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JP2001284400A - Flip chip mounted component - Google Patents

Flip chip mounted component

Info

Publication number
JP2001284400A
JP2001284400A JP2000091754A JP2000091754A JP2001284400A JP 2001284400 A JP2001284400 A JP 2001284400A JP 2000091754 A JP2000091754 A JP 2000091754A JP 2000091754 A JP2000091754 A JP 2000091754A JP 2001284400 A JP2001284400 A JP 2001284400A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode
region
frequency
frequency circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000091754A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masatoshi Takiguchi
正敏 瀧口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2000091754A priority Critical patent/JP2001284400A/en
Publication of JP2001284400A publication Critical patent/JP2001284400A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/11Manufacturing methods
    • H01L2224/113Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector
    • H01L2224/1133Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form
    • H01L2224/1134Stud bumping, i.e. using a wire-bonding apparatus

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To secure air layer between the circuit plane of a high-frequency component and the substrate plane through a simple structure. SOLUTION: In the region of a substrate 10, facing the region of a high frequency circuit 2, a film 12 to which the liquid material 20a of an under fill 20 does not tend to easily adhere is formed. An electrode is formed in the central region of a high-frequency component 1, and the high-frequency circuit is formed on the periphery thereof. In an alternative mode, a thermosetting anisotropic conductive film 21, formed in correspondence with the region of a stud bump 3 and a land 11 and having an opening 21a facing the region of the high-frequency circuit is set. Furthermore, in other modes, an opening 10a is made in a region of the substrate 10 facing the region of the high-frequency circuit on the high-frequency component 1 side.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の実装に
関し、特に高周波部品を有するフリップチップ実装部品
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the mounting of electronic components, and more particularly to flip-chip mounted components having high frequency components.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、マイクロストリップや電極が形
成された高周波部品を基板上に実装するための構造とし
ては、高周波部品の電極と基板のランドを電気接続用バ
ンプであるスタッドバンプを介して電気的に接続する方
法が知られている。図10は従来の高周波部品を有する
フリップチップ実装工程を示し、ベアIC1の中央の領
域には高周波回路2が形成され、その回りに電極1bが
形成されている。まず、図10(1)、(2)に示すよ
うにベアIC1の電極1bの上にスタッドバンプ3を形
成し、次いで図10(3)に示すようにスタッドバンプ
3を加圧して全てのスタッドバンプ3の高さが同一にな
るようにレベリングを行う。
2. Description of the Related Art Generally, a structure for mounting a high-frequency component on which a microstrip or an electrode is formed on a substrate is formed by electrically connecting an electrode of the high-frequency component and a land of the substrate via a stud bump serving as an electrical connection bump. There is a known method of connecting the terminals. FIG. 10 shows a flip-chip mounting process having a conventional high-frequency component. A high-frequency circuit 2 is formed in a central region of a bare IC 1, and an electrode 1b is formed therearound. First, the stud bumps 3 are formed on the electrodes 1b of the bare IC 1 as shown in FIGS. 10A and 10B, and then all the studs are pressed by pressing the stud bumps 3 as shown in FIG. Leveling is performed so that the bumps 3 have the same height.

【0003】次いで図10(4)、(5)に示すように
スタッドバンプ3を下向きにしてスタッドバンプ3に導
電ペースト4を転写し、次いで図10(6)、(7)に
示すようにスタッドバンプ3と基板10上のランド11
を位置決めしてIC1を基板10上にマウントした後に
導電ペーストを硬化させる。次いで図10(8)〜(1
0)に示すようにスタッドバンプ3と基板10のランド
11の回りに保護機能を有する一種の接合部材であるア
ンダーフィル20の液状の原料20aを塗布し、これを
硬化させる。
Then, as shown in FIGS. 10 (4) and 10 (5), the conductive paste 4 is transferred to the stud bump 3 with the stud bump 3 facing down, and then the stud bump 3 as shown in FIGS. 10 (6) and 10 (7). Bump 3 and land 11 on substrate 10
After the IC 1 is mounted on the substrate 10 by positioning the conductive paste, the conductive paste is cured. Next, FIGS. 10 (8) to (1)
As shown in (0), a liquid material 20a of the underfill 20, which is a kind of bonding member having a protective function, is applied around the stud bump 3 and the land 11 of the substrate 10 and is cured.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では、アンダーフィル20の原料20aが液状で
あるので硬化前にIC1などの部品の高周波回路2のあ
る面と基板10の間に毛細管現象により入り込む。ま
た、IC1などの高周波部品の回路と基板10の回路は
元々、空気の誘電率を基準として設計されており、この
ため、空気と異なる誘電率のアンダーフィル20が高周
波回路2の形成されている領域と基板10の間に入り込
んで硬化すると、高周波特性が変化するという問題点が
ある。
However, in the above conventional example, since the raw material 20a of the underfill 20 is in a liquid state, a capillary phenomenon occurs between the surface of the high frequency circuit 2 of the component such as the IC 1 and the substrate 10 before curing. Pierce by. The circuit of the high-frequency component such as the IC 1 and the circuit of the substrate 10 are originally designed based on the dielectric constant of air, and therefore, the underfill 20 having a dielectric constant different from that of air is formed in the high-frequency circuit 2. There is a problem that the high-frequency characteristics change when penetrating between the region and the substrate 10 and curing.

