DE1521525B1

DE1521525B1 - Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von UEberzuegen,insbesondere auf flaechigen Traegerunterlagen,durch Vakuumaufdampfen

Info

Publication number: DE1521525B1
Application number: DE19641521525
Authority: DE
Inventors: Smith Hugh Jun Roscoe
Original assignee: Air Reduction Co Inc
Current assignee: Airco Inc
Priority date: 1963-06-12
Filing date: 1964-06-12
Publication date: 1970-03-12
Also published as: JPS519687B1; DK128824B; LU46281A1; CH452312A; BE649234A; NL6406691A; SE315461B; GB1031963A; AT252683B; FR1406666A; US3329524A

Description

menge erzeugt bzw. bei Erzeugung einer gleichen Dampfmenge bei niedrigerer Temperatur als bisher möglich gearbeitet werden kann.

Eine Vorrichtung zur Ausführung des neuen Verfahrens umfaßt ein einen Vakuumraum umschließendes Gehäuse, eine Vakuumpumpe zur Evakuierung des Vakuumraums und einen heizbaren, an einem Ende offenen Verdampfertiegel. Diese Vorrichtung

tels eines Motors in schnelle Drehung versetzt ist und daß im Vakuumraum Halterungen für eine Trägerunterlage vorgesehen sind.

Das neue Verfahren sowie Vorrichtungen zu seiner Durchführung sind im folgenden an Hand der Zeichnungen näher beschrieben.

Es zeigt

Fig. 1 einen Querschnitt durch eine Vorrichtung

bekannt, bei dem im Vakuum verdampfbares Metall io Verfügung stehende Oberfläche vergrößert, so daß aus einem an einem Ende offenen, etwa zylindri- bei gleichen Temperaturen eine größere Dampfschen, axial zum offenen Ende in Drehung versetzten
Verdampfertiegel, aus dem Dampf axial austritt, aufgedampft wird (schwedische Patentschrift 140 259).
Das mit einem Metallüberzug zu versehende Pulver 15
wird hierbei in einer um eine waagerechte Achse
drehbaren Trommel wiederholt hochgefördert, fallen
gelassen und dabei dem Dampf ausgesetzt. Der Verdampfertiegel schließt axial an die Trommel an und

wird mit dieser in Drehung versetzt, um eine sonst 20 ist dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampferbei stehendem Verdampfertiegel und in Drehung tiegel im Vakuumraum drehbar angeordnet und mitversetzter Trommel zwischen Verdampfertiegel und
Trommel erforderliche Vakuumabdichtung zu vermeiden. Die Drehung des Verdampfertiegels hat hierbei auf das in dem Verdampfertiegel enthaltene, ge- 25
schmolzene Metall praktisch keinen Einfluß, da die
Umfangsgeschwindigkeit des gegenüber der Trommel
im Durchmesser kleinen Verdampfertiegels sehr gering ist. Zur Herstellung von Überzügen auf flächigen Trägerunterlagen ist das Verfahren nicht be- 30 zur Ausführung des neuen Verfahrens, stimmt und wenig geeignet. Fig. 2 einen Längsschnitt durch die Verrichtung

Bei sonstigen bekannten Verfahren zum Herstel- gemäß F i g. 1 in der Schnittebene 2-2, len von Überzügen auf Trägerunterlagen durch Va- Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel eines in der Vor-

kuumaufdampfen von verdampfbarem Material wer- richtung gemäß den Fig. 1 und 2 verwendeten Reden waagerecht feststehende Verdampfertiegel ver- 35 flektors,

wendet, wobei von der waagerechten Oberfläche des Fig. 4 einen teilweisen Querschnitt durch eine

geschmolzenen, verdampfbaren Materials eine senk- gegenüber Fig. 2 abgewandelte Ausführungsform recht aufsteigende Dampfwolke erzeugt wird. Folg- des Verdampfertiegels der Vorrichtung, lieh muß das Aufdampfen, sofern nicht zusätzliche F i g. 5 eine weitere Ausführungsform eines Ver-

