DE4114284A1 - Vorrichtung zum behandeln oder bearbeiten eines werkstueckes, insbesondere einer schaltkarte - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln oder Bearbeiten eines Werkstückes, insbesondere einer gedruckten Schaltkarte, einer Leiterplatte, einem Wafer oder einer Hybridschaltung mit einem oder einer Mehrzahl von die Schaltkarten oder dgl. tragenden Trays, einem die Trays tragenden Element, einem in einer Bearbeitungs-/Behandlungsstation angeordneten, auf die Schaltkarten oder dgl. absenkbaren, im übrigen ortsfe­ sten Kopf zur Behandlung bzw. zur Bearbeitung, einer Ka­ mera zum Erkennen der Lage und/oder Verdrehung der je­ weils in einer Ausrichtestation befindlichen Schaltkarte oder dgl., und Abgleichmitteln für die Schaltkarte oder dgl. relativ zu dem Kopf.

Es stellt sich beim ortsgenauen Bearbeiten von Werks­ tücken das Problem, die Ausrichtung der Schaltkarten oder dgl. relativ zu in dem Bearbeitungs-/Behandlungs­ kopf, also z. B. in einem Meßkopf befindlichen Werkzeu­ gen, insbesondere prüfenden Meßkontakten, festzulegen.

Diese Genauigkeit ist durch rein mechanische Mittel, die Lage und Ausrichtung einer Schaltkarte oder dergleichen durch "Anlegen" prüfen bzw. festlegen, nicht gegeben, da Grundplatten, die z. B. die Abmessungen von Schaltkarten bestimmen, mit gewissen Toleranzen in ihren Abmessungen hergestellt werden, so daß ein "Anlegen" an eine ihrer Seitenkanten zur genauen Ausrichtung praktisch ausge­ schlossen ist.

Üblicherweise werden daher die Schaltkarten in eine ge­ eignete ungefähre Position verbracht, um anschließend den Kopf, der verschwenk-, verdreh- und verfahrbar auf­ gehängt ist, unter der Kontrolle einer Bedienperson über die Schaltkarte zu fahren, feinauszurichten, und auf die Schaltkarten aufzusetzen. Die Abgleichmittel bestehen also hauptsächlich aus den Verfahrmitteln für den Meß­ kopf. Eine derartige Steuerung des Kopfes ist jedoch höchst aufwendig, da sie hochpräzise mit einer Genauig­ keit im Sub-Mikrometerbereich erfolgen muß, und ein der­ artiger Meßkopf ein beträchtliches Gewicht besitzt.

Ein weiteres Problem ergibt sich dadurch, daß eine Posi­ tionierung des sich bewegenden Kopfes mit seiner Viel­ zahl von Verbindungsleitungen nach Möglichkeit schnell erfolgen sollte. Dies ist wegen des meist hohen Gewichts und der dafür relativ großen Beschleunigungen problema­ tisch.

Ähnliche Probleme stellen sich beim Bestücken, Bearbei­ ten (bspw. Bohren eines feinen Loches) oder Bedrucken eines Werkstückes, nicht nur einer Schaltkarte.

Auch ist es jedesmal problematisch, größere Wartungsar­ beiten an einem sich bewegenden Kopf vorzunehmen, da der Kopf anschließend wieder in eine vorher bestimmte Posi­ tion justiert werden muß. Dies ist zeit- und arbeitsauf­ wendig, daher kostenintensiv.

Der Kopf wird bei vielen Anwendungen gern zum Schutz des Bearbeitungsvorganges in einem Gehäuse vorgesehen, und eine zu prüfende Schaltkarte oder dgl. z. B. mit Hilfe eines Förderbandes automatisch eingebracht. Bei einer derartige Vorgehensweise ist es fast unmöglich, eine ge­ naue Positionierung zu erhalten, so daß die Position der Schaltkarte oder dgl. in bezug zum Meßkopf gewissen Schwankungen unterliegt. Eine Kontrolle der Position der Schaltkarte oder dgl. an der gleichen Stelle, an der sich der Meßkopf befindet, ist wegen der räumlichen Ver­ hältnisse jedoch konstruktiv nur schwierig zu verwirkli­ chen.

