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DE102015224115B4 - LASER BEAM PROCESSING DEVICE WITH A COUPLING DEVICE FOR COUPLING A FOCUSED LASER BEAM INTO A JET OF LIQUID - Google Patents

LASER BEAM PROCESSING DEVICE WITH A COUPLING DEVICE FOR COUPLING A FOCUSED LASER BEAM INTO A JET OF LIQUID Download PDF

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DE102015224115B4
DE102015224115B4 DE102015224115.7A DE102015224115A DE102015224115B4 DE 102015224115 B4 DE102015224115 B4 DE 102015224115B4 DE 102015224115 A DE102015224115 A DE 102015224115A DE 102015224115 B4 DE102015224115 B4 DE 102015224115B4
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liquid jet
chamber
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Jens Günter Gäbelein
Jeroen Hribar
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Original Assignee
Avonisys AG
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Priority to US15/780,705 priority patent/US10933491B2/en
Priority to PCT/EP2016/079305 priority patent/WO2017093331A1/en
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Abstract

Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung mit einer Einkoppelvorrichtung (1) zum Einkoppeln eines fokussierten Laserstrahls (2) in einen Flüssigkeitsstrahl (3) definierten Querschnittes, aufweisend:eine in einem Gehäuse (4) angeordnete Flüssigkeitsdüse (5) zur Ausbildung des Flüssigkeitsstrahls (3); undeine in dem Gehäuse (4) angeordnete Austrittsöffnung (6) mit einem Querschnitt A4,durch welche der Flüssigkeitsstrahl (3) aus dem Gehäuse (4) austritt und deren Querschnitt größer als der Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls (3) ist; undeine zwischen der Flüssigkeitsdüse (5) und der Austrittsöffnung (6) angeordnete Durchtrittskammer (7) für den Flüssigkeitsstrahl (3);eine Gas-Zuführung mit einem Querschnitt A1 und einem Druck p1; eine Druckkammer (9) für das Gas in Form eines Stauraumes mit einem Querschnitt A2 und einem Druck p2;und einen Ausgang eines ringförmigen Gasstrahles (17) aus einer Gasaustrittsdüse (11) mit einem Druck p5; dadurch gekennzeichnet, dasszumindest eine mit der Durchtrittskammer (7) strömungsverbundene Drosselbohrung (8) mit dem Querschnitt A3, an deren durchtrittskammerabgewandter Seite ein Gas in der Druckkammer (9) mit dem Druck p2 größer als in der Durchtrittskammer (7) anliegt, vorgesehen ist, wobei A1 < A2, A2 > A3, A3 < A4 und ein aus dem Querschnitt der als Blende ausgebildeten Austrittsöffnung (6) vermindert um den Querschnitt des Flüssigkeitsstrahles (3) gebildeter resultierender Austrittsöffnungsquerschnitt derart dimensioniert sind, dass in der Durchtrittskammer (7) kein Überdruck gegenüber dem Druck in der Druckkammer (9) herrscht und für die Drücke p1 > p2 und p2 < p5 gilt.Laser beam processing device with a coupling device (1) for coupling a focused laser beam (2) into a liquid jet (3) defined cross section, comprising: a liquid nozzle (5) arranged in a housing (4) for forming the liquid jet (3); andan outlet opening (6) which is arranged in the housing (4) and has a cross section A4, through which the liquid jet (3) emerges from the housing (4) and whose cross section is larger than the cross section of the liquid jet (3); anda passage chamber (7) for the liquid jet (3) arranged between the liquid nozzle (5) and the outlet opening (6); a gas supply with a cross section A1 and a pressure p1; a pressure chamber (9) for the gas in the form of a storage space with a cross section A2 and a pressure p2, and an exit of an annular gas jet (17) from a gas outlet nozzle (11) with a pressure p5; characterized in that at least one throttle bore (8) with the cross-section A3, which is flow-connected to the passage chamber (7) and on whose side facing away from the passage chamber, a gas is present in the pressure chamber (9) with a pressure p2 greater than in the passage chamber (7), where A1 <A2, A2> A3, A3 <A4 and a resulting exit opening cross-section formed from the cross-section of the exit opening (6) designed as a diaphragm less the cross-section of the liquid jet (3) are dimensioned in such a way that there is no overpressure in the passage chamber (7) compared to the pressure in the pressure chamber (9) and applies to the pressures p1> p2 and p2 <p5.