Maßnahmen vorgesehen sind, auf der Unterseite von 40 dampfertiegels in teilweisem Querschnitt, waagerecht angeordneten Trägerunterlagen erfolgen. F i g. 6 eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Her-

Soll dagegen ein Überzug auf beispielsweise senk- stellen von Überzügen auf zwei Seiten einer Trägerrecht angeordneten Trägerlagen hergestellt werden, unterlage,

dann sind zusätzliche Umlenkvorrichtungen für den Fig. 7 ausschnittsweise die Seitenansicht einer

Dampf erforderlich, die den Bauaufwand vergrößern 45 weiteren Ausführung einer Vorrichtung zur Durch- und die Dampfausbeute verringern. Ein weiterer führung des neuen Verfahrens, wobei die Richtung Mangel herkömmlicher Verdampfertiegel ist der, daß des erzeugten Dampfstromes veränderbar ist, sich die erzeugten Dämpfe ausbreiten, wodurch die F i g. 8 den Verdampfertiegel einer weiteren Ausursprüngliche Dampfdichte herabgesetzt wird. Zur führung einer Vorrichtung zur Durchführung des Erhöhung der Dampfdichte sind dann wieder zu- 50 neuen Verfahrens, wobei die Drehung des Verdampsätzliche Maßnahmen, wie eine Erhöhung der zu- fertiegels um eine senkrechte Achse erfolgt, geführten Wärmeleistung oder die Anwendung einer Bei der in den F i g. 1 und 2 dargestellten, bevor-

Vielzahl von Verdampfertiegeln, erforderlich. zugten Ausführungsform einer Vorrichtung zum Her-

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver- stellen von Überzügen ist in einem Vakuumraum 11, fahren zur Herstellung von Überzügen auf Träger- 55 der von einem Gehäuse 12 umschlossen ist und der unterlagen anzugeben, das unter Vermeidung der mittels einer Vakuumpumpe 10 evakuiert wird, ein Nachteile der bekannten Verfahren bei hoher Dampf- Verdampfertiegel 13 drehbar angeordnet. Der Verausbeute und bei beliebiger Stellung der zu bedamp- dampfertiegel 13 ist vorzugsweise als wassergekühlfenden Trägerunterlagen durchzuführen ist und das ter Kupferzylinder mit Kühlmittelwegen 14 ausgebilinsbesondere auch zum Herstellen von Überzügen 60 det und weist in seinem Inneren an seinem geschlosauf flächigen Trägerunterlagen geeignet ist. Unter senen Ende hitzebeständige Wände 15 und auf seiner etwa zylindrischen Innenwand ein hitzeisolierendes Futter 16 auf. Ein Reflektor 17 verschließt ein Ende des Schmelztiegels 1.3. Das Futter 16 und der 65 Reflektor 17 bestehen vorzugsweise aus Kohlenstoff oder einem anderen, ähnlich gut hitzebeständigen und hitzeisolierenden Material. Der Reflektor 17 dient zur Fokussierung der im

flächigen Trägerunterlagen seien dabei auch solche körperlichen Trägerunterlagen verstanden, die dem Verdampfertiegel einen nur annähernd ebenen Bereich zuwenden.

Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der Verdampfertiegel so schnell gedreht

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Verdampfertiegel 13 erzeugten Dämpfe. Der Reflek- daß sie sich auf spiralförmigen Wegen zur Obertor kann eine solche Form haben, daß er den Dampf fläche des geschmolzenen Materials 26 bewegen und vorzugsweise parallel zur Drehachse des Verdamp- dieses mehr am Rand als in seiner Mitte treffen, fertiegels 13 und zu dessen offenem Ende hin reflek- Auf diese Weise sind auch die gestreuten Elektronen tiert, wie dies in Fig.2 durch Pfeile angedeutet ist. 5 für die Energiezufuhr zu dem Schmelztiegel 13 nutz-Durch geeignete andere Formgebung des Reflektors bar. Gleichzeitig wird durch die auf den Dampf auf-17 kann der Dampf gewünschtenfalls auch stärker treffenden Elektronen eine Überhitzung des Dampfs konzentriert oder stärker gestreut werden. Im letzt- gefördert. Die in dem Schmelztiegel 13 entwickelten genannten Fall kann die in Fig.3 dargestellte Form Drücke sind gegenüber dem Restdruck des Vakuumeines Reflektors 17 mit einer etwa kegelförmigen, in io raums 11 groß. Daher befindet sich der in dem Verdas Innere des Verdampfertiegels 13 ragenden Ober- dampfertiegel 13 erzeugte Dampf ohnehin in überfläche 17' verwendet werden. hitztem Zustand, wenn er in den Vakuumraum 11

