Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Auftragen
von Überzügen im Vakuum durch Magnetronzerstäubung.The invention relates to a device for application
of coatings in vacuum by magnetron sputtering.
Aus W. Orlinov, G. Mladenov: Elektronische und ionische
Verfahren und Einrichtungen für Bearbeitung und Analyse
von Substanzen, Verlag Technika, Sofia, 1982 ist eine
Einrichtung zum Auftragen von Überzügen im Vakuum durch
Magnetronzerstäubung bekannt, die aus einem Magnetron
system besteht, welches in einer Kammer angeordnet ist,
an die selbständig und unabhängig voneinander ein System
zur Speisung mit Arbeitsgas, ein System für die Zufuhr
von Kühlflüssigkeit, ein Stromzuführsystem und ein An
triebssystem zur relativen Bewegung der überzogenen Ob
jekte in bezug auf das Magnetron angeschlossen sind.From W. Orlinov, G. Mladenov: Electronic and ionic processes and devices for processing and analysis of substances, Verlag Technika, Sofia, 1982 , a device for applying coatings in a vacuum by magnetron sputtering is known, which consists of a magnetron system, which in a chamber is arranged to which a system for feeding with working gas, a system for supplying coolant, a power supply system and a drive system for the relative movement of the coated objects with respect to the magnetron are connected independently and independently of one another.
Die Nachteile der bekannten Einrichtung liegen darin,
daß die sie bildenden Systeme eine komplexe Anordnung
aufweisen und ein großes Volumen der Kammer einnehmen;
auf diese Weise werden die Möglichkeiten für Bewegung
der Einrichtung eingeschränkt, was zum ungleichmäßigen
Überziehen der Werkstücke führt.The disadvantages of the known device are
that the systems making them up are a complex arrangement
have and occupy a large volume of the chamber;
this way the possibilities for movement
limited the facility, which leads to uneven
Covering the workpieces leads.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrich
tung zum Auftragen von Überzügen im Vakuum zu entwik
keln, bei der die sie bildenden Systeme eine rationel
le Anordnung aufweisen und ein kleines Volumen in der
Kammer einnehmen, um die Bewegungsmöglichkeiten nicht
einzuschränken, wodurch ein gleichmäßiges Überziehen
der Werkstücke gewährleistet wird.The invention has for its object a Einrich
device for applying coatings in a vacuum
in which the systems forming them are rational
le arrangement and a small volume in the
Do not take the chamber to move
restrict, thereby creating an even covering
the workpieces is guaranteed.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Anspruch
beschriebene Erfindung gelöst.
This object is achieved by the claim
described invention solved.
Die Vorteile der erfindungsgemäßen Einrichtung liegen
darin, daß die sie bildenden Systeme, die in einer inte
gralen vereinfachten und mit kleinem Volumen Baugruppe
montiert sind, eine rationelle Anordnung aufweisen und
ein kleines Volumen in der Kammer einnehmen, wodurch die
Möglichkeiten für translatorische und/oder Rotationsbe
wegungen nicht eingeschränkt werden, was zu einem gleich
mäßigen Überziehen der Werkstücke führt.The advantages of the device according to the invention lie
in that the systems forming them, which are integrated in an inte
grail simplified and with small volume assembly
are mounted, have a rational arrangement and
take up a small volume in the chamber, causing the
Possibilities for translational and / or rotation
movements are not restricted, resulting in an equal
moderate covering of the workpieces.
Die Erfindung wird anhand des in der Zeichnung gezeigten
Ausführungsbeispiels erläutert. Die Zeichnung zeigt einen
Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße Einrichtung.The invention is based on that shown in the drawing
Exemplary embodiment explained. The drawing shows one
Longitudinal section through a device according to the invention.