Ein Ausrichten der Schaltkarte oder dgl. vor dem Trans­ port gibt zwar genügend Freiraum für Positionskontroll­ mechanismen, anderseits wird durch den Transport der Schaltkarte oder dgl. (z. B. auf einem Förderband) in den "Prüfraum" der Vorrichtung aber wieder eine gewisse Positionsungenauigkeit eintreten, so daß dieses Vorgehen nicht optimal ist.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung zu schaffen, die die Position eines Werkstückes für einen nachfolgenden Bearbeitungsschritt unter Verwendung eines Trays genau festlegt, so daß ein Bearbeitungsschritt ohne weitere Positionskontrolle und/oder Ausrichten schnell an dem auf dem Tray liegenden Werkstück ausge­ führt werden kann.

Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die Abgleichmit­ tel auf dem die Trays tragenden Element angeordnet sind, und diese Abgleichmittel auf in dem Tray angeordnete Positioniermittel wirken, die wiederum Verschiebe- und/ oder Verdrehelemente für die Schaltkarte oder dgl. rela­ tiv zum Tray aufweisen.

Eine derartiges Vorgehen erlaubt es, mit bilderkennenden Mitteln die Schaltkarte oder dgl. auszurichten, wobei nur einmal zur Justierung der Vorrichtung eine Sollage der Schaltkarte oder dgl. auf einem Tray abgespeichert werden muß, und erlaubt den Verzicht auf reproduzierbare Bewegungen der Verschiebe- und/oder Verdrehelemente. Da­ zu benötigte Trays können mit großer Genauigkeit immer mit exakt den gleichen Abmessungen produziert werden.

Damit ist gleichzeitig auch die Notwendigkeit zur Ju­ stierung eines sich bewegenden Kopfes entfallen, die sehr aufwendig sein kann. Man muß so nur eine neue Soll­ position der Schaltkarte oder dgl. auf einem Tray ab­ speichern.

Die Verschiebe- und/oder Verdrehelemente für die Schaltkarte oder dgl. können in einer bevorzugten Ausführung wenig­ stens zum Teil durch Höhenverstellelemente, insbesondere Keile, gebildet werden. Dabei sind auch unter der Schaltkarte befindliche, senkrecht ausfahrbare Elemente denkbar. Mit den Höhenverstellelementen können die leicht geneigte Schaltkarte oder dgl. in eine ebene Position gebracht werden. Dieses Problem tritt insbesondere bei Wafern relativ häufig auf. Die Verkippungskorrektur kann dabei leicht durch Auswertung von auf dem Werkstück ref­ lektierten Lichtstrahlen, die wiederum von den beobach­ tenden Kameras aufgenommen werden, geschehen.

Insbesondere werden dabei zwei Höhenverstellelemente, die unterhalb der Schaltkarte oder dgl. angeordnet sind, vorgeschlagen.

Es wird weiter eine Vorrichtung mit wenigstens zwei hochpräzise angeordneten Fixierbohrungen in den Trays, in die entsprechende, auf dem die Trays tragenden Element angeordnete Stifte zum Festlegen der Ausrichtung dieser Trays eingreifen können, vorgeschlagen, wobei erste Stifte an einem ersten dieser Orte in fester Ortsbezie­ hung zum Meßkopf stehen, und der Meßkopf derart angeord­ net ist, daß er Schaltkarten oder dgl. in dieser Positi­ on des Trays kontaktieren kann, und wobei zweite Stifte an einem weiteren, zweiten Ort in fester Ortsbeziehung zu der wenigstens einen Kamera angeordnet sind, und die Kamera wiederum so vorgesehen ist, daß wenigstens si­ chergestellt ist, daß Teilbereiche der Schaltkarten oder dgl. in dieser Position des Trays erfaßt werden können. Ein Tray wird also als erstes von den sogenannten zwei­ ten Stiften ortsgenau relativ zum Kopf unter der oder den Kameras fixiert, und dann nach einem Transport er­ neut unter dem Kopf.