Der Verdampfertiegel 13 wird von einem außer- eintritt.

halb des Vakuumraums 11 angeordneten Motor 18 Der überhitzte Dampf liefert einen homogenen

in Drehung versetzt, mit dem er über eine durch 15 Niederschlag auf der Trägerunterlage 27, die gegeneine Vakuumdichtung 20 geführte Welle 19 verbun- über dem offenen Ende des Verdampfertiegels 13 den ist. Eine Anordnung des Motors innerhalb des feststehend angeordnet ist. Da die Trägerunterlage Vakuumraums 11 ist ebenfalls möglich. 27 von dem aus dem Verdampfertiegel 13 gerichtet

Im Betrieb der Vorrichtung wird der Verdampfer- ausströmenden Dampfstrom auch dann getroffen tiegel 13 um eine horizontale Drehachse gedreht, bei- 20 wird, wenn sie von dem Verdampfertiegel einen spielsweise mit 250 bis 450 Umdrehungen pro relativ großen Abstand hat, ist ein starker Nieder-Minute. In der Innenoberfläche des Futters 16 ist schlag der Dämpfe auf der gegenüber dem geschmoleine ringförmige Rinne 22 gebildet, die zur Auf- zenen Material 26 kühl bleibenden Trägerunterlage nähme des geschmolzenen Materials 26 dient und 27 möglich.

schmal und flach sein kann. Unter der Wirkung der 25 Zum Herstellen von Überzügen aus Gemischen, Zentrifugalkraft bildet das geschmolzene Material 26 insbesondere aus Legierungen, kann das Verfahren innerhalb der Rinne 22 einen Ring. in der Weise ausgestaltet werden, daß ursprünglich

Eine ständige Zuführung des zu verdampfenden ein Material verwendet wird, welches einen höheren Materials wird durch Zuführung eines Drahtes 21 Siedepunkt aufweist als das zusätzlich eingebrachte od. dgl. durch einen Vakuumverschluß 23 hindurch 30 Material, und daß das ursprüngliche Material auf in den Väkuumraum 11 erreicht. An Stelle des Drah- eine Temperatur zwischen den beiden Siedepunkten tes 21 könnte eine mit Außengewinde versehene, erhitzt wird. So kann beispielsweise bei der in den nach und nach eingeschraubte Stange vorgesehen Fig. 1 und 2 dargestellten Vorrichtung zunächst sein, oder es könnte eine Zuführung von Material- Zirkonium in der ringförmigen Rinne 22 geschmolpulver durch Überdruck in einer Röhre erfolgen. Der 35 zen werden, bis dieses die Rinne 22 als flüssiger Ring Draht 21 wird im geschmolzenen Material 26 ab- ausfüllt. Anschließend wird das zu verdampfende geschmolzen. Das Material 26 wird zur Zuführung Material, beispielsweise Aluminium, als Draht 21 der nötigen Schmelzwärme und Verdampfungswärme eingebracht. Die Temperatur des geschmolzenen Masowie zum Ausgleich von Wärmeverlusten erhitzt, in- terials 26 wird so gewählt, daß das Zirkonium nicht dem auf seine Oberfläche durch das offene Ende des 40 verdampft, die Siedetemperatur des Aluminiums je-Verdampfertiegels 13 hindurch ein Elektronenstrahl doch erreicht wird. Der Draht 21 wird dabei vor-24 gerichtet wird, welcher von einer Elektronen- zugsweise außerhalb der Auftreffstelle des Elektroquelle 25 erzeugt ist. Der Elektronenstrahl 24 wird nenstrahls 24 auf das geschmolzene Material 26 in auf seinem Weg durch ein Magnetfeld, das senkrecht dieses eingeführt. Je nach der von dem Elektronenzur Zeichenebene der F i g. 2 gerichtet ist, abgelenkt 45 strahl 24 zugeführten Wärmemenge kann praktisch und gebündelt. Die Erhitzung des geschmolzenen reines Aluminium oder ein Gemisch aus Aluminium Materials 26 hat gegenüber einer direkten Erhitzung mit einem größeren Anteil von Zirkonium verdampft des Drahtes 21 den Vorteil, daß eine Zerstäubung werden. Wegen des höheren spezifischen Gewichts und ein Verspritzen des Materials unter der kon- des Zirkoniums bildet sich in dem geschmolzenen zentrierten Wärmezufuhr mittels des Elektronen- 5° Material 26, wenn man von einer geringfügigen Lestrahls vermieden wird. Das in Querrichtung zu dem gierungsbildung zwischen Aluminium und Zirkonium Elektronenstrahl 24 verlaufende Magnetfeld hat die absieht, ein innerer Ring von Aluminium und ein Wirkung, daß gegebenenfalls erzeugte positive Ionen äußerer Ring von Zirkonium. Der äußere Ring von nicht zu der Elektronenquelle 25 gelangen können. Zirkonium schützt das Aluminium vor einer Re-Außerdem kann so die Elektronenquelle 25 außer- 55 aktion mit dem Material des Futters 16. Weiterhin halb des Bereichs des offenen Endes des Verdamp- ist das Zirkonium ein relativ schlechter Wärmeleiter fertiegels 13 angeordnet sein, was eine Behinderung und verhindert daher einen Wärmeabfluß von dem des Dampf stromes und eine Materialabscheidung auf Aluminium zu dem Futter 16 und dem Mantel des der Elektronenquelle 25 verhindert. Verdampfertiegels 13. Dadurch wird die Dampfaus-

