DE102012209051A1

DE102012209051A1 - Receiving a coating material in vacuum coating plants by a cover on a side of a planar substrate, comprises moving the cover such that it permanently receives a part of the coating material non-absorbed by the substrate

Info

Publication number: DE102012209051A1
Application number: DE201210209051
Authority: DE
Inventors: Mirko Kehr; Martin Weinke
Original assignee: Roth and Rau AG
Current assignee: Meyer Burger Germany GmbH
Priority date: 2012-05-30
Filing date: 2012-05-30
Publication date: 2013-12-05

Abstract

Receiving a coating material in vacuum coating plants by a cover on a side of a planar substrate (1), facing away from the coating device, comprises moving the cover such that it permanently receives a part of the coating material non-absorbed by the substrate. An independent claim is also included for an apparatus used in a coating chamber for shielding a part of the substrate and/or a wall of the coating chamber against undesirable coating, comprising a cover on the side of the substrate, facing away from the coating apparatus. The cover is movable, and the device is designed such that the coated portion of the cover is automatically moved before the material thickness of the deposited material increases such that the material is peeled off.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren, wie kritische Anlagenteile von einer ungewollten Beschichtung während der Halbleiter-, insbesondere der Solarzellenproduktion bewahrt werden können. Weiterhin werden die dazu notwendigen anlagentechnischen Vorrichtungen offenbart.The present invention relates to a method of how critical parts of the system can be preserved by an unwanted coating during semiconductor, in particular solar cell production. Furthermore, the equipment required for this purpose are disclosed.

Die Beschichtung der Oberflächen von Substraten, in der Halbleiter- und insbesondere in der Solarzellenproduktion erfolgt häufig im Vakuum mittels verschiedener Verfahren, die der Gruppe der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren) zuzurechnen sind. Hierzu gehören insbesondere Sputtern, Elektronen- und Laserstrahlverdampfen, thermisches Verdampfen etc.The coating of the surfaces of substrates, in the semiconductor and in particular in the solar cell production is often carried out in a vacuum by means of various methods, which are attributable to the group of physical vapor deposition (PVD method). These include in particular sputtering, electron and laser beam evaporation, thermal evaporation, etc.

Die PVD-Verfahren ermöglichen es, auf den Substraten, die üblicherweise als flächige runde oder polygonale Wafer vorliegen, dünne Schichten eines gewünschten Materials, üblicherweise Metalle oder Legierungen, aber auch Oxide und andere Nichtleiter, abzuscheiden.The PVD processes make it possible to deposit thin layers of a desired material, usually metals or alloys, but also oxides and other nonconductors, on the substrates, which are usually in the form of flat round or polygonal wafers.

In modernen Anlagen laufen dazu die Substrate bzw. Substratgruppen kontinuierlich oder schrittweise (sequentiell) durch die Behandlungsanlagen, in denen die Beschichtung erfolgt. Bevorzugt erfolgt dieser Durchlauf in horizontaler Lage der Substrate, wobei die Beschichtung von unten und/oder von oben erfolgt. Es ist jedoch auch eine Beschichtung in aufrechter Position der Substrate bei seitlicher Beschichtung bekannt.In modern systems, the substrates or substrate groups run continuously or stepwise (sequentially) through the treatment plants in which the coating takes place. This pass preferably takes place in a horizontal position of the substrates, the coating taking place from below and / or from above. However, a coating in the upright position of the substrates in the case of lateral coating is also known.

In der Solarzellenherstellung erfolgt die Beschichtung überwiegend auf horizontal angeordnete flächige Substrate, wobei die Beschichtungsvorrichtungen unterhalb oder oberhalb der Transportvorrichtung der Substrate angeordnet sind. Die Substrate sind dabei flach und weisen eine runde oder polygonale Umfangsform auf. Die Substrate werden einzeln oder in Gruppen in sogenannten Wafercarriern (Transportrahmen) horizontal mittels einer Transportvorrichtung durch die Beschichtungskammer bewegt. Die Beschichtungskammer ist dabei als Vakuumkammer ausgebildet. Die Bewegung erfolgt bevorzugt kontinuierlich, kann jedoch auch abschnittsweise erfolgen, so dass ein Substrat oder eine Gruppe von Substraten unter bzw. über der Beschichtungsvorrichtung verharrt, bis die angestrebte Schichtdicke erreicht ist und ein Weitertransport erfolgt.In solar cell production, the coating is predominantly carried out on horizontally arranged flat substrates, the coating devices being arranged below or above the transport device of the substrates. The substrates are flat and have a round or polygonal peripheral shape. The substrates are moved individually or in groups in so-called Wafercarriern (transport frame) horizontally by means of a transport device through the coating chamber. The coating chamber is designed as a vacuum chamber. The movement preferably takes place continuously, but can also take place in sections, so that a substrate or a group of substrates remains under or above the coating device until the desired layer thickness has been reached and further transport takes place.

Als problematisch hat sich erwiesen, dass sich das Beschichtungsmaterial auch auf Anlagenteilen im Inneren der Beschichtungskammer ablagert und nicht nur auf dem Substrat. Schlechte Haftung der sich ausbildenden Schichten auf anderen Anlagenteilen führen ab einer gewissen kritischen Materialdicke zum Abplatzen von der Oberfläche insbesondere aufgrund innerer Spannungen. Insbesondere bei einer Beschichtung horizontal bewegter Substrate von unten ist dies von Nachteil, da auch Anlagenteile, die oberhalb der durchlaufenden Substrate liegen mit beschichtet werden. Von diesen Anlagenteilen platzen die Beschichtungsbestandteile ab und fallen auf die Substrate herab. Dies hat nachteilige Auswirkungen auf den aktuellen oder die folgenden Behandlungsschritte und reduziert die Ausbeute des Produktionsprozesses. It has proven to be problematic that the coating material also deposits on parts of the system inside the coating chamber and not only on the substrate. Poor adhesion of the forming layers on other parts of the system lead to a certain critical material thickness from flaking off the surface, in particular due to internal stresses. This is disadvantageous, in particular when coating substrates moving horizontally from below, since plant components which lie above the continuous substrates are also coated. From these parts of the installation, the coating components break down and fall down onto the substrates. This has adverse effects on the current or subsequent treatment steps and reduces the yield of the production process.

