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EP1059650B1 - Vakuumkammer - Google Patents

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Publication number
EP1059650B1
EP1059650B1 EP00111230A EP00111230A EP1059650B1 EP 1059650 B1 EP1059650 B1 EP 1059650B1 EP 00111230 A EP00111230 A EP 00111230A EP 00111230 A EP00111230 A EP 00111230A EP 1059650 B1 EP1059650 B1 EP 1059650B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
vacuum chamber
cover
section
edge
supporting ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP00111230A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1059650A2 (de
EP1059650A3 (de
Inventor
Markus Dr.-Ing. Heimbach
Dietmar Dipl.-Ing. Gentsch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ABB Technology AG
Original Assignee
ABB Technology AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE10007907A external-priority patent/DE10007907C2/de
Application filed by ABB Technology AG filed Critical ABB Technology AG
Publication of EP1059650A2 publication Critical patent/EP1059650A2/de
Publication of EP1059650A3 publication Critical patent/EP1059650A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1059650B1 publication Critical patent/EP1059650B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66207Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
    • H01H2033/66215Details relating to the soldering or brazing of vacuum switch housings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
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    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66261Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
    • H01H2033/66276Details relating to the mounting of screens in vacuum switches
    • HELECTRICITY
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    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66207Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
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    • H01H33/66261Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations

Definitions

  • the invention relates to a vacuum chamber according to the preamble of claim 1.
  • Such vacuum chambers are usually used in a switchgear, the Gas, air or insulating gas, usually under atmospheric pressure. Accordingly, are the insulating cylinder, the cover and the bellows strength to atmospheric pressure designed.
  • Such a vacuum chamber is known from US Pat. No. 5,222,651, the lid of which is below A support ring is soldered to the insulating cylinder.
  • the object of the invention is to provide a vacuum chamber of the type mentioned create that is designed for this high pressure of approx. 25 bar.
  • the lid has to be designed to be pressure-resistant and, in addition, tension-compensating To provide versions of the lid / ceramic connection.
  • the design of the cover only has to take the dimensioning into account; to the Transition between the lid and the ceramic measures must be taken as in the characterizing part of claim 1 are shown.
  • the sealing element between the lid and the attach particular importance to movable contact stems because of the increased pressure also the sealing element between the lid and the attach particular importance to movable contact stems.
  • the sealing element is expediently an at least single-layer bellows.
  • care must be taken that in the space between no gas can enter the individual bellows layers from the switchgear, which is achieved in that the joints between the bellows layers gas or vacuum tight are welded.
  • the sealing element can also have a number of frustoconical conical spring washers to each other arranged rings, which on the touching Ends sealed to one another in a vacuum or gas-tight manner, in particular welded are.
  • the rings can be formed in one or more layers.
  • sealing element as a membrane cover form, which has at least one membrane system, the inner and outer edges in a multi-layer version, vacuum or gas-tight with each other and with the Cover and the movable contact stem are welded.
  • the length of the section of the edge which has the thinner wall thickness, is dimensioned so that it is axial Absorbs (buckling or buckling) forces and radial forces.
  • the support ring can have an L-shaped cross section have, the radial web between the edge and the end face of the Insulating cylinder and its axial web runs parallel to and next to the edge where when filled in the gap between the axial web and the inner surface of the edge solder is.
  • a screen can be attached to the support ring, which is the sealing element shields.
  • the support ring is made of copper.
  • the lid can be made of steel; but there is also the possibility that a cover is provided, the partial is made of ceramic, to which a cup-shaped cover part made of steel is connected is.
  • this ceramic cover section is based on the features of the claim 16 out. It can be attached to the insulating cylinder separately from it or it can also be molded onto the insulating cylinder.
  • the shapes of the insulating cylinder are to be designed and dimensioned so that they are one have sufficient strength.
  • the ceramic cylinder has an inward arc at both ends exhibit; there is also the possibility of the ceramic body as a whole something to have a bulbous shape and to provide other shapes known per se.