Die im Verdampfertiegel 13 erzeugten Dämpfe 60 beute erhöht.

können unter einem Dampfdruck der Größenordnung Ein Aufdampfen von verschiedenen Materialien,

1 mm Hg stehen. Bei solchen Drücken erreichen beispielsweise Aluminium und Silber, ist kurz nachviele Elektronen des Elektronenstrahls 24 das ge- einander möglich. Wird der Draht 21 aus dem geschmolzene Material 26 nicht direkt, sondern wer- schmolzenen Material 26 zurückgezogen, dann verden an den einzelnen Teilen der Dämpfe gestreut. 65 dampft der Rest des beispielsweise innerhalb eines Die gestreuten Elektronen besitzen eine geringere Zirkoniumrings liegenden Aluminiumrings praktisch Energie als jene im ursprünglichen Elektronenstrahl augenblicklich, und ein aus einem anderen Material 24 und werden durch das Magnetfeld so abgelenkt, bestehender Draht 21 kann eingeschoben werden,

woraufhin praktisch ohne Zeitverzug eine neuerliche Verdampfung beginnt.

Es ist auch möglich, an Stelle eines einzigen Drahtes 21 mehrere Drähte von verschiedener Dicke und/ oder mit verschiedenen Vorschubgeschwindigkeiten zuzuführen. Vorzugsweise wird ein aus zwei Substanzen mit verschiedenen Siedepunkten bestehendes zusätzliches Material eingeführt und das ursprüngliche Material auf eine Temperatur über den Siedepunkt und der größeren Dichte in beide Teile der Rinne 40 ausbreitet. Das zweite Material 44, das eine geringere Dichte besitzt und als Draht 45 zugeführt wird, bleibt in dem in F i g. 5 rechten Teil der Rinne 5 40, da es auf dem Material 43 schwimmt und die Kanäle 42 nicht erreicht. Die Zuführung des ersten Materials 43 erfolgt mittels eines Drahtes 46. Die Dämpfe von beiden Teilen der Rinne 40 ergeben durch die innerhalb des Verdampfertiegels 13 erfol-

