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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Tröpfchen-Niederschlagsvorrichtung,
speziell einen Tintenstrahldruckkopf.
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Die 1 zeigt
einen Tintenstrahldruckkopf der Art, wie in WO 91/17051 offenbart,
und aufgebaut aus einem Körper,
der mit einer Anordnung oben offener Kanäle ausgebildet wird, die durch
eine Abdeckung geschlossen werden. Jeder Kanal ist an jedem Ende
mit einer jeweiligen Tintenversorgungskammer verbunden, und in seiner
Mitte mit einer Düse,
die in der Abdeckung ausgebildet ist. Die Kanalwände umfassen piezoelektrisches
Material, das sich auswölbt, wenn
es einem elektrischen Feld ausgesetzt wird und den Ausstoß eines
Tintentröpfchens
aus der jeweiligen Düse
bewirkt.
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Die
WO 92/10367 beschreibt einen Druckkopf mit mindestens zwei Kammern,
die aus einem gemeinsamen Versorgungskanal mit Tinte versorgt werden.
Zwei weitere Versorgungskanäle
sind an den jeweiligen entgegengesetzten Enden der Kammern vorgesehen.
Sowohl die Versorgungskanäle als
auch die Kammern sind in einem Körper
aus piezoelektrischem Material ausgebildet. Eine Abdeckung, die
Düsen enthält, wird
verwendet, um die beiden Kammern und die Versorgungskanäle zu schließen.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung haben die Aufgabe, eine Vorrichtung der
oben beschriebenen Art bereitzustellen, die einfach und billig herzustellen
ist.
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Gemäß einem
Aspekt umfasst die Erfindung eine Tröpfchen-Niederschlagsvorrichtung mit: einem Körper, der
mit mindestens einem Kanal ausgebildet ist, der an einer Seite offen
ist, wobei der Kanal an jedem Ende mit einer Versorgungskammer zur
Versorgung mit Tröpfchenfluid
in Verbindung steht; einer Betätigungseinrichtung,
die in dem Körper
enthalten und jedem Kanal zugeordnet ist, um das Ausstoßen von
Tröpfchen
zu bewirken; einer Abdeckung, welche die offene Seite des mindestens
einen Kanals abschließt
und mindestens eine darin ausgebildete Öffnung aufweist, um Tröpfchen aus
dem Kanal auszustoßen;
und einer Basis, die mit der Abdeckung die Versorgungskammern definiert,
welche mit den jeweiligen Enden des mindestens einen Kanals in Verbindung
stehen.
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Bei
einer solchen Konstruktion benötigen Tintenversorgungskammern,
die durch die Basis und die Abdeckung definiert sind, weniger kritische
Toleranzen als wenn sie im "aktiven" Körper ausgebildet sind,
wie in der WO 91/17051. Ferner kann die Basis aus einem Material
hergestellt werden, das weniger teuer ist als dasjenige aus dem
der Körper – die "aktive" Komponente im Druckkopf – ausgebildet
ist.
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Die
Basis kann so konstruiert sein, dass sie mindestens teilweise eine
weitere Kammer definiert, wobei eine Steuerungseinrichtung zum Bereitstellen der
elektrischen Signale für
die Betätigungseinrichtung
in der weiteren Kammer angeordnet ist.
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Auf
diese Weise ist die Steuerungseinrichtung – im Allgemeinen eine integrierte
Schaltung – selbst
in die Druckkopfkonstruktion integriert, wodurch die Kompaktheit
erhöht
und das Freiliegen der integrierten Schaltung zur Umgebung hin verringert wird.
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Die
Abdeckung kann mindestens eine Bahn darauf aufweisen, um Signale
zu jeweiligen Betätigungseinrichtungen
zu schicken. Die Abdeckung kann ein Trägerbauteil für den Körper ausbilden.
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Diese
Konfiguration hat sich als speziell für die Herstellung geeignet
herausgestellt: das Trägerbauteil
ist nicht nur ein Träger
während
der Herstellung für
die aktiven Körperkomponenten – und vorteilhafterweise
Ansteuerungschips, die an den Leiterbahnen angebracht sind –, es stellt
ebenfalls eine Anordnungsstelle für jede Düse zur Verfügung, welche jeder Kammer in
den Körpern
zugeordnet ist.