Das genannte Problem ist insbesondere akut, wenn die Substrate bzw. Wafercarrier, die aufeinanderfolgend einer Behandlung unterzogen werden, beim Transport einen Zwischenraum freigeben, durch den Beschichtungsmaterial an die Oberseite der Behandlungskammer gelangen und sich dort niederschlagen kann. Durch diesen Zwischenraum kommt es ebenfalls zu einem unerwünschten Plasmaumgriff, durch den Teile der Rückseite des Substrats unbeabsichtigt beschichtet werden können.The said problem is particularly acute when the substrates or wafer carriages, which are successively subjected to a treatment, release a space during transport through which coating material can reach the top of the treatment chamber and precipitate there. This gap also leads to an unwanted plasma gripping through which parts of the rear side of the substrate can be unintentionally coated.

Bisher wurden zur Behebung dieses Problems häufige Reinigungszyklen notwendig, in denen die unerwünschten Ablagerungen im Inneren der Beschichtungskammern entfernt wurden. Dies verkürzt natürlich die verfügbare Produktionszeit der Anlage.Previously, to alleviate this problem, frequent cleaning cycles were required in which the unwanted deposits inside the coating chambers were removed. This of course shortens the available production time of the plant.

Eine andere Lösung des Problems wird in der DE 10 2010 027 874 A1 vorgeschlagen. Diese sieht vor, im Bereich der Beschichtungsanlage, insbesondere oberhalb des Substratweges eine Materialauffangvorrichtung anzuordnen. Damit die Materialauffangvorrichtung mehr Material als die vorliegende Kammerwand aufnehmen kann, wird die Oberfläche der Materialauffangvorrichtung vergrößert, indem ein Fasermaterial eingesetzt wird, dass ein teilweises Eindringen des Beschichtungsmaterials in das Fasergewirr ermöglicht. Die Materialauffangvorrichtung muss nur selten gewechselt werden und ermöglicht dies auch sehr schnell, indem diese von einem Träger abgezogen und die neue unverbrauchte Materialauffangvorrichtung über diesen gestülpt wird. Nachteilig an dieser Materialauffangvorrichtung ist, dass sich im Inneren des Fasergewirrs eine große Staubmenge sammeln kann, die beim Wechsel in die Vakuumkammer eingebracht wird und dort für Verunreinigungen sorgen kann. Darüber hinaus ist damit zu rechnen, dass beim Überstülpen der Materialauffangvorrichtung Faserbruch entsteht, der ebenfalls zu Verunreinigungen führt. Darüber hinaus ist beim Wechsel aufgrund der zu erwartenden Erschütterungen mit einem verstärkten Abplatzen der Beschichtung von dem Fasermaterial zu rechnen. Nicht zuletzt ermöglicht die stochastische Verteilung der Fasern keine zuverlässige Vorhersage, nach welcher Betriebsdauer ein Abplatzen einsetzt und die Auffangvorrichtung somit ausgetauscht werden muss.Another solution to the problem will be in the DE 10 2010 027 874 A1 proposed. This provides, in the region of the coating system, in particular above the substrate path to arrange a material collecting device. In order for the material catcher to receive more material than the present chamber wall, the surface area of the material catcher is increased by employing a fibrous material that allows partial penetration of the coating material into the fiber tangle. The material catcher rarely needs to be changed and also makes it possible to do this very quickly by pulling it off a carrier and putting it over the new unused material catcher. A disadvantage of this material collecting device that can collect a large amount of dust inside the Fasergewirrs, which is introduced during the change in the vacuum chamber and can provide there impurities. In addition, it is to be expected that the slippage of the material catcher fiber breakage arises, which also leads to contamination. In addition, when changing due to the expected vibrations with a greater flaking of the coating of the fiber material is expected. Last but not least, the stochastic distribution of the fibers does not allow a reliable prediction as to how long a chipping period will take, and thus the collecting device has to be replaced.

Es stellt sich somit die Aufgabe, ein Verfahren und eine Anordnung vorzuschlagen, die geeignet sind, die unerwünschte Beschichtung der Vakuumkammer oberhalb des Substrattransportweges oder einen Plasmaumgriff zu verhindern oder zu reduzieren und dabei das eingesammelte Material zuverlässig zu bewahren. It is therefore the object to propose a method and an arrangement which are suitable for preventing or reducing the unwanted coating of the vacuum chamber above the substrate transport path or a plasma handle and thereby reliably retaining the collected material.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mittels eines Verfahrens nach Anspruch 1 gelöst. Zur Durchführung des Verfahrens ist eine Vorrichtung nach Anspruch 5 geeignet. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den rückbezogenen Unteransprüchen beschrieben.According to the invention the object is achieved by means of a method according to claim 1. For carrying out the method, a device according to claim 5 is suitable. Advantageous developments are described in the dependent claims.

Das erfindungsgemäße Verfahren sieht vor, Bereiche der Beschichtungskammer, die sich oberhalb des Transportweges der Substrate und oberhalb der einen oder mehreren Beschichtungsvorrichtungen befinden, mittels einer beweglichen Abdeckung vor Beschichtung zu schützen, wobei diese Abdeckung automatisch erneuert wird, bevor die Materialdicke, des abgeschiedenen Materials so weit anwächst, dass dieses abplatzen könnte. Die Erneuerung der Abdeckung erfolgt, indem die Abdeckung weiterbewegt wird, so dass Bereiche der Abdeckung, die ausreichend mit Material bedeckt sind weiterbewegt werden und neue, unbeladene Abschnitte der Abdeckung die zu schützenden Bereiche der Beschichtungskammer abdecken. Auf diese Weise wird das Beschichtungsmaterial dauerhaft an der Abdeckung angelagert und blättert nicht ab, da die dazu notwendige Materialdicke nicht erreicht wird. Die Weiterbewegung der Abdeckung erfolgt kontinuierlich oder sequentiell. Vorteilhaft wird so der Teil des Beschichtungsmaterials, das nicht von zu beschichtenden Seite der Substrate aufgenommen wird und auf die der Beschichtungsvorrichtung abgewandten Seite des Substrats gelangt ist, von der Abdeckung aufgenommen.The method according to the invention provides for protecting regions of the coating chamber which are above the transport path of the substrates and above the one or more coating devices from coating by means of a movable cover, this cover being renewed automatically before the material thickness of the deposited material is so it is growing so much that it could flake off. The renewal of the cover is accomplished by advancing the cover so that areas of the cover that are sufficiently covered with material are advanced and new, unloaded portions of the cover cover the areas of the coating chamber to be protected. In this way, the coating material is permanently attached to the cover and does not flake off because the necessary material thickness is not achieved. The further movement of the cover takes place continuously or sequentially. Advantageously, the part of the coating material which is not picked up by the side of the substrates to be coated and which has reached the side of the substrate facing away from the coating device is thus picked up by the cover.

