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DE102013219782A1 - Reinigungsanlage und verfahren zur reinigung von waschgut, insbesondere zur reinigung von halbleitermodulen - Google Patents

Reinigungsanlage und verfahren zur reinigung von waschgut, insbesondere zur reinigung von halbleitermodulen Download PDF

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DE102013219782A1
DE102013219782A1 DE201310219782 DE102013219782A DE102013219782A1 DE 102013219782 A1 DE102013219782 A1 DE 102013219782A1 DE 201310219782 DE201310219782 DE 201310219782 DE 102013219782 A DE102013219782 A DE 102013219782A DE 102013219782 A1 DE102013219782 A1 DE 102013219782A1
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Infineon Technologies AG
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Reinigungsanlage (1) zum Entfernen von Verunreinigungen von einem zu reinigenden Waschgut (4). Die Anlage (1) umfasst eine Waschgut-Reinigungszone (10) mit einem ersten Auffangbecken (15), eine Aerosolbindungszone (20) mit einem vom ersten Auffangbecken (15) verschiedenen zweiten Auffangbecken (25), eine Spülzone (30) mit einem vom ersten Auffangbecken (15) und vom zweiten Auffangbecken (25) verschiedenen dritten Auffangbecken (35), sowie eine Fördereinrichtung (5). Die Fördereinrichtung (5) ist dazu ausgebildet, das Waschgut (4) von der Waschgut-Reinigungszone (10) in die Aerosolbindungszone (20) und danach in die Spülzone (30) zu transportieren. Die Waschgut-Reinigungszone (10) dazu ausgebildet, das Waschgut (4) mit einer Reinigungsflüssigkeit (12) zu besprühen und die benutzte Reinigungsflüssigkeit (12) in dem ersten Auffangbecken (15) aufzufangen. Die Aerosolbindungszone (20) ist dazu ausgebildet, eine erste Spülflüssigkeit (22) in die Aerosolbindungszone (20) einzubringen und dadurch Aerosole, die sich in der Atmosphäre der Aerosolbindungszone (20) befinden, zu binden und die erste Spülflüssigkeit (22) mit den darin gebundenen Aerosolen als Abfallflüssigkeit (26) durch einen Abfluss (24) des zweiten Auffangbeckens (25) zu entsorgen. Die Spülzone (30) ist dazu ausgebildet, das zu reinigende Waschgut (4) zumindest teilweise von verbliebenen Verunreinigungen zu befreien, indem das in der Spülzone (30) befindliche Waschgut (4) mit einer zweiten Spülflüssigkeit (32) besprüht und die benutzte zweite Spülflüssigkeit (32) in dem dritten Auffangbecken (35) aufgefangen wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Reinigungsanlage, mittels der Waschgut von Verunreinigungen befreit werden kann. Bei dem Waschgut kann es sich beispielsweise um Halbleitermodule handeln, die von einem Flussmittel gereinigt werden sollen, das aufgrund eines vorangegangenen Lötprozess an den Halbleitermodulen anhaftet.
  • Reinigungsanlagen setzen heutzutage immer mehr auf neu entwickelte, biologisch abbaubare, wasserbasierte Reinigungsmedien, was nicht zuletzt auf die steigenden Ansprüchen an Nachhaltigkeit und Umweltverträglichkeit zurückzuführen ist, sowie auf entsprechende gesetzlichen Bestimmungen wie beispielsweise das Bundesimmissionsschutzgesetzes (BImSchG) in der Bundesrepublik Deutschland.
  • In Reinigungsanlagen ist bei der Nutzung von biologisch abbaubaren Reinigungsmedien eine im Vergleich zu nicht biologisch abbaubaren Reinigungsmedien erhöhte Bildung von Biomasse in den Anlagen zu beobachten, die sich beispielsweise darin äußert, dass Ventile, Filter und Zuleitungen etc. verstopfen und damit wesentliche Funktionen der Anlage beeinträchtigt sind.
  • Um diese Problematik in den Griff zu bekommen, bestehen bisherige Maßnahmen darin, die Reinigungsanlage präventiv turnusmäßig mit hoher Frequenz zu reinigen, oder aber, nachdem schon eine Funktionsstörung aufgetreten ist. Dabei werden jeweils Komplettreinigungen der Anlage sowie regelmäßige (bis zu tägliche) Filterwechsel durchgeführt. Aufgrund des meist komplexen Aufbaus sind viele Teile solcher Anlagen auch nur schwer zugänglich, so dass häufig eine teilweise Demontage erforderlich ist. Im Ergebnis führt dies zu erheblichen Stillstandszeiten, was nicht nur aber insbesondere dann von Nachteil ist, wenn die Reinigungsanlage quasi im Dauerbetrieb eingesetzt werden soll.