punkten dieser beiden Substanzen erhitzt. Zur Ein- ία gende Durchmischung einen homogenen Legierungsführung des zusätzlichen Materials kann der Draht überzug auf einer Trägerunterlage.
21 mit der in Fig. 2 gestrichelt angedeuteten zu- In Fig. 6 ist eine Vorrichtung gezeigt, mittels derer

sätzlichen Materialschicht 2Γ versehen sein. Durch eine fortlaufend senkrecht geführte Trägerunterlage die Dicke der Schicht 2Γ kann die gewünschte pro- beiderseits mit Überzügen versehen werden kann, zentuale Zusammensetzung des hergestellten Über- 15 Hierzu sind Motoren 60,60' mit Verdampfertiegeln zugs bestimmt werden. Die beiden Substanzen wer- 61,6Γ über Wellen 62, 62' verbunden, die durch den im geschmolzenen Zustand in der Rinne 22 ver- Vakuumdichtungen 63,63' geführt sind. Eine Rolle mischt, und zusätzlich erfolgt eine homogene Durch- 64 ist auf einem Bock 65 drehbar angeordnet und mischung der Dämpfe beider Substanzen innerhalb liefert einen fortlaufenden dünnen Materialstreifen des Schmelztiegels 13 durch Wärmediffusion. Es ist 20 66, beispielsweise aus Glas. Dieser wird durch eine jedoch ebenfalls möglich, den Draht 21 von vorn- Vakuumdichtung 67 hindurch in den Vakuumraum herein aus einer Legierung der gewünschten Zusam- 73 geführt und wird in diesem mittels Umlenkrollen mensetzung herzustellen. 68,69 senkrecht zwischen den einander gegenüber-

Unabhängig von der Wirkung des Reflektors 17 liegenden Verdampfertiegeln 61,6Γ hindurchgeführt, wird eine Bündelung der aus dem offenen Ende des 25 Der Materialstreifen 66 läuft dann durch eine wei-Verdampfertiegels 13 austretenden Dämpfe zu einem tere Vakuumdichtung 70 und über eine Umlenkrolle Dampfstrom bereits dadurch erreicht, daß die von 71 auf eine angetriebene Aufnahmerolle 72. Durch dem geschmolzenen Material 26 erzeugten Dämpfe die beiden Verdampfertiegel 61,61' wird der Matezunächst radial einwärts gerichtet sind und daher rialstreifen 66 auf beiden Seiten mit je einem Überdie bereits innerhalb des Verdampfertiegels 13 vor- 30 zug versehen, wobei diese verschiedene chemische handenen Dämpfe zur Mitte zusammendrängen und Zusammensetzung haben können. Der Vakuumraum in axialer Richtung beschleunigen. Die dadurch be- 73 ist von einem Gehäuse 74 umschlossen und wird wirkte Bündelung des Dampf stromes ist so stark, daß von einer Vakuumpumpe 75 evakuiert,
bei großflächigen Trägerunterlagen eine Zerstreuung Der Verdampfertiegel kann unter irgendeinem ge-

des Dampfstromes durch die in F i g. 3 gezeigte Aus- 35 wünschten Winkel feststehend oder schwenkbar anbildung des Reflektors nötig werden kann. geordnet sein. Bei dem in F ig. 7 gezeigten Ausfüh-