Das Problem des Plasmaumgriffes tritt auch bei vertikal transportierten Substraten auf, während hier das Abplatzen und Herabfallen von Beschichtungsmaterial eine geringere Rolle spielt. Die Anordnung erfolgt somit im allgemeinsten Fall so, dass zwischen der Beschichtungsvorrichtung und der erfindungsgemäßen Abdeckung die Substrate transportiert werden, wobei die Beschichtungsvorrichtung und die erfindungsgemäße Abdeckung auf einer Linie, senkrecht zu den Substraten einander gegenüberliegen. Die im Folgenden beschriebenen Ausführungsformen sind somit auch in anderen als den in beschrienen Lagen einsetzbar und insbesondere sowohl für horizontal als auch für vertikal beschichtete Substrate nutzbar.The problem of plasma gripping also occurs with vertically transported substrates, while here the spalling and falling off of coating material plays a lesser role. The arrangement is thus carried out in the most general case so that the substrates are transported between the coating device and the cover according to the invention, wherein the coating device and the cover according to the invention on a line, perpendicular to the substrates face each other. The embodiments described below can thus also be used in other than in beschrienen layers and in particular for both horizontally and vertically coated substrates usable.

Die Abdeckung ist wechselbar gestaltet und kann nach ihrer Standzeit im Rahmen der turnusmäßig stattfindenden Wartungen der Beschichtungskammer ausgetauscht werden.The cover is designed changeable and can be replaced after their lifetime in the context of regular maintenance of the coating chamber.

1. Ausführungsform mit Folie1st embodiment with foil

Bei der Bewegung von Substraten oder Substratträgern (im Folgenden verkürzt ebenfalls als Substrate bezeichnet) durch die Beschichtungskammer entsteht zwischen den aufeinanderfolgenden Substraten ein Spalt, durch den besonders leicht Beschichtungsmaterial in den Raum oberhalb der Substrate dringt. Dieser Spalt ist somit als Hauptquelle der unbeabsichtigten Beschichtung oberhalb der Substrate anzusehen. Erfindungsgemäß ist in einer ersten bevorzugten Ausführungsform vorgesehen, dass oberhalb der Substrate und der Beschichtungsvorrichtung als Abdeckung eine Folie aufgespannt ist, auf der sich weitestgehend das gesamte Beschichtungsmaterial niederschlägt, durch den Spalt zwischen den Substraten dringt. Die Länge der Folie übersteigt dabei bevorzugt die der Beschichtungsvorrichtung. Falls mehrere Beschichtungsvorrichtungen vorhanden sind, können eine oder mehrere Folienanordnungen vorgesehen sein. Die Breite der Folie entspricht mindestens der Breite des unter ihr transportierten Substrats. Der Abstand der Folie zum Substrat beträgt bevorzugt wenige Zentimeter. Er ist bevorzugt 0,2 cm bis 20 cm, besonders bevorzugt 0,5 cm bis 10 cm und ganz besonders bevorzugt 1 cm bis 2 cm groß. Unter Abstand wird hier die geringste Distanz zwischen Folie und Substrat, über die gesamte Länge der Folie gesehen, verstanden.During the movement of substrates or substrate carriers (also abbreviated to substrates below) through the coating chamber, a gap is formed between the successive substrates, through which coating material penetrates particularly easily into the space above the substrates. This gap is thus to be regarded as the main source of unintentional coating above the substrates. According to the invention it is provided in a first preferred embodiment that above the substrates and the coating device as a cover, a film is stretched on which largely the entire coating material is deposited, penetrates through the gap between the substrates. The length of the film preferably exceeds that of the coating device. If multiple coating devices are present, one or more foil assemblies may be provided. The width of the film corresponds at least to the width of the substrate transported under it. The distance between the film and the substrate is preferably a few centimeters. It is preferably 0.2 cm to 20 cm, more preferably 0.5 cm to 10 cm and most preferably 1 cm to 2 cm in size. Spacing is understood here to mean the smallest distance between film and substrate, over the entire length of the film.

Die automatische Erneuerung der Abdeckung erfolgt, indem die Folie, vorzugsweise parallel zur Transportrichtung der Substrate, bewegt wird. Besonders bevorzugt erfolgt die Bewegung in Transportrichtung, wobei die Gegenrichtung bzw. eine Richtung senkrecht zur Transportrichtung prinzipiell ebenfalls möglich sind. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist zwei zylindrische Wickelkörper (Walzen) auf. Vom zweiten Wickelkörper wird Folie abgespult, während der erste Wickelkörper diese in gleicher Länge aufwickelt. Vorzugsweise wird der erste Wickelkörper angetrieben, während der zweite eine permanente Abbremsung erfährt, die jedoch den zweiten Wickelkörper nicht vollständig stoppen kann. Auf diese Weise erfolgt die Abwicklung der Folie so, dass diese permanent unter mechanischer Spannung steht und nicht übermäßig durchhängt. Angetrieben wird die erste Walze bevorzugt durch einen Elektromotor mit Getriebe, einen Schrittmotor oder durch eine mechanische Vorrichtung nach dem Stand der Technik. The automatic renewal of the cover takes place by moving the film, preferably parallel to the transport direction of the substrates. Particularly preferably, the movement takes place in the transport direction, wherein the opposite direction or a direction perpendicular to the transport direction are also possible in principle. The device according to the invention has two cylindrical winding bodies (rolls). From the second bobbin, the film is unwound, while the first bobbin wound this same length. Preferably, the first bobbin is driven, while the second experiences a permanent deceleration, but can not completely stop the second bobbin. In this way, the development of the film takes place so that it is permanently under mechanical tension and does not sag excessively. The first roller is preferably driven by a geared electric motor, a stepping motor or by a mechanical device according to the prior art.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist zwischen erstem Wickelkörper und den unter dieser vorbeibewegten Substraten eine Auffangvorrichtung, bevorzugt als flächiger Einschub, vorgesehen, der Beschichtungsmaterial, dass von der Folie beim Aufwickeln abgelöst wird, auffängt. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind der erste und optional auch der zweite Wickelkörper in kassettenartigen Vorrichtungen untergebracht, die vorteilhaft jeweils in Gesamtheit gewechselt werden können. Dies verhindert, dass beim Aufwickeln oder auch beim Wechseln durch Erschütterungen abgelöstes Material die Beschichtungskammer verunreinigt.In a preferred embodiment, a collecting device, preferably as a planar insert, is provided between the first winding body and the substrates moved past it, the coating material being from the film at the Winding is loosened fields. In a particularly preferred embodiment, the first and optionally also the second winding body are accommodated in cassette-like devices, which can advantageously be replaced in their entirety. This prevents that during winding or even when replaced by shocks detached material contaminates the coating chamber.