  • Die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe besteht darin, eine Reinigungsanlage und ein Verfahren zum Reinigen von Waschgut bereitzustellen, die bzw. das eine Reinigung von Waschgut ermöglicht, wobei die Reinigungsanlage und das Verfahren so ausgestaltet sind, dass die zur Wartung der Reinigungsanlage erforderlichen Stillstandszeiten signifikant kürzer sind als bei herkömmlichen Anlagen.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Reinigungsanlage gemäß Anspruch 1 bzw. durch ein Verfahren zum Reinigen von Waschgut gemäß Anspruch 9 gelöst. Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
  • Ein Aspekt der Erfindung betrifft eine Reinigungsanlage zum Entfernen von Verunreinigungen von einem zu reinigenden Waschgut. Die Reinigungsanlage umfasst eine Waschgut-Reinigungszone mit einem ersten Auffangbecken, eine Aerosolbindungszone mit einem vom ersten Auffangbecken verschiedenen zweiten Auffangbecken, eine Spülzone mit einem vom ersten Auffangbecken und vom zweiten Auffangbecken verschiedenen dritten Auffangbecken, und eine Fördereinrichtung. Die Fördereinrichtung ist dazu ausgebildet, das Waschgut von der Waschgut-Reinigungszone in die Aerosolbindungszone und danach in die Spülzone zu transportieren. Die Waschgut-Reinigungszone ist dabei dazu ausgebildet, das Waschgut mit einer Reinigungsflüssigkeit zu besprühen und die benutzte Reinigungsflüssigkeit in dem ersten Auffangbecken aufzufangen. Die Aerosolbindungszone ist dazu ausgebildet, eine erste Spülflüssigkeit in die Aerosolbindungszone einzubringen und dadurch Aerosole des Reinigers, die sich in der Atmosphäre der Aerosolbindungszone befinden, in der ersten Spülflüssigkeit zu binden und die erste Spülflüssigkeit mit den darin gebundenen Aerosolen durch einen Abfluss des zweiten Auffangbeckens zu entsorgen. Die Spülzone ist dazu ausgebildet, das zu reinigende Waschgut zumindest teilweise von verbliebenen Verunreinigungen und Resten der Reinigungsflüssigkeit, die am Waschgut anhaften, zu befreien, indem das in der Spülzone befindliche Waschgut mit einer zweiten Spülflüssigkeit besprüht und die benutzte zweite Spülflüssigkeit in dem dritten Auffangbecken aufzufangen wird.
  • Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen von Waschgut. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen einer Reinigungsanlage, wie sie vorangehend beschrieben wurde, das Bereitstellen eines von Verunreinigungen zu reinigenden Waschguts, das Bereitstellen einer Reinigungsflüssigkeit, die einen Reiniger enthält, das Bereitstellen einer ersten Spülflüssigkeit, das Bereitstellen einer zweiten Spülflüssigkeit und das Bereitstellen einer dritten Spülflüssigkeit. Das Waschgut wird in die Waschgut-Reinigungszone eingebracht und darin nachfolgend mit der Reinigungsflüssigkeit besprüht. Danach wird das Waschgut von der Waschgut-Reinigungszone in die Aerosolbindungszone transportiert. Aerosole des Reinigers, die aus der Waschgut-Reinigungszone in die Atmosphäre der Aerosolbindungszone verschleppt werden, werden durch eine erste Spülflüssigkeit, die in die Atmosphäre der Aerosolbindungszone eingebracht wird, gebunden. Danach wird die erste Spülflüssigkeit zusammen mit den darin gebundenen Aerosolen durch den Abfluss der Aerosolbindungszone abgeführt. Außerdem wird das Waschgut von der Aerosolbindungszone in die Spülzone transportiert. Dort wird das Waschgut vollständig oder zumindest teilweise von daran verbliebenen Resten der Reinigungsflüssigkeit befreit, indem das Waschgut mit der zweiten Spülflüssigkeit besprüht wird.
  • Das Grundprinzip der Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert. Die Zeichnungen dienen zur Erläuterung des Grundprinzips, so dass nur solche Aspekte dargestellt sind, die zum Verständnis des Grundprinzips notwendig sind. Die Zeichnungen sind nicht maßstabsgerecht. In den Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Merkmale.
  • 1A zeigt eine schematische Darstellung eines Beispiels einer Reinigungsanlage in Seitenansicht.
  • 1B zeigt einen Längsschnitt einer Aerosolbindungszone einer Reinigungsanlage in Seitenansicht
  • 1C zeigt einen Querschnitt der Aerosolbindungszone gemäß 1B.
  • 2 zeigt eine Ausgestaltung einer Reinigungsanlage, wie sie bereits unter Bezugnahme auf 1A erläutert wurde, bei der die Spülzone zwei Teilabschnitte umfasst.
  • 3 zeigt eine Ausgestaltung der Reinigungsanlage, die eine zweiteilige Spülzone aufweist.
  • In der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Figuren Bezug genommen, in denen das Prinzip der Erfindung anhand spezieller Ausführungsbeispiele erläutert wird. Die bei den verschiedenen Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale miteinander kombiniert werden, sofern nichts anderes angegeben ist.