Die Trennung des Ortes der Positionsausrichtung und des Kontaktierens ergibt mehr Platz für die jeweiligen Ein­ richtungen, macht jedoch die Vorsehung eines Trays nö­ tig, das konstruktiv erlaubt, an jeweils genau zueinan­ der bestimmten Positionen gelagert zu werden. Ansonsten können die Trays sehr einfach konstruiert sein, da die erfindungsgemäßen Abgleichmittel ortsfest angeordnet sind, und etwaige Fehlpositionierungen durch die kamera­ beobachtete Nachführung korrigiert werden.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung ist mit Mitteln zum Errechnen der Lage der Schaltkarte oder dgl. aus wenigstens zwei abgetasteten Teilbereichen der Schaltkarte oder dgl. versehen, insbesondere aus spe­ ziell gekennzeichneten Bereichen der Schaltkarte oder dgl. Diese Teilbereiche können auch direkt aneinander anschließen, also z. B. die Form einer Kreuzmarkierung haben, die die Lage bezüglich x- und y-Richtung anzeigt, wobei durch die Winkelorientierung der Markierung eine zusätzliche Verdrehung ermittelt werden kann.

Vorteilhafterweise wird die Schaltkarte oder dgl. jedoch mit zwei möglichst weit auseinanderliegenden Markierun­ gen versehen, so daß die größtmögliche Genauigkeit bei der Winkelbestimmung durch den großen Abstand zwischen den Markierungen erreicht wird.

Weiter wird vorgeschlagen, nur wenigstens zwei Teil­ bereiche der Schaltkarte oder dgl. durch wenigstens je­ weils eine Kamera abzutasten. Durch diese selektive Ab­ tastung von Bereichen, die Markierungen aufweisen, oder von sich aus bereits für einen solchen Zweck geeignet sind, wird die Größe des abzutastenden Bereichs wesent­ lich verringert, und der interessierende Bereich, z. B. um die erwartete Lage von Markierungen herum, kann leichter und billiger mit höherer Auflösung abgetastet werden.

Vorteilhafterweise werden wenigstens zwei Videokameras vorgesehen, die nur eng begrenzte Teilausschnitte der Schaltkarten oder dgl. abtasten. Bei räumlich getrennten Orten von Meßkopf und Ausrichteeinrichtungen können die Videokameras in einfacher Weise räumlich über den ent­ sprechenden Teilbereichen angeordnet werden. Die Vortei­ le, die sich durch Auswertung nur von Teilbereichen er­ geben, sind dabei bereits obig beschrieben worden. Soll jedoch die erfindungsgemäße Vorrichtung das Ausrichten unter dem Meßkopf vornehmen, so ergeben sich durch das Abtasten nur von Teilbereichen der Schaltkarte oder dgl. wiederum konstruktive Vereinfachungen.

Es wird vorgeschlagen, daß nach Möglichkeit eine dritte Videokamera, die den gesamten in Frage kommenden Bereich abtastet, zusätzlich zu der wenigstens einen bereits vorhandenen Videokamera vorgesehen wird, um eine Grobab­ tastung der Schaltkarte oder dgl. zur Feststellung von Fehlerursachen, wie z. B. Lage der Markierungen außer­ halb der von den selektiv abtastenden Videokameras er­ faßten Bereiche, vorzunehmen, und um gegebenenfalls eine Grobpositionierung zu kontrollieren.

In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel werden Trays mit einer Schraubengewindemechanik und auf die Schalt­ karte oder dgl. wirkende Verschiebe- und/oder Verdreh­ elemente vorgeschlagen. Solche Verschiebe- und/oder Ver­ drehelemente können über diese Mechanik von ortsfest montierten Abgleichmitteln betätigt werden, um die Schaltkarte oder dgl. zu positionieren.

Insbesondere werden drei Verschiebe- und/oder Verdrehe­ lemente vorgeschlagen, die seitlich an versetzten Posi­ tionen an eine Schaltkarte oder dgl. angreifen, um die Schaltkarte oder dgl. im gegenseitigen Zusammenwirken seitlich auf dem Tray zu verschieben bzw. zu verdrehen. Zusätzliche werden mit ihnen zusammenwirkende Federele­ mente, die in den Trays an Positionen den drei Verschiebe- und/oder Verdrehelementen gegenüberliegend vorgesehen sind, vorgeschlagen, so daß sie den Ver­ schiebe- und/oder Verdrehelementen entgegenwirken. Derar­ tige mechanisch einfache Verschiebe- und/oder Verdrehe­ lemente können die Schaltkarte oder dgl. auch während eines möglicherweise vorzunehmenden Transports fixieren.