Eine besonders bevorzugte Weiterentwicklung dieser Ausführungsform weist eine Umlenkrolle auf. Durch diese Umlenkrolle ist es möglich, den ersten Wickelkörper oberhalb der Abdeckfolie anzuordnen. Dies hat den Vorteil, dass Beschichtungsmaterial, das beim Aufwickeln der Folie von dieser abblättert, nicht auf die Substrate herabfällt, sondern von der Rückseite der Folie aufgefangen wird. Vorzugsweise weist die Umlenkrolle einen deutlich größeren Radius im Querschnitt auf, als der erste Wickelkörper. Durch diese Maßnahme ist die Krümmung der Folie beim Umlenken geringer, so dass die mechanische Spannung auf das Beschichtungsmaterial auf der Folie ebenfalls geringer ist. Dadurch wird ein Abblättern verhindert. Diese besondere Ausführungsform kann kontinuierlichen Betrieb genutzt werden, wobei der Abstand zwischen zweitem Wickelkörper und der Umlenkrolle vorzugsweise größer als die Länge eines Substrates in Transportrichtung ist. Weiterhin bevorzugt ist jedoch auch der Einsatz in einer sequentiellen Substratverarbeitung, wo die Abdeckung im Wesentlichen den Spalt zwischen den Substraten abdeckt, um einen Plasmaumgriff zu reduzieren.A particularly preferred further development of this embodiment has a deflection roller. By this deflection roller, it is possible to arrange the first winding body above the cover. This has the advantage that coating material which flakes off the film when it is wound up does not fall down onto the substrates but is caught by the rear side of the film. Preferably, the deflection roller has a significantly larger radius in cross-section than the first winding body. By this measure, the curvature of the film during deflection is lower, so that the mechanical stress on the coating material on the film is also lower. This prevents delamination. This particular embodiment can be used continuous operation, wherein the distance between the second winding body and the deflection roller is preferably greater than the length of a substrate in the transport direction. However, further preferred is the use in a sequential substrate processing, where the cover substantially covers the gap between the substrates in order to reduce a plasma grip.

Der Durchhang der Folie sollte vorzugsweise 1 cm bis 2 cm nicht übersteigen. Ein größerer Durchhang ist jedoch unkritisch, wobei aber die Abdeckwirkung der Folie in Richtung der Wickelkörper respektive der Umlenkrolle abnimmt.The sag of the film should preferably not exceed 1 cm to 2 cm. However, a larger sag is not critical, but the covering effect of the film decreases in the direction of the winding body or the deflection roller.

Die Bewegung der Folie erfolgt kontinuierlich oder diskontinuierlich. Bei der kontinuierlichen Bewegung wird die Folie vorzugsweise während der gesamten Betriebsdauer der Beschichtungsvorrichtung stetig in geringer Geschwindigkeit vorgeschoben. Im Zuge der langsamen Vorwärtsbewegung nimmt die Beschichtungsdicke zu. Auf diese Weise ist auf der Folie in der Nähe des ersten Wickelkörpers die dickste und in der Nähe des zweiten Wickelkörpers die dünnste Beschichtung vorhanden. Die Folie wird aufgewickelt, bevor die Beschichtungsdicke soweit ansteigt, dass die Beschichtung beim Aufwickeln oder sogar schon vorher abplatzen könnte.The movement of the film is continuous or discontinuous. During the continuous movement, the film is preferably continuously fed at low speed during the entire operating time of the coating device. In the course of the slow forward movement, the coating thickness increases. In this way, the thickest coating is present on the film in the vicinity of the first winding body and the thinnest coating in the vicinity of the second winding body. The film is wound up before the coating thickness increases so much that the coating could flake off during winding or even before.

Die notwendige Vorschubgeschwindigkeit der Folie hängt von der Menge des Beschichtungsmaterials ab, dass in den Raum oberhalb des Substrats eindringen kann. Sie kann rechnerisch oder durch wenige Experimente ermittelt werden. In einer typischen Konfiguration ist die Vorschubgeschwindigkeit der Folie sehr viel kleiner als die der Substrate und beträgt vorzugsweise ca. ein Tausendstel der Substratgeschwindigkeit. Bei einer kontinuierlichen Durchlaufbehandlung der Substrate liegt die Vorschubgeschwindigkeit der Folie so bei ca. 1 mm je 1 min.The necessary feed rate of the film depends on the amount of coating material that can penetrate into the space above the substrate. It can be determined by calculation or by a few experiments. In a typical configuration, the feed rate of the film is much smaller than that of the substrates and is preferably about one-thousandth of the substrate speed. In a continuous flow treatment of the substrates, the feed rate of the film is about 1 mm per 1 min.

Bei der diskontinuierlichen Bewegung der Folie wird diese regelmäßig um einen vorgegebenen Betrag vorgeschoben. Vorzugsweise erfolgt dies nach dem abgeschlossenen Beschichtungsvorgang eines Substrats. Diese Betriebsweise ist daher besonders gut für diskontinuierliche Beschichtungsvorgänge geeignet, bei denen auch die Substrate in die Beschichtungskammer eingebracht werden, dort bewegungslos während der Beschichtung verharren und anschließend aus der Beschichtungskammer entfernt werden. Vorteilhaft lässt sich die Taktung von Ein- und Ausbringen der Substrate und Folienvorschub kombinieren.In the discontinuous movement of the film, this is regularly advanced by a predetermined amount. This is preferably done after the completed coating process of a substrate. This mode of operation is therefore particularly well suited for discontinuous coating operations in which the substrates are also introduced into the coating chamber, there remain motionless during the coating and then removed from the coating chamber. Advantageously, the timing of insertion and removal of the substrates and film feed can be combined.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform betätigt dabei das Substrat, wenn es den Raum über der Beschichtungsvorrichtung verlässt oder wenn es die Beschichtungskammer verlässt, einen Auslöser, der auf mechanischem, elektromechanischem oder elektronischen Wege den Vorschub veranlasst. Der Auslöser kann dabei bspw. ein mechanischer Kontaktschalter, eine Lichtschranke oder Ähnliches sein. Auch eine Kopplung an das Positionsbestimmungssystem der Transportvorrichtung ist möglich, falls ein solches vorhanden ist.In a particularly preferred embodiment, the substrate, when it leaves the space above the coating device or when it leaves the coating chamber, actuates a trigger, which causes the feed by mechanical, electromechanical or electronic means. The trigger can be, for example, a mechanical contact switch, a light barrier or the like. Also, a coupling to the positioning system of the transport device is possible, if one is available.