  • 1A zeigt eine Seitenansicht einer Reinigungsanlage 1. Diese weist eine Waschgut-Reinigungszone 10 mit einem ersten Auffangbecken 15, eine Aerosolbindungszone 20 mit einem vom ersten Auffangbecken 15 verschiedenen zweiten Auffangbecken 25, sowie eine Spülzone 30 mit einem vom ersten Auffangbecken 15 und vom zweiten Auffangbecken 25 verschiedenen dritten Auffangbecken 35 auf. Außerdem umfasst die Reinigungsanlage 1 eine Fördereinrichtung 5, die dazu ausgebildet ist, das Waschgut 4 entlang einer Förderstrecke x von der Waschgut-Reinigungszone 10 in die Aerosolbindungszone 20 und danach in die Spülzone 30 zu transportieren. Bei der Förderstrecke x kann es sich wie dargestellt um eine gerade Strecke handeln, sie kann aber auch als beliebiger gerader und/oder gekrümmter Pfad ausgebildet sein.
  • Bei dem Waschgut 4 kann es sich beispielsweise um ein Halbleitermodul handeln, das einen Halbleiterchip 41 aufweist, sowie einen Schaltungsträger 42, auf dem der Halbleiterchip 41 montiert ist. Der Schaltungsträger 42 kann zum Beispiel eine Metallplatte sein, oder ein Keramiksubstrat mit einer dielektrische Keramikschicht, die auf zumindest einer Seite mit einer flächigen Metallisierungsschicht versehen ist.
  • Die von dem Waschgut 4 zu entfernende Verunreinigung kann zum Beispiel durch ein Flussmittel 43 gegeben sein, das bei einem vorangegangenen Lötprozess zur Herstellung des Halbleitermoduls verwendet wurde, beispielsweise zum Verlöten des Halbleiterchips 41 mit dem Schaltungsträger 42.
  • Unabhängig von der Art des Waschgutes 4 transportiert die Fördereinrichtung 5 das Waschgut 4 entlang der Förderstrecke x. Dabei durchläuft das Waschgut 4 die Waschgut-Reinigungszone 10. In dieser Waschgut-Reinigungszone 10 befinden sich erste Düsen 11, die entlang der und/oder quer zur Förderstrecke x angebracht sein können. Die Aufgabe der ersten Düsen 11 besteht darin, ein Reinigungsmedium 12, d. h. eine Reinigungsflüssigkeit, die den ersten Düsen 11 über eine Zuleitung 18 zugeführt wird, auf das in der Reinigungszone 10 befindliche Waschgut 4 aufzubringen, um Verunreinigungen 43 des Waschguts 4 von diesem zu entfernen. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 1A sind die ersten Düsen 11 in Gruppen ober- und unterhalb der Förderrichtung x des Waschguts 4 angebracht. Es kann jedoch jede beliebige räumliche Verteilung der ersten Düsen 11 in der Waschgut-Reinigungszone 10 gewählt werden.
  • Die ersten Düsen 11 sind über die Zuleitung 18 mit dem ersten Auffangbecken 15 verbunden. Das erste Auffangbecken 15 befindet sich unterhalb der Förderstrecke x und dient zum Auffangen der mit den Verunreinigungen 43 kontaminierten Reinigungsflüssigkeit 12. Die vom Waschgut 4 abgelaufene, mit den Verunreinigungen 43 kontaminierte Reinigungsflüssigkeit 12 wird in dem ersten Auffangbecken 15 aufgefangen. Von dort kann sie mittels einer ersten Pumpe 13 durch die Zuleitung 18 in die ersten Düsen 11 gepumpt und durch diese erneut in die Waschgut-Reinigungszone 10 gesprüht werden. Optional kann der ersten Pumpe 13 noch ein erster Filter 14 vorgeschaltet sein, durch die kontaminierte Reinigungsflüssigkeit 12 gefiltert und dadurch von einem Großteil der Verschmutzung 43 gereinigt wurde. Hierdurch kann ein wesentlicher Anteil der Reinigungsflüssigkeit 12 innerhalb der Reinigungsanlage 1 wiederverwendet werden. Das erste Auffangbecken 15 kann damit auch als Vorratstank für die Reinigungsflüssigkeit 12 dienen. Beispielsweise kann das erste Auffangbecken 15 optional ein Volumen von wenigstens 200 Liter aufweisen.
  • Die Reinigungsflüssigkeit 12 ist vollständig oder zumindest teilweise biologisch abbaubar. Der ungiftige Charakter solcher biologisch abbaubarer Reinigungsmedien kann in Reinigungsanlagen ein starkes Wachstum von Bakterien und/oder Pilzen begünstigen, da die in den Reinigungsmedien enthaltenen Reiniger als Nahrungsquelle für Keime dienen. Diese Keime gelangen beispielsweise durch die Atemluft von Menschen in das Prozessumfeld. Eine zusätzliche Keimquelle für ein Keimwachstum ist durch Wasser im Spülprozess gegeben, das im Allgemeinen nie vollständig keimfrei ist. Reinigungsmedien begünstigen in unterschiedlichem Ausmaß das Keimwachstum. Insbesondere können Reinigungsmedien in wässriger Phase mit darin befindlichen Feststoffen das Keimwachstum erhöhen. In der Waschgut-Reinigungszone 10 verhindert eine hohe Konzentration des Reinigers in der Reinigungsflüssigkeit 12 ein Ausbreiten von Keimen und Pilzen.