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Zusätzlich kann
ein Substrat bereitgestellt werden, das elektrisch leitende Bahnen
aufweist, wobei es eine Vielzahl von Stellen entlang jeder Bahn gibt,
an welchen eine integrierte Schaltung angeschlossen werden kann;
wobei die Vielzahl der Stellen relativ zueinander entlang jeder
Bahn so beabstandet sind, dass für
jede Bahn eine Stelle neben einer integrierten Schaltkreisform aus
dem "Fußabdruck" der integrierten
Schaltkreisform herausfällt.
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Für den Fall,
dass eine integrierte Schaltung – speziell ein Druckkopf-Ansteuerungschip – falsch arbeitet,
gestattet es diese Maßnahme,
einen Ersatzchip auf Bahnen auf einem Substrat zu verbinden, ohne
den falsch arbeitenden Chip entfernen zu müssen, mit dem potentiellen
Schaden an dem Substrat, den eine solche Entfernung mit sich bringt.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
der vorgenannten Aspekte sind in den abhängigen Ansprüchen (welche
durch Bezugnahme hierin aufgenommen werden) und in der folgenden
Beschreibung aufgezeigt.
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Die
Erfindung wird nun anhand eines Beispiels unter Bezugnahme auf die
folgenden Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
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1 einen
Tintenstrahldruckkopf gemäß dem Stand
der Technik, von der Art, wie er in der WO 91/17051 offenbart wird;
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2 eine
Schnittansicht entlang der Linie A-A in 1;
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3 einen
Druckkopf, der einen ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst;
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4 einen
Druckkopf, der einen zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst;
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5 eine
perspektivische Explosionsansicht eines "seitenbreiten" Druckkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung;
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6 eine
zusammengesetzte Schnittansicht des Druckkopfes der 5,
senkrecht zur Richtung "W";
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7 ein
Detail einer Tröpfchenausstoßöffnung;
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8 verschiedene
Arten der Anbringung eines Ansteuerungschips. und 9
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Die 1 zeigt
einen Tintenstrahldruckkopf 1 nach dem Stand der Technik,
von der Art, wie in der WO 91/17051 offenbart, und mit einem Flächengebilde 3 aus
piezoelektrischem Material, geeigneter Weise Blei, Zirkon, Titanat
(auf PZT), das an einer oberen Oberfläche mit einer Anordnung oben
offener Tintenkanäle 7 ausgebildet
ist. Wie aus 2 hervorgeht, sind abfolgende
Kanäle
in der Anordnung durch Seitenwände 13 getrennt,
welche piezoelektrisches Material umfassen, das in der Deckenrichtung
des Flächengebildes
(angedeutet durch den Pfeil P) gepolt ist. An entgegengesetzten,
dem Kanal zugewandten Oberflächen 17 sind
Elektroden 15 angeordnet, an welche über Verbinder 34 Spannungen
angelegt werden können.
Wie z. B. aus der EP-A-03 64 136 bekannt ist, resultiert die Aufbringung
eines elektrischen Feldes zwischen die Elektroden auf jeder Seite einer
Wand in einer Schermodus-Auslenkung der Wand in einen der flankierenden
Kanäle
hinein, was einen Druckimpuls in dem Kanal erzeugt.
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Die
Kanäle
werden durch eine Abdeckung 25 verschlossen, in welcher
Düsen 27 ausgebildet
sind, von denen jede mit jeweiligen Kanälen an deren Mittelpunkten
in Verbindung steht. Der Tröpfchenausstoß aus den
Düsen findet
in Reaktion auf den vorgenannten Druckimpuls statt, wie dies in
der Technik wohl bekannt ist. Die Versorgung mit Tröpfchenfluid in
den Kanal hinein, angedeutet durch die Pfeile S in 2,
findet über
zwei Leitungen 33 statt, die in die Bodenfläche 35 des
Flächengebildes 3 auf
eine solche Tiefe eingeschnitten sind, dass sie jeweils mit entgegengesetzten
Enden der Kanäle 7 in
Verbindung stehen. Eine Basis-Abdeckplatte 37 ist
an die Bodenfläche 35 bondiert,
um die Leitungen zu verschließen.
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Die 3 zeigt
eine Ausführungsform
des Druckkopfes gemäß einem
ersten Aspekt der Erfindung.