【0005】なお、これを防止する従来例としては、例
えば特開平10−98134号公報、特開平6−204
293号公報、特開平6−204291号公報などに示
されるように高周波部品の回路面と基板面の間が空気層
になるようにダムを設け、ダムの回りを樹脂で封止する
構造が提案されているが、この場合に、ダムを設ける分
だけ構造が複雑化し、また、樹脂がダム内に入り込まな
いように封止するために手間がかかる。
As conventional examples for preventing this, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-98134 and Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-204
As disclosed in JP-A-293-293 and JP-A-6-204291, a structure is proposed in which a dam is provided so that an air layer is formed between the circuit surface of the high-frequency component and the substrate surface, and the area around the dam is sealed with resin. However, in this case, the structure is complicated by the provision of the dam, and it takes time to seal the resin so as not to enter the dam.

【0006】本発明は上記従来例の問題点に鑑み、簡単
な構造で高周波部品の回路面と基板面の間に空気層を確
保することができる高周波部品を有するフリップチップ
実装部品を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and provides a flip-chip mounted component having a high-frequency component capable of securing an air layer between a circuit surface and a substrate surface of the high-frequency component with a simple structure. With the goal.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、高周波回路の領域に対向する基板の領域に
アンダーフィル剤の液状原料が付きにくいフィルムを形
成したものである。すなわち本発明によれば、中央の領
域に高周波回路が形成されるとともにその回りに電極が
形成された高周波部品と、前記電極に対向するようにラ
ンドが形成された高周波部品を実装する基板と、前記高
周波部品と前記基板とを接合するための接合部材とを有
するフリップチップ実装部品において、前記高周波部品
の高周波回路の領域に対向する前記基板の領域に接合部
材の液状原料が付きにくいフィルムを形成し、前記電極
に取り付けられた電気接続用バンプと前記ランドとが対
向するように配置した後、前記電極と前記ランドの回り
に接合部材の液状原料を塗布してこれを硬化させること
を特徴とするフリップチップ実装部品が提供される。こ
の構成により、アンダーフィル剤の液状原料が高周波回
路の領域に入り込むのを防ぐことができ、簡単な構造で
高周波部品の回路面と基板面の間に空気層を確保するこ
とができる。
According to the present invention, in order to attain the above object, a film is formed on a region of a substrate facing a region of a high-frequency circuit, in which a liquid material of an underfill agent is not easily attached. That is, according to the present invention, a high-frequency circuit in which a high-frequency circuit is formed in the central region and an electrode formed around the high-frequency circuit, and a substrate on which a high-frequency component in which a land is formed so as to face the electrode are mounted, In a flip-chip mounting component having a bonding member for bonding the high-frequency component and the substrate, a film in which a liquid material of the bonding member does not easily adhere to a region of the substrate facing a high-frequency circuit region of the high-frequency component is formed. Then, after arranging the bumps for electrical connection attached to the electrodes and the lands so as to face each other, a liquid material for a bonding member is applied around the electrodes and the lands and cured. Flip-chip mounted component is provided. With this configuration, it is possible to prevent the liquid raw material of the underfill agent from entering the region of the high-frequency circuit, and to secure an air layer between the circuit surface of the high-frequency component and the substrate surface with a simple structure.

【0008】本発明は上記目的を達成するために、高周
波部品の中央の領域に電極を形成し、その回りに高周波
回路を形成したものである。すなわち本発明によれば、
中央の領域に電極を形成し前記電極の回りに高周波回路
を形成した高周波部品と、基板にランドを前記電極に対
向するように形成し、前記電極に取り付けられた電気接
続用バンプと前記ランドとを対向するように配置した
後、前記電極と前記ランドの位置に接合部材の液状原料
を塗布してこれを硬化させるフリップチップ実装部品が
提供される。この構成により、スタッドバンプとランド
の外側に広い面積の空気層を確保することができるフリ
ップチップ実装部品を提供することができる。
According to the present invention, in order to achieve the above object, an electrode is formed in a central region of a high-frequency component, and a high-frequency circuit is formed around the electrode. That is, according to the present invention,
A high-frequency component in which an electrode is formed in a central region and a high-frequency circuit is formed around the electrode, a land is formed on the substrate so as to face the electrode, and an electrical connection bump and the land are attached to the electrode. Then, a flip-chip mounting component is provided in which a liquid material for a bonding member is applied to the positions of the electrodes and the lands, and is cured. With this configuration, it is possible to provide a flip-chip mounted component capable of securing a large air layer outside the stud bumps and the lands.