  • Bei herkömmlichen Reinigungsanlagen gemäß dem Stand der Technik würde das Waschgut 4 nach der Waschgut-Reinigungszone 10 eine Spülzone durchlaufen und darin mit einer wässrigen Spülflüssigkeit gespült werden, mit der Folge, dass durch die Spülflüssigkeit die Konzentration des in der Reinigungsflüssigkeit 12 enthaltenen Reinigers verringert und dadurch das Keimwachstum begünstigt würde. Dies wiederum würde eine Kontamination der Spülzone bedeuten, so dass ein Filter, mit dem die in der Spülzone anfallende Abfallflüssigkeit (d. h. eine Mischung mit der ursprünglichen Reinigungsflüssigkeit 12, der Spülflüssigkeit und der zu entfernenden Verschmutzung, z. B. als Abwasser) zur Wiederverwendung innerhalb der Reinigungsanlage gefiltert würde, sehr schnell verstopft wäre und aufwändig gereinigt werden müsste. Das Wachstum beginnt bereits oberhalb von 0°C, und die Wachstumsrate der Keime steigt dabei mit zunehmender Temperatur des Spülwassers exponentiell, so dass es bei üblichen Betriebstemperaturen zu einer erheblichen Keimbelastung kommt.
  • Mit der vorliegenden Erfindung wurde erkannt, dass bei herkömmlichen Anlagen ein Anteil der von der Waschgut-Reinigungszone 10 in eine nachfolgende Spülzone 30 transportierten Menge der Reinigungsflüssigkeit 12 und damit des Reinigers über die Atmosphäre erfolgt, die von der Waschgut-Reinigungszone 10 in die Spülzone 30 gelangt, und nicht nur dadurch, dass die Reinigungsflüssigkeit 12 an dem Waschgut 4 anhaftet und zusammen mit diesem von der Waschgut-Reinigungszone 10 in die nachfolgende Spülzone transportiert wird.
  • Die vorliegende Erfindung sieht daher vor, dass das Waschgut 4 nach dem Durchlaufen der Waschgut-Reinigungszone 10 und bevor es in eine Spülzone 30 eingebracht wird, noch eine Aerosolbindungszone 20 durchläuft. Die Aerosolbindungszone 20 dient dazu, den in der Atmosphäre der Aerosolbindungszone 20 enthaltenen Reiniger zu binden und über einen Abfluss 24 des zweiten Auffangbeckens 25 zu entsorgen, um zu verhindern, dass eine stark mit Reiniger angereicherte Atmosphäre in die Spülzone 30 gelangt.
  • Die Waschgut-Reinigungszone 10 und die Aerosolbindungszone 20 sind derart nacheinander angeordnet, dass ein Teil der in der Waschgut-Reinigungszone 10 befindlichen Atmosphäre in die Aerosolbindungszone 20 gelangt. Dabei ist auch eine Abtrennung der beiden Zonen 10 und 20 durch eine oder mehrere zwischen diesen Zonen 10 und 20 befindliche Schleuse(n) möglich, sodass ein Atmosphärenaustausch gegebenenfalls nur bei offener/offenen Schleuse(n) stattfinden kann. Allerdings kann auf derartige Schleusen auch verzichtet werden, d. h. die Zonen 10, 20 und 30 können ohne jeweils dazwischen befindliche Trennwände entlang der Förderstrecke x aufeinander folgend angeordnet sein. Der Transport des Waschguts 4 von der Waschgut-Reinigungszone 10 in die Aerosolbindungszone 20 kann beispielsweise kontinuierlich erfolgen (z. B. mittels einer als Förderband oder Förderbandkette mit mehreren Förderbändern ausgebildeten Fördereinrichtung 5), aber auch im so genannten „Batch“-Verfahren, bei dem der Transport des Waschguts 4 in diskreten Gruppen mit jeweils mehreren zu reinigenden Waschgut-Einheiten (im Beispiel mehrere Halbleitermodule) erfolgt, was beispielsweise mittels einer Fördereinrichtung 5 erfolgen kann, die einen Greifarm aufweist oder die als Greifarm ausgebildet ist.