Description

Die Erfindung betrifft eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. Die Lasertechnologie wird zunehmend auch zur Materialbearbeitung von Werkstücken an deren Oberflächen benutzt und wird dabei zum Schneiden, Bohren, Schweißen, Markieren, Eingravieren sowie zur Oberflächenabtragung von Material an einem zu bearbeitenden Werkstück eingesetzt. Der Vorteil der Lasertechnologie besteht darin, dass nahezu sämtliche Materialien bearbeitet werden können wie zum Bespiel Metalle, Metalllegierungen, Keramiken, selbst Diamanten einschließlich synthetischer Diamanten, Karbonfasern, Saphire, Quarz, Glas, Kunststoffe und andere. Damit im Rahmen der Lasertechnologie der die eigentliche Bearbeitung realisierende Laserstrahl die Bearbeitungsaufgabe zuverlässig ausführen kann, muss der Laserstrahl möglichst stark fokussiert werden, damit ausreichend Energie zur Werkstückbearbeitung am Ort der Bearbeitung des Werkstückes vorliegt. Bei flüssigkeits-geführten Laserstrahlen wird ein Laserstrahl, welcher fokussiert ist, in einen Flüssigkeitsstrahl eingekoppelt, welcher dünn wie ein menschliches Haar sein kann bzw. vorzugsweise ist.The invention relates to a laser beam machining device according to the preamble of claim 1. Laser technology is increasingly used for machining workpieces on their surfaces and is used for cutting, drilling, welding, marking, engraving and for removing material from the surface of a workpiece to be machined used. The advantage of laser technology is that almost all materials can be processed, such as metals, metal alloys, ceramics, even diamonds including synthetic diamonds, carbon fibers, sapphires, quartz, glass, plastics and others. In order for the laser beam that realizes the actual machining to perform the machining task reliably within the framework of laser technology, the laser beam must be focused as strongly as possible so that there is sufficient energy for workpiece machining at the location where the workpiece is machined. In the case of liquid-guided laser beams, a laser beam which is focused is coupled into a liquid beam which can or is preferably as thin as a human hair.

Diese flüssigkeitsstrahl-geführten Laser sind bekannt. Das eigentliche Einkoppeln des Laserstrahls in den Flüssigkeitsstrahl wird in einer Koppeleinheit realisiert. Die Koppeleinheit besteht bekanntermaßen aus einer Metallkammer, welche auf der Seite der Fokussierlinse für den Laserstrahl mittels eines Laserschutzfensters geschlossen ist. Auf der dazu gegenüberliegenden Seite trägt die Kammer eine Düse. Die zur Koppeleinheit zugeführte Flüssigkeit strömt zwischen dem Schutzfenster und der Düse und verlässt die Düse in Form eines Flüssigkeitsstrahles. Dabei wird die Energie des zu einem Punkt fokussierten Laserstrahls in der Brennpunktebene innerhalb des Flüssigkeitsstrahls gefangen und zu dem Bearbeitungsort am Werkstück mittels des Flüssigkeitsstrahles geführt. Der Vorteil dieser Art des Hinbringens des Laserstrahls an die Bearbeitungsoberfläche des Werkstückes eliminiert die Notwendigkeit, die Entfernung des Werkstückes - bezogen auf den Ort der Düse zur Erzeugung des Flüssigkeitsstrahls - präzise zu steuern, da die für die Bearbeitung notwendige Energie im Bereich des gesamten laminaren Flüssigkeitsstrahles vorhanden ist. Dabei kann jede Flüssigkeit verwendet werden, welche eine geeignete Lichtleitungsfähigkeit hat.These liquid jet guided lasers are known. The actual coupling of the laser beam into the liquid jet is implemented in a coupling unit. As is known, the coupling unit consists of a metal chamber which is closed on the side of the focusing lens for the laser beam by means of a laser protection window. On the opposite side, the chamber has a nozzle. The liquid supplied to the coupling unit flows between the protective window and the nozzle and leaves the nozzle in the form of a liquid jet. The energy of the laser beam focused to a point is captured in the focal plane within the liquid jet and guided to the machining location on the workpiece by means of the liquid jet. The advantage of this way of bringing the laser beam to the processing surface of the workpiece eliminates the need to precisely control the removal of the workpiece - based on the location of the nozzle for generating the liquid jet, since the energy required for the machining is in the area of the entire laminar liquid jet is available. Any liquid can be used which has a suitable light conductivity.

