DE3703087A1 - Liquid-crystal cell - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Flüssigkristallzelle mit im Abstand zueinander angeordneten Substraten, die zwischen sich einen mit Flüssigkristallsubstanz ge füllten Zellraum bilden, und mit auf den Substraten zellraumseitig angeordneten Elektroden und Entspie gelungsschichten und ein Verfahren zur Herstellung der Flüssigkristallzelle.The invention relates to a liquid crystal cell spaced substrates, the between them a ge with liquid crystal substance form filled cell space, and with on the substrates electrodes arranged on the cell room side and relaxation gel layers and a method of manufacture the liquid crystal cell.
Um eine möglichst gleiche Reflektion zwischen Elek troden- und Glasflächen zu realisieren, werden bei Flüssigkristallzellen sogenannte Entspiegelungs schichten vorgesehen. Diese werden nach der Herstel lung der Elektroden auf das Glas-Substrat bzw. die Elektroden aufgebracht. Dieses Aufbringen erfordert einen zusätzlichen Arbeitsgang, was die Flüssigkri stallzelle verteuert. Außerdem bildet die Entspiege lungsschicht ein zusätzliches Dielektrikum, wodurch im Zellraum ein Spannungsabfall entsteht, der bei verschiedenen Anwendungen von Flüssigkristallzellen unerwünscht ist. Im Kontaktierungsbereich ist eine dielektrische Schicht ebenfalls hinderlich, so daß die auf den Elektroden aufgebrachten Entspiegelungs schichten normalerweise strukturiert werden müssen.In order to have the same possible reflection between elec Realize tread and glass surfaces at So-called anti-reflective liquid crystal cells layers provided. These are made according to the manufacturer the electrodes on the glass substrate or the Electrodes applied. This application requires an additional operation what the liquid crystal stall cell expensive. In addition, the relaxation an additional dielectric, whereby A voltage drop occurs in the cell space, which at various applications of liquid crystal cells is undesirable. There is one in the contacting area dielectric layer is also a hindrance, so that the anti-reflective coating applied to the electrodes layers usually need to be structured.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Her stellung einer Flüssigkristallzelle mit einer Ent spiegelungsschicht mit geringem Aufwand zu ermögli chen.The object of the present invention is the Her position of a liquid crystal cell with a Ent mirror layer with little effort chen.
Die erfindungsgemäße Flüssigkristallzelle ist da durch gekennzeichnet, daß auf jeweils einem Substrat eine Entspiegelungsschicht und auf der Entspiege lungsschicht die Elektroden aufgebracht sind.The liquid crystal cell according to the invention is there characterized in that on a respective substrate an anti-reflective coating and on the anti-reflective coating tion layer the electrodes are applied.
Ein Vorteil der erfindungsgemäßen Flüssigkristall zelle besteht darin, daß die Entspiegelungsschicht zusammen mit der die Elektroden bildenden Schicht in einem Vakuumprozeß aufgebracht werden kann.An advantage of the liquid crystal according to the invention cell is that the anti-reflective coating together with the layer forming the electrodes in a vacuum process can be applied.
Die Entspiegelungsschicht kann dabei vorzugsweise aus AlO3, Ta2O5, TiO2 oder TiO2SiO2 bestehen.The anti-reflective layer can preferably consist of AlO 3, Ta 2 O 5, TiO 2 or TiO 2 SiO 2 .
Ein vorteilhaftes Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Flüssigkristallzelle besteht darin, daß in einem Vakuumprozeß zunächst die Ent spiegelungsschicht auf das Substrat und danach eine die Elektroden bildende Schicht aufgebracht wird.An advantageous method of making a liquid crystal cell according to the invention in that in a vacuum process the Ent reflective layer on the substrate and then one the layer forming the electrodes is applied.
Dabei wird das vorbereitete Substrat in einen Rezi pienten eingebracht und der Rezipient evakuiert. Ohne daß das Substrat dazwischen in irgendeiner Weise manipuliert oder wieder atmosphärischen Druck ausgesetzt wird, werden nacheinander die Entspiege lungsschicht und die die Elektroden bildende Schicht aufgebracht. The prepared substrate is placed in a box clients and the recipient is evacuated. Without the substrate in between in any Way manipulated or restored atmospheric pressure will be released one after the other tion layer and the layer forming the electrodes upset.
Dieses kann beispielsweise durch Sputtern oder durch Aufdampfen im Hochvakuum erfolgen.This can be done, for example, by sputtering or by Evaporate in a high vacuum.
Die Erfindung läßt zahlreiche Ausführungsformen zu. Eine davon ist schematisch in der Zeichnung an Hand mehrerer Figuren dargestellt und nachfolgend be schrieben. Es zeigt jeweils einen Teil einer Flüssig kristallzelle in Schnittdarstellung:The invention allows numerous embodiments. One of them is shown schematically in the drawing shown several figures and below be wrote. It shows part of a liquid Crystal cell in sectional view:
Fig. 1 eine bekannte Flüssigkristallzelle und Fig. 1 shows a known liquid crystal cell and
Fig. 2 ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel. Fig. 2 shows an embodiment of the invention.
Gleiche Teile sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen.The same parts are the same in the figures Provide reference numerals.
Bei der bekannten Flüssigkristallzelle nach Fig. 1 ist auf einem Substrat 1 eine Elektrode 2 aufge bracht. Eine Gegenelektrode 4 sowie ein weiteres Sub strat 5 sind lediglich angedeutet. Zur Verringerung von Reflexionen ist das Substrat 1 sowie die Elektro de 2 mit einer Entspiegelungsschicht 6 überzogen, worauf sich eine Orientierungsschicht 7 befindet, die in an sich bekannter Weise zur Orientierung der Flüssigkristalle dient. Bei bekannten Flüssigkri stallzellen ist die Aufbringung der die Elektroden überdecken den Entspiegelungsschicht meist mit thermischer Belastung der Substrate verknüpft, was in verschiedener Hinsicht störend sein kann. In the known liquid crystal cell of FIG. 1, an electrode 2 is brought up on a substrate 1 . A counter electrode 4 and another sub strate 5 are only hinted at. To reduce reflections, the substrate 1 and the electrode 2 are coated with an anti-reflective layer 6 , on which there is an orientation layer 7 , which is used to orient the liquid crystals in a manner known per se. In known liquid crystal stall cells, the application of the electrodes covering the anti-reflective layer is usually linked to thermal stress on the substrates, which can be disruptive in various respects.
Bei der Herstellung der Flüssigkristallzelle gemäß Fig. 2 wird auf das Substrat 1 zunächst eine Entspie gelungsschicht 8 und danach eine die Elektroden bil dende Schicht 9 aufgetragen. Beide Schichten können innerhalb eines Vakuumprozesses erzeugt werden. Als Werkstoff für die Entspiegelungsschicht eignen sich insbesondere Al2O3, Ta2O5, TiO2 und TiO2SiO2. Die Entspiegelungsschicht 8 und die die Elektroden bil dende Schicht 9 werden beide auf der gesamten Fläche des Substrats 1 aufgetragen, so daß die Schicht 9 sich bis in den Anschlußbereich erstreckt, wodurch die für die spätere Kontaktierung der Flüssigkri stallzelle erforderlichen Elemente gebildet werden. Beide Schichten können in einem "kalten" Beschich tungsprozeß hergestellt werden, wodurch eine Erwär mung und die damit verbundenen Spannungen im Sub strat 1 vermieden werden.In the manufacture of the liquid crystal cell according to FIG. 2, a relaxation layer 8 is first applied to the substrate 1 and then a layer 9 forming the electrodes. Both layers can be created within a vacuum process. Al 2 O 3, Ta 2 O 5, TiO 2 and TiO 2 SiO 2 are particularly suitable as the material for the anti-reflective layer . The anti-reflective layer 8 and the layer 9 forming the electrodes are both applied to the entire surface of the substrate 1 , so that the layer 9 extends into the connection area, whereby the elements required for the subsequent contacting of the liquid crystal cell are formed. Both layers can be produced in a "cold" coating process, whereby heating and the associated stresses in substrate 1 are avoided.
In an sich bekannter Weise wird die Elektroden schicht 9 nach ihrem Aufbringen mit Hilfe von Foto- Ätz-Prozessen strukturiert. Hierzu ist es erforder lich, daß die Entspiegelungsschicht gegenüber dem Ätzmedium resistent ist, was bei den obengenannten Oxiden der Fall ist. Nach der Herstellung der Elek troden wird in ebenfalls bekannter Weise die Orien tierungsschicht 7 aufgebracht.In a manner known per se, the electrode layer 9 is structured after its application with the aid of photo-etching processes. For this purpose, it is necessary that the anti-reflective layer is resistant to the etching medium, which is the case with the above-mentioned oxides. After the manufacture of the electrodes, the orientation layer 7 is also applied in a known manner.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873703087 DE3703087A1 (en) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | Liquid-crystal cell |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| DE19873703087 DE3703087A1 (en) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | Liquid-crystal cell |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| DE3703087A1 true DE3703087A1 (en) | 1988-08-11 |
Family
ID=6320072
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| DE19873703087 Withdrawn DE3703087A1 (en) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | Liquid-crystal cell |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3703087A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1987
- 1987-02-03 DE DE19873703087 patent/DE3703087A1/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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