Zur sicheren Befestigung der Schaltkarten oder dgl. wäh­ rend eines Transportes werden Klemmelemente, die auf die in den Trays befindlichen Schaltkarten oder dgl. wirken, zusätzlich vorgeschlagen. In einer besonders bevorzugten Ausführung sollen die Klemmelemente automatisch verrie­ geln, sobald die Abgleichmittel inaktiviert werden.

Eine vorteilhafte Ausbildung der erfindungsgemäßen Vor­ richtung besitzt dabei Ankoppeleinheiten an den Trays, an denen wenigstens drei an der Seite der Trays vorgese­ hene kraftübertragende Elemente in Sechskantführungen ankoppeln können. Solche Koppelelemente sind bereits vielfach bewährt und eignen sich bei der vorliegenden Vorrichtung gut zum lösbaren Kontakt und zur Übertragung von Drehkräften, da sie einfach und relativ preiswert herzustellen sind, sehr solide und robust und daher zu­ verlässig sind. Es ist jedoch auch denkbar, daß nur den auszuführenden Abgleichbewegungen entsprechende elektri­ sche Ströme und/oder Signale übermittelt werden.

Abschließend wird noch vorgeschlagen, mehrere Ausrichte­ stationen einer Bearbeitungs-/Behandlungsstation zuzu­ ordnen. Damit kann eine eventuell länger dauernde Aus­ richtung der Schaltkarten oder dgl. an mehreren Ausrich­ testationen vorgenommen werden, wobei Trays dieser Mehr­ zahl von Ausrichtestationen zu einer Bearbeitungs-/ Behandlungsstation weitergeleitet werden. Falls die Zeitverhältnisse anders sind, ist natürlich auch eine Ausrichtestation, die für eine Mehrzahl von Bearbeitungs-/Behandlungsstationen arbeitet, denkbar.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausfüh­ rungsbeispiels und der begleitenden Zeichnung näher er­ läutert. Dabei zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Vorrich­ tung zum Prüfen einer gedruckten Schaltkarte oder dgl., und

Fig. 2 eine Teilansicht der Abgleichmittel und ein Tray.

In Fig. 1 ist eine Vorrichtung zum Prüfen, beispielswei­ se einer gedruckten Schaltkarte 14, als ein Anwendungs­ beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung darge­ stellt. Diese Vorrichtung besitzt zwei Stationen 24, 26, an denen Trays 12 mit Hilfe von in dem die Trays 12 auf­ nehmenden Element vorgesehenen Stiften 22, 23, die in entsprechende Fixierbohrungen 42 in den Trays 12 einge­ führt werden, an zwei fest vorgegebenen Orten ortsgenau fixiert werden können.

Über der linken Station, der Bearbeitungs-/Behandlungs­ station 24, ist ein Meßkopf 10 vorgesehen, der nur in Richtung auf die Schaltkarte 14 oder dgl. zu abgesenkt werden kann, um entsprechende Kontaktbereiche auf der Schaltkarte 14 oder dgl. zu kontaktieren. Dies muß nicht notwendigerweise senkrecht erfolgen, ist aber so üblich. Eine seitliche Verfahrmöglichkeit des Meßkopfes 10, um an eine erste Bearbeitungsposition zu kommen, ist hier nicht nötig, weil im Gegensatz zu bisher üblichen Vor­ richtungen die Kontaktbereiche an immer genau denselben Positionen unter dem Meßkopf 10 von Anfang an zu liegen kommen.

Damit können Wartezeiten an den Meßköpfen wie bisher er­ heblich verringert werden. Die dazu nötige vorherige Ausrichtung findet im rechten Teil der in Fig. 1 darge­ stellten Vorrichtung in der Ausrichtestation 26 statt. Dort wird mit Hilfe wenigstens einer die Lage der Schaltkarten 14 oder dgl. erfassenden Kamera 16 die je­ weilige Schaltkarte 14 oder dgl. auf einem sie tragenden Tray 12 von Verschiebe- und/oder Verdrehelementen 20 so lange verschoben, bis sie in ihrer Sollposition liegt. Etwaige Ungenauigkeiten in der Positioniermechanik fal­ len dabei nicht ins Gewicht, weil die erzielte Lage im­ mer mit der wenigstens einen Kamera 16 auf Übereinstim­ mung mit den gewählten Verschiebungen bzw. der Sollage überprüft wird.