Das Material für die Folie bietet dem Beschichtungsmaterial vorzugsweise eine gute Haftung. Es kommt z. B. eine Kunststoff- oder eine Aluminiumfolie zum Einsatz. Die Foliendicke richtet sich nach dem zu überspannenden Abstand zwischen den Walzen und der Kraft, die auf die Folie ausgeübt werden muss, um ein zu starkes Durchhängen zu vermeiden. Die tatsächlich einzusetzende Foliendicke kann somit rechnerisch ermittelt werden. The material for the film preferably provides good adhesion to the coating material. It comes z. B. a plastic or aluminum foil used. The film thickness depends on the distance between the rollers and the force that has to be spread on the film, in order to avoid excessive sagging. The actual film thickness to be used can thus be determined by calculation.

In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Folie durch eine Vorrichtung nach dem Stand der Technik überwacht und bei einem Riss ein entsprechendes Signal ausgelöst.In a preferred embodiment, the film is monitored by a device according to the prior art and triggered a corresponding signal at a crack.

Weiterhin bevorzugt ist die Anordnung der Abdeckung, insbesondere der Folie unterhalb der Substrate. Hier stellen nicht abplatzende Beschichtungsmaterialien ein Problem dar sondern das Eindringen gasförmigen (bzw. plasmaförmigen) Beschichtungsmaterials auf die Seite des Substrats, deren Beschichtung aktuell nicht beabsichtigt ist. Dies tritt beispielsweise durch Plasmaumgriff an den Kanten der Substrate auf. Die Abdeckung kann dies reduzieren.Further preferred is the arrangement of the cover, in particular of the film below the substrates. Here are not flaking coating materials is a problem but the penetration of gaseous (or plasma-shaped) coating material on the side of the substrate whose coating is currently not intended. This occurs, for example, by plasma gripping on the edges of the substrates. The cover can reduce this.

Der Fachmann erkennt, dass dann die beschriebene Vorrichtung zum Transport der Folie spiegelverkehrt, mit dem Substrat als Spiegelebene unterhalb des Substrats angeordnet werden muss. Hier ist es insbesondere vorteilhaft möglich, den Abstand der Folie zum Substrat durch eine oder mehrere Stützrollen, die die Folie zwischen den Walzen unterfangen, möglichst nahe an den Substraten zu halten. The person skilled in the art recognizes that the described device for transporting the film must then be mirror-inverted, with the substrate as the mirror plane below the substrate. Here it is particularly advantageously possible to keep the distance of the film to the substrate by one or more support rollers, which underpin the film between the rollers, as close to the substrates.

2. Ausführungsform mit Walze2nd embodiment with roller

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform ist besonders gut für die diskontinuierliche Bearbeitung der Substrate geeignet. Dabei werden die Substrate in die Beschichtungsposition transportiert und verbleiben während der Beschichtung in dieser. Auch hier kann Beschichtungsmaterial am Substrat vorbei, auf die aktuell nicht zu behandelnde Seite vordringen. Die erfolgt auch hier typischerweise durch den Spalt, der zwischen dem nächsten, auf die Behandlung oder das vorhergehende, auf den Weitertransport wartende Substrat, entsteht.Another preferred embodiment is particularly well suited for the batchwise processing of the substrates. The substrates are transported to the coating position and remain during the coating in this. Again, coating material past the substrate, on the currently not to be treated side penetrate. Again, this typically occurs through the gap that arises between the next substrate waiting for treatment or the previous substrate awaiting further transport.

Erfindungsgemäß wird hier eine Abdeckung realisiert, indem über dem Spalt eine Walze angeordnet ist. Diese Walze hat einen möglichst geringen Abstand zum Spalt, der jedoch den ungehinderten Transport der Substrate ermöglicht. Die Walze weist vorteilhaft eine Oberflächenkonditionierung oder einen Überzug auf, an dem das Beschichtungsmaterial gut haftet. Die Walze befindet sich in ständiger oder in sequentieller Rotation, so dass die Beschichtung auf der Walze nicht eine Dicke erreicht, bei der sie abblättern könnte. Der Antrieb der Walze erfolgt ebenfalls bevorzugt mittels Motor und Getriebe, Schrittmotor oder mechanischer Vorrichtung.According to the invention, a cover is realized here, in that a roller is arranged above the gap. This roller has the smallest possible distance to the gap, but allows the unimpeded transport of the substrates. The roll advantageously has a surface conditioning or coating on which the coating material adheres well. The roller is in continuous or sequential rotation so that the coating on the roller does not reach a thickness at which it could flake off. The drive of the roller is also preferably by means of motor and gear, stepper motor or mechanical device.

Die Walze kann bevorzugt in Gesamtheit, gewechselt werden, oder es wird nur der Überzug gewechselt. Eine weitere bevorzugte Ausführungsform sieht einen zylinderförmigen Aufsatz auf der Walze vor, die dann als Achse fungiert. Der zylinderförmige Aufsatz weist dann die Oberflächenkonditionierung oder den Überzug auf und ist vorzugsweise wechselbar. Besonders bevorzugt wird als Überzug eine Folie aus einem Material wie in der ersten Ausführungsform eingesetzt.The roller may preferably be changed in its entirety, or only the coating is changed. A further preferred embodiment provides a cylindrical attachment on the roller, which then acts as an axle. The cylindrical attachment then has the surface conditioning or coating and is preferably interchangeable. It is particularly preferable to use a film of a material as in the first embodiment as the coating.

Auch hier erkennt der Fachmann, dass im Falle einer Beschichtung von oben her die Walzen unterhalb der Substrate anzuordnen sind und sich die gesamte Anordnung horizontal spiegelt.Again, the skilled artisan recognizes that in the case of a coating from above, the rollers are to be arranged below the substrates and the entire arrangement is reflected horizontally.