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Wie
bei der herkömmlichen
Konstruktion werden oben offene Tintenkanäle 7, die Seitenwände 13 definieren,
in einem Körper 40 aus
piezoelektrischem Material ausgebildet. Mit Elektroden 15,
die an entgegengesetzten, dem Kanal zugewandten Oberflächen jeder
Seitenwand 13 ausgebildet sind, können elektrische Felder angelegt
werden, um eine Schermodus-Auslenkung der Wand und einen Tröpfchenausstoß aus einem
der flankierenden Kanäle
zu bewirken. Die oben offenen Kanäle 7 werden durch eine
Abdeckung 25 verschlossen, auf welcher ebenfalls Leiterbahnen 49 ausgebildet
werden können, um
die jeweiligen Elektroden 15 mit Spannung zu versorgen.
Die Bahnen und Elektroden können über Lötbondierungen
verbunden werden, wie es in der WO 92/22429 beschrieben wird. Die
Abdeckung wird ebenfalls für
jeden Kanal mit einer Düse 27 ausgebildet,
welche mit dem Mittelpunkt ihres Kanals in Verbindung steht und
durch welche der Tröpfchenausstoß stattfindet.
Die Leiterbahnen und die zugeordneten Lötbondierungen können so
geformt und/oder entfernt werden, dass eine solche Düse aufgenommen
werden kann.
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Gemäß der Erfindung
wird jedoch ein Tröpfchenfluid
jedem Ende der Kanäle 7 aus
einer Kammer 42 zugeführt,
die an zwei Seiten durch eine Basis 44, auf einer dritten
Seite durch die Abdeckung 25 definiert ist, und welche
auf einer vierten Seite mit dem Ende des Kanals 7 in Verbindung
steht. Es ist ersichtlich, dass die Schnittstelle zwischen dem Kanal
und der Kammer bei einer solchen Konstruktion einfach durch die
Kanaltiefe bestimmt wird. Solche Variationen in der Höhe des Körpers 40 und
der Dicke des benachbarten Teils (Sockel 46) der Basis können durch
eine Biegung (nach oben oder nach unten in der Ausführungsform
der 3) der Abdeckung 25 ausgeglichen werden,
die Herstellung kann so durchgeführt
werden, dass losere Toleranzen vorhanden sind.
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Die
Basis 44 muss nicht aus demselben Material hergestellt
sein wie der Körper,
vorteilhafterweise ist sie aus einem billigeren, nicht aktiven Material hergestellt,
das nichtsdestotrotz thermisch dem piezoelektrischen Material des
Körpers
angepasst ist und eine gute Wärmeleitfähigkeit
hat, um so die Wärme
abzuführen,
die in den aktiven Druckkopfkörpern und
den Ansteuerungschips erzeugt wird. Wie in 3 gezeigt
ist, können
die Kammern 42 tiefer sein als der Körper 40, um so ihre
Querschnittsfläche
zu erhöhen
und damit auch die Anzahl der Kanäle, die eine einzige Kammer
bereitstellen kann. Jedoch kann die Höhe des Sockels 46 auf
diejenige des Unterteils der Kammer 42 reduziert werden,
was in einer rechteckig geschnittenen Ausnehmung in der Basis resultiert,
die einfacher hergestellt werden kann. Die Breite des Sockels 46 kann
ebenfalls so variiert werden, dass sie breiter oder schmaler ist
als der Körper 40.
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Der
Körper 40 wird
im Allgemeinen eine Anordnung von Kanälen umfassen – wie beispielsweise aus
der EP-A-0 278 590 gut bekannt ist – und die Kammern 42 werden
als gemeinsamer Verteiler für mindestens
einige von diesen arbeiten. Die Öffnungen 48 gestatten
die Bereitstellung von Tröpfchenfluid
für die
Kammern 42 aus einem Reservoir, wie z. B. einer Patrone.
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Die
Basis 44 kann eine strukturelle Rolle spielen, eine Abdeckung 25 und
der aktive Körper 40 sind
daran angebracht, und sie kann mit Ansätzen (nicht gezeigt) ausgebildet
sein, um an dem Rahmen eines Druckers oder ähnlichem gesichert zu werden.
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Ein
zweiter Aspekt der Erfindung, wenn sie auf einen Tintenstrahldruckkopf
der Art angewendet wird, die in WO 92/22429 offenbart ist, ist in 4 dargestellt.