Dabei sind die dazu benutzten Abgleichmittel 30 ebenso wie die die Position des Trays 12 bestimmenden Stifte 23 auf dem die Trays tragenden Element angeordnet, wobei die Abgleichmittel 30 auf in dem Tray 12 angeordnete Po­ sitioniermittel 44 wirken, die wiederum Verschiebe- und/oder Verdrehelemente 20 für die Schaltkarte 14 oder dgl. relativ zum Tray 12 aufweisen. Nach erfolgter Posi­ tionierung werden die Trays 12 über ein Förderband 18 auf einem Tisch 32 zur Bearbeitungs-/Behandlungsstation 24 transportiert. Dort werden die Trays 12 wieder mit Stiften 22 fixiert, so daß die Schaltkarten 14 oder dgl. am gewünschten Ort unter dem Meßkopf liegen.

Da es Vorteile in Geschwindigkeit bzw. dem nötigen Auf­ wand bedeutet, wenn nur zwei, inbesondere zwei markierte Bereiche der Schaltkarte 14 oder dgl. auf ihre Lage zu­ einander und auf ihre absolute Position geprüft werden, ergibt sich daraus, daß es vorteilhaft ist, diese Berei­ che auch durch zwei getrennte Kameras 16, wie es in der Fig. 1 ebenfalls dargestellt ist, abzutasten.

Zusätzlich kann eine dritte Videokamera vorgesehen wer­ den, die den gesamten in Frage kommenden Bereich abta­ stet, um eine Grobabtastung der Schaltkarte 14 oder dgl. vorzunehmen, und um gegebenenfalls eine Grobpositionie­ rung vorzunehmen.

In Fig. 2 sind in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ein Tray 12 mit einer Schraubengewindemechanik 44 und die auf die Schaltkarte 14 oder dgl. wirkenden Verschiebe- und/oder Verdrehelemente 20 skizzenhaft dar­ gestellt. Die dargestellten Verschiebe- und/oder Verdre­ helemente 20 werden dabei über die Mechanik 44 von den ortsfest montierten Abgleichmitteln 30 kontaktiert, um die Schaltkarte 14 oder dgl. zu positionieren.

Insbesondere werden dabei drei Verschiebe- und/oder Ver­ drehelemente 20 vorgeschlagen, die seitlich an versetz­ ten Positionen an die Schaltkarte 20 angreifen, um diese im gegenseitigen Zusammenwirken seitlich gegen den Druck von Federn 40 auf dem Tray 12 hin und her zu verschieben bzw. zu verdrehen. Diese mechanisch einfachen Verschiebe- und/oder Verdrehelemente 20 können die Schaltkarte 14 oder dgl. auch während eines möglicher­ weise vorzunehmenden Transports fixieren.

Die Ankopplung geschieht dabei über drei Ankoppeleinhei­ ten 34 an den Trays, an denen wenigstens drei kraftüber­ tragende Elemente 36 z. B. in Sechskantführungen 38 an­ koppeln können.

In der obigen Beschreibung wird immer nur jeweils eine Schaltkarte 14 oder dgl. auf einem Tray 12 ausgerichtet. Es wird jedoch auch eine Ausrichtung mehrerer Schaltkar­ ten 14 oder dgl. gleichzeitig unter Umständen für denk­ bar gehalten. Auch ist die Anwendung der Vorrichtung nicht auf Schaltkarten begrenzt, sondern umfaßt beliebi­ ge Werkstücke.

Claims (16)

1. Vorrichtung zum Behandeln oder Bearbeiten eines Werkstückes, insbesondere einer gedruckten Schaltkarte (14), einer Leiterplatte, einem Wafer oder einer Hy­ bridschaltung mit