  • In der Aerosolbindungszone 20 wird die erste Spülflüssigkeit 22 mittels einer oder mehrerer zweiter Düsen 21, denen die erste Spülflüssigkeit 22 über eine Zuleitung 28 zugeführt wird, verteilt. Hierdurch werden in der Atmosphäre der Aerosolbindungszone 20 befindliche Anteile (nachfolgend auch als "Reinigeraerosole" 23 bezeichnet) der Reinigungsflüssigkeit 12, die durch atmosphärischen Austausch von der Reinigungszone 10 in die Aerosolbindungszone 20 geraten, chemisch und/oder physikalisch durch die erste Spülflüssigkeit 22 gebunden, zusammen mit dieser in einem Auffangbecken 25 der Aerosolbindungszone 20 gesammelt und als Abfallflüssigkeit 26 über einen Abfluss 24 der Aerosolbindungszone 20 entsorgt werden. Die über die zweite(n) Düse(n) 21 in die Aerosolbindungszone 20 eingebrachte erste Spülflüssigkeit 22 kann dabei als Sprüh- oder Riesel- oder Flachstrahlvorhang ausgebildet sein, der zum Einen die in der Atmosphäre der Aerosolbindungszone 20 befindlichen Reinigeraerosole 23 bindet und aus der Aerosolbindungszone 20 abtransportiert, und der zum Anderen eine Barriere bildet, die einen atmosphärischen Austausch zwischen der Aerosolbindungszone 20 und der Spülzone 30 signifikant reduziert. Als "Sprühvorhang" wird ein Vorhang verstanden, der dadurch entsteht, dass die erste Spülflüssigkeit 22 mit Überdruck durch eine Vielzahl zweiter Düsen 21 gepresst wird. Entsprechend wird als "Rieselvorhang" ein Vorhang verstanden, der dadurch entsteht, dass die erste Spülflüssigkeit 22 ohne Überdruck durch eine Vielzahl zweiter Düsen 21 in die Aerosolbindungszone einläuft. Als "Flachstrahlvorhang" schließlich wird ein Vorhang verstanden, der im Wesentlichen als geschlossener Flüssigkeitsfilm ausgebildet ist, der von einer als Flachstrahldüse ausgebildeten zweiten Düse 21 abgegeben wird.
  • Grundsätzlich ist es bei einer Reinigungsanlage gemäß der vorliegenden Erfindung nicht erforderlich, dass der Abfluss 24 des zweiten Auffangbeckens 25 einen Filter enthält, wobei als Filter eine Vorrichtung angesehen wird, die so ausgebildet ist, dass sie alle festen Körper zurückhält, in deren Volumen sich eine Kugel mit einem Durchmesser von 1 Zoll (2,54 cm) unterbringen lässt". Die Abfallflüssigkeit 26 muß frei ohne Widerstand ablaufen können bzw. so, dass sie auch dann noch abläuft, wenn sich z. B. einmal größere Biomasse-Konglomerate im Bereich der Abflusszone gebildet haben sollten. Wie bei sämtlichen Ausgestaltungen der Erfindung kann die Reinigungsanlage 1 optional so ausgestaltet sein, dass die über den Abfluss 24 entsorgte Abfallflüssigkeit 26 innerhalb der Reinigungsanlage 1 nicht wieder verwendet wird. Beispielsweise kann die in dem zweiten Auffangbecken 25 aufgefangene Abfallflüssigkeit 26 über den Abfluss 24 direkt in die Kanalisation geleitet werden, oder über den Abfluss 24 in einen Auffangbehälter geleitet werden, der später ausgetauscht wird. Eine Aufbereitung der Abfallflüssigkeit 26 mittels eines dem Abfluss 24 folgenden, feinmaschigen oder feinporigen Filters kann also entfallen. Als erste Spülflüssigkeit 22 eignet sich beispielsweise Wasser, allerdings ist die erste Spülflüssigkeit 22 nicht auf Wasser beschränkt.
  • Wie weiterhin aus 1A hervorgeht, kann eine Reinigungsanlage 1 optional eine Absaugvorrichtung 27 aufweisen, die dazu ausgebildet ist, die in der Aerosolbindungszone 20 befindliche Atmosphäre kontinuierlich oder diskontinuierlich abzusaugen, sodass die (mit Reinigeraerosolen 23 kontaminierte) Atmosphäre nicht oder nur unwesentlich in Zonen eindringt, die an die Anlage angrenzen, wie z. B. in Reinräume, in denen Personal arbeitet. Durch das Absaugen soll kein vakuumähnlicher Zustand erreicht werden, sondern es soll ein Abzug bereitgestellt werden, damit die mit den Reinigeraerosolen 23 kontaminierte Atmosphäre der Aerosolbindungszone 20 nicht in andere Bereiche der Anlage wie zum Beispiel eine der Aerosolbindungszone 20 in Förderrichtung x nachfolgende Spülzone 30 eindringt.
  • Die Spülzone 30 weist dritte Düsen 31 auf, denen über eine Zuleitung 38 eine zweite Spülflüssigkeit 32 zugeführt wird. Mit Hilfe der dritten Düsen 31 wird das Waschgut 4 mit der zweiten Spülflüssigkeit 32 besprüht, um Verunreinigungen des Waschgutes 4 aus vorangehenden Prozessschritten (z. B. Reste von Reinigungsflüssigkeit 12 oder Flussmittel) zu entfernen. Entsprechend dem Ausführungsbeispiel gemäß 1A können die dritten Düsen 31 optional in Gruppen oberhalb und/oder unterhalb der Förderrichtung x des Waschguts 4 angebracht sein. Grundsätzlich können die dritten Düsen 31 jedoch beliebig angeordnet werden.