Diese zeigt eine Schnittansicht entlang eines oben offenen Tintenkanals 7,
der an einem Körper 5 aus
piezoelektrischem Material ausgebildet und durch ein Substrat 62 abgeschlossen
wird. Elektroden 15 erstrecken sich über jede kanaltrennende Seitenwand 13 in
herkömmlicher
Weise, sind aber an dem offenen Oberteil 54 des Kanals
mit einer Leiterbahn 56 verbunden, die auf dem Substrat 62 ausgebildet
ist.
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Vorteilhafterweise
sind die beiden Elektroden an den dem Kanal zugewandten Wandoberflächen, die
einen vorgegebenen Kanal definieren, mit einer gemeinsamen Bahn
verbunden. Jede Bahn ist mit einer Ansteuerungsschaltung in der
Form eines Mikrochips 64 verbunden, welcher selbst auf
den Bahnen 56 auf dem Substrat angebracht ist, wobei Druckdaten,
Energie, etc. dem Chip über
weitere Bahnen 66 und ein Verbindungselement 70 zugeführt werden.
Eine Düse 27,
die in einer Düsenplatte 52 ausgebildet
ist, ist an einem Ende des Kanals für den Tröpfchenausstoß angeordnet,
während
ein Verteiler 58 an dem anderen Ende des Kanals zur Versorgung mit
Tröpfchenflüssigkeit
angeordnet ist.
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Gemäß der Erfindung
wird der Verteiler 58 definiert durch eine Basis 60,
die in Kombination mit dem Körper 50 arbeitet.
Die Basis definiert ebenfalls, diesmal in Kombination mit dem Substrat 62,
eine weitere Kammer 68, in welcher die Ansteuerungsschaltung 64 angeordnet
ist. Es ist klar, dass ein spezieller Vorteil einer solchen integrierten
Konstruktion in dem Schutz liegt, der dem Ansteuerungschip dabei zukommt.
Obwohl die Verwendung von piezoelektrischem Material für die Basis
nicht ausgeschlossen ist – tatsächlich können Körper 50 und
Basis 60 integral ausgebildet sein, wird die Basis 60 vorteilhafterweise aus
einem billigerem, nicht aktiven Material hergestellt.
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Die 5 und 6 sind
jeweils eine perspektivische Explosionsansicht und eine Schnittansicht
für einen "seitenbreiten" Druckkopf, der sowohl den
ersten als auch den zweiten obigen Aspekt umfasst und sich in einer
Richtung "W" quer zu einer Medienzuführungsrichtung
P erstreckt. In der Schnittansicht der 4 werden
zwei piezoelektrische Körper 82a, 82b,
die jeweils Kanäle
und Elektroden wie oben beschrieben aufweisen, durch ein Substrat 86 verschlossen,
in welchem Öffnungen 96a, 96b für den Tröpfchenausstoß ausgebildet
sind. Gemäß dem ersten
Aspekt der Erfindung sind jeweilige Versorgungskammern an den Enden
der Kanäle
in jedem Körper,
nämlich
die Versorgungskammern 88 und 90 an jedem Ende
des Körpers 82a und
die Versorgungskammern 90 und 92 an jedem Ende
des Körpers 82b,
zwischen dem Substrat 86 und einer Basis 80 definiert.
Jeweilige Kanalelektroden sind mit Leiterbahnen (nicht gezeigt)
auf dem Substrat 86 verbunden, wie dies in Hinsicht auf
die 4 beschrieben worden ist. Diese Leiterbahnen tragen
ebenfalls jeweilige Ansteuerungschips 84a und 84b,
die gemäß dem zweiten
Aspekt der Erfindung in weiteren Kammern 94a, 94b angeordnet
sind, die durch die Basis 80 definiert werden. Es versteht
sich, dass die weiteren Kammern 94a, 94b von den
Versorgungskammern 88 und 92 abgedichtet werden.
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Diese
Ausführungsform
setzt einen dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung um: das kanalverschließende Substrat 86 mit
Leiterbahnen zum Weiterleiten elektrischer Signale zur Betätigungseinrichtung,
angeordnet in den Kanälen
und Öffnungen 96a, 96b zum
Tröpfchenausstoß, dient
als ein Trägerbauteil
für die
Körper 82a und 82b.
Wie aus der 5 hervorgeht, sind die Körper 82 und
die Ansteuerungschips 84 an dem Substrat 86 ausgerichtet
und fixiert – welche
wiederum in einer solchen Größe hergestellt
werden kann, dass es während
der Herstellung leicht zu handhaben ist.