• - einem oder einer Mehrzahl von die Schaltkarten (14) oder dgl. tragenden Trays (12),
• - einem die Trays (12) tragenden Element,
• - einem in einer Bearbeitungs-/Behandlungsstation (24) angeordneten, auf die Schaltkarten (14) oder dgl. absenkbaren, im übrigen ortsfesten Kopf (10) zur Behandlung bzw. zur Bearbeitung,
• - einer Kamera (16) zum Erkennen der Lage und/oder Verdrehung der jeweils in einer Ausrichtestation (26) befindlichen Schaltkarte (14) oder dgl., und
• - Abgleichmitteln (30) für die Schaltkarte (14) oder dgl. relativ zu dem Kopf (10),

dadurch gekennzeichnet, daß

• - die Abgleichmittel (30) auf dem die Trays (12) tra­ genden Element angeordnet sind, und
• - die Abgleichmittel (30) auf in dem Tray (12) an­ geordnete Positioniermittel (44) wirken, die wie­ derum Verschiebe- und/oder Verdrehelemente (20) für die Schaltkarte (14) oder dgl. relativ zum Tray (12) aufweisen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Verschiebe- und/oder Verdrehelemente für die Schaltkarte (14) oder dgl., wenigstens zum Teil durch Höhenverstellelemente, insbesondere Keile, gebil­ det werden.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwei Höhenverstellelemente unterhalb der Schaltkarte oder dgl. angeordnet sind.

4. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens zwei hochpräzise an­ geordnete Fixierbohrungen (42) in den Trays (12), in die entsprechende, auf dem die Trays (12) tragenden Element, angeordnete Stifte (22, 23) zum genauen Fest­ legen der Position dieser Trays (12) eingreifen können, wobei erste Stifte (22) an einem ersten Ort in fester Ortsbeziehung zum Kopf (10) stehen, und der Kopf (10) derart angeordnet ist, daß er Schaltkarten (14) oder dgl. in dieser Position des Trays (12) kontaktieren kann, und wobei zweite Stifte (23) an einem weiteren, zweiten Ort in fester Ortsbeziehung zu der wenigstens einen Kamera (16) angeordnet sind, und die Kamera (16) wiederum so vorgesehen ist, daß sichergestellt ist, daß wenigstens Teilbereiche der Schaltkarte (14) oder dgl. in dieser zweiten Position des Trays (12) erfaßt werden können.

5. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zum Errechnen der Lage der Schaltkarte (14) oder dgl. aus Informationen, die aus wenigstens zwei abgetasteten Teilbereichen der Schalt­ karte (14) oder dgl., insbesondere aus speziell gekenn­ zeichneten Teilbereichen der Schaltkarte (14) oder dgl., stammen.

6. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von Kameras (16) zum Abtasten wenigstens zweier Teilbereiche der Schaltkarte (14) oder dgl. durch wenigstens jeweils eine Kamera (16).

7. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch zwei Videokameras (16), die je­ weils einen engbegrenzten Teilbereich der Schaltkarte (14) oder dgl. abtasten.

8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche 1-6, gekennzeichnet durch drei Videokameras (16), wo­ bei zwei Videokameras (16), eng begrenzte Teilbereiche der Schaltkarte (14) oder dgl. abtasten, und die dritte Videokamera den gesamten Bereich der Schaltkarte (14) oder dgl. abtastet.

9. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Trays (12) mit einer Schrauben­ gewindemechanik (44) und auf die Schaltkarte (14) oder dgl. wirkende Verschiebe- und/oder Verdrehelemente (20).

10. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch drei Verschiebe- und/oder Verdre­ helemente (20), die seitlich an versetzten Positionen an eine Schaltkarte (14) oder dgl. angreifen, um diese im gegenseitigen Zusammenwirken seitlich auf dem Tray (12) zu verschieben bzw. zu verdrehen.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch Federelemente (40), die in den Trays (12) an Positionen den Verschiebe- und/oder Verdrehelementen (20) gegen­ überliegend vorgesehen sind, so daß sie diesen entge­ genwirken.

12. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Klemmelemente, die auf die in den Trays (12) befindlichen Schaltkarten (14) oder dgl. wirken.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeich­ net, daß die Klemmelemente automatisch verriegeln, so­ bald die Abgleichmittel (30) inaktiviert werden.

14. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens drei Ankoppeleinheiten (34; 36, 38) an den Trays (12), an denen wenigstens drei seitlich neben den Trays vorgesehene kraftübertra­ gende Elemente (36) in Sechskantführungen ankoppeln können.

15. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von Ausrichtestatio­ nen (26) zum Ausrichten der Schaltkarten (14) oder dgl., die einer Bearbeitungs-/Behandlungsstation (24) zugeordnet sind.