  • Optional können die dritten Düsen 31 über die Zuleitung 38 mit dem dritten Auffangbecken 35 verbunden sein. Das dritte Auffangbecken 35 befindet sich unterhalb der Fördereinrichtung 5 und dient als Sammelbehälter zum Auffangen der zweiten Spülflüssigkeit 32. Die vom Waschgut 4 abgelaufene zweite Spülflüssigkeit 32 wird dabei in dem dritten Auffangbecken 35 aufgefangen und mittels einer zweiten Pumpe 33 aus dem dritten Auffangbecken 35 in die Zuleitung 38 gepumpt und dann wieder zur Reinigung des Waschguts 4 verwendet. Dabei kann der zweiten Pumpe 33 optional ein zweiter Filter 34 vorgeschaltet sein.
  • Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel besteht die Spülzone 30 aus einem Abschnitt, es sind jedoch weitere Untergliederungen der Spülzone 30 möglich, was später anhand von 2 beispielhaft erläutert wird. Als zweite Spülflüssigkeit 32 kann beispielsweise Wasser verwendet werden, allerdings ist die zweite Spülflüssigkeit 32 nicht auf Wasser beschränkt.
  • Die Aufgabe der in der Aerosolbindungszone 20 verteilten ersten Spülflüssigkeit 22 besteht darin, die Reiniger-Aerosole 23, die aus der Reinigungszone 10 austreten, zu binden und dadurch zu verhindern, dass diese Aerosole 23 in die Spülzone 30 eingeschleppt werden. Enthält die Reinigungsflüssigkeit 12 zumindest teilweise einen biologisch abbaubaren Reiniger, so können bereits geringe Mengen des biologisch abbaubaren Reinigers zu starkem Keimwachstum und Pilzbildung in der Spülzone 30 beitragen, da der Bereich der Spülzone 30 wie bereits erwähnt aufgrund der gegebenenfalls geringen Reinigerkonzentration durch Keimbefall und dem daraus resultierenden Wachstum an Biomasse besonders gefährdet ist. Durch die Aerosolbindungszone 20 kann ein derartiges Wachstum an Biomasse in der Spülzone 30 zuverlässig vermieden werden. Die erforderliche Wartungshäufigkeit der Reinigungsanlage 1, beispielsweise zur Reinigung des zweiten Filters 34, kann dadurch verringert werden.
  • Ein Beispiel für eine mögliche Ausgestaltung einer Aerosolbindungszone 20 ist in 1B in einer Seitenschnittansicht dargestellt. Anhand dieser Darstellung soll die Möglichkeit verdeutlicht werden, dass durch den Einsatz einer oder mehrerer schwenkbarer zweiter Düsen 21 die räumliche Verteilung der von der oder den zweite(n) Düse(n) 21 abgegebenen ersten Spülflüssigkeit 22 über einen großen Volumenbereich der Aerosolbindungszone 20 eingestellt werden kann. Die Bezugszeichen entsprechen denen aus 1A. Entlang der Förderstrecke x wird das Waschgut 4 mittels der Fördereinrichtung 5 durch die Aerosolbindungszone 20 gefördert. Die Verteilung der ersten Spülflüssigkeit 22 erfolgt dabei wie bereits weiter oben erläutert über eine Zuleitung 28 zu der oder den zweiten Düse(n) 21, die gegenüber der Aerosolbindungszone 20 um einen Schwenkwinkel α schwenkbar eingestellt werden können, so dass die Sprührichtung relativ zur Aerosolbindungszone 20 verändert werden kann.
  • Dadurch lässt sich die Reinigungswirkung der Aerosolbindungszone 20 optimieren.
  • 1C zeigt eine Schnittansicht der Anordnung gemäß 1B quer zur Förderstrecke x. Bei dem Ausführungsbeispiel der 1B und 1C kann oder können die zweite(n) Düse(n) 21 um eine senkrecht zur Förderrichtung x verlaufende Achse a schwenkbar eingestellt werden. Dessen ungeachtet kann bzw. können die zweite(n) Düse(n) 21 aber auch auf beliebige andere Weise verschwenkbar oder aber nicht verschwenkbar sein.