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Wie
in 5 dargestellt, können die Körper 82 aneinander
stoßen,
um eine einzige, durchgehende, seitenbreite Kanalanordnung auszubilden – beschrieben
in der WO 91/17051 und deshalb nicht weiter im Detail hier beschrieben – wobei
in diesem Fall das Substrat 86 dazu dient, die individuellen
Körper sowohl
während
als auch nach dem Zusammensetzungsprozess zu haltern. Solche Körper können vor dem Zusammenbau
getestet werden, wodurch die Chancen verringert werden, dass ein
vollständiger Druckkopf
fehlerhaft ist.
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Das
Substrat ist geeigneterweise aus einem robusten Material hergestellt – wie z.
B. Aluminium-Nitrit, INVAR oder Spezialglas AF45 – welches gleiche
Wärmeausdehnungseigenschaften
hat wie das piezoelektrische Material der Körper. Es sollte klar sein,
dass die Anforderung bezüglich
der thermischen Übereinstimmung
zwischen den Körpern
und dem Substrat geringer wird, wenn ein Spalt zwischen aufeinanderfolgenden,
zusammengesetzten Körpern vorhanden
ist (der Spalt wird vorteilhafterweise mit einem Haftbondierungsmaterial
gefüllt,
wie in der vorgenannten WO 91/17051 angesprochen), wobei in diesem
Fall ein weniger thermisch angepasstes Material verwendet werden
kann, wie z. B. Aluminiumoxid. INVAR und AF45 sind registrierte
Marken.
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Die 7 zeigt
Details einer Tröpfchenausstoßöffnung 96a,
die im Substrat 86 ausgebildet ist. Während die Öffnung 96a selbst
mit einer Verjüngung
ausgebildet werden kann, ist es von Vorteil, die verjüngte Form
in einer Düsenplatte 98 auszubilden, die über der Öffnung angebracht
wird. Eine solche Düsenplatte
kann jedwedes der ohne Weiteres ablationsfähigen Materialien umfassen,
wie z. B. Polyimid, Polykarbonat und Polyester, die herkömmlicherweise
zu diesem Zweck verwendet werden.
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Des
Weiteren kann die Düsenherstellung
unabhängig
von dem Fertigungszustand des Restes des Druckkopfes stattfinden:
die Düse
kann durch Ablation von hinten vor dem Zusammenbau des aktiven Körpers 82a mit
dem Substrat 86 ausgebildet werden, oder von der Vorderseite
her, wenn der aktive Körper
schon angeordnet ist. Beide Techniken sind auf diesem technischen
Gebiet bekannt. Die erstere Methode hat den Vorteil, dass die Düsenplatte ersetzt
werden kann oder die gesamte Anordnung in einem frühen Montagezustand
zu Ausschuss erklärt werden
kann, was den Wert der Ausschusskomponenten verringert. Die letztere
Methode vereinfacht es, die Düsen
mit den Kanälen
des Körpers
in Übereinstimmung
zu bringen, wenn sie an dem Substrat angebracht werden.
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Die
Konstruktion der 5 und 6 hat zwei
Düsenreihen,
die in einer einzigen Düsenplatte ausgebildet
sind, welche sich über
beide Öffnungen 96a, 96b im
Substrat 86 und über
die volle Länge
des Substrats erstreckt. Nach der Montage von entsprechenden zwei
Reihen von Körpern 82a, 82b und
Treiberchips 84a, 84b auf dem Substrat 86 und
einem geeigneten Testlauf – wie
beispielsweise in der EP-A-0 376 606 beschrieben – kann die
Basis 80 angebracht werden, um dadurch die Verteilerkammern 88, 90 und 92 zu
definieren. Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung versorgt die Kammer 90 die
Enden der Kanäle,
die in beiden Körpern 82a, 82b ausgebildet
sind, während
die Kammern 88 und 92 jeweils die anderen Enden
der Kanäle
in den Körpern 82a, 82b versorgen.
Leitungen, durch welche Tinte von außerhalb des Druckkopfes zu
jeder Kammer zugeführt
wird, sind durch gestrichelte Linien bei 88', 90' und 92' angedeutet. Es sollte klar sein,
dass dies in einer speziell kompakten Konstruktion resultiert, bei
welcher Tinte aus einem gemeinsamen Verteiler 90 durch
die Kanäle
in jedem der Körper
(beispielsweise zur Entfernung von eingefangenem Schmutz oder Luftbläschen) und
nach außen
durch die Kammern 88 und 92 zirkuliert werden
kann.