  • the vacuum chamber which is only partially shown in cross section in FIG. 1, has an insulating cylinder 10, which is composed of two ceramic cylinders 11 and 12 which take a carrier 13 between them, on the one inside the vacuum chamber located screen 14 is attached.
  • an insulating cylinder 10 which is composed of two ceramic cylinders 11 and 12 which take a carrier 13 between them, on the one inside the vacuum chamber located screen 14 is attached.
  • the invention is not limited to such Designs limited.
  • the lid 16 is cup-shaped and has a lid base 17, to which a cylindrical wall section 18 connects, at its free end a section 19 with compared to the rest of the lid reduced wall thickness is arranged.
  • the length of this section 19 with less Wall thickness is I.
  • the reason for this reduction in wall thickness is that the lid 16 according to the embodiment shown in the drawing from a Iron-nickel alloy, which is above a certain temperature Has coefficient of thermal expansion, which differs significantly from that of the ceramic different.
  • the wall thickness must be such that an axial force does not lead to kinking or bulging of section 19, but on the other hand must be ensured that there is sufficient elasticity between the lid 16 and the Isolierkeramik 11 is achieved, so that a breakage of the ceramic due to the different Thermal expansion of ceramic and the lid material during the soldering process, which is carried out above that temperature is prevented.
  • section 19 is assigned a support ring 20 which is one radial section 21 which between the section 19 and the end face of the Ceramic cylinder 11 is arranged.
  • This web 21 is connected to the lid base 17 axially extending web 22 on, between the inner surface of the Wall section 18 and the web 22 a circumferential gap 23 is formed, which during of the soldering process is filled with solder 24 so that after cooling there between the wall section 18, also called edge 18, and the web 22 a support results.
  • the axial length of the web 22 is less than the axial length of the Section 19 with reduced wall thickness, whereby on the one hand an optimal support effect and on the other hand a favorable bendability is achieved to prevent deformation of the lid 16 due to excessive external load and a break in the ceramic To prevent cooling.
  • an inwardly directed radial section 25 is connected to the web 22 and an axial portion 26 that faces away from the lid base 17, whereby a shielding element is formed.
  • the free end of the radial section 26 is outward L-shaped or U-shaped bent and thereby controls the electrical Field.
  • the lid 16 has an opening 30 on which the one end 31 one of two Layers 32 and 33 composite bellows 34 connects; the bellows 34 is connected on the one hand vacuum-tight to the cover 16 and on the other hand the both layers 32, 33 welded together vacuum-tight at their ends, so that also prevents gas located within the switchgear housing between the layers can penetrate.
  • the inner end of the bellows 34 is not shown in FIG illustrated manner connected vacuum-tight with the contact stem 15.
  • FIG. 2 shows another embodiment of the cover 40.
  • a support plate 41 is soldered to the ceramic cylinder 11, which runs radially, and the free end of the edge section 42 of the cover 40 is soldered to this support plate 41, the support ring being formed by solder 43 shaped like a fillet , 44, which contribute to a reinforcement in the region of the connection on the support plate 41.
  • the edge 40 has a section 45 with a reduced wall thickness, which corresponds to the section 19 of the cover 16; the axial length of this section 45 is also designated I here.
  • Internals can be attached to the disk 41 or plate 41 within the vacuum chamber.
  • the free edge of the cover can be attached with the interposition of an additional radial ring plate made of copper in addition to the support ring.
  • the arrangement according to FIGS. 1 and 2 is preferably designed for a pressure, which is higher than atmospheric pressure.
  • 4 to 6 show different configurations of the sealing element between Lid and movable contact stem.
  • 4 shows a bellows arrangement 50, which is composed of three bellows layers 51, 52 and 53, which on the End 54 with which they are attached to the lid as well as at the end 55 with which connect them to the movable contact stem by means of a weld seam 56 and 57 are sealed in a vacuum-tight manner, so that gas is prevented from getting inside between the Layers 51 to 53 entered.
  • ends 54 and 55 and then solder the bellows assembly in one process step solder the lid and the movable contact stem solder the lid and the movable contact stem.