  • Entsprechend einer in 2 veranschaulichten optionalen Ausgestaltung der Erfindung kann die Spülzone 30 zwei Spülzonenabschnitte 30', 30'' aufweisen. Zur Vereinfachung sind die Reinigungszone 10 und die Aerosolbindungszone 20 in diesem Ausführungsbeispiel schmaler und lediglich schematisch angedeutet. Die Reinigungszone 10 und die Aerosolbindungszone 20 können jedoch ebenso ausgestaltet sein, wie dies vorangehend unter Bezugnahme auf die 1A bis 1C bereits erläutert wurde. Die Spülzone 30 weist Spülzonenabschnitte 30’ und 30’’ auf, von denen jeder wie die bezugnehmend auf 1A erläuterte Spülzone 30 ein Auffangbecken 35’ bzw. 35’’, einen Filter 34’ bzw. 34’’, eine Pumpe 33’ bzw. 33’’, eine Zuleitung 38’ bzw. 38’’, sowie Düsen 31’ bzw. 31’’ aufweist. Den Düsen 31' kann über eine Zuleitung 38' eine zweite Spülflüssigkeit 32’ zugeführt werden. Entsprechend kann den Düsen 32'' über eine Zuleitung 38'' eine dritte Spülflüssigkeit 32’’ zugeführt werden. Der erste Spülzonenabschnitt 30’ in diesem Ausführungsbeispiel entspricht dabei der Spülzone 30 aus dem Ausführungsbeispiel gemäß 1A. Als zweite Spülflüssigkeit 32’ des ersten Spülzonenabschnitts kann die bereits unter Bezugnahme auf 1A erläuterte Spülflüssigkeit 32 eingesetzt werden. Im zweiten Spülzonenabschnitt 30’’ kann als dritte Spülflüssigkeit 32’’ Reinstwasser (d. h. VE-Wasser mit einem Leitwert < 10 µS und partikelgefiltert auf < 25 µm) eingesetzt werden, um den Reinigungseffekt am Ende des Reinigungsvorgangs zu verbessern. Als dritte Spülflüssigkeit 32'' muss jedoch nicht zwingend Reinstwasser gewählt werden. In 2 befinden sich die Pumpe 33’, der Filter 34’ und die Zuleitung 38’ innerhalb des Spülzonenabschnitts 30’. Allerdings können sich diese Komponenten auch an einer beliebigen anderen Stelle der Reinigungsanlage 1 befinden. Entsprechendes gilt auch für die Anordnung der Pumpe 33'', des Filters 34'' und der Zuleitung 38'' bezügliche des zweiten Spülzonenabschnitts 30’’.
  • 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei dem die erste Spülflüssigkeit 22, die der Aerosolbindungszone 20 über die Zuleitung 28 und die zweite(n) Düse(n) 21 zugeführt wird, durch die in dem Auffangbecken 35'' gesammelte und eventuell kontaminierte dritte Spülflüssigkeit 32'' gegeben ist. Hierzu ist die Zuleitung 28 mit dem Auffangbecken 35'' verbunden. Ein Vorteil dieser Ausführung besteht darin, dass ein Teil der verwendeten Flüssigkeit Reinigung der Atmosphäre der Aerosolbindungszone 20 verwendet werden kann und so Flüssigkeit gespart wird, da keine erste Spülflüssigkeit 22 zusätzlich bereitgestellt werden muss.
  • Optional können ein weiterer Filter 34''' und/oder eine weitere Pumpe 33''' vorgesehen sein, um die in dem Auffangbecken 35'' gesammelte und eventuell kontaminierte dritte Spülflüssigkeit 32'' der Leitung 28 und nachfolgend der bzw. den zweiten Düse(n) 21 zuzuführen.

Claims (15)

  1. Reinigungsanlage (1) zum Entfernen von Verunreinigungen von einem zu reinigenden Waschgut (4), wobei die Reinigungsanlage (1) Folgendes umfasst: eine Waschgut-Reinigungszone (10) mit einem ersten Auffangbecken (15), eine Aerosolbindungszone (20) mit einem vom ersten Auffangbecken (15) verschiedenen zweiten Auffangbecken (25), das einen Abfluss (24) aufweist, eine Spülzone (30) mit einem vom ersten Auffangbecken (15) und vom zweiten Auffangbecken (25) verschiedenen dritten Auffangbecken (35), eine Fördereinrichtung (5), die dazu ausgebildet ist, das Waschgut (4) von der Waschgut-Reinigungszone (10) in die Aerosolbindungszone (20) und danach in die Spülzone (30) zu transportieren, wobei die Waschgut-Reinigungszone (10) dazu ausgebildet ist, das Waschgut (4) mit einer Reinigungsflüssigkeit (12) zu besprühen und die benutzte Reinigungsflüssigkeit (12) in dem ersten Auffangbecken (15) aufzufangen, die Aerosolbindungszone (20) dazu ausgebildet ist, eine erste Spülflüssigkeit (22) in die Aerosolbindungszone (20) einzubringen und dadurch Aerosole, die sich in der Atmosphäre der Aerosolbindungszone (20) befinden, zu binden und die erste Spülflüssigkeit (22) mit den darin gebundenen Aerosolen als Abfallflüssigkeit (26) durch den Abfluss (24) zu entsorgen; die Spülzone (30) dazu ausgebildet ist, das zu reinigende Waschgut (4) zumindest teilweise von verbliebenen Verunreinigungen und Resten der Reinigungsflüssigkeit (12), die am Waschgut (4) anhaften, zu befreien, indem das in der Spülzone (30) befindliche Waschgut (4) mit einer zweiten Spülflüssigkeit (32) besprüht und die benutzte zweite Spülflüssigkeit (32) in dem dritten Auffangbecken (35) aufgefangen wird.
  2. Reinigungsanlage gemäß Anspruch 1, die dazu ausgebildet ist, die dem ersten Auffangbecken (15) aufgefangene und nachfolgend durch einen ersten Filter (14) gefilterte Reinigungsflüssigkeit (12) zur erneuten Verwendung als Reinigungsflüssigkeit (12) zu nutzen.