Die erfindungsgemäße Einrichtung besteht aus einem Mag
netron 1, in dem starr befestigt und aufeinanderfolgend
ineinander ein geerdetes Abschirmrohr 2, ein Isolierrohr
3, ein stromführendes Rohr 4 und ein inneres Rohr 5 an
geordnet sind. Das stromführende Rohr 4 und das innere
Rohr 5 bilden ein System für die Zufuhr von Kühlflüssig
keit. Das Abschirmrohr 2 und das stromführende Rohr 4
sind durch die Isolierkörper 6 und 7 elektrisch isoliert
und durch Gummi-Dichtringe 8 vakuumdicht abgedichtet.
Im Raum zwischen dem Abschirmrohr 2 und dem Isolierrohr
3 befinden sich ein Rohr 9 zum Durchleiten von Arbeits
gas und eine elektrische Leitung, die zur Anode 10 führt.
Die elektrische Leitung zur Anode 10 mündet durch einen
vakuumdichten elektrischen lsolator 11 in dem Vakuumraum.
Das Abschirmrohr 2 verläuft durch eine Schleuseneinrich
tung 12, die an der Kammer 13 montiert ist. Die Kathode
14 ist oberhalb des Rohres 9 montiert.The device according to the invention consists of a mag netron 1 , in which rigidly attached and successively one inside the other an earthed shielding tube 2 , an insulating tube 3 , a current-carrying tube 4 and an inner tube 5 are arranged. The current-carrying tube 4 and the inner tube 5 form a system for the supply of cooling liquid speed. The shielding tube 2 and the current-carrying tube 4 are electrically insulated by the insulating bodies 6 and 7 and sealed in a vacuum-tight manner by rubber sealing rings 8 . In the space between the shielding tube 2 and the insulating tube 3 there is a tube 9 for the passage of working gas and an electrical line leading to the anode 10 . The electrical line to the anode 10 opens through a vacuum-tight electrical insulator 11 in the vacuum space. The shielding tube 2 extends through a Schleuseneinrich device 12 which is mounted on the chamber 13 . The cathode 14 is mounted above the tube 9 .
Die Wirkungsweise der Einrichtung ist wie folgt:
The mechanism works as follows:
Durch das innere Rohr 5 wird Kühlflüssigkeit zum Magnetron
1 zugeführt, die in den Raum zwischen dem stromzuführenden
Rohr 4 und dem inneren Rohr 5 gelangt. Nach Erzeugung
eines entsprechenden Drucks durch ein nicht gezeigtes
Dosiersystem wird durch das Rohr 9 Arbeitsgas durchgelei
tet, bis ein bestimmter Arbeitsdruck erreicht wird. Über
das stromführende Rohr 4 wird eine Spannung zum Magnetron
1 zugeführt, welche ein negatives Potential des Magnetrons
1 in bezug auf die elektrische Leitung zur Anode 10 und
die Kammer 13 erzeugt. Dabei kommt das Magnetron 1 in
Zerstäubungsbetrieb (-zustand). Die hin- und hergehende
Bewegung der Einrichtung wird über das genullte Abschirm
rohr 2 von einem nicht gezeigten Antriebsmechanismus er
zeugt. Die zu überziehenden Werkstücke werden in der Kam
mer in einem Abstand unterhalb des Magnetrons angeordnet,
und zwar auf einer Unterlage, welche die von dem Magnetron
befahrene, nicht gezeigte Fläche einnimmt.Through the inner tube 5 , cooling liquid is supplied to the magnetron 1 , which reaches the space between the current-carrying tube 4 and the inner tube 5 . After generating a corresponding pressure by a metering system, not shown, working gas is passed through the tube 9 until a certain working pressure is reached. A voltage is supplied to the magnetron 1 via the current-carrying tube 4 , which voltage generates a negative potential of the magnetron 1 with respect to the electrical line to the anode 10 and the chamber 13 . The magnetron 1 comes into atomization mode. The reciprocating movement of the device is on the zeroed shielding tube 2 from a drive mechanism, not shown, he testifies. The workpieces to be coated are arranged in the chamber at a distance below the magnetron, on a base which occupies the area not shown, which is traveled by the magnetron.