3. Ausführungsform mit Walze und Folie3rd embodiment with roller and foil

Diese Ausführungsform ist für dieselben Einsatzfälle besonders geeignet, wie die Ausführungsform mit Walze. Über dem Spalt zwischen den Substraten ist eine Abdeckung angeordnet, die einen zweiten Wickelkörper aufweist, der als Walze fungiert. Auf dem zweiten Wickelkörper ist eine Folie aufgewickelt, die das Beschichtungsmaterial aufnimmt, das durch den Spalt dringt. Diese Folie wird, bevor das Beschichtungsmaterial eine Dicke erreicht, die es abplatzen lässt, von einem zweiten Wickelkörper abgewickelt und von einem, oberhalb des zweiten Wickelkörpers befindlichen, ersten Wickelkörper, aufgewickelt. Bevorzugt wird der erste Wickelkörper kassettenartig ausgebildet, so dass die Folie mit dem Beschichtungsmaterial eingeschlossen wird und beim Wechsel bzw. bei sonstigen Erschütterungen kein Beschichtungsmaterial abblättert. Hinsichtlich Wechsel der Folie und Antrieb ist diese Ausführungsform wie die beiden vorhergehenden zu behandeln. Für den Fachmann erkennbar kann diese Ausführungsform in ihren Abmessungen in Transportrichtung der Substrate so verlängert werden, dass sie bevorzugt länger als die Substrate zuzüglich der angrenzenden Spalte ist. Auf diese Weise oder auch durch Hintereinanderschaltung gleicher oder in Kombination mit anderen Ausführungsformen kann diese Ausführungsform somit ebenfalls bei einer kontinuierlichen Bewegung der Substrate genutzt werden kann. This embodiment is particularly suitable for the same applications as the embodiment with roller. Over the gap between the substrates a cover is arranged, which has a second winding body, which acts as a roller. On the second bobbin, a film is wound, which receives the coating material that penetrates through the gap. This film is, before the coating material reaches a thickness that can chip it, unwound from a second bobbin and from a, located above the second bobbin, the first bobbin wound. Preferably, the first winding body is formed cassette-like, so that the film is enclosed with the coating material and does not peel off when coating or other vibrations no coating material. With regard to changing the film and drive, this embodiment is treated like the previous two. As can be appreciated by those skilled in the art, this embodiment can be extended in its dimensions in the transport direction of the substrates so that it is preferably longer than the substrates plus the adjacent column. In this way, or also by a series connection, the same or in combination with other embodiments, this embodiment can thus also be used in a continuous movement of the substrates.

Bevorzugt in allen Ausführungsformen ist der Einsatz von Folien oder Überzügen, die eine vergrößerte Oberfläche durch bspw. eine geprägte oder ähnlich strukturierte Oberfläche aufweisen. So kann die geprägte Oberfläche vorteilhaft ein Rillen-, Rauten oder Wabenmuster oder dergleichen aufweisen, dass es ermöglicht, in den Vertiefungen der strukturierten Oberfläche besonders viel Beschichtungsmaterial aufzunehmen. Ebenfalls möglich ist ein Folien- oder Überzugsmaterial, dass ein faseriges Material, ähnlich dem in der Beschreibung des Standes der Technik dargestellten, aufweist. Dieses faserige Material ist bevorzugt auf einer Trägerfolie so angeordnet, dass es der Beschichtungsvorrichtung zugewandt ist. Die Anordnung auf einer Folie verhindert vorteilhaft, dass das faserige Material, das naturgemäß eine sehr hohe Dehnbarkeit aufweist, zu stark durchhängt oder gar reißt. Der Einsatz faserigen Materials kann vorteilhaft die Standzeit der Abdeckung weiter erhöhen. Vorteilhaft wird hier die Funktion der Materialaufnahme von der des Transports getrennt, wodurch das faserige Material keiner mechanischen Spannung unterliegt und so die Neigung zum Abplatzen des Beschichtungsmaterials reduziert ist.Preferred in all embodiments is the use of films or coatings which have an enlarged surface by, for example, an embossed or similarly structured surface. Thus, the embossed surface can advantageously have a groove, rhombus or honeycomb pattern or the like, which makes it possible to accommodate a particularly large amount of coating material in the recesses of the structured surface. Also possible is a film or coating material that has a fibrous material similar to that shown in the description of the prior art. This fibrous material is preferably arranged on a carrier film so that it faces the coating device. The arrangement on a film advantageously prevents the fibrous material, which naturally has a very high ductility, from sagging too much or even cracking. The use of fibrous material can advantageously further increase the service life of the cover. Advantageously, the function of the material intake is separated from the transport, whereby the fibrous material is not subject to any mechanical stress and so the tendency to flake off of the coating material is reduced.

Es ist weiterhin bevorzugt, die verschiedenen Ausführungsformen sowie die Anordnungen der Abdeckungen oberhalb und unterhalb der Substrate zu kombinieren, wenn die Anlagengestaltung dies zulässt.It is further preferred to combine the various embodiments as well as the arrangements of the covers above and below the substrates if the system design so permits.

Die erfindungsgemäßen Vorrichtungen sind vorteilhaft insbesondere so lange wartungsfrei einsatzfähig, dass ein Wechsel der Folien oder der Walzen bzw. deren Überzüge gemeinsam mit anderen Wartungsarbeiten in einem größeren Zeitabstand erfolgen kann, als dies ohne bewegliche Abdeckungen möglich wäre. Insbesondere werden in Beschichtungsanlagen häufig Magnetrons eingesetzt, deren Targetmaterial regelmäßig ausgewechselt werden muss. Besonders vorteilhaft werden die Abdeckungen auch innerhalb der dafür notwendigen Stillstandszeit der Anlage gewechselt.The devices according to the invention are advantageously especially maintenance-free so long that a change of the films or the rolls or their coatings together with other maintenance work in a larger Time interval can be done, as would be possible without moving covers. In particular, magnetrons are often used in coating systems whose target material must be replaced regularly. Particularly advantageous covers are changed within the necessary downtime of the system.

Weiterhin vorteilhaft ist es, die mit Beschichtungsmaterial beladenen Abdeckungen einer Wiederverwendung zuzuführen. Häufig werden Beschichtungen mit Edelmetallen ausgeführt (bspw. Ag), die so zurückgewonnen werden können.It is also advantageous to supply the covers loaded with coating material for reuse. Frequently, coatings are carried out with precious metals (for example Ag), which can be recovered in this way.

