項４】光重合開始剤として、波長４００ｎｍ以上
   に吸収を有し、且つ活性な光線の照射によって３００ｎ
   ｍから４００ｎｍの全波長範囲において吸光度が減少す
   るものを含有することを特徴とする請求項１記載の感光
   性ペースト。
5. 【請求項５】少なくともアセトフェノン誘導体を含有す
   ることを特徴とする請求項１記載の感光性ペースト。
6. 【請求項６】少なくとも２，２−ジメトキシ−１，２−
   ジフェニルエタン−１−オンを含有することを特徴とす
   る請求項１記載の感光性ペースト。
7. 【請求項７】無機粉末として金、銀、銅、ニッケル、白
   金、パラジウムの中から選ばれる少なくとも１種の金属
   粉末を含有することを特徴とする請求項１記載の感光性
   ペースト。
8. 【請求項８】無機粉末として少なくともガラス粉末を含
   有することを特徴とする請求項１記載の感光性ペース
   ト。
9. 【請求項９】無機粉末として少なくともセラミックス粉
   末を含有することを特徴とする請求項１記載の感光性ペ
   ースト。
10. 【請求項１０】アルカリ可溶性のポリマーとして少なく
    ともアクリル系共重合体を含有することを特徴とする請
    求項１記載の感光性ペースト。
11. 【請求項１１】１分子中に炭素−炭素２重結合を２個以
    上有する多官能モノマーとして多官能（メタ）アクリレ
    ートを含有することを特徴とする請求項１記載の感光性
    ペースト。
12. 【請求項１２】有機成分中に有機染料からなる紫外線吸
    光剤を含有することを特徴とする請求項１記載の感光性
    ペースト。