【0009】本発明は上記目的を達成するために、スタ
ッドバンプとランドの領域に対応するように成型され、
かつ高周波回路の領域に対向する部分が開口した形状に
形成された熱硬化性の異方性導電フィルムを有し、硬化
させるようにしたものである。すなわち本発明によれ
ば、中央の領域に高周波回路が形成されるとともにその
回りに電極が形成された高周波部品と、前記電極に対向
するようにランドが形成された基板と、前記高周波部品
と前記基板とを接合するための接合部材とを有するフリ
ップチップ実装部品において、前記電極に取り付けられ
た電気接続用バンプと前記ランドとの間に、前記電気接
続用バンプと前記ランドの領域に対応するように成型さ
れかつ高周波回路の領域に対向する部分が開口した形状
に形成された熱硬化性の異方性導電フィルムを有し、前
記異方性導電フィルムを硬化させることを特徴とするフ
リップチップ実装部品が提供される。この構成により、
スタッドバンプとランドの領域のみを確実に接合でき、
同時にマイクロストリップ領域には空気層を確保するこ
とができ、信頼性の高いフリップチップ実装部品を提供
することができる。
In order to achieve the above object, the present invention is formed so as to correspond to a stud bump and a land area.
In addition, a thermosetting anisotropic conductive film formed in a shape in which a portion facing a high-frequency circuit region is opened is cured. That is, according to the present invention, a high-frequency circuit in which a high-frequency circuit is formed in a central region and an electrode is formed around the high-frequency circuit, a substrate on which a land is formed so as to face the electrode, In a flip-chip mounting component having a bonding member for bonding to a substrate, between a land for electrical connection attached to the electrode and the land, a region corresponding to the bump for electrical connection and the land is provided. Flip-chip mounting, comprising: a thermosetting anisotropic conductive film formed in a shape which is formed into a shape having an opening facing a region of a high-frequency circuit, and wherein the anisotropic conductive film is cured. Parts are provided. With this configuration,
Only the stud bump and land areas can be securely joined,
At the same time, an air layer can be secured in the microstrip region, and a highly reliable flip chip mounted component can be provided.

【0010】本発明は上記目的を達成するために、高周
波部品側の高周波回路の領域に対向する基板の領域に開
口を形成したものである。すなわち本発明によれば、中
央の領域に高周波回路が形成されるとともにその回りに
電極が形成された高周波部品と、前記電極に対向するよ
うにランドが形成された基板と、前記高周波部品と前記
基板とを接合するための接合部材とを有するフリップチ
ップ実装部品において、前記基板が前記高周波部品の高
周波回路の領域に対向する部分に開口を形成した基板で
あり、前記電極に取り付けられた電気接続用バンプと前
記ランドとが対向するように配置し前記電気接続用バン
プと前記ランドの回りに液状の接合部材の原料を塗布し
てこれを硬化させることを特徴とするフリップチップ実
装部品が提供される。この構成により高周波部品の高周
波回路の領域に空気層を確実に確保することができ、信
頼性の高いフリップチップ実装部品を簡単に提供するこ
とができる。
According to the present invention, in order to achieve the above object, an opening is formed in a region of a substrate opposed to a region of a high-frequency circuit on a high-frequency component side. That is, according to the present invention, a high-frequency circuit in which a high-frequency circuit is formed in a central region and an electrode is formed around the high-frequency circuit, a substrate on which a land is formed so as to face the electrode, A flip-chip mounting component having a bonding member for bonding to a substrate, wherein the substrate is a substrate having an opening formed in a portion of the high-frequency component facing a region of a high-frequency circuit, and an electrical connection attached to the electrode. A flip chip mounting component, wherein a material for a liquid bonding member is applied around the electrical connection bump and the land, and the material is hardened. You. With this configuration, an air layer can be reliably secured in the high-frequency circuit area of the high-frequency component, and a highly reliable flip-chip mounted component can be easily provided.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】<第1の実施の形態>以下、図面
を参照して本発明の実施の形態を説明する。図1は第1
の実施の形態の高周波ICの接続面(電極側)を示す構
成図、図2は第1の実施の形態の基板のランド周辺を示
す構成図、図3は本発明に係る高周波部品を有するフリ
ップチップ実装部品の第1の実施の形態を示す構成図で
ある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <First Embodiment> An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Figure 1 shows the first
FIG. 2 is a configuration diagram showing a connection surface (electrode side) of the high-frequency IC according to the embodiment, FIG. 2 is a configuration diagram showing the periphery of a land of the substrate according to the first embodiment, and FIG. 3 is a flip having a high-frequency component according to the present invention. 1 is a configuration diagram illustrating a first embodiment of a chip mounted component.