  3. Reinigungsanlage gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, die dazu ausgebildet ist, die Reinigungsflüssigkeit (12) in der Waschgut-Reinigungszone (10) mittels erster Düsen (11) auf das Waschgut (4) aufzubringen.
  4. Reinigungsanlage gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, die eine oder mehrere zweite Düsen (21) zum Einbringen der ersten Spülflüssigkeit (22) in die Aerosolbindungszone (20) aufweist.
  5. Reinigungsanlage gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, die dazu ausgebildet ist, die in dem dritten Auffangbecken (35) aufgefangene und nachfolgend durch einen zweiten Filter (34) gefilterte zweite Spülflüssigkeit (32) zur erneuten Verwendung als zweite Spülflüssigkeit (32) zu nutzen.
  6. Reinigungsanlage gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, die dazu ausgebildet ist, die erste Spülflüssigkeit (22) mit den darin gebundenen Aerosolen als Abfallflüssigkeit (26) durch den Abfluss (24) zu entsorgen, ohne die Abfallflüssigkeit (26) in der Reinigungsanlage (1) wiederzuverwerten.
  7. Reinigungsanlage gemäß einem der vorangehenden Ansprüchen, die dazu ausgebildet ist, die zweite Spülflüssigkeit (32) mittels dritter Düsen (31) auf das Waschgut (4) aufzubringen.
  8. Reinigungsanlage gemäß einem der vorangehenden Ansprüche mit einer Absaugvorrichtung (27) zur Absaugung der in der Aerosolbindungszone (20) befindlichen Atmosphärenbestandteile.
  9. Verfahren zum Reinigen von Waschgut (4) umfassend die folgenden Schritte: Bereitstellen einer gemäß einem der vorangehenden Ansprüche ausgestalteten Reinigungsanlage; Bereitstellen eines von Verunreinigungen zu reinigenden Waschguts (4); Bereitstellen einer einen Reiniger aufweisenden Reinigungsflüssigkeit (12); Bereitstellen einer ersten Spülflüssigkeit (22); Bereitstellen einer zweiten Spülflüssigkeit (32); Einbringen des Waschguts (4) in die Waschgut-Reinigungszone (10) und nachfolgendes Besprühen des in der Waschgut-Reinigungszone (10) befindlichen Waschguts (4) mit der Reinigungsflüssigkeit (12) und nachfolgendes Transportieren des Waschguts (4) von der Waschgut-Reinigungszone (10) in die Aerosolbindungszone (20); Binden von Aerosolen (23) des Reinigers, die aus der Waschgut-Reinigungszone (10) in die Atmosphäre der Aerosolbindungszone (20) verschleppt werden, durch Einbringen der ersten Spülflüssigkeit (22) in die Atmosphäre der Aerosolbindungszone (20) und nachfolgendes Entsorgen der ersten Spülflüssigkeit (22) zusammen mit den darin gebundenen Aerosolen (23) als Abfallflüssigkeit (26) durch den Abfluss (24); und Transportieren des Waschguts (4) von der Aerosolbindungszone (20) in die Spülzone (30), in der das Waschgut (4) vollständig oder zumindest teilweise von daran verbliebenen Resten der Reinigungsflüssigkeit (12) befreit wird, indem das in der Spülzone (30) befindliche Waschgut (4) mit der zweiten Spülflüssigkeit (32) besprüht wird.
  10. Verfahren gemäß Anspruch 9, bei dem die durch den Abfluss (24) entsorgte Abfallflüssigkeit (26) in der Reinigungsanlage (1) nicht wieder verwendet wird.
  11. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 109 oder 12, bei dem die Spülzone (30) einen ersten Spülzonenabschnitt (30’) und einen zweiten Spülzonenabschnitt (30’’) aufweist, wobei das Waschgut (4) im ersten Spülzonenabschnitt (30') mit der zweiten Spülflüssigkeit (32) und im zweiten Spülzonenabschnitt (30’’) mit einer dritten Spülflüssigkeit (32’’) besprüht wird.
  12. Verfahren gemäß Anspruch 11, bei dem die dritte Spülflüssigkeit (32’’) gesammelt und als erste Spülflüssigkeit (22) in der Aerosolbindungszone (20) wiederverwendet wird.
  13. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 12, bei dem der Reiniger vollständig oder zumindest teilweise biologisch abbaubar ist.
  14. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 13, bei dem das zu reinigende Waschgut (4) Elektronikbaugruppen sind, die jeweils einen dielektrischen, keramischen Schaltungsträger (42) und einen auf diesem montierten Halbleiterchip (41) aufweisen, und die Verunreinigungen durch ein Flussmittel (43) gegeben sind.
  15. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 9 bis 14, bei dem die in die Atmosphäre der Aerosolbindungszone (20) eingebrachte erste Spülflüssigkeit (22) einen Sprühvorhang oder einen Rieselvorhang oder einen Flachstrahlvorhang bildet.
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