Für diese bekannten Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtungen sind im Rahmen von deren Entwicklung und Weiterentwicklung zahlreiche Maßnahmen zur Verbesserung des Verhaltens und zur Verbesserung der Effektivität des eingesetzten Laserstrahls vorgenommen worden. So ist gemäß EP 1 833 636 B1 eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahles für eine Materialbearbeitung beschrieben, bei welcher die Koppeleinheit unterhalb der Düse für die Erzeugung des Flüssigkeitsstrahles eine Durchtrittskammer aufweist, welche nach unten in Richtung des Austritts des Flüssigkeitsstrahles aus dieser Durchtrittskammer eine trichterförmige Verjüngung aufweist, in welche ein Gas eingeleitet wird und welche eine an der Austrittsstelle vorhandene, den Gasstrom formende Düse aufweist. Der Gasstrom am Austritt wird durch die trichterförmige Gestaltung der Durchtrittskammer so geformt, dass er den Flüssigkeitsstrahl umhüllt und somit weitestgehend auch vor Auffächerung bewahrt. Dazu ist es erforderlich, dass die Durchtrittskammer unter einem gewissen Überdruck steht.For these known laser beam processing devices, numerous measures have been taken in the course of their development and further development to improve the behavior and improve the effectiveness of the laser beam used. So is according to EP 1 833 636 B1 a device for generating a liquid jet for material processing is described, in which the coupling unit below the nozzle for generating the liquid jet has a passage chamber which has a funnel-shaped taper in the direction of the exit of the liquid jet from this passage chamber, into which a gas is introduced and which has a nozzle which is present at the outlet and forms the gas flow. The gas flow at the outlet is shaped by the funnel-shaped design of the passage chamber in such a way that it envelops the liquid jet and thus largely prevents it from fanning out. For this it is necessary that the passage chamber is under a certain overpressure.

Der Umhüllungsgasstrom soll die Reibung des Flüssigkeitsstrahls an der umgebenden Luft verringern, um so die Kohärenz des Flüssigkeitsstrahls zu verbessern. Damit der Umhüllungsgasstrom dem gerecht wird, können dessen Druck und Strömmungseigenschaften nur in relativ engen Grenzen variiert werden. Für ein Verdrängen der mit dem Flüssigkeitsstrahl auf die zu bearbeitende Werkstückoberfläche transportierte Flüssigkeit reicht vor allem bei Kavitäten im Werkstück, in denen sich die Flüssigkeit rasch sammelt, dessen kinetische Energie nicht aus. Deshalb muss der in den Flüssigkeitsstrahl eingekoppelte Laserstrahl durch auf der Werkstückoberfläche angesammelte Flüssigkeit erst hindurchdringen, bis dieser die zu bearbeitende Oberfläche erreicht. Dadurch ist dessen Bearbeitungsfähigkeit an der Werkstückoberfläche erheblich eingeschränkt.The enveloping gas flow is intended to reduce the friction between the liquid jet and the surrounding air in order to improve the coherence of the liquid jet. In order for the enveloping gas flow to do justice to this, its pressure and flow properties can only be varied within relatively narrow limits. For a displacement of the liquid transported with the liquid jet onto the workpiece surface to be processed, its kinetic energy is not sufficient, especially in cavities in the workpiece in which the liquid collects quickly. Therefore, the laser beam coupled into the liquid jet must first penetrate the liquid that has accumulated on the workpiece surface until it reaches the surface to be processed. As a result, its machinability on the workpiece surface is considerably restricted.

Des Weiteren ist in der WO 2015087209 A2 eine Einkoppeleinheit beschrieben, bei welcher das Gas, welches die Flüssigkeit an der Werkstückoberfläche verdrängen soll, vom Flüssigkeitsstrahl getrennt ist bzw. um einen gewissen Betrag davon beabstandet ist. Dieser Gasstrahl ist als Ringstrahl ausgebildet und umhüllt den Flüssigkeitsstrahl. Innerhalb des Ringstrahles des Gases ist der Flüssigkeitsstrahl aber als Freistrahl ausgebildet.Furthermore, in the WO 2015087209 A2 a coupling unit is described in which the gas which is to displace the liquid on the workpiece surface is separated from the liquid jet or is spaced from it by a certain amount. This gas jet is designed as a ring jet and envelops the liquid jet. Within the ring jet of the gas, however, the liquid jet is designed as a free jet.