【0012】図1において、高周波IC(単にICとも
いう)1の中央の矩形領域には、高周波回路2を構成す
る図示省略のマイクロストリップが形成されている。ま
た、このマイクロストリップの領域の回りには複数の電
極(不図示)が形成され、この電極の上にスタッドバン
プ3が配置される。さらに、マイクロストリップの領域
とスタッドバンプ3(及び電極)の境界にはダム4が形
成されている。
In FIG. 1, a microstrip (not shown) constituting a high-frequency circuit 2 is formed in a central rectangular area of a high-frequency IC (also simply referred to as IC) 1. A plurality of electrodes (not shown) are formed around the microstrip area, and the stud bumps 3 are arranged on the electrodes. Further, a dam 4 is formed at the boundary between the microstrip region and the stud bump 3 (and the electrode).

【0013】これに対し、基板10には図2に示すよう
に、IC1側のスタッドバンプ3に対向するようにラン
ド11が形成され、また、IC1側のマイクロストリッ
プ領域2に対向する領域には、アンダーフィル20の液
状原料20aが付きにくいフィルム12が形成されてい
る。このフィルム12(及びダム4)は、摩擦係数が小
さく接着しにくい材料で構成され、例えばフッ素樹脂や
アクリル樹脂などにより構成される。フッ素樹脂として
はポリテトラフルオロエチレンを用いることができる。
これは「テフロン」(デュポン社の登録商標)として知
られている。
On the other hand, as shown in FIG. 2, a land 11 is formed on the substrate 10 so as to oppose the stud bump 3 on the IC 1 side, and a land opposing the microstrip area 2 on the IC 1 side. The film 12 to which the liquid material 20a of the underfill 20 is hardly attached is formed. The film 12 (and the dam 4) is made of a material having a small coefficient of friction and difficult to adhere to, for example, a fluororesin or an acrylic resin. Polytetrafluoroethylene can be used as the fluororesin.
This is known as "Teflon" (registered trademark of DuPont).

【0014】そして、IC1と基板10を結合するため
に、スタッドバンプ3とランド11が対向するように配
置した後、スタッドバンプ3とランド11の回りに液状
のアンダーフィル20の原料を塗布してこれを硬化させ
ると、図3に示すようにIC1側のマイクロストリップ
領域2に対向する基板10側の領域にアンダーフィル2
0の液状原料20aが付きにくいフィルム12が形成さ
れているので、この領域には液状のアンダーフィル20
の原料が入り込まずに硬化し、このため、IC1の回路
面(マイクロストリップ領域2)と基板10の面の間に
空気層30を確保することができる。また、IC1側に
も、高周波回路2を形成するマイクロストリップの領域
とスタッドバンプ3の境界にはダム4が形成されている
ので、アンダーフィル20の液状原料20aが入り込む
ことをさらに防止することができる。
Then, in order to couple the IC 1 and the substrate 10, the stud bumps 3 and the lands 11 are arranged so as to face each other, and then the raw material of the liquid underfill 20 is applied around the stud bumps 3 and the lands 11. When this is cured, as shown in FIG. 3, an underfill 2 is formed in a region on the substrate 10 facing the microstrip region 2 on the IC 1 side.
Since the film 12 to which the liquid material 20a is hardly attached is formed, the liquid underfill 20 is formed in this region.
Thus, the air layer 30 can be cured between the circuit surface of the IC 1 (the microstrip region 2) and the surface of the substrate 10. Also, the dam 4 is formed on the IC 1 side at the boundary between the microstrip region forming the high-frequency circuit 2 and the stud bump 3, so that the liquid material 20 a of the underfill 20 can be further prevented from entering. it can.

【0015】ここで、基板10上のフィルム12の厚さ
は、IC1の回路面と基板10面の間の空気層30より
薄く形成され、例えばスタッドバンプ3の径(=IC1
の電極面と基板10のランド面の間の距離)が45μm
の場合には0.1〜25μm程度の厚さで形成する。フ
ィルム12を形成する方法としては、ポリテトラフルオ
ロエチレンを用いる場合には乾式薄膜形成法、例えばP
VD法(真空蒸着法)やスパッタリング法で形成するこ
とができる。また、アクリル樹脂を用いる場合には液状
樹脂を印刷して硬化させる印刷法、液状樹脂を転写して
硬化させる転写法、成型された樹脂シートを接着剤とし
て熱硬化エポキシ樹脂やUV硬化アクリル樹脂を介して
貼り付ける貼り付け法で形成することができる。
Here, the thickness of the film 12 on the substrate 10 is formed to be thinner than the air layer 30 between the circuit surface of the IC 1 and the surface of the substrate 10. For example, the diameter of the stud bump 3 (= IC 1
The distance between the electrode surface and the land surface of the substrate 10) is 45 μm
In this case, the film is formed with a thickness of about 0.1 to 25 μm. When polytetrafluoroethylene is used, a dry thin film forming method such as P
It can be formed by a VD method (vacuum evaporation method) or a sputtering method. When using an acrylic resin, a printing method for printing and curing a liquid resin, a transfer method for transferring and curing the liquid resin, a thermosetting epoxy resin or a UV-curable acrylic resin using a molded resin sheet as an adhesive. It can be formed by a pasting method of pasting.