Ausführungsbeispielembodiment

In einem Ausführungsbeispiel nach 1 befindet sich als Beschichtungsquelle ein Rohrmagnetron in einer Vakuumkammer. Die Beschichtungsbreite liegt im Bereich zwischen 1 m und 3 m, bevorzugt zwischen 1,2 m und 1,8 m. Die zu beschichtenden Substrate werden auf einem Substratträger, der sich über die gesamte Beschichtungsbreite erstreckt, über die Beschichtungsquelle gefahren. Die Geschwindigkeit der Substrate ist prozessabhängig und liegt im Bereich zwischen 0,5 m/min und 3 m/min. Über den Substraten ist mit einem Abstand von 5 bis 20 mm die Schutzfolienanordnung in der ersten Ausführungsform angebracht. Als Folienmaterial wird je nach thermischer Belastung der Folie eine Kunststoff- oder Aluminiumfolie, bevorzugt PET, Polyimid oder Aluminium, verwendet. Der Wickelkörper 1 wird mit Hilfe eines Schrittmotors so angetrieben, dass die Folie über der Beschichtungsquelle um bevorzugt 0,5 bis 5 mm pro Schritt weiterbewegt wird, wobei ein Schritt durch die Vorbeifahrt eines neuen Substratträgers getriggert wird. Die Wickelkörper bestehen aus Metall und haben einen Durchmesser von 50 bis 150 mm. Die gesamte Schutzfolienanordnung ist so befestigt, dass diese gemeinsam mit dem Rohrmagnetron aus der Vakuumkammer entfernt werden kann, um bei einem ohnehin anstehenden Wechsel des Rohrmagnetrons die Wickelkörper mit der beschichteten Folie gegen solche mit unbeschichteter Folie auszutauschen. In an embodiment according to 1 is located as a coating source a tube magnetron in a vacuum chamber. The coating width is in the range between 1 m and 3 m, preferably between 1.2 m and 1.8 m. The substrates to be coated are run over the coating source on a substrate carrier which extends over the entire coating width. The speed of the substrates is process-dependent and lies in the range between 0.5 m / min and 3 m / min. Above the substrates, at a distance of 5 to 20 mm, the protective film assembly is mounted in the first embodiment. Depending on the thermal load of the film, a plastic or aluminum foil, preferably PET, polyimide or aluminum, is used as foil material. The winding body 1 is driven by means of a stepping motor so that the film is moved over the coating source by preferably 0.5 to 5 mm per step, wherein a step is triggered by the passage of a new substrate carrier. The winding bodies are made of metal and have a diameter of 50 to 150 mm. The entire protective film assembly is mounted so that it can be removed together with the tube magnetron from the vacuum chamber to replace the bobbin with the coated film against those with uncoated film in an already pending change of the tubular magnetron.

Figurencharacters

1 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße Vorrichtung nach der ersten Ausführungsform. Die Substrate (1) werden in Wafercarriern (11) über das Transportsystem (12) bewegt. Die Bewegung erfolgt hier kontinuierlich. Während der Bewegung wird die Unterseite der Substrate (1) mit einer Beschichtung (13) versehen. Dazu wird aus dem Magnetron (3) Beschichtungsmaterial (31) abgegeben, dass sich an der Unterseite der Substrate (1) niederschlägt. Zwischen zwei aufeinanderfolgenden Wafercarriern (11) besteht ein Abstand, der den Spalt (S) ausbildet. durch diesen Spalt (S) dringt Beschichtungsmaterial, dass sich an der Oberseite der Beschichtungskammer (nicht dargestellt) niederschlagen könnte, oder dass aufgrund des sogenannten Plasmaumgriffs die Rückseite der Substrate erreichen könnte. Um diese beiden unerwünschten Effekte zu verringern bzw. zu verhindern. wird die Abdeckung (20), hier in Form einer Folie vorgesehen. Die Folie (20) hat einen geringen Abstand (D) zu den Substraten (1), so dass sich das Beschichtungsmaterial (31), das durch den Spalt (S) dringt, auf der Folie (20) niederschlägt. Im Laufe der Prozessführung wächst die Dicke dieses Niederschlags (23) an. Um zu vermeiden, dass das niedergeschlagene Beschichtungsmaterial (23) die Dicke erreicht, bei der es abblättern könnte, wird die Folie auf den ersten Wickelkörper (22) aufgewickelt, während der zweite Wickelkörper (21) in gleichem Maße Folie (20) abwickelt. Da der zweite Wickelkörper (21) abgebremst wird, steht die Folie (20) unter ständiger mechanischer Spannung, was den Abstand (D) der Folie (20) zum Substrat möglichst konstant hält. Das Aufwickeln kann kontinuierlich oder sequentiell erfolgen. Wenn die gesamte Folie beladen ist, wird der zweite Wickelkörper gegen einen neuen, mit unbeladener Folie ausgetauscht, während der erste Wickelkörper gegen eine leeren ausgetauscht wird. Die Folie wird erneut zwischen zweitem Wickelkörper (21) und dem ersten Wickelkörper (22) gespannt und die Vorrichtung ist erneut einsatzbereit. 1 shows schematically a device according to the invention according to the first embodiment. The substrates ( 1 ) are used in wafer carriers ( 11 ) via the transport system ( 12 ) emotional. The movement takes place here continuously. During movement, the underside of the substrates ( 1 ) with a coating ( 13 ) Mistake. For this purpose, from the magnetron ( 3 ) Coating material ( 31 ) are deposited on the underside of the substrates ( 1 ). Between two consecutive wafer carriers ( 11 ) there is a gap forming the gap (S). through this gap (S) penetrates coating material that could be reflected at the top of the coating chamber (not shown), or that due to the so-called Plasmaumgriffs could reach the back of the substrates. To reduce or prevent these two unwanted effects. will the cover ( 20 ), here in the form of a film. The foil ( 20 ) has a small distance (D) to the substrates ( 1 ), so that the coating material ( 31 ) penetrating through the gap (S), on the film ( 20 ). In the course of litigation, the thickness of this precipitate increases ( 23 ) at. In order to avoid that the deposited coating material ( 23 ) reaches the thickness at which it could flake off, the film on the first bobbin ( 22 ), while the second winding body ( 21 ) to the same extent 20 ). Since the second bobbin ( 21 ) is slowed down, the film is ( 20 ) under constant mechanical tension, which is the distance (D) of the film ( 20 ) keeps as constant as possible to the substrate. The winding can be continuous or sequential. When the entire film is loaded, the second bobbin is replaced with a new one, with unloaded film, while the first bobbin is replaced with a blank. The film is again between the second winding body ( 21 ) and the first winding body ( 22 ) and the device is ready for use again.

2 zeigt schematisch eine umgekehrte Situation, bei der die Beschichtung des Substrats (1) von oben her erfolgt. Während in dieser Konfiguration die Beschichtung von Wandabschnitten der Beschichtungskammer keine Rolle spielt, dient die Abdeckung (20) insbesondere dazu, den Plasmaumgriff zu begrenzen. 2 schematically shows a reverse situation in which the coating of the substrate ( 1 ) from above. While in this configuration, the coating of wall portions of the coating chamber is irrelevant, the cover (serves 20 ) in particular to limit the plasma grip.

3 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße Vorrichtung nach der zweiten Ausführungsform. Hier dargestellt ist ein Magnetron (3), dem zwei als Abdeckung fungierende Walzen (24) gegenüberliegen. Diese nehmen das durch die Spalten (S) durchtretende Beschichtungsmaterial (31) an ihren den Spalten (S) zugewandten Seiten auf. Auf den Walzen (24) schlägt sich das Beschichtungsmaterial (31) als wachsende Beschichtung (23) nieder. Bevor es eine Dicke erreicht, bei der es abblättern und die Rückseite des Substrats (1) verunreinigen könnte, werden die Walzen (24) weitergedreht. Das Weiterdrehen erfolgt entweder kontinuierlich oder sequentiell. Wenn die gesamte Umfangsoberfläche der Walzen (24) mit Beschichtungsmaterial (23) in der maximal zulässigen Schichtdicke beladen ist, werden die Walzen gewechselt. 3 schematically shows a device according to the invention according to the second embodiment. Shown here is a magnetron ( 3 ), the two acting as cover rollers ( 24 ) are opposite. These take the through the columns (S) passing through coating material ( 31 ) on their sides facing the columns (S). On the rollers ( 24 ) the coating material ( 31 ) as a growing coating ( 23 ) down. Before it reaches a thickness at which it flakes off and the back of the substrate ( 1 ), the rolls ( 24 ) further rotated. The further rotation takes place either continuously or sequentially. When the entire circumferential surface of the rolls ( 24 ) with coating material ( 23 ) is loaded in the maximum permissible layer thickness, the rolls are changed.

4 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße Vorrichtung nach der dritten Ausführungsform mit Walze und Folie. Der zweite Wickelkörper (21) fungiert wie in der zweiten Ausführungsform auch als Walze. Die Breite der Abdeckung wird vom Durchmesser des zweiten Wickelkörpers bestimmt. Da vom zweiten Wickelkörper (21) die Folie (20) abgewickelt wird und so die Oberfläche, die einer Beschichtung zur Verfügung steht ständig erneuert wird, ist die nutzbare Standzeit höher als die einer reinen Anlage mit Walze nach 3. 4 schematically shows a device according to the invention according to the third embodiment with roller and foil. The second winding body ( 21 ) acts as a roller as in the second embodiment. The width of the cover is from the Diameter of the second bobbin determined. Because of the second winding body ( 21 ) the foil ( 20 ) and so the surface that is available to a coating is constantly renewed, the useful life is higher than that of a pure plant with roller after 3 ,

5 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße Vorrichtung nach der ersten Ausführungsform, jedoch mit Umlenkrolle (25). Der zweite Wickelkörper (22) kann aufgrund der Umlenkrolle so angeordnet werden, dass die Folie (20) gleichzeitig als Auffangvorrichtung für Beschichtungsmaterial, das beim Aufwickeln der Folie (20) von dieser abblättert, dient. Der Durchmesser der Umlenkrolle (25) ist erkennbar größer, als der des zweiten Wickelkörpers (22). Dadurch blättert an der Umlenkrolle (25) kein Material ab. In der Darstellung ist die Vorrichtung oberhalb des Spalts zwischen zwei Substraten angeordnet, um in einer sequentiellen Bearbeitungsweise den Plasmaumgriff durch den Spalt zu reduzieren. 5 shows schematically a device according to the invention according to the first embodiment, but with deflection roller ( 25 ). The second winding body ( 22 ) can be arranged due to the deflection roller so that the film ( 20 ) at the same time as a collecting device for coating material, which during winding of the film ( 20 ) of these peels, serves. The diameter of the pulley ( 25 ) is noticeably larger than that of the second wound body ( 22 ). This leafs on the pulley ( 25 ) no material. In the illustration, the device is disposed above the gap between two substrates to reduce the plasma grip through the gap in a sequential manner of processing.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Substrat substratum
1111: Wafercarrier wafer Carrier
1212: Transportsystem (Rollen) Transport system (rollers)
1313: Beschichtung an der Unterseite des Substrats Coating at the bottom of the substrate
2020: Folie als Abdeckung Foil as cover
2121: zweiter Wickelkörper second bobbin
2222: erster Wickelkörper first bobbin
2323: Beschichtung an der substratzugewandten Seite der Abdeckung Coating on the substrate-facing side of the cover
2424: Walze als Abdeckung Roller as cover
2525: Umlenkrolle idler pulley
33: Magnetron magnetron
3131: Beschichtungsmaterial coating material
DD: Abstand der Abdeckung zum Substrat bzw. Wafercarrier Distance of the cover to the substrate or wafer carrier
SS: Spalt zwischen zwei Substraten bzw. Wafercarriern Gap between two substrates or wafer carriers

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 102010027874 A1 [0009]

Claims

A method for receiving coating material in vacuum coating systems by a cover on the side facing away from the coating device of a flat substrate, characterized in that the cover is moved so that it permanently absorbs parts of the not absorbed by the substrate coating material.

A method according to claim 1, characterized in that the cover is moved continuously or sequentially.

A method according to claim 1 or 2, characterized in that the cover is changed when it is loaded with coating material.

A method according to claim 3, characterized in that the loaded cover is supplied after changing a recycling process.

Device for use in a coating chamber for shielding a region of the substrate and / or wall of the coating chamber from unwanted coating, comprising a cover on the side of the substrate facing away from a coating device, characterized in that the cover is movable and the device is designed such that that the coated area of the cover is automatically moved before the material thickness of the deposited material on this increases so much that it flakes off.

Apparatus according to claim 5, characterized in that it comprises two simultaneously rotating cylindrical winding body, wherein the cover is unwound from the second winding body, while the first winding body wound this in the same length, wherein the cover is held under mechanical tension and at a small distance from the substrate ,

Apparatus according to claim 6, characterized in that the cover is a film.

Apparatus according to claim 7, characterized in that the film has an enlarged surface.

Apparatus according to claim 8, characterized in that the enlarged surface has a structuring or a lining of fibrous material.

Device according to one of claims 6 to 9, characterized in that the winding bodies rotate continuously or sequentially.

Device according to one of claims 6 to 10, characterized in that the winding bodies are interchangeable.

Apparatus according to claim 11, characterized in that between the first winding body and substrate, a collecting device is arranged.

Apparatus according to claim 11, characterized in that first or first and second winding body are arranged in cassette-like devices, each of which is interchangeable.

Apparatus according to claim 5, characterized in that it comprises at least one roller with a surface conditioning or a coating to which the coating material adheres and that the roller is in constant or sequential rotation.

Apparatus according to claim 14, characterized in that the roller and / or the cover are exchangeable.

Apparatus according to claim 14, characterized in that the roller has a replaceable cylindrical attachment which carries the surface conditioning or the coating.

Device according to one of claims 5 to 16, characterized in that the changed coating or the film can be recycled so that the coating material is recovered.