Dies wird bei der bekannten Einkoppeleinheit dadurch erreicht, dass ein sogenanntes Insert in der Einkoppeleinrichtung eingefügt ist, mittels welchem eine Durchtrittskammer für den Flüssigkeitsstrahl gebildet wird, welche separat von einer am Außenumfang des Inserts angeordneten zweiten Kammer, der Druckkammer für das Gas, d. h. davon getrennt ist. Bei dieser bekannten Einkoppelvorrichtung ist des Weiteren eine zweite Gasquelle vorgesehen, aus welcher in relativ geringem Maße, jedenfalls in deutlich geringerem Maße als für den Ringstrahl zum Verdrängen der Flüssigkeit an der Werkstückoberfläche erforderlich, ein Hilfsgas in die Durchtrittskammer für den Flüssigkeitsstrahl eingeleitet wird, dessen Aufgabe darin besteht, den Flüssigkeitsstrahl in gewisser Weise nur an dessen Oberfläche zu schützen. Das Insert ist an seinem unteren Austrittsende, welches gegenüber der Düse, in welcher der Flüssigkeitsstrahl erzeugt wird, angeordnet ist, blendenartig eingezogen ist. Ein Nachteil dieser bekannten Vorrichtung besteht darin, dass durch den Flüssigkeitsstrahl mitgerissene Gaspartikel bzw. Luftpartikel, und zwar zusätzlich zu dem Hilfsgas, aus der Durchtrittskammer nach außen getragen werden können, so dass in der Durchtrittskammer durchaus ein Unterdruck oder Vakuum entstehen kann. Bei längerem Betrieb der Einkoppeleinrichtung kann ein solcher Unterdruck dazu führen, dass der Flüssigkeitsstrahl, wenn ein kritischer Wert des Unterdruckes in der Durchtrittskammer erreicht ist, gegebenenfalls sogar komplett auffächert und damit seine eigentliche Funktion unterbrochen wird.This is achieved in the known coupling unit in that a so-called insert is inserted in the coupling device, by means of which a passage chamber for the liquid jet is formed, which is separate from a second chamber, the pressure chamber for the gas, which is arranged on the outer circumference of the insert is. In this known coupling device, a second gas source is also provided, from which an auxiliary gas is introduced into the passage chamber for the liquid jet to a relatively small extent, at least to a significantly lesser extent than required for the ring jet to displace the liquid on the workpiece surface consists in the liquid jet in a certain way only to its surface protect. The insert is drawn in like a diaphragm at its lower exit end, which is arranged opposite the nozzle in which the liquid jet is generated. A disadvantage of this known device is that gas particles or air particles entrained by the liquid jet, in addition to the auxiliary gas, can be carried out of the passage chamber, so that a negative pressure or vacuum can definitely arise in the passage chamber. During prolonged operation of the coupling device, such a negative pressure can lead to the liquid jet, if a critical value of the negative pressure is reached in the passage chamber, possibly even fanning out completely and thus its actual function is interrupted.

Des Weiteren ist in der WO 2015087209 A2 gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel beschrieben, dass in dem Insert Bohrungen zwischen der Zuleitung bzw. der Druckkammer des Oberflächengasstrahls und der Durchtrittskammer für den Flüssigkeitsstrahl vorgesehen sind. Diese Bohrungen sollen den Druck in der Durchtrittskammer bezüglich des Außendruckes ausgleichen. Diese Ausgleichsbohrungen berücksichtigen jedoch nicht den Umstand, und dieser Gesichtspunkt ist in dieser bekannten Einkoppeleinrichtung gemäß diesem Stand der Technik auch nicht ansatzweise beschrieben, dass der Druck in der Durchtrittskammer vom oberen Bereich, welcher der Düse für die Erzeugung des Flüssigkeitsstrahls zugewandt ist, und dem unteren Bereich, aus welchem der Flüssigkeitsstrahl austritt, variiert. Damit dennoch verhindert werden kann, dass der Flüssigkeitsstrahl durch das Mitreißen von Luftmolekülen beim Durchdringen des Durchtrittsraumes schrittweise den Druck