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Die 8 zeigt
ein Teildetail der Befestigung des Ansteuerungschips 84a auf
dem Substrat 86 mit Ausgangsbahnen 120, 122,
welche die Ansteuerungschipausgänge 132, 134 mit
Betätigungselektroden im
Körper
und eine Eingangsbahn 110 mit dem Ansteuerungschip-Eingangsanschluss 130 verbinden. Es
versteht sich, dass ein Ansteuerungschip viele Eingänge und
Ausgänge
haben wird, wobei im Allgemeinen mindestens doppelt so viele Ausgänge wie Eingänge vorhanden
sind. 84a deutet auf eine erste Stelle auf dem Substrat 86,
an welcher der Ansteuerungschip angeordnet werden wird. Sollte sich
der Ansteuerungschip an dieser Stelle in der Folge aber als fehlerhaft
herausstellen – beispielsweise
während der
oben beschriebenen Testphase – kann
ein Ersatzchip an der Stelle 84a' angeordnet werden, wie durch gestrichelte
Linien angedeutet ist. Wenn notwendig können die Verbindungen des fehlerhaften Chips
mit den Bahnen 120 und 122 durch ein Schneiden
durch die Bahnen an den Punkten 136 abgetrennt werden – ein Laser
kann zu diesem Zweck speziell geeignet sein. Der vorteilhafte Effekt
dieser Maßnahme
für den
Herstellungsertrag bei einem seitenbreiten Druckkopf – welcher,
wie in 5 gezeigt, einige zehn Ansteuerungschips haben
kann – sollte offensichtlich
sein.
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Die 9 zeigt
eine weitere Ausführungsform
dieses Aspektes der Erfindung, bei welcher Eingangssignale über einen
Bus bereitgestellt werden, der die Bahnen 110, usw. aufweist.
Eine Verbindung zwischen den Bahnen 110, usw. und den Chip-Eingangsanschlüssen 130 wird
mittels weiterer Bahnen 150 erzielt, die auf den Oberteilen
der Bahnen 110, usw. angeordnet sind und von diesen durch
eine Passivierungsschicht 145 isoliert sind. Sollte sich
ein Ansteuerungschip (integrierte Schaltungsform) 84a als fehlerhaft
erweisen, ist es möglich,
einen Ersatzchip oder eine Ersatzform an der Stelle 84a' anzubinden, gestrichelt
in 9 gezeigt, welcher vom ersten Chip 84a beabstandet
ist (außerhalb
von dessen "Fußabdruck" fällt). Ein
zweiter Bus mit Bahnen 110',
einer Passivierungsschicht 145' und weiteren Bahnen 150' wird verwendet,
um Eingangssignale bereitzustellen. Eine weitere Passivierungsschicht 140 liegt
unter dem zweiten Bus, sie isoliert ihn von den Ausgangsbahnen 120, 122,
..., welche Anordnungsstellen für Verbindungen
sowohl zu den Ausgangsanschlüssen 132, 134,
... des Chips 84 als auch den Ausgangsanschlüssen 132', 134' des Ersatzchips 84' haben. Eine Entfernung
mittels eines Lasers entlang der Linie 136 gestattet es,
einen fehlerhaften Chip elektrisch von den Ausgangsbahnen 120, 122,
... zu isolieren, bevor ein Ersatzchip 84' eingebunden wird.
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Die
vorangehenden Beispiele waren speziell auf eine Tröpfchen-Niederschlagsvorrichtung
bezogen, die piezoelektrisches Material als Betätigungsmechanismus verwendet,
das im Schermodus betrieben wird. Solche Vorrichtungen sind beispielsweise in
den vorgenannten WO 91/17051, EP-A-0 364 136 und US-A-5 227 813
erörtert
worden. Die Prinzipien, die oben dargelegt wurden, sind jedoch in
gleicher Weise auf andere Betätigungsmechanismen
anwendbar, einschließlich
piezoelektrischer und thermischer (Bubble-Jet), und speziell auf
die Anordnungen, die in der mit anhängigen UK-Patentanmeldung Nr.
9721555.2 offenbart sind, die nunmehr als WO 99/19147 veröffentlicht
wurde.