Bei dem in Fig. 4 ausschnittsweise gezeigten Ver- rungsbeispiel ist eine schwenkbare Vakuumdichtung dampfertiegel 13 werden Dämpfe von zwei Materia- 20 vorgesehen, so daß die Welle 19 gegenüber ihrem lien gleichzeitig erzeugt. An Stelle der Verwendung gezeigten horizontalen Verlauf in senkrechter Richeines Materials mit hohem Siedepunkt, wie Zir- 40 tung und innerhalb einer etwa horizontalen Ebene konium, wird ein Material verwendet, das bei Be- geschwenkt werden kann. Hierzu ist der Motor 18 triebstemperaturen siedet. Ein zweites, leichtes Ma- höhenverstellbar auf einem Rollenwagen 76 angeordterial siedet bereits bei geringerer Temperatur. Die net, der auf Rädern 77 läuft, die eine seitliche BeBetriebstemperatur kann dann so hoch sein, daß wegung des Rollenwagens 76 mit dem Motor 18 und beide Materialien verdampfen. So wird beispielsweise 45 damit eine etwa horizontale Schwenkung der Welle bei der Herstellung eines Überzugs aus einer Legie- 19 erlauben. Eine Schwenkung in senkrechter Richrung aus Niob und Zinn eine Niobstange 36 ge- tung kann durch Verstellen eines Stellantriebs in schmolzen, wodurch ein Ring 38 in der Rinne 22 ge- Form von Druckkolben 78 erzielt werden. Die Elekbildet wird, während eine Zinnstange 35 innerhalb tronenquelle 25 und eine Drahtzuführungsvorrichdes Rings 38 geschmolzen wird. Das flüssige Zinn 50 tung 79 sind an einem Befestigungsarm 80 befestigt, löst sich zu einem geringen Teil in dem Niob auf, um zusammen mit der Welle 19 und dem Verdampjedoch bildet der größere Teil einen Ring 37, der fertiegel 13 geschwenkt zu werden,
ringförmige Bereiche der Oberfläche des Niobs frei An Stelle der Anordnung des Verdampfertiegels

läßt. Die relativen Mengen der verdampften Mate- mit waagerechter oder etwa waagerechter Drehachse rialien werden bei gleichbleibender Zuführungs- 55 kann es in manchen Anwendungsfällen günstig sein, geschwindigkeit der Niobstange 36 durch die Zu- den Verdampfertiegel mit senkrechter Drehachse anführungsgeschwindigkeit der Zinnstange 35 gesteu- zuordnen. Ein entsprechendes Ausführungsbeispiel ert, da das Zinn nach seiner Zuführung praktisch ist in F i g. 8 gezeigt. Der Verdampfertiegel 13 ist sofort schmilzt und verdampft, während das Niob vollständig mit einem Futter 16 ausgekleidet und durch die nach der Verdampfung des Zinns übrig- 60 wird mit solcher Drehzahl angetrieben, daß nur ein bleibende Energie verdampft wird. Teil des geschmolzenen Materials 26 durch die Flieh-

In F i g. 5 ist gezeigt, wie Dämpfe zweier Materialien durch Anwendung einer geteilten Rinne 40
mit mindestens einer ringförmigen Zwischenwand 41
erhalten werden können. Die Zwischenwand 41 ist 65 bleibt. Daher bildet das geschmolzene Material 26 mit axial zum Verdampfertiegel 13 verlaufenden Ka- eine paraboloidförmige Innenoberfläche. Hierbei nälen 42 versehen, durch die hindurch sich das geschmolzene Material 43 mit dem höheren Schmelz

kraft an der Innenwand des Futters 16 anliegt, daß
aber ebenfalls geschmolzenes Material auf dem geschlossenen Ende des Verdampfertiegels 13 verkann ein Reflektor entfallen, da dessen Rolle von
der Innenoberfläche des geschmolzenen Materials

übernommen wird. Zusätzlich tritt der Vorteil auf, daß die Innenoberfläche gegenüber dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 und 2 vergrößert ist.

Nicht genannte Teile der Figuren entsprechen gemäß ihren Bezugszeichen denen der übrigen Figuren.