【0016】<第2の実施の形態>次に図4〜図6を参
照して第2の実施の形態について説明する。IC1には
図4に示すように、中央の矩形領域に複数の電極(不図
示)が形成され、この電極の上にスタッドバンプ3が配
置される。さらに、スタッドバンプ3(及び電極)の回
りの領域には、高周波回路2を構成する図示省略のマイ
クロストリップが形成されている。これに対し、基板1
0には図5に示すように、IC1側のスタッドバンプ3
に対向するようにランド11が形成されているが、この
ランド11はIC1側の中央の矩形領域に対向するよう
に形成されている。
<Second Embodiment> Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 4, the IC 1 has a plurality of electrodes (not shown) formed in a central rectangular area, and the stud bumps 3 are arranged on the electrodes. Further, in a region around the stud bump 3 (and the electrode), a microstrip (not shown) constituting the high-frequency circuit 2 is formed. In contrast, substrate 1
5, stud bumps 3 on the IC1 side are shown in FIG.
The land 11 is formed so as to face the rectangular area on the IC 1 side.

【0017】そして、IC1と基板10を結合するため
に、図5に示すようにスタッドバンプ3とランド11が
対向するように配置した後、スタッドバンプ3とランド
11の位置にアンダーフィル20の液状の原料20aを
塗布してこれを硬化させると、図6に示すようにスタッ
ドバンプ3及びランド11の外側、すなわちIC1のマ
イクロストリップ領域2と基板10の間に広い面積の空
気層30を確保することができる。なお、この第2の実
施の形態においても第1の実施の形態と同様に、マイク
ロストリップ領域2に対向する基板10の領域にアンダ
ーフィル20の液状原料20aが付きにくいフィルム1
2を形成することにより、空気層30をさらに確実に確
保することができる。
Then, in order to connect the IC 1 and the substrate 10, the stud bump 3 and the land 11 are arranged so as to face each other as shown in FIG. When the raw material 20a is applied and cured, an air layer 30 having a large area is secured outside the stud bump 3 and the land 11, that is, between the microstrip region 2 of the IC 1 and the substrate 10, as shown in FIG. be able to. In the second embodiment, as in the first embodiment, the film 1 on which the liquid material 20a of the underfill 20 is unlikely to adhere to the region of the substrate 10 facing the microstrip region 2 is used.
By forming 2, air layer 30 can be more reliably secured.

【0018】<第3の実施の形態>次に第3の実施の形
態について図7、図8を参照して説明する。図8に示す
IC1の中央の矩形領域には、高周波回路2を構成する
図示省略のマイクロストリップが形成されている。ま
た、このマイクロストリップの領域の回りには複数の電
極(不図示)が形成され、この電極の上にスタッドバン
プ3が配置される。基板10にはIC1側のスタッドバ
ンプ3に対向するようにランド11が形成されている。
Third Embodiment Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS. Micro-strips (not shown) constituting the high-frequency circuit 2 are formed in a central rectangular area of the IC 1 shown in FIG. A plurality of electrodes (not shown) are formed around the microstrip area, and the stud bumps 3 are arranged on the electrodes. A land 11 is formed on the substrate 10 so as to face the stud bump 3 on the IC 1 side.

【0019】そして、この第3の実施の形態では、図
7、図8に示すようにスタッドバンプ3及びランド11
の領域に対応するように成型され、かつマイクロストリ
ップの領域に対向するように開口21aが形成された熱
硬化性のACF(異方性導電フィルム)21を介してス
タッドバンプ3及びランド11の領域のみを結合して、
IC1のマイクロストリップの領域と基板10の間に空
気層30を確保する。ここで、ACF21は樹脂内にN
iやAgの導電性ボールを含有させてフィルム状に形成
され、このフィルムをスタッドバンプ3及びランド11
の領域に対応するように打ち抜いてこれをスタッドバン
プ3とランド11の間に配置し、この状態で加熱して冷
却することによりACF21を硬化させる。この構成に
より、スタッドバンプとランドの領域のみを確実に接合
でき、同時にマイクロストリップ領域には空気層を確保
することができ、信頼性の高いフリップチップ実装部品
を提供することができる。
In the third embodiment, as shown in FIGS. 7 and 8, the stud bump 3 and the land 11 are formed.
And a region of the stud bump 3 and the land 11 via a thermosetting ACF (anisotropic conductive film) 21 formed so as to correspond to the region of the microstrip and having an opening 21a formed so as to face the region of the microstrip. Combine only
An air space 30 is secured between the microstrip area of the IC 1 and the substrate 10. Here, the ACF 21 contains N in the resin.
i and Ag are formed into a film containing conductive balls, and the film is formed on the stud bump 3 and the land 11.
The ACF 21 is hardened by punching out the area corresponding to the area (2) and placing it between the stud bump 3 and the land 11 and heating and cooling in this state. With this configuration, only the stud bump and land regions can be reliably joined, and at the same time, an air layer can be secured in the microstrip region, and a highly reliable flip chip mounting component can be provided.

【0020】<第4の実施の形態>次に図9を参照して
第4の実施の形態について説明する。IC1の中央の矩
形領域には、高周波回路2を構成する図示省略のマイク
ロストリップが形成されている。また、このマイクロス
トリップの領域の回りには複数の電極(不図示)が形成
され、この電極の上にスタッドバンプ3が配置される。
基板10にはIC1側のスタッドバンプ3に対向するよ
うにランド11が形成されているが、マイクロストリッ
プ領域2に対向する領域には開口10aが形成されてい
る。
<Fourth Embodiment> Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIG. A microstrip (not shown) constituting the high-frequency circuit 2 is formed in a central rectangular area of the IC 1. A plurality of electrodes (not shown) are formed around the microstrip area, and the stud bumps 3 are arranged on the electrodes.
A land 11 is formed on the substrate 10 so as to face the stud bump 3 on the IC 1 side, and an opening 10 a is formed in a region facing the microstrip region 2.

【0021】そして、IC1と基板10を結合するため
に、スタッドバンプ3とランド11が対向するように配
置した後、スタッドバンプ3とランド11の回りにアン
ダーフィル20の液状の原料20aを塗布してこれを硬
化させると、図9に示すように開口10aにより、IC
1のマイクロストリップ領域2と基板10との間に空気
層30を確実に確保することができる。
Then, in order to bond the IC 1 and the substrate 10, the stud bumps 3 and the lands 11 are arranged so as to face each other, and a liquid material 20a of the underfill 20 is applied around the stud bumps 3 and the lands 11. When this is cured, as shown in FIG.
The air layer 30 can be reliably secured between the microstrip region 2 and the substrate 10.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高
周波回路の領域に対向する基板の領域にアンダーフィル
剤の液状原料が付きにくいフィルムを形成したので、簡
単な構造で高周波部品の回路面と基板面の間に空気層を
確保したフリップチップ実装部品を提供することができ
る。また本発明によれば、高周波部品の中央の領域に電
極を形成し、その回りに高周波回路を形成したので、簡
単な部品で高周波部品の回路面と基板面の間に広い面積
の空気層を確保したフリップチップ実装部品を提供する
ことができる。また本発明によれば、スタッドバンプと
ランドの領域に対応するように成型され、かつ高周波回
路の領域に対向するように開口が形成された熱硬化性の
異方性導電フィルムを硬化させるようにしたので、簡単
な部品で高周波部品の回路面と基板面の間に空気層を確
保したフリップチップ実装部品を提供することができ
る。また本発明によれば、高周波部品の高周波回路の領
域に対向する基板の領域に開口を形成したので、簡単な
部品で高周波部品の回路面と基板面の間に空気層を確保
したフリップチップ実装部品を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the film of the liquid material of the underfill agent is hardly attached to the region of the substrate facing the region of the high-frequency circuit, so that the circuit of the high-frequency component has a simple structure. A flip-chip mounted component in which an air layer is secured between the surface and the substrate surface can be provided. Further, according to the present invention, since the electrode is formed in the center region of the high-frequency component and the high-frequency circuit is formed around the electrode, a large-area air layer is formed between the circuit surface of the high-frequency component and the substrate surface with simple components. It is possible to provide a secured flip-chip mounted component. Further, according to the present invention, a thermosetting anisotropic conductive film molded so as to correspond to the stud bump and land areas and having openings formed so as to face the high-frequency circuit area is cured. Therefore, it is possible to provide a flip-chip mounted component in which an air layer is secured between the circuit surface of the high-frequency component and the substrate surface with simple components. Further, according to the present invention, since the opening is formed in the region of the substrate facing the region of the high-frequency circuit of the high-frequency component, flip-chip mounting in which an air layer is secured between the circuit surface of the high-frequency component and the substrate surface with simple components Parts can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1の実施の形態の高周波ICの接続面(電極
側)を示す構成図
FIG. 1 is a configuration diagram showing a connection surface (electrode side) of a high-frequency IC according to a first embodiment;

【図2】第1の実施の形態の基板のランド周辺を示す構
成図
FIG. 2 is a configuration diagram showing the periphery of a land on the substrate according to the first embodiment;

【図3】本発明に係る高周波部品を有するフリップチッ
プ実装部品の第1の実施の形態を示す断面図
FIG. 3 is a sectional view showing a first embodiment of a flip-chip mounted component having a high-frequency component according to the present invention.

【図4】第2の実施の形態の高周波ICの接続面(電極
側)を示す構成図
FIG. 4 is a configuration diagram showing a connection surface (electrode side) of the high-frequency IC according to the second embodiment;

【図5】第2の実施の形態の高周波ICと基板を示す側
面図
FIG. 5 is a side view showing a high-frequency IC and a substrate according to a second embodiment;

【図6】本発明に係る高周波部品を有するフリップチッ
プ実装部品の第2の実施の形態を示す概略側面図
FIG. 6 is a schematic side view showing a second embodiment of a flip-chip mounted component having a high-frequency component according to the present invention.

【図7】第3の実施の形態の異方性導電フィルムを示す
概略図
FIG. 7 is a schematic view showing an anisotropic conductive film according to a third embodiment.

【図8】本発明に係る高周波部品のフリップチップ実装
部品の第3の実施の形態を示す概略側面図
FIG. 8 is a schematic side view showing a third embodiment of the flip-chip mounted component of the high-frequency component according to the present invention.

【図9】本発明に係る高周波部品のフリップチップ実装
部品の第4の実施の形態を示す部分断面図
FIG. 9 is a partial cross-sectional view showing a fourth embodiment of the flip-chip mounted component of the high-frequency component according to the present invention.

【図10】従来の高周波部品を有するフリップチップ実
装部品の実装工程を示すフロー図
FIG. 10 is a flowchart showing a mounting process of a conventional flip-chip mounted component having a high-frequency component.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 高周波IC(高周波部品) 2 高周波回路 3 スタッドバンプ 10 基板 10a 開口 11 ランド 12 フィルム 20 アンダーフィル(UF) 20a 原料 21 異方性導電フィルム(ACF) 21a 開口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 High frequency IC (High frequency component) 2 High frequency circuit 3 Stud bump 10 Substrate 10a Opening 11 Land 12 Film 20 Underfill (UF) 20a Raw material 21 Anisotropic conductive film (ACF) 21a Opening

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/34 501 H05K 3/34 501Z Fターム(参考) 4M109 BA04 CA05 CA06 DB15 DB16 DB17 GA10 5E314 AA25 BB05 BB15 CC01 FF01 GG26 5E319 AA03 AA07 AC13 BB05 BB16 CC22 CD60 5F044 KK01 LL01 LL09 LL11 QQ02 RR18 5F061 AA01 BA04 CA06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/34 501 H05K 3/34 501Z F term (Reference) 4M109 BA04 CA05 CA06 DB15 DB16 DB17 GA10 5E314 AA25 BB05 BB15 CC01 FF01 GG26 5E319 AA03 AA07 AC13 BB05 BB16 CC22 CD60 5F044 KK01 LL01 LL09 LL11 QQ02 RR18 5F061 AA01 BA04 CA06

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 中央の領域に高周波回路が形成されると
ともにその回りに電極が形成された高周波部品と、前記
電極に対向するようにランドが形成された高周波部品を
実装する基板と、前記高周波部品と前記基板とを接合す
るための接合部材とを有するフリップチップ実装部品に
おいて、 前記高周波部品の高周波回路の領域に対向する前記基板
の領域に接合部材の液状原料が付きにくいフィルムを形
成し、前記電極に取り付けられた電気接続用バンプと前
記ランドとが対向するように配置した後、前記電極と前
記ランドの回りに接合部材の液状原料を塗布してこれを
硬化させることを特徴とするフリップチップ実装部品。
A high-frequency circuit in which a high-frequency circuit is formed in a central region and an electrode formed around the high-frequency circuit; a substrate on which a high-frequency component in which a land is formed so as to face the electrode is mounted; In a flip-chip mounting component having a component and a joining member for joining the substrate, a film in which a liquid material of the joining member is hardly attached to a region of the substrate facing a region of a high-frequency circuit of the high-frequency component, After arranging the bumps for electrical connection attached to the electrodes and the lands so as to face each other, applying a liquid material for a bonding member around the electrodes and the lands and curing the same. Chip mounting parts.
【請求項2】 中央の領域に電極を形成し前記電極の回
りに高周波回路を形成した高周波部品と、基板にランド
を前記電極に対向するように形成し、前記電極に取り付
けられた電気接続用バンプと前記ランドとを対向するよ
うに配置した後、前記電極と前記ランドの位置に接合部
材の液状原料を塗布してこれを硬化させるフリップチッ
プ実装部品。
2. A high-frequency component in which an electrode is formed in a central region and a high-frequency circuit is formed around the electrode, and a land is formed on the substrate so as to face the electrode, and an electrical connection is provided on the electrode. A flip-chip mounting component in which a bump and the land are arranged so as to face each other, and then a liquid material for a bonding member is applied to the positions of the electrode and the land and cured.
【請求項3】 中央の領域に高周波回路が形成されると
ともにその回りに電極が形成された高周波部品と、前記
電極に対向するようにランドが形成された基板と、前記
高周波部品と前記基板とを接合するための接合部材とを
有するフリップチップ実装部品において、 前記電極に取り付けられた電気接続用バンプと前記ラン
ドとの間に、前記電気接続用バンプと前記ランドの領域
に対応するように成型されかつ高周波回路の領域に対向
する部分が開口した形状に形成された熱硬化性の異方性
導電フィルムを有し、前記異方性導電フィルムを硬化さ
せることを特徴とするフリップチップ実装部品。
3. A high-frequency component in which a high-frequency circuit is formed in a central region and an electrode is formed around the high-frequency circuit, a substrate on which a land is formed so as to face the electrode, the high-frequency component and the substrate A flip-chip mounted component having a joining member for joining the bumps, wherein between the electrical connection bumps attached to the electrodes and the lands, molding is performed so as to correspond to the areas of the electrical connection bumps and the lands. A flip-chip mounting component, comprising: a thermosetting anisotropic conductive film formed in a shape having an opening at a portion facing a region of a high-frequency circuit, wherein the anisotropic conductive film is cured.
【請求項4】 中央の領域に高周波回路が形成されると
ともにその回りに電極が形成された高周波部品と、前記
電極に対向するようにランドが形成された基板と、前記
高周波部品と前記基板とを接合するための接合部材とを
有するフリップチップ実装部品において、 前記基板が前記高周波部品の高周波回路の領域に対向す
る部分に開口を形成した基板であり、前記電極に取り付
けられた電気接続用バンプと前記ランドとが対向するよ
うに配置し前記電気接続用バンプと前記ランドの回りに
液状の接合部材の原料を塗布してこれを硬化させること
を特徴とするフリップチップ実装部品。
4. A high-frequency component in which a high-frequency circuit is formed in a central region and an electrode is formed around the high-frequency circuit, a substrate in which a land is formed so as to face the electrode, the high-frequency component and the substrate A flip-chip mounting component having a bonding member for bonding the high-frequency component, wherein the substrate is a substrate having an opening formed in a portion facing the high-frequency circuit region of the high-frequency component, and the electrical connection bump attached to the electrode. A flip-chip mounting component, wherein a material for a liquid bonding member is applied around the electrical connection bump and the land, and is cured.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006128488A (en) * 2004-10-29 2006-05-18 Seiko Epson Corp Manufacturing method of semiconductor device
US7157794B2 (en) 2002-04-03 2007-01-02 Oki Electric Industry Co., Ltd. Semiconductor device that suppresses variations in high frequency characteristics of circuit elements
US7227730B2 (en) 2004-05-28 2007-06-05 Infineon Technolgoies Ag Device for ESD protection of an integrated circuit
WO2010109703A1 (en) * 2009-03-24 2010-09-30 日本電気株式会社 Electronic device, substrate, and method for manufacturing electronic device
JP2011071543A (en) * 2010-12-03 2011-04-07 Oki Semiconductor Co Ltd Semiconductor device
CN107343354A (en) * 2017-08-24 2017-11-10 湖南维胜科技电路板有限公司 Soft or hard combination half-finished product plate and Rigid Flex

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7157794B2 (en) 2002-04-03 2007-01-02 Oki Electric Industry Co., Ltd. Semiconductor device that suppresses variations in high frequency characteristics of circuit elements
US7545036B2 (en) 2002-04-03 2009-06-09 Oki Semiconductor Co., Ltd. Semiconductor device that suppresses variations in high frequency characteristics of circuit elements
US7227730B2 (en) 2004-05-28 2007-06-05 Infineon Technolgoies Ag Device for ESD protection of an integrated circuit
JP2006128488A (en) * 2004-10-29 2006-05-18 Seiko Epson Corp Manufacturing method of semiconductor device
JP4737370B2 (en) * 2004-10-29 2011-07-27 セイコーエプソン株式会社 Manufacturing method of semiconductor device
WO2010109703A1 (en) * 2009-03-24 2010-09-30 日本電気株式会社 Electronic device, substrate, and method for manufacturing electronic device
JP5556808B2 (en) * 2009-03-24 2014-07-23 日本電気株式会社 Electronic device, substrate, and method of manufacturing electronic device
JP2011071543A (en) * 2010-12-03 2011-04-07 Oki Semiconductor Co Ltd Semiconductor device
CN107343354A (en) * 2017-08-24 2017-11-10 湖南维胜科技电路板有限公司 Soft or hard combination half-finished product plate and Rigid Flex
CN107343354B (en) * 2017-08-24 2023-10-20 湖南维胜科技电路板有限公司 Soft and hard combined semi-finished board and soft and hard combined board

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