  • 5 is a type of bellows, which consists of several ring parts 60, 61 .62 and 63 is composed, which are assigned to one another in the manner of cup springs, whereby the individual sections 60 to 63 are frustoconical and each with the outer Edges and the inner edges at 60a, 60b, 61a, 62a alternately vacuum-tight with each other are connected.
  • 5 are the ring arrangements 60 to 63 three layers and each have a layer 64, 65 and 66 or 67, 68 and 69 ....
  • FIG. 6 shows a membrane-like sealing element 70 that is radial is wave-shaped and aligned and also consists of three layers 71, 72 and 73 is composed, at its outer edge at 74 and at the inner edge at 75 are connected to each other in a vacuum-tight manner.
  • the vacuum chamber according to FIG. 7 has, among other things, an insulating cylinder 80 Ceramics, at the free end of which a frustoconical cover section 81 connects, at its inner end, the lid section 81 has a radially extending section 82, on the outside of which a cup-shaped cover 83 connects.
  • the lid section 81 can be formed in one piece with the insulating cylinder 80.

Landscapes

  • High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Solche Vakuumkammern sind üblicherweise in einer Schaltanlage eingesetzt, deren Gas, Luft oder Isoliergas, normalerweise unter Atmosphärendruck steht. Demgemäß sind der Isolierzylinder, die Deckel und der Faltenbalg festigkeitsmäßig auf Atmosphärendruck ausgelegt.
Aus der US 5 222 651 ist eine solche Vakuumkammer bekannt, deren Deckel unter Zwischenfügung eines Stützrings am Isolierzylinder festgelötet sind.
Nun sind Fälle denkbar, in denen eine Vakuumkammer in einer Schaltanlage eingebaut ist, deren Druck deutlich erhöht ist, beispielsweise bis zu ca. 25 bar, was zur Folge hat, daß sowohl der Isolierzylinder, die Deckel sowie die Befestigungsstellen der Deckel am Isolierzylinder und der Faltenbalg so ausgelegt sein müssen, daß sie diesem Druck standhalten.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumkammer der eingangs genannten Art zu schaffen, die für diesen hohen Druck von ca. 25 bar ausgelegt ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des Anspruches 1.
Bei der Auslegung der Vakuumkammer sind einige spezielle Stellen von Bedeutung.
Zunächst ist der Deckel druckfest auszugestalten und darüber hinaus sind spannungskompensierende Ausführungen der Deckel-/Keramikverbindung vorzusehen. Bei der Konstruktion der Deckel ist lediglich der Dimensionierung Rechnung zu tragen; an dem Übergang zwischen dem Deckel zur Keramik sind Maßnahmen zu treffen, wie sie im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 dargestellt sind. Darüber hinaus ist wegen des erhöhten Druckes auch dem Abdichtelement zwischen dem Deckel und dem beweglichen Kontaktstengel besondere Bedeutung beizumessen.
In zweckmäßiger Weise ist das Abdichtelement ein wenigstens einlagiger Faltenbalg. Bei mehrlagigem Faltenbalg ist dafür zu sorgen, daß in den Zwischenraum zwischen den einzelnen Faltenbalglagen kein Gas aus der Schaltanlage eindringen kann, was dadurch erreicht wird, daß die Fugen zwischen den Faltenbalglagen gas- bzw. vakuumdicht verschweißt sind.
Das Abdichtelement kann darüber hinaus auch mehrere kegelstumpfförmige, tellerfederpaketartig zueinander angeordnete Ringe umfassen, die an den sich berührenden Enden miteinander vakuum- oder gasdicht verschlossen, insbesondere verschweißt sind. Die Ringe können dabei ein- oder mehrlagig ausgebildet sein.
Es besteht weiterhin auch die Möglichkeit, das Abdichtelement als Membrandeckel auszubilden, der wenigstens eine Membranlage aufweist, dessen Innen- und Außenränder bei mehrlagiger Ausführung vakuum- oder gasdicht miteinander und mit dem Deckel und dem beweglichen Kontaktstengel verschweißt sind.
Weiterhin ist gemäß Anspruch 6 auch dafür zu sorgen, daß die Länge des Abschnittes des Randes, der die dünnere Wandstärke aufweist, so bemessen ist, daß er axiale (Knick- oder Beul-)Kräfte und radiale Kräfte aufnimmt.
In besonderer Ausgestaltung der Erfindung kann der Stützring einen L-förmigen Querschnitt aufweisen, dessen radialer Steg zwischen dem Rand und der Stirnfläche des Isolierzylinders und dessen axialer Steg parallel zu und neben dem Rand verläuft, wo bei in den Spalt zwischen dem axialen Steg und der Innenfläche des Randes Lot eingefüllt ist.
Am Stützring kann gleichzeitig auch ein Schirm angebracht sein, der das Abdichtelement abschirmt.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung besteht der Stützring aus Kupfer.
In besonders vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann der Deckel aus Stahl bestehen; es besteht aber auch die Möglichkeit, daß ein Deckel vorgesehen ist, der teilweise aus Keramik gebildet ist, an dem ein napfförmiges Deckelteil aus Stahl angeschlossen ist.
Die Form dieses keramischen Deckelabschnittes geht aus den Merkmalen des Anspruches 16 hervor. Er kann dabei getrennt von dem Isolierzylinder an diesem befestigt sein oder er kann auch am Isolierzylinder angeformt sein.
Die Formen des Isolierzylinders sind so auszubilden und zu bemessen, daß sie eine ausreichende Festigkeit aufweisen. Zu diesem Zweck kann in an sich bekannter Weise der Keramikzylinder an seinen beiden Enden jeweils einen nach innen gezogenen Bogen aufweisen; es besteht auch die Möglichkeit, den Keramikkörper insgesamt etwas bauchig auszubilden und weitere an sich bekannte Formen vorzusehen.
Anhand der Zeichnung, in der einige Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind, sollen die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Verbesserungen der Erfindung näher erläutert und beschrieben werden.
Es zeigen:
Fig. 1
eine Schnittansicht durch eine erhöhtem Druck ausgesetzte Vakuumkammer,
Fig. 2 und 3
unterschiedliche Ausgestaltungen der Verbindung zwischen Deckel und Keramikzylinder,
Fig. 4 bis 6
unterschiedliche Ausgestaltungen von Abdichtelementen, und
Fig. 7
eine weitere Ausführungsform eines Deckels.
Die Vakuumkammer, die in Fig. 1 nur teilweise im Querschnitt dargestellt ist, besitzt einen Isolierzylinder 10, der aus zwei Keramikzylindern 11 und 12 zusammengesetzt ist, die einen Träger 13 zwischen sich nehmen, an dem ein im Inneren der Vakuumkammer befindlicher Schirm 14 angebracht ist. Allerdings ist die Erfindung nicht auf solche Bauformen beschränkt.
Sie besitzt weiterhin einen beweglichen Kontaktstengel 15, an dem ein nicht näher dargestelltes bewegliches Kontaktstück befestigt ist. An den freien Enden der Keramikzylinder 11 und 12 schließen Deckel an, von denen nur der Deckel 16 zum Verschließen des Keramikzylinders 11 gezeichnet ist. Der Deckel 16 ist napfförmig ausgebildet und besitzt einen Deckelboden 17, an den sich ein zylindrischer Wandabschnitt 18 anschließt, an dessen freiem Ende ein Abschnitt 19 mit im Vergleich zum übrigen Deckel verringerter Wandstärke angeordnet ist. Die Länge dieses Abschnittes 19 mit geringerer Wandstärke beträgt I. Der Grund für diese Verringerung der Wandstärke liegt darin, daß der Deckel 16 gemäß der in der Zeichnung dargestellten Ausführung aus einer Eisen-Nickel-Legierung besteht, die oberhalb einer bestimmten Temperatur einen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, der sich erheblich von dem der Keramik unterscheidet. Die Wandstärke muß einerseits so bemessen sein, daß eine axiale Kraft nicht zum Knicken oder Ausbeulen des Abschnittes 19 führt, andererseits muß aber gewährleistet sein, daß eine ausreichende Elastizität zwischen dem Deckel 16 und der Isolierkeramik 11 erreicht wird, damit ein Bruch der Keramik aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnungen von Keramik und dem Deckelmaterial beim Lötvorgang, der oberhalb jener besagten Temperatur durchgeführt wird, verhindert ist.
In zweckmäßiger Weise ordnet man dem Abschnitt 19 einen Stützring 20 zu, der einen radialen Abschnitt 21 aufweist, der zwischen dem Abschnitt 19 und der Stirnseite des Keramikzylinders 11 angeordnet ist. An diesen Steg 21 schließt sich ein zum Deckelboden 17 hin axial verlaufender Steg 22 an, wobei zwischen der Innenfläche des Wandabschnittes 18 und dem Steg 22 ein umlaufender Spalt 23 gebildet ist, der während des Lötvorganges mit Lot 24 ausgefüllt wird, so daß sich nach Abkühlung dort zwischen dem Wandabschnitt 18, auch Rand 18 genannt, und dem Steg 22 eine Abstützung ergibt. Die axiale Länge des Steges 22 ist geringer als die axiale Länge des Abschnittes 19 mit verringerter Wandstärke, wodurch einerseits eine optimale Stützwirkung und andererseits eine günstige Ausbiegbarkeit erzielt ist, um eine Verformung des Deckels 16 durch zu hohe Außenbelastung und einen Bruch der Keramik bei der Abkühlung zu verhindern.
An den Steg 22 schließt sich einerseits ein nach innen gerichteter radialer Abschnitt 25 und ein axialer Abschnitt 26 an, der vom Deckelboden 17 wegweist, wodurch ein Abschirmelement gebildet ist. Das freie Ende des radialen Abschnittes 26 ist nach außen L- bzw. U-förmig ausgebogen und bewirkt dadurch eine Steuerung des elektrischen Feldes.
Der Deckel 16 besitzt einen Durchbruch 30, an dem das eine Ende 31 eines aus zwei Lagen 32 und 33 zusammengesetzten Faltenbalges 34 anschließt; der Faltenbalg 34 wird einerseits vakuumdicht am Deckel 16 angeschlossen und andererseits werden die beiden Lagen 32, 33 an ihren Enden vakuumdicht miteinander verschweißt, so daß auch verhindert wird, daß innerhalb des Schaltanlagengehäuses befindliches Gas zwischen die Lagen eindringen kann. Das innere Ende des Faltenbalges 34 ist in nicht näher dargestellter Weise mit dem Kontaktstengel 15 vakuumdicht verbunden.
Die Fig. 2 zeigt eine andere Ausgestaltung des Deckels 40. An dem Keramikzylinder 11 ist eine Stützplatte 41 angelötet, die radial verläuft und gegen diese Stützplatte 41 ist das freie Ende des Randabschnittes 42 des Deckels 40 angelötet, wobei der Stützring durch hohlkehlartig gestaltetes Lot 43,44 ausgebildet ist, die zu einer Verstärkung im Bereich des Anschlusses an der Stützplatte 41 beitragen. Der Rand 40 besitzt einen Abschnitt 45 mit verringerter Wandstärke, der dem Abschnitt 19 des Deckels 16 entspricht; die axiale Länge dieses Abschnittes 45 ist auch hier mit I bezeichnet. An der Scheibe 41 oder Platte 41 können Einbauten innerhalb der Vakuumkammer befestigt werden.
Weiterhin kann der freie Rand des Deckels unter Zwischenfügung einer zu dem Stützring zusätzlichen radial verlaufenden Ringplatte aus Kupfer befestigt sein.
Die Anordnung gemäß den Fig. 1 und Fig. 2 ist bevorzugt für einen Druck ausgelegt, der gegenüber dem Atmosphärendruck erhöht ist.
In gleicher Weise ist auch bei der Ausführung nach Fig. 3 eine erhöhte Druckbelastung möglich, was - in gleicher Ausführung wie bei der Ausgestaltung nach Fig. 2 - durch das kehlartig hochgezogene Lot bewirkt wird, welches auch hier die Bezugsziffern 43 und 44 aufweist, um darzustellen, daß bei der Anordnung nach Fig. 3 die gleiche Wirkung erzielt wird wie bei der Anordnung nach Fig. 2. Bei der Ausführung nach Fig. 3 fehlt die Platte 41.
Die Fig. 4 bis 6 zeigen unterschiedliche Ausgestaltungen des Abdichtelementes zwischen Deckel und beweglichem Kontaktstengel. Die Fig. 4 zeigt eine Faltenbalganordnung 50, die aus drei Faltenbalglagen 51, 52 und 53 zusammengesetzt ist, die an dem Ende 54, mit dem sie am Deckel befestigt sind ebenso wie an dem Ende 55, mit dem sie am beweglichen Kontaktstengel anschließen, mittels einer Schweißnaht 56 und 57 vakuumdicht verschlossen sind, so daß verhindert ist, daß Gas ins Innere zwischen die Lagen 51 bis 53 hineingelangt. Es besteht natürlich auch die Möglichkeit, die Enden 54 und 55 zu verlöten und dann die Faltenbalganordnung in einem Verfahrensschritt mit dem Deckel und mit dem beweglichen Kontaktstengel zu verlöten.
Der Balg gemäß Fig. 5 ist eine Art Faltenbalg, der aus mehreren Ringteilen 60, 61 .62 und 63 zusammengesetzt ist, die tellerfederpaketartig einander zugeordnet sind, wobei die einzelnen Abschnitte 60 bis 63 kegelstumpfförmig sind und jeweils mit den äußeren Kanten und den inneren Kanten bei 60a, 60b, 61a, 62a wechselweise miteinander vakuumdicht verbunden sind. Bei der Ausführung nach Fig. 5 sind die Ringanordnungen 60 bis 63 dreilagig und besitzen je eine Lage 64, 65 und 66 bzw. 67, 68 und 69....
Die Ausführung gemäß Fig. 6 zeigt ein membranartiges Abdichtelement 70, das radial wellenförmig ausgebildet und ausgerichtet ist und auch hier aus drei Lagen 71, 72 und 73 zusammengesetzt ist, die an ihrem äußeren Rand bei 74 und am Innenrand bei 75 vakuumdicht miteinander verbunden sind.
In den Fig. 4 bis 6 sind jeweils drei Lagen dargestellt; es besteht natürlich auch die Möglichkeit, bei allen Ausführungen nur zwei Lagen zu verwenden oder mehr als drei.
Die Vakuumkammer gemäß Fig. 7 besitzt unter anderem einen Isolierzylinder 80 aus Keramik, an dessen freiem Ende ein kegelstumpfartiger Deckelabschnitt 81 anschließt, an dessem inneren Ende der Deckelabschnitt 81 einen radial verlaufenden Abschnitt 82 besitzt, auf dessen Außenseite ein napfförmiger Deckel 83 anschließt. Der Dekkelabschnitt 81 kann dabei mit dem Isolierzylinder 80 einstückig ausgebildet sein.

Claims (18)

  1. Vakuumkammer mit wenigstens einem Isolierzylinder (11) aus Keramik, dessen Stimenden mittels je eines Deckels (16, 40) verschlossen sind, mit einem an einem beweglichen Kontaktstengel (15) angebrachten beweglichen Kontaktstück und mit einem an einem feststehenden Kontaktstengel angebrachten feststehenden Kontaktstück, die jeweils die Deckel (16, 40) durchgreifen, und mit einem zwischen dem einen Deckel (16, 40) und dem beweglichen Kontaktstengel (15) befestigten, eine Bewegung des Kontaktstengels (15) zulassenden vakuumdichten Abdichtelement (34, 50, 60, 70), wobei die Deckel (16, 40) am jeweiligen Stirnende des benachbarten Isolierzylinders (11) unter Zwischenfügung wenigstens eines Stützringes (20) festgelötet sind
    und das Abdichtelement (34, 50, 60, 70) am Deckel (16) und am Kontaktstengel (15) befestigt ist,
    dadurch gekennzeichnet, dass
    die Deckel (16, 40) napfförmig ausgebildet sind und einen gegenüber dem übrigen Bereich dünneren freien Rand (19, 45) aufweisen,
    und dass das Abdichtelement (34, 50, 60, 70) zwei oder mehr Lagen besitzt,
    die wenigstens an ihren freien Enden vakuumdicht miteinander und mit dem Deckel (16, 40) beziehungsweise Kontaktstengel (15) verbunden, insbesondere verschweißt sind.
  2. Vakuumkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdichtelement ein mindestens zweilagiger Faltenbalg (50) ist.
  3. Vakuumkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdichtelement eine mindestens zweilagige Membran (70) ist.
  4. Vakuumkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdichtelement aus wenigstens zwei tellerfederartig einander zugeordneten kegelstumpfförmigen Membranen (64, 65, 66; 67, 68, 69; ) zusammengesetzt ist, die jeweils zwei- und mehrlagig sind und an den Stellen, an denen sich die einzelnen Membranen berühren, miteinander vakuumdicht verschweißt sind.
  5. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützring einen Abschnitt (20) aufweist, der in geringem Abstand parallel zur Innenfläche des Randes verläuft, so daß zwischen beiden ein zylindrischer Spalt (23) gebildet ist, der mit Lot ausgefüllt ist.
  6. Vakuumkammer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge (I) des Abschnittes (19) des Randes, der die dünnere Wandstärke aufweist, so bemessen ist, daß er axiale Knick- oder Beulkräfte und radiale Kräfte aufnimmt, jedoch eine ausreichende Elastizität zum Ausgleich unterschiedlicher Wärmedehnungen von Deckel (16, 40) und Keramik (11) aufweist.
  7. Vakuumkammer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützring einen L-förmigen Querschnitt aufweist, dessen radialer Steg (21) zwischen dem freien Rand des Deckels (16) und der Stirnfläche des Isolierzylinders (11) und dessen axialer Steg (22) parallel zu und neben der Innenfläche des Randabschnittes (19) verläuft.
  8. Vakuumkammer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß am Stützring (20) ein Schirm (26) angebracht ist, der parallel zum Abdichtelement (34) verläuft.
  9. Vakuumkammer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützring und der Schirm einstückig sind.
  10. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützring durch hohlkehlartig gestaltetes Lot (43, 44) zwischen der Innen- und/oder Außenfläche des Randes des Deckels (40) und der Stirnkante des Isolierzylinders angeordnet und ausgebildet ist, wobei das Lot einen zur Aufnahme von Druckkräfte ausreichenden Bereich der Außen- bzw. Innenfläche des Wandabschnittes (19) überdeckt.
  11. Vakuumkammer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der freie Rand des Deckels über den Stützring unmittelbar auf die Stirnkante des Isolierzylinders (11) aufgelötet ist.
  12. Vakuumkammer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der freie Rand des Deckels unter Zwischenfügung einer zu dem Stützring zusätzlichen radial verlaufenden Ringplatte aus Kupfer befestigt ist.
  13. Vakuumkammer nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Ring platte ins Innere der Vakuumkammer ragt und zur Halterung weiterer Komponenten, beispielsweise eines Schirms, dient.
  14. Vakuumkammer nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Deckel aus Stahl besteht.
  15. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützring aus Kupfer besteht.
  16. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Deckel vorgesehen ist, der teilweise aus Keramik gebildet ist, an dem ein napfförmiger Deckelteil aus Stahl angeschlossen ist.
  17. Vakuumkammer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der keramische Deckelabschnitt kegelstumpf- oder bogenförmig ausgebildet ist, an dessen Rand mit geringerem Durchmesser ein radialer Abschnitt anschließt, an dem der Deckelabschnitt aus Metall befestigt ist.
  18. Vakuumkammer nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der keramische Deckelabschnitt am Isolierzylinder angeformt ist.
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