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Herstellen von Überzügen, insbesondere auf flächigen Trägerunterlagen, durch Vakuumaufdampfen von verdampfbarem Material aus einem an einem Ende offenen, axial zum offenen Ende in Drehung versetzten Verdampfertiegel, aus dem Dampf axial austritt,dadurch gekennzeichnet, daß der Ver- dampfertiegel so schnell gedreht wird, daß das geschmolzene verdampfbare Material durch die Zentrifugalkraft an der Innenseite des Verdampfertiegels gehalten wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Dampf durch heiße Oberflächen innerhalb des Verdampfertiegels zu einem gebündelten Strahl fokussiert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehung des Verdampfertiegels derart ausgeführt wird, daß das geschmolzene Material in seinem Inneren einen Ring bildet.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfertiegel um eine gegenüber der Vertikalen geneigte, insbesondere horizontale Achse in Drehung versetzt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß während der Drehung des Verdampfertiegels dessen Drehachse geschwenkt wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Material erhitzt wird, indem auf seine Oberfläche durch das offene Ende des Verdampfertiegels ein Elektronenstrahl gerichtet wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß weiteres zum Aufdampfen erforderliches Material in das geschmolzene Material im Verdampfertiegel eingeführt wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7 zum Herstellen von Überzügen aus Gemischen, insbesondere aus Legierungen, dadurch gekennzeichnet, daß ursprünglich ein Material verwendet wird, welches einen höheren Siedepunkt aufweist als das zusätzlich eingebrachte Material, und daß das ursprüngliche Material auf eine Temperatur zwischen den beiden Siedepunkten erhitzt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein aus zwei Substanzen mit verschiedenen Siedepunkten bestehendes zusätzliches Material eingeführt und das ursprüngliche Material auf eine Temperatur über den Siedepunkten dieser beiden Substanzen erhitzt wird.

10. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 9, umfassend ein einen Vakuumraum umschließendes Gehäuse, eine Vakuumpumpe zur Evakuierung des Vakuumraums und einen heizbaren, an einem Ende offenen Verdampfertiegel, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfertiegel im Vakuumraum drehbar angeordnet und mittels eines Motors (18) in schnelle Drehung versetzt ist und daß im Vakuumraum (11) Halterungen für eine Trägerunterlage (27) vorgesehen sind (Fig. 1,2).

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfertiegel (13) schwenkbar angeordnet ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet durch einen Reflektor (17) zum Fokussieren der Dampfteilchen zu einem axial aus dem offenen Ende des Tiegels gerichteten gebündelten Strahl (F i g. 2).

13. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet durch einen Reflektor (17) mit einer etwa kegelförmig in das Innere des Verdampfertiegels (13) ragenden Oberfläche (17') (Fig. 3).

14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor (17) in das geschlossene Ende des Verdampfertiegels eingesetzt ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfertiegel (13) mittels eines außerhalb des Vakuumraums (11) vorgesehenen Motors (18) über eine durch eine Vakuumdichtung (20) geführte Welle (19) in Drehung versetzt ist, daß die Vakuumdichtung (20) als Gelenkdichtung ausgeführt ist und daß der Motor (18) auf einem Rollenwagen (76) angeordnet und diesem gegenüber mittels eines Stellantriebs (78) in seiner Höhe verstellbar ist, derart, daß eine Höhenverstellung des Motors (18) eine Schwenkung der gemeinsamen Drehachse des Motors (18) und des Verdampfertiegels (13) bewirkt (Fig. 7).

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 15, gekennzeichnet durch eine Elektronenstrahlquelle (25), deren Elektronenstrahl (24) in das offene Ende des Verdampfertiegels (13) gerichtet ist (Fig.2).

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Verdampfertiegel (13) Wege (14) für den Umlauf von Kühlmitteln aufweist.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenoberfläche des Verdampfertiegels (13) mindestens eine umlaufende, nach innen offene Rinne (22, 40) zur Aufnahme des geschmolzenen Materials (37, 38; 43,44) aufweist (Fig. 4, 5).

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenoberfläche des Verdampfertiegels aus einem Futter (16) aus hochfeuerfestem Material besteht.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 19, gekennzeichnet durch einen Vakuumverschluß (23) zur Zuführung des zu verdampfenden Materials (21,21', 35,36,45,46) in den Verdampfertiegel.

21. Vorrichtung nach den Ansprüchen 18 und 20, dadurch gekennzeichnet, daß das zu verdampfende Material (21, 21', 35, 36,45,46) in Form eines Drahtes, einer Stange od. dgl. durch den Vakuumverschluß (23) hindurch in die nach innen offene Rinne (22,40) geführt ist.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 21 zum beidseitigen Bedampfen von senk-

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recht angeordneten Trägerunterlagen, insbesondere von Streifenmaterial, gekennzeichnet durch zwei in waagerechter Stellung auf gegenüberliegenden Seiten der zu bedampfenden Trägerunterlage (66) angeordnete Verdampfertiegel (61, 61').

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen