DE102016100402B4

DE102016100402B4 - Lens with rinse

Info

Publication number: DE102016100402B4
Application number: DE102016100402.2A
Authority: DE
Inventors: Torsten Erbe; Stephan Fahr
Original assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Current assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Priority date: 2016-01-12
Filing date: 2016-01-12
Publication date: 2017-08-31
Anticipated expiration: 2036-01-13
Also published as: DE102016100402A1

Abstract

Objektiv mit Spülung, enthaltend wenigstens eine Kammer (1), die durch sich gegenüberliegende optische Flächen (2.1) zweier optischer Elemente (2) sowie Innenflächen der Fassungen (3) begrenzt ist, wobei wenigstens zwei erste Kanäle (4) mit jeweils einer ersten Kanalöffnung (4.1) und wenigstens ein zweiter Kanal (5) mit einer zweiten Kanalöffnung (5.1) vorhanden sind und die wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen (4.1) in einer anderen Höhe, bezogen auf die Objektivachse (1.1), in die Kammer (1) münden als die eine zweite Kanalöffnung (5.1) des wenigstens einen zweiten Kanals (5) und die wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen (4.1) und die zweite Kanalöffnung (5.1) des wenigstens einen zweiten Kanals (5) innerhalb eines Winkelbereiches (α) von kleiner 180° angeordnet sind.Lens with purging, comprising at least one chamber (1) which is delimited by opposing optical surfaces (2.1) of two optical elements (2) and inner surfaces of the sockets (3), wherein at least two first channels (4) each having a first channel opening (4.1) and at least one second channel (5) with a second channel opening (5.1) are present and the at least two first channel openings (4.1) in a different height, based on the lens axis (1.1), in the chamber (1) open as the second channel opening (5.1) of the at least one second channel (5) and the at least two first channel openings (4.1) and the second channel opening (5.1) of the at least one second channel (5) within an angular range (α) of less than 180 ° are.

Description

Die Erfindung betrifft ein Objektiv, bei welchem durch spezielle Maßnahmen zwischen benachbart angeordneten optischen Elementen gebildete Kammern durch Spülung mit einem Spülgas frei von Schadstoffen gehalten werden, und ist gattungsgemäß aus der US 6 496 246 B1 bekannt. The invention relates to an objective in which chambers formed by special measures between adjacently arranged optical elements chambers are kept free of pollutants by flushing with a purge gas, and is generically from the US Pat. No. 6,496,246 B1 known.

Es gibt eine Vielzahl von Ursachen für in den Kammern eines Objektives entstehende Schadstoffe, die es erforderlich machen, das Objektiv so auszuführen, dass die zwischen den einzelnen optischen Elementen und deren Fassungen bzw. angrenzenden Gehäuseteilen gebildeten Kammern gespült werden können. Eine solche Spülung kann davon unabhängig aber auch für eine Kühlung der optischen Elemente zweckmäßig sein. Unabhängig vom Zweck wird grundsätzlich ein hinsichtlich Temperatur und Druck homogener und laminarer Strom des Spülgases angestrebt. Gleichzeitig soll der Volumenaustausch schnell vonstattengehen. There are a variety of causes of pollutants generated in the chambers of a lens, which make it necessary to perform the lens so that the chambers formed between the individual optical elements and their sockets or adjacent housing parts can be rinsed. Such flushing may be appropriate but also for a cooling of the optical elements of appropriate. Regardless of the purpose, a stream of purge gas that is more homogeneous in terms of temperature and pressure is generally desired. At the same time, the volume exchange should take place quickly.

Einen Bedarf für derartige Objektive gibt es zum Beispiel für Belichtungsgeräte von Wafern, die ultraviolettes Licht verwenden, für welches die in der Luft enthaltenen Stoffe, wie Sauerstoff-, Wasser- und Kohlendioxidmoleküle, absorbierend sind, weshalb diese absorbierenden Stoffe Schadstoffe darstellen, die im Belichtungsstrahlengang reduziert und entfernt werden müssen, damit das Belichtungslicht die Waferoberfläche mit einer ausreichenden Lichtintensität erreicht. There is a need for such lenses, for example, for exposure apparatuses of wafers using ultraviolet light for which the substances contained in the air, such as oxygen, water and carbon dioxide molecules, are absorbing, which is why these absorbers constitute pollutants in the exposure beam path must be reduced and removed so that the exposure light reaches the wafer surface with a sufficient light intensity.

Des Weiteren ergibt sich bei Belichtungsgeräten, die einen KrF- oder einen ArF-Excimer-Laser verwenden, ein Phänomen, das als „Clouding“ von optischen Elementen bezeichnet wird. Dabei haften Schadstoffe am optischen Element an und bewirken eine Absorption. Dieses „Clouding“ erschwert es dem Belichtungslicht, den Wafer mit ausreichender Lichtintensität zu erreichen, weshalb die Belichtungszeit erhöht werden muss und folglich der Durchsatz verringert wird. Als „Clouding“ verursachende Schadstoffe gelten z. B. Halogenide. Sie kommen als Weichmacher in Abdeckmaterialien von Elektrodrähten vor und sind häufig im Belichtungsstrahlengang der Belichtungsstrahlung ausgesetzt. Organische Stoffe, wie Maschinenöl, das an Elementen des Belichtungsgerätes klebt, oder in Klebstoffen enthaltene organische Stoffe können ebenso ein Clouding verursachende Schadstoffe sein. Further, in exposure apparatuses using a KrF or an ArF excimer laser, there is a phenomenon called "clouding" of optical elements. In the process, harmful substances adhere to the optical element and cause absorption. This "clouding" makes it difficult for the exposure light to reach the wafer with sufficient light intensity, which is why the exposure time has to be increased and consequently the throughput is reduced. As "Clouding" causing pollutants apply z. B. halides. They occur as plasticizers in covering materials of electric wires and are frequently exposed to the exposure radiation in the exposure beam path. Organic substances such as machine oil sticking to elements of the exposure apparatus or organic substances contained in adhesives can also be clouding pollutants.

Man kann versuchen, dem Problem so zu begegnen, dass für nicht-metallische Elemente des Belichtungsgerätes Materialien mit weniger Ausgasung verwendet werden und die Oberflächen metallischer Elemente mit einer möglichst geringen Oberflächenrauheit ausgeführt werden, so dass z. B. Maschinenöl durch Ultraschallreinigen oder Ähnliches vollständig entfernt wird. Es ist jedoch weder einfach, Ausgasung vollständig zu verhindern, noch das „Clouding“ komplett zu beheben. Auch kann es sein, dass optische Beschichtungen über die Lebensdauer des Objektives Schadstoffe absondern. One can try to address the problem so that are used for non-metallic elements of the exposure device materials with less outgassing and the surfaces of metallic elements are performed with the lowest possible surface roughness, so that z. B. Machine oil is completely removed by ultrasonic cleaning or the like. However, it is not easy to completely prevent outgassing, nor to completely eliminate "clouding". It may also be that optical coatings secrete pollutants over the life of the lens.

Um das Belichtungslicht stabil durch ein Objektiv zu führen, ist es daher notwendig, die Schadstoffe ständig aus dem Belichtungsstrahlengang zu entfernen und die optischen Elemente regelmäßig zu reinigen, nachfolgend als Spülen bezeichnet. In order to guide the exposure light stably through an objective, it is therefore necessary to constantly remove the pollutants from the exposure beam path and to periodically clean the optical elements, hereinafter referred to as rinsing.

Obwohl die notwenige Häufigkeit und Dauer des Spülens von vielen Faktoren abhängig ist, ist es eine permanente Aufgabe, den Spülvorgang so kurz und mit so wenig Medium wie möglich durchzuführen. Das Medium zum Spülen ist im Allgemeinen teuer und der Verbrauch desselben kann die Betriebskosten des Gerätes beachtlich beeinflussen. Um die Betriebsleistung des Gerätes konstant zu halten, ist es des Weiteren notwendig, die Schadstoffe in den einzelnen Kammern kammerspezifisch jeweils unterhalb eines bestimmten Grenzwertes zu halten, woraus sich die notwendige Frequenz für die Spülung ergibt. Da die Geschwindigkeit der Entstehung bzw. Gelangung der Schadstoffe in die Kammern und deren Einfluss auf den Belichtungsstrahlengang kammerspezifisch, das heißt für jede einzelne Kammer verschieden, sein kann, ist es ferner notwendig, die einzelnen Kammern, die zwischen den optischen Elementen im Belichtungsstrahlengang liegen, unabhängig voneinander bedarfsabhängig zu spülen. Although the frequency and duration of flushing required depends on many factors, it is a permanent task to perform the flushing procedure as quickly and with as little media as possible. The flushing medium is generally expensive and its consumption can significantly affect the operating costs of the device. In order to keep the operating performance of the device constant, it is further necessary to keep the pollutants in the individual chambers chamber specific each below a certain limit, resulting in the necessary frequency for flushing. Since the speed of formation or passage of the pollutants into the chambers and their influence on the exposure beam path may be chamber-specific, that is different for each individual chamber, it is also necessary to separate the individual chambers which lie between the optical elements in the exposure beam path. independent of each other depending on demand.

Bei einem in der Patentschrift US 6 252 648 B1 beschriebenen Objektiv werden mit optischen Elementen und dem Gehäuse des Objektivs gebildete Kammern mit Inertgas oder mit Reinigungsgas versorgt. Der Gasstrom ist direkt auf die Oberflächen der optischen Elemente gerichtet. Dadurch soll der Reinigungseffekt für diese Oberflächen verbessert werden. Nähere Angaben zur Einleitung der Gase in die Kammern werden hier nicht gemacht. In one in the patent US Pat. No. 6,252,648 B1 described lens are provided with optical elements and the housing of the lens chambers formed with inert gas or with cleaning gas. The gas flow is directed directly to the surfaces of the optical elements. This is intended to improve the cleaning effect for these surfaces. Further details on the introduction of the gases into the chambers are not made here.

Aus der vorgenannten US 6 496 246 B1 ist ein Objektiv eines Abbildungsapparates bekannt, das zur Beleuchtung eines abzubildenden Objektes dient und aus einer oder mehreren optischen Sektionen besteht. Wenigstens eine dieser optischen Sektionen stellt eine geschlossene Kammer dar, die durch zwei optisch wirksame Oberflächen benachbart angeordneter optischer Elemente und die Innenwände eines Gehäuses oder der die optischen Elemente tragenden Fassungen begrenzt wird. Jede der Kammern kann eine Vielzahl von Einlassöffnungen und Auslassöffnungen zum Spülen der optischen Elemente umfassen. Die Einlassöffnungen und die Auslassöffnungen sind mit dem Ziel, die Zeit zum Spülen und die Menge des erforderlichen Mediums zu minimieren, zueinander in einer bestimmten Weise angeordnet. Die Auslasskanäle sind bevorzugt in drei Ebenen mit einem axialen Abstand zueinander an der Innenwand des Gehäuses gleichmäßig verteilt und radial ausgerichtet angeordnet. In zwei Zwischenebenen sind gleichmäßig an der Innenwand verteilt Einlasskanäle angeordnet, über die wechselweise in einem entgegengesetzten Richtungssinn Ströme des Mediums eingeleitet werden können, die sich zu rotierenden Strömen im Uhrzeigersinn bzw. entgegen dem Uhrzeigersinn vereinen. Durch ein alternatives gepulstes Ansteuern der Auslassöffnungen können Strömungen in alternativer Richtung und Turbulenzen in der Kammer erzeugt werden. Die Turbulenzen sollen das Mischen der Ströme in der Kammer verbessern und die Dauer, um das verbrauchte Medium abzuleiten, verringern. From the aforementioned US Pat. No. 6,496,246 B1 a lens of an imaging apparatus is known which serves to illuminate an object to be imaged and consists of one or more optical sections. At least one of these optical sections constitutes a closed chamber delimited by two optically active surfaces of adjacent optical elements and the inner walls of a housing or the sockets supporting the optical elements. Each of the chambers may include a plurality of inlet openings and outlet openings for rinsing the optical elements. The inlet openings and the outlet openings are arranged one another in a certain way with the aim of minimizing the time for rinsing and the amount of medium required. The outlet channels are preferably in three Layers with an axial distance from each other evenly distributed on the inner wall of the housing and arranged radially aligned. In two intermediate planes, inlet channels are arranged uniformly distributed on the inner wall, via which flows of the medium can be introduced alternately in an opposite sense of direction, which combine to form rotating currents in a clockwise or counterclockwise direction. By alternately pulsing the exhaust ports, flows in the alternative direction and turbulence in the chamber can be created. The turbulences are intended to improve the mixing of the streams in the chamber and reduce the time to drain the spent medium.

In der US 6 571 057 B2 ist eine Ausführung für ein Objektiv mit einer Gasspülung beschrieben. Das Objektiv verfügt über mehrere abgeschlossene Kammern zwischen Oberflächen benachbart angeordneter optischer Elemente, wobei jede Kammer einzeln gespült werden kann. Zur Gasspülung verfügt jede Kammer über eine oder mehrere Einlassöffnungen und eine oder mehrere Auslassöffnungen. Die Ein- und Auslassöffnungen der Kammern sind in radialer Richtung durch die Wand des rohrförmigen Gehäuses des Objektivs geführt und in einer Ebene liegend angeordnet. Alternativ sind die Ein- und Auslassöffnungen in unterschiedlichen Ebenen nahe der optischen Elemente angeordnet. Bei senkrechter Anordnung der optischen Achse des Objektivs lassen sich dann Spülgase einsetzen, die eine zum auszutauschenden Gas verschiedene Dichte aufweisen. Diese Spülgase können entsprechend der Schwerkraft in gewünschter Verdrängungsrichtung in die Kammer eingeleitet und abgesaugt werden. Um einen schnellen Gasaustausch zu ermöglichen, wird erwogen, eine Vielzahl von Ein- und Auslassöffnungen in den Kammern vorzusehen und die Ein- und Auslassöffnungen so anzuordnen, dass sich das Spülgas spiralförmig in der Kammer bewegt. Wie die Ein- und Auslassöffnungen dazu genau auszuführen sind, wird nicht beschrieben. In the US Pat. No. 6,571,057 B2 an embodiment for a lens with a gas purging is described. The lens has a plurality of sealed chambers between surfaces of adjacent optical elements, each chamber being individually rinsed. For gas purging, each chamber has one or more inlet openings and one or more outlet openings. The inlet and outlet openings of the chambers are guided in the radial direction through the wall of the tubular housing of the lens and arranged lying in a plane. Alternatively, the inlet and outlet openings are arranged in different planes near the optical elements. With vertical arrangement of the optical axis of the lens can then be used purge gases having a different gas to be exchanged gas. These purge gases can be introduced into the chamber and sucked in accordance with gravity in the desired direction of displacement. In order to enable rapid gas exchange, it is considered to provide a plurality of inlet and outlet openings in the chambers and to arrange the inlet and outlet openings so that the purge gas moves in a spiral manner in the chamber. How the inlet and outlet ports are to be executed exactly is not described.

Nachteilig ist hierbei, dass bei spiralförmiger Einleitung des Spülgases die mittlere der Oberflächen der optischen Elemente zumindest weniger gespült bleibt. Nur durch Diffusion findet hier ein Gasaustausch statt. Ebenso sind bei gegenüberliegenden radialen Einlassöffnungen in der Mitte keine Strömungen zu erwarten. The disadvantage here is that with a spiral introduction of the purge gas, the middle of the surfaces of the optical elements remains at least less flushed. Only by diffusion takes place here a gas exchange. Similarly, no flows are to be expected at opposite radial inlet openings in the middle.

Aus der US 6 762 412 B1 ist ein Objektiv mit mehreren optischen Elementen bekannt, bei dem die von zwei optischen Elementen begrenzten Zwischenräume mit einem Gasstrom gespült werden. Zum Abbremsen und Ablenken des durch radiale Einlassöffnungen in den Zwischenraum einstretenden Gasstroms werden ein oder mehrere Leitelemente verwendet, welche unter einem Winkel im Gasstrom angeordnet sind und welche die Einlassöffnungen überdecken. From the US Pat. No. 6,762,412 B1 is a lens with a plurality of optical elements is known in which the spaces delimited by two optical elements are purged with a gas stream. For braking and deflecting the gas flow entering the gap through radial inlet openings, one or more guide elements are used, which are arranged at an angle in the gas flow and which cover the inlet openings.

Zu einem in der WO 02 065 183 A1 offengelegten Objektiv sind Linsenfassungen mit Gasspülung beschrieben. Die Gasströmung wird zunächst in axialer Richtung, am Außendurchmesser der Linsen vorbei, durch die Linsenfassungen hindurch geführt. Innerhalb der Linsenfassung erfolgt eine Umlenkung des Gassttroms in radiale Richtung, sodass er die Linsenfassung in Richtung der optischen Fläche der Linse verlässt. To one in the WO 02 065 183 A1 Lens mountings with gas purging are described. The gas flow is first passed in the axial direction, past the outer diameter of the lenses, through the lens frames. Within the lens frame, the gas stream is deflected in the radial direction so that it leaves the lens frame in the direction of the optical surface of the lens.

Die Offenlegungsschrift US 2008 0 129 971 A1 offenbart ein Objektiv einer Belichtungsvorrichtung. Die Zwischenräume zwischen den optischen Elementen des Objektivs werden mit einem Gasstrom gespült. Die Einleitung des Gasstroms kann durch radial oder durch axial ausgerichtete Eintrittsöffnungen erfolgen. Die Eintrittsöffnungen werden mittels Leitelementen abgedeckt, die in tangentialer Richtung und gleichgerichtet eine einseitige Öffnung aufweisen. Auf diese Weise wird im Zwischenraum ein gewünschter wirbelförmiger Gasstrom erreicht. The publication US 2008 0 129 971 A1 discloses an objective of an exposure apparatus. The spaces between the optical elements of the lens are purged with a gas stream. The introduction of the gas stream can be done by radially or axially aligned inlet openings. The inlet openings are covered by guide elements which have a unilateral opening in the tangential direction and rectified. In this way, a desired vortex-shaped gas flow is achieved in the intermediate space.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Objektiv zu finden, bei dem die Qualität des Spülens seiner optischen Elemente verbessert wird. The object of the invention is to find an objective in which the quality of the rinsing of its optical elements is improved.

Diese Aufgabe wird für ein Objektiv mit Spülung, enthaltend wenigstens eine zu einer Objektivachse symmetrische Kammer, die durch sich gegenüberliegende optische Flächen zweier entlang der Objektivachse angeordneter, jeweils in einer Fassung gefasster optischer Elemente sowie Innenflächen der zwei Fassungen begrenzt ist, gelöst. Es sind wenigstens zwei erste Kanäle mit jeweils einer ersten Kanalöffnung und wenigstens ein zweiter Kanal mit einer zweiten Kanalöffnung vorhanden, um zwischen den wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen und der wenigstens einen zweiten Kanalöffnung Ströme zur Spülung durch die Kammer führen zu können. Die ersten Kanalöffnungen der wenigstens zwei ersten Kanäle münden in einer anderen Höhe, bezogen auf die Objektivachse, in die Kammer als die zweite Kanalöffnung des wenigstens einen zweiten Kanals. Die ersten und zweiten Kanäle sind jeweils innerhalb der Fassungen zusammengeführt oder sie enden einzeln, wie in den Zeichnungen dargestellt, an einer Außenfläche der Fassungen, was insbesondere dann erforderlich ist, wenn die ersten und zweiten Kanalöffnungen sowohl Absaugkanäle als auch Zuströmkanäle sind. This object is achieved for a lens with rinsing, comprising at least one symmetrical to a lens axis chamber, which is bounded by opposing optical surfaces of two along the lens axis arranged, each in a socket mounted optical elements and inner surfaces of the two versions. There are at least two first channels each having a first channel opening and at least one second channel having a second channel opening, in order to be able to pass streams for flushing through the chamber between the at least two first channel openings and the at least one second channel opening. The first channel openings of the at least two first channels open at a different height, relative to the lens axis, into the chamber than the second channel opening of the at least one second channel. The first and second channels are each merged within the sockets or individually terminate on an outer surface of the sockets, as shown in the drawings, which is particularly necessary when the first and second channel openings are both suction and inflow channels.

Es ist erfindungswesentlich, dass die wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen und die wenigstens eine zweite Kanalöffnung innerhalb eines Winkelbereiches von kleiner 180° um die Objektivachse angeordnet sind. It is essential to the invention that the at least two first channel openings and the at least one second channel opening are arranged within an angular range of less than 180 ° about the objective axis.

Es ist des Weiteren erfindungswesentlich, dass die Innenflächen der zwei Fassungen eine an einer der zwei Fassungen ausgebildete erste radiale Ringfläche, eine an der anderen der zwei Fassungen ausgebildete zweite radiale Ringfläche und eine an wenigstens einer der zwei Fassungen ausgebildete Zylindermantelfläche enthalten und die ersten Kanalöffnungen in der ersten radialen Ringfläche und die wenigstens eine zweite Kanalöffnung in der zweiten radialen Ringfläche liegen. Dabei sind die ersten Kanalöffnungen jeweils mit einer ersten Kanalabdeckung überdeckt, die in radialer Richtung zur Objektivachse hin geöffnet ist, und die wenigstens eine zweite Kanalöffnung ist mit einer zweiten Kanalabdeckung überdeckt, die in tangentialer Richtung zur Objektivachse geöffnet ist. It is furthermore essential to the invention that the inner surfaces of the two sockets comprise a first radial annular surface formed on one of the two sockets, a second radial annular surface formed on the other of the two sockets and a cylinder jacket surface formed on at least one of the two sockets and the first channel openings in the first radial annular surface and the at least one second channel opening lie in the second radial annular surface. In this case, the first channel openings are each covered with a first channel cover, which is open in the radial direction to the lens axis, and the at least one second channel opening is covered with a second channel cover, which is open in the tangential direction to the lens axis.

Vorteilhaft sind die wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen und die wenigstens eine zweite Kanalöffnung jeweils symmetrisch zu einer Winkelhalbierenden des Winkelbereiches angeordnet. Advantageously, the at least two first channel openings and the at least one second channel opening are each arranged symmetrically to an angle bisector of the angular range.

Die erste Kanalabdeckung weist vorteilhaft eine erste Wandfläche und eine erste Deckfläche auf, wobei die erste Wandfläche die Form einer parabolischen Zylindermantelabschnittsfläche aufweist, mit einer Flächensymmetrieachse, die radial zur Objektivachse ausgerichtet ist, und die erste Deckfläche parallel zur ersten radialen Ringfläche angeordnet ist. The first channel cover advantageously has a first wall surface and a first cover surface, wherein the first wall surface has the shape of a parabolic cylinder jacket section surface, with a surface symmetry axis, which is aligned radially to the lens axis, and the first cover surface is arranged parallel to the first radial annular surface.

Die wenigstens eine der zweiten Kanalabdeckungen weist vorteilhaft zwei zweite Wandflächen und eine zweite Deckfläche auf, wobei die zwei zweiten Wandflächen jeweils eine Zylindermantelabschnittsfläche um die Objektivachse mit einem unterschiedlichen Radius zur Objektivachse darstellen und die zweite Deckfläche parallel zur zweiten radialen Ringfläche angeordnet ist. The at least one of the second channel covers advantageously has two second wall surfaces and a second cover surface, wherein the two second wall surfaces each represent a cylinder jacket section area around the lens axis with a different radius to the objective axis and the second cover surface is arranged parallel to the second radial annular surface.

In tangentialer Richtung zur Objektivachse ist die erste der zweiten Kanalabdeckungen vorteilhaft zweiseitig und die gegebenenfalls weiteren zweiten Kanalabdeckungen sind vorteilhaft einseitig geöffnet. In a tangential direction to the lens axis, the first of the second channel covers is advantageously two-sided and the optionally further second channel covers are advantageously open on one side.

Fertigungstechnisch günstig entspricht die Form der parabolischen Zylindermantelabschnittsfläche der ersten Wandfläche der Form einer Kreiszylindermantelabschnittsfläche. Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und Zeichnungen näher erläutert werden. In terms of manufacturing technology, the shape of the parabolic cylinder jacket section surface of the first wall surface corresponds to the shape of a circular cylinder jacket section surface. The invention will be explained in more detail with reference to embodiments and drawings.

Hierzu zeigen: Show:

1a einen Ausschnitt eines Längsschnittes durch ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Objektivs, 1a a detail of a longitudinal section through a first embodiment of an objective according to the invention,

1b–1e Querschnitte durch das Objektiv gemäß 1a, 1b - 1e Cross sections through the lens according to 1a .

2a einen Querschnitt entsprechend 1c durch ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Objektivs und 2a a cross section accordingly 1c by a second embodiment of an objective according to the invention and

2b einen Querschnitt entsprechend 1e durch das zweite Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Objektivs. 2 B a cross section accordingly 1e by the second embodiment of an objective according to the invention.

Unter einem Objektiv versteht man im weitesten Sinne wenigstens zwei optische Elemente 2, die entlang einer gemeinsamen optischen Achse, nachfolgend Objektivachse 1.1, angeordnet sind. Zur Positionierung und Lagefixierung der optischen Elemente 2 sind diese üblicherweise in Fassungen 3 aufgenommen und mittelbar über die Fassungen 3 mit benachbart angeordneten optischen Elementen 2 verbunden. So wird durch zwei jeweils benachbart angeordnete optische Elemente 2 im Zusammenwirken mit ihren Fassungen 3 jeweils eine Kammer 1 gebildet, die in der Regel staubdicht ist. Grundsätzlich können die gefassten optischen Elemente 2 auch über Anlagen und Abstandsringe in einem Objektivgehäuse zueinander positioniert und lagefixiert sein, sodass an der Bildung einer solchen Kammer 1 auch das Objektivgehäuse oder Abstandsringe beteiligt sein können. Im Sinne der Erfindung sollen alle mechanischen Bauteile, die an der Bildung einer solchen Kammer 1 beteiligt sein können, als Fassungen 3 der optischen Elemente 2 verstanden werden. Als optische Elemente 2 kommen hier insbesondere rotationssymmetrische optische Elemente 2 wie Spiegel, Strahlteilerplatten, Abschlussgläser und Linsen infrage. Üblicherweise enthält ein Objektiv eine Vielzahl solcher Kammern 1, für die unabhängig voneinander Maßnahmen für eine Spülung der angrenzenden optischen Elemente 2 getroffen werden können. Ob und gegebenenfalls welche Maßnahmen getroffen werden, hängt von der Schnelligkeit und dem Grad der Kontamination des Kammervolumens, der jeweiligen Auswirkung der Kontamination auf den Abbildungs- bzw. den Beleuchtungsstrahlengang des Objektives und der Dimensionierung der beteiligten optischen Elemente 2 ab. In the broadest sense, a lens is understood to mean at least two optical elements 2 , along a common optical axis, hereinafter objective axis 1.1 , are arranged. For positioning and fixing the position of the optical elements 2 These are usually in versions 3 recorded and indirectly via the versions 3 with adjacently arranged optical elements 2 connected. Thus, by two respectively adjacent arranged optical elements 2 in interaction with their versions 3 one chamber each 1 formed, which is usually dustproof. Basically, the captured optical elements 2 Also be positioned and fixed in position in a lens housing over systems and spacers in a lens housing, so that the formation of such a chamber 1 also the lens housing or spacer rings may be involved. For the purposes of the invention, all mechanical components that contribute to the formation of such a chamber 1 can be involved as versions 3 the optical elements 2 be understood. As optical elements 2 come here in particular rotationally symmetric optical elements 2 such as mirrors, beam splitter plates, cover glasses and lenses in question. Typically, a lens includes a plurality of such chambers 1 , for which independently measures for flushing the adjacent optical elements 2 can be taken. Whether and, if appropriate, which measures are taken depends on the speed and the degree of contamination of the chamber volume, the respective effect of the contamination on the imaging or illumination beam path of the objective and the dimensioning of the optical elements involved 2 from.

Die Maßnahmen, wie sie bei einem erfindungsgemäßen Objektiv getroffen werden, sind besonders geeignet, wenn die optische Fläche 2.1 wenigstens eines der beiden an der Kammerbildung beteiligten optischen Elemente 2 eine konvexe Oberfläche aufweist, wie anhand eines konkreten Ausführungsbeispiels an späterer Stelle erläutert wird. The measures taken in an objective according to the invention are particularly suitable if the optical surface 2.1 at least one of the two optical elements involved in the formation of the chamber 2 has a convex surface, as will be explained with reference to a concrete embodiment later.

Alle Ausführungen eines erfindungsgemäßen Objektivs, siehe hierzu 1a, enthalten wenigstens eine zu einer Objektivachse 1.1 symmetrische Kammer 1, die durch sich gegenüberliegende optische Flächen 2.1 zweier entlang der Objektivachse 1.1 angeordneter, jeweils in einer Fassung 3 gefasster optischer Elemente 2 sowie Innenflächen der zwei Fassungen 3 begrenzt ist. Es sind wenigstens zwei erste Kanäle 4 mit jeweils einer ersten Kanalöffnung 4.1 und wenigstens ein zweiter Kanal 5 mit einer zweiten Kanalöffnung 5.1 vorhanden, die durch die Fassungen 3 hindurch mit dem Kammervolumen in Verbindung stehen. Zwischen den wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen 4.1 und der wenigstens einen zweiten Kanalöffnung 5.1 können Ströme zur Spülung durch die Kammer 1 geführt werden. Gleich dem Stand der Technik münden die ersten Kanalöffnungen 4.1 der wenigstens zwei ersten Kanäle 4 in einer anderen Höhe, bezogen auf die Objektivachse 1.1, in die Kammer 1 als die zweite Kanalöffnung 5.1 des wenigstens einen zweiten Kanals 5. Die ersten Kanalöffnungen 4.1 stellen Zuströmöffnungen und die zweiten Kanalöffnungen 5.1 stellen Absaugöffnungen dar oder umgekehrt. All versions of an objective according to the invention, see 1a include at least one to a lens axis 1.1 symmetrical chamber 1 passing through opposing optical surfaces 2.1 two along the lens axis 1.1 arranged, each in a version 3 enclosed optical elements 2 as well as inside surfaces of the two versions 3 is limited. There are at least two first channels 4 each with a first channel opening 4.1 and at least a second channel 5 with a second channel opening 5.1 present through the frames 3 through communicating with the chamber volume. Between the at least two first channel openings 4.1 and the at least one second channel opening 5.1 may flush streams through the chamber 1 be guided. Like the prior art, the first channel openings open 4.1 the at least two first channels 4 at a different height, relative to the lens axis 1.1 , in the chamber 1 as the second channel opening 5.1 the at least one second channel 5 , The first canal openings 4.1 provide inflow openings and the second channel openings 5.1 represent suction openings or vice versa.

Es ist erfindungswesentlich, dass die wenigstens zwei ersten Kanalöffnungen 4.1 und die wenigstens eine zweite Kanalöffnung 5.1 innerhalb eines Winkelbereiches α von kleiner 180° um die Objektivachse 1.1 angeordnet sind, siehe 2a–2b. Das hat insbesondere den Vorteil, dass unabhängig davon, ob die ersten oder zweiten Kanalöffnungen 4.1, 5.1 als Zuströmöffnungen genutzt werden, sich die Geschwindigkeitsvektoren der zuströmenden Ströme nie vollständig kompensieren, sodass es an jedem Ort in der Kammer 1 Ströme gibt. It is essential to the invention that the at least two first channel openings 4.1 and the at least one second channel opening 5.1 within an angular range α of less than 180 ° about the lens axis 1.1 are arranged, see 2a - 2 B , This has the particular advantage that regardless of whether the first or second channel openings 4.1 . 5.1 are used as inflow openings, the velocity vectors of the inflowing streams never fully compensate each other so that it can be found anywhere in the chamber 1 Streams there.

Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel für ein erfindungsgemäßes Objektiv, schematisch dargestellt in den 1a–1e, weist die wenigstens eine Kammer 1 des Objektives (im Längsschnitt in 1a gezeigt) zwei erste Kanalöffnungen 4.1 und eine zweite Kanalöffnung 5.1 auf, die spiegelsymmetrisch zur Winkelhalbierenden W des Winkelbereiches α angeordnet sind. According to a first embodiment of an inventive lens, shown schematically in the 1a - 1e , Has the at least one chamber 1 of the objective (in longitudinal section in 1a shown) two first channel openings 4.1 and a second channel opening 5.1 on, which are arranged mirror-symmetrically to the bisector W of the angular range α.

Die Innenflächen der Fassungen 3 sind eine erste radiale Ringfläche 3.1, ausgebildet an einer der zwei Fassungen 3, eine zweite radiale Ringfläche 3.2, ausgebildet an der anderen der zwei Fassungen 3, und eine Umfangsfläche, die eine Zylindermantelfläche 3.3 ist, an deren Ausbildung beide der zwei Fassungen 3 beteiligt sind. Grundsätzlich kann die Umfangsfläche auch eine Kegelstumpfmantelfläche oder auch die Mantelfläche eines Quaders oder eines anderen Körpers mit einer polygonalen Grundfläche sein. The inner surfaces of the frames 3 are a first radial annular surface 3.1 , formed on one of the two frames 3 , a second radial annular surface 3.2 , formed on the other of the two versions 3 , and a peripheral surface, which is a cylinder jacket surface 3.3 is at whose training both of the two versions 3 involved. In principle, the peripheral surface may also be a truncated cone lateral surface or else the lateral surface of a cuboid or another body having a polygonal base surface.

Die ersten Kanalöffnungen 4.1 liegen in der ersten radialen Ringfläche 3.1 und die zweite Kanalöffnung 5.1 liegt in der zweiten radialen Ringfläche 3.2. Damit ergibt sich ein Abstand für die ersten Kanalöffnungen 4.1 und die zweite Kanalöffnung 5.1, der durch den Abstand der beiden radialen Ringflächen 3.1, 3.2 bestimmt ist, welche die Kammer 1 in ihrer Höhe in einen um das optische Element 2 gebildeten Ringbereich begrenzen. Damit wird abgesichert, dass über die gesamte Höhe der Kammer 1 wirkende Ströme erzeugt werden, was zu einem großen Volumenaustausch führt. Um die Strömungsrichtung der durch die beiden ersten Kanalöffnungen 4.1 bzw. alternativ die wenigstens eine zweite Kanalöffnung 5.1 eintretenden Ströme zu beeinflussen und die Ströme der wenigstens einen zweiten Kanalöffnung 5.1 bzw. alternativ den beiden ersten Kanalöffnungen 4.1 zum Absaugen zuzuführen, sind die ersten Kanalöffnungen 4.1 jeweils mit einer ersten Kanalabdeckung 6 abgedeckt, die in radialer Richtung zur Objektivachse 1.1 hin geöffnet ist, und die zweite Kanalöffnung 5.1 ist mit einer zweiten Kanalabdeckung 7 abgedeckt, die in tangentialer Richtung zur Objektivachse 1.1 geöffnet ist. The first canal openings 4.1 lie in the first radial annular surface 3.1 and the second channel opening 5.1 lies in the second radial annular surface 3.2 , This results in a distance for the first channel openings 4.1 and the second channel opening 5.1 by the distance of the two radial annular surfaces 3.1 . 3.2 it is determined which the chamber 1 in height in one around the optical element 2 limit the ring area formed. This ensures that over the entire height of the chamber 1 acting currents are generated, resulting in a large volume exchange. To the flow direction through the two first channel openings 4.1 or alternatively, the at least one second channel opening 5.1 to influence incoming streams and the streams of at least one second channel opening 5.1 or alternatively the two first channel openings 4.1 to supply suction, are the first channel openings 4.1 each with a first channel cover 6 covered in the radial direction to the lens axis 1.1 is open, and the second channel opening 5.1 is with a second channel cover 7 covered in the tangential direction to the lens axis 1.1 is open.

Die erste Kanalabdeckung 6 weist jeweils eine erste Wandfläche 6.1 und eine erste Deckfläche 6.2 auf, wobei die erste Wandfläche 6.1 die Form einer parabolischen Zylindermantelabschnittsfläche, bevorzugt einer Kreiszylindermantelabschnittsfläche, aufweist. Sie ist zu einer Flächensymmetrieachse A, die radial zur Objektivachse 1.1 ausgerichtet ist, spiegelsymmetrisch. The first channel cover 6 each has a first wall surface 6.1 and a first deck area 6.2 on, with the first wall surface 6.1 has the shape of a parabolic cylinder jacket section surface, preferably a circular cylinder jacket section surface. It is to a surface symmetry axis A, which is radial to the lens axis 1.1 is aligned, mirror-symmetrical.

Die erste Deckfläche 6.2 ist parallel zur ersten radialen Ringfläche 3.1 angeordnet und begrenzt die erste Wandfläche 6.1 mit einer Höhe h₆ in axialer Richtung. Die Öffnung der ersten Kanalabdeckung 6 stellt bestimmt durch die Höhe h₆ ein flaches Rechteck dar. The first deck area 6.2 is parallel to the first radial annular surface 3.1 arranged and limits the first wall surface 6.1 with a height h ₆ in the axial direction. The opening of the first channel cover 6 determined by the height h _{6 is} a flat rectangle.

Werden die ersten Kanalöffnungen 4.1 als Zuströmöffnungen verwendet, dann verlässt ein auf die Objektivachse 1.1 radial gerichteter, flacher, vergleichsweise breiter, wenigstens annähernd laminarer Strom die erste Kanalabdeckung 6. Genau genommen ist nur dessen Mittelstrahl radial zur Objektivachse 1.1 auf diese gerichtet. Die radiale Richtung stellt für den Strom die dominierende Richtung, das heißt die Vorzugsrichtung, dar. Be the first channel openings 4.1 used as inflow, then leaves on the lens axis 1.1 radially directed, flat, comparatively broad, at least approximately laminar flow the first channel cover 6 , Strictly speaking, only the center beam is radial to the lens axis 1.1 directed to this. The radial direction represents the dominant direction for the current, that is to say the preferred direction.

Die zweite Kanalabdeckung 7 weist eine zweite Deckfläche 7.2 und grundsätzlich zwei zweite Wandflächen 7.1 auf. Die zwei zweiten Wandflächen 7.1 stellen jeweils eine Zylindermantelabschnittsfläche eines Zylinders dar, dessen Zylinderachse mit der Objektivachse 1.1 zusammenfällt, wobei die Radien der Zylinder unterschiedlich sind. Aus der Differenz der Radien ergibt sich der Abstand zwischen den zwei zweiten Wandflächen 7.1, welcher für die Breite der tangentialen Öffnung bzw. Öffnungen der zweiten Kanalabdeckung 7 bestimmend ist. Auch hier ist die Breite der Öffnung groß im Vergleich zu deren Höhe, die durch die Höhe h₇ der zweiten Wandflächen 7.1 gegeben ist. Die zwei zweiten Wandflächen 7.1 können innerhalb der zweiten Kanalabdeckung 7 nur über die zweite Deckfläche 7.2 in Verbindung stehen, was bei einer Ausführung der mittleren, das heißt der ersten der zweiten Kanalabdeckungen 7, gemäß 2b gegeben ist. Diese zweite Kanalabdeckung 7 ist beidseitig tangential geöffnet, das heißt sie weist zwei sich gegenüberliegende Öffnungen auf. Im Falle der Verwendung des einen zweiten Kanals 5 als Absaugkanal treten Ströme durch beide Öffnungen mit einem entgegengesetzten Richtungssinn ein, treffen mittig aufeinander und werden über die zweite Kanalöffnung 5.1 abgeführt. Im Falle der Verwendung des einen zweiten Kanals 5 als Zuströmkanal verlassen die zweite Kanalabdeckung 7 zwei Ströme mit entgegengesetztem Richtungssinn, die auf der zur zweiten Kanalabdeckung 7 gegenüberliegenden Seite in der Kammer 1 aufeinandertreffen und gemeinsam, überwiegend radial, über die optischen Flächen 2.1 geführt werden. The second channel cover 7 has a second deck area 7.2 and basically two second wall surfaces 7.1 on. The two second wall surfaces 7.1 each represent a cylinder jacket portion surface of a cylinder whose cylinder axis with the lens axis 1.1 coincides, the radii of the cylinders are different. The difference between the radii results in the distance between the two second wall surfaces 7.1 , which is the width of the tangential opening or openings of the second channel cover 7 is determinative. Again, the width of the opening is large compared to their height, by the height h _{7 of} the second wall surfaces 7.1 given is. The two second wall surfaces 7.1 can be inside the second duct cover 7 only over the second deck area 7.2 associated with what in one embodiment of the middle, that is, the first of the second channel covers 7 , according to 2 B given is. This second channel cover 7 is open tangentially on both sides, that is, it has two opposing openings. In case of using the second channel 5 as a suction channel, flows through both openings with an opposite sense of direction, meet in the middle and are on the second channel opening 5.1 dissipated. In case of using the second channel 5 as inflow channel leave the second channel cover 7 two streams with opposite sense of direction, which on the second channel cover 7 opposite side in the chamber 1 meet and together, mostly radially, over the optical surfaces 2.1 be guided.

Die zwei zweiten Wandflächen 7.1 können auch über einen Mittelsteg verbunden sein, wie in der Ausführung der nur einen zweiten Kanalabdeckung 7 gemäß 1e gezeigt ist und was eine vereinfachte Montage erlaubt. Je nach Höhe des Mittelstegs treffen die Ströme höchstens teilweise aufeinander und werden wenigstens anteilig durch das Auftreffen auf den Mittelsteg zur zweiten Kanalöffnung 5.1 umgelenkt. The two second wall surfaces 7.1 can also be connected via a central web, as in the execution of only a second channel cover 7 according to 1e is shown and what allows a simplified assembly. Depending on the height of the central web, the streams at most partially meet each other and are at least partially by the impact on the central web to the second channel opening 5.1 diverted.

Die zweite Kanalöffnung 5.1 ist dann vorteilhaft ein Langloch oder durch zwei in den zweiten Kanal 5 führende Löcher gebildet. The second channel opening 5.1 is then advantageously a slot or through two in the second channel 5 leading holes formed.

Bei gegebenenfalls weiteren der zweiten Kanalabdeckungen 7 sind die zwei zweiten Wandflächen 7.1 vorteilhaft Teilflächen einer geschlossenen Fläche, wie das bei den in 2b gezeigten äußeren zweiten Kanalabdeckungen 7 zutrifft. Diese weiteren der zweiten Kanalabdeckungen 7 sind nur einseitig tangential geöffnet, das heißt sie weisen nur eine Öffnung auf, die jeweils von der ersten der zweiten Kanalöffnungen 5.1 abgewandt angeordnet ist. If necessary, further of the second channel covers 7 are the two second wall surfaces 7.1 advantageous partial surfaces of a closed surface, as in the in 2 B shown outer second channel covers 7 true. These further of the second channel covers 7 are open tangentially only on one side, that is, they have only one opening, each of the first of the second channel openings 5.1 is disposed away.

Die zweite Deckfläche 7.2 der zweiten Kanalabdeckungen 7 ist parallel zur zweiten radialen Ringfläche 3.2 angeordnet und begrenzt die zweiten Wandflächen 7.1 in axialer Richtung. The second deck area 7.2 the second channel covers 7 is parallel to the second radial annular surface 3.2 arranged and limits the second wall surfaces 7.1 in the axial direction.

Ein zweites Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel dadurch, dass fünf erste Kanalöffnungen 4.1 und drei zweite Kanalöffnungen 5.1 vorhanden sind. Die zweite und dritte der zweiten Kanalöffnungen 5.1 schließen die erste der zweiten Kanalöffnungen 5.1 zwischen sich ein. Dieses Ausführungsbeispiel hat den Vorteil, dass mehr Ströme durch die Kammer 1 geführt werden können. A second embodiment differs from the first embodiment in that five first channel openings 4.1 and three second channel openings 5.1 available. The second and third of the second channel openings 5.1 close the first of the second channel openings 5.1 between themselves. This embodiment has the advantage that more flows through the chamber 1 can be performed.

Durch die Möglichkeit der umgekehrten Verwendung der ersten und zweiten Kanalöffnungen 4.1, 5.1 kann das Objektiv in zwei verschiedenen Betriebsmodi alternativ oder auch gleichzeitig betrieben werden, das heißt die Absaugkanäle und Zuströmkanäle sind jeweils eine Teilmenge der ersten Kanäle 4 und der zweiten Kanäle 5. Due to the possibility of reverse use of the first and second channel openings 4.1 . 5.1 For example, the objective can be operated alternatively or also simultaneously in two different operating modes, that is to say the suction channels and inflow channels are each a subset of the first channels 4 and the second channels 5 ,

Sind die ersten Kanäle 4 die Zuströmkanäle, werden die Ströme zuerst über die optische Fläche 2.1 geleitet, während sie noch nicht kontaminiert sind. Are the first channels 4 the inflow channels, the currents are first across the optical surface 2.1 passed while they are not yet contaminated.

Sind die zweiten Kanäle 5 Zuströmkanäle, werden die Ströme erst um die optischen Elemente 2 geführt, bevor sie über die optischen Flächen 2.1 geleitet werden, was zu einem besseren Gasaustausch in der Kammer 1 führt. Are the second channels 5 Inflow channels, the currents are only around the optical elements 2 guided before going over the optical surfaces 2.1 be directed, resulting in a better gas exchange in the chamber 1 leads.

Das Objektiv bietet eine einfache Möglichkeit, unterschiedliche Strömungsverhältnisse zur Spülung der optischen Flächen 2.1 alternativ oder auch zeitgleich herzustellen und damit die Qualität des Spülens seiner optischen Elemente 2 zu verbessern. The lens offers an easy way to different flow conditions for flushing the optical surfaces 2.1 alternatively or simultaneously produce and thus the quality of rinsing its optical elements 2 to improve.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1: Kammer chamber
1.1 1.1: Objektivachse lens axis
2 2: optisches Element optical element
2.1 2.1: optische Fläche optical surface
3 3: Fassung version
3.1 3.1: erste radiale Ringfläche first radial annular surface
3.2 3.2: zweite radiale Ringfläche second radial annular surface
3.3 3.3: Zylindermantelfläche Cylinder surface
4 4: erster Kanal first channel
4.1 4.1: erste Kanalöffnung first channel opening
5 5: zweiter Kanal second channel
5.1 5.1: zweite Kanalöffnung second channel opening
6 6: erste Kanalabdeckung first channel cover
6.1 6.1: erste Wandfläche first wall surface
6.2 6.2: erste Deckfläche first deck area
7 7: zweite Kanalabdeckung second channel cover
7.1 7.1: zweite Wandfläche second wall surface
7.2 7.2: zweite Deckfläche second deck area
A A: Flächensymmetrieachse Surface symmetry axis
h₆ h ₆: Höhe der ersten Wandfläche 6.1 Height of the first wall surface 6.1
h₇ h ₇: Höhe der zweiten Wandfläche 7.1 Height of the second wall surface 7.1
α α: Winkelbereich angle range
W W: Winkelhalbierende bisecting

Claims

Lens with rinsing, containing at least one to a lens axis ( 1.1 ) symmetrical chamber ( 1 ) by opposing optical surfaces ( 2.1 ) two along the lens axis ( 1.1 ), each in a version ( 3 ) composed optical elements ( 2 ) and inner surfaces of the two versions ( 3 ), at least two first channels ( 4 ) each having a first channel opening ( 4.1 ) and at least a second channel ( 5 ) with a second channel opening ( 5.1 ) are provided to between the at least two first channel openings ( 4.1 ) and the second channel opening ( 5.1 ) of the at least one second channel ( 5 ) Streams for flushing through the chamber ( 1 ), and the first channel openings ( 4.1 ) of the at least two first channels ( 4 ) at a different height, relative to the lens axis ( 1.1 ), into the chamber ( 1 ) open as the second channel opening ( 5.1 ) of the at least one second channel ( 5 ), wherein the at least two first channel openings ( 4.1 ) and the second channel opening ( 5.1 ) of the at least one second channel ( 5 ) within an angular range (α) of less than 180 ° about the lens axis ( 1.1 ) are characterized in that the inner surfaces of the two versions ( 3 ) one on one of the two versions ( 3 ) formed first radial annular surface ( 3.1 ), one on the other of the two versions ( 3 ) formed second radial annular surface ( 3.2 ) and one on at least one of the two versions ( 3 ) formed cylindrical surface ( 3.3 ) and the first channel openings ( 4.1 ) in the first radial annular surface ( 3.1 ) and the at least one second channel opening ( 5.1 ) in the second radial annular surface ( 3.2 ), wherein the first channel openings ( 4.1 ) each with a first channel cover ( 6 ) are covered in the radial direction to the lens axis ( 1.1 ), and the at least one second channel opening ( 5.1 ) with a second channel cover ( 7 ) which is tangential to the lens axis ( 1.1 ) is open.

Lens with flushing according to claim 1, characterized in that the at least two first channel openings ( 4.1 ) and the second channel opening ( 5.1 ) of the at least one second channel ( 5 ) are each arranged symmetrically to an angle bisector (W) of the angular range (α).

Lens with rinsing according to claim 2, characterized in that the first channel cover ( 6 ) a first wall surface ( 6.1 ) and a first top surface ( 6.2 ), wherein the first wall surface ( 6.1 ) has the shape of a parabolic cylinder jacket section surface, with a surface symmetry axis (A), which is radial to the lens axis ( 1.1 ), and the first top surface ( 6.2 ) parallel to the first radial annular surface ( 3.1 ) is arranged.

Lens with rinsing according to claim 1 or 3, characterized in that the at least one of the second channel covers ( 7 ) two second wall surfaces ( 7.1 ) and a second cover surface ( 7.2 ), wherein the two second wall surfaces ( 7.1 ) each have a cylinder jacket section area around the lens axis ( 1.1 ) with a different radius to the lens axis ( 1.1 ) and the second top surface ( 7.2 ) parallel to the second radial annular surface ( 3.2 ) is arranged.

Lens with rinsing according to claim 4, characterized in that in the tangential direction to the lens axis ( 1.1 ) the first of the second channel covers ( 7 ) on two sides and the optionally further second channel covers ( 7 ) are open on one side.

Lens rinsing lens according to claim 3, characterized in that the shape of the parabolic cylindrical surface portion of the first wall surface ( 6.1 ) corresponds to the shape of a circular cylinder jacket section surface.

Lens with flushing according to one of the preceding claims, characterized in that the at least two first channels ( 4 ) Are inflow channels and the at least one second channel ( 5 ) is a suction channel.

Lens with rinsing according to one of claims 1 to 5, characterized in that the at least two first channels ( 4 ) Are suction channels and the at least one second channel ( 5 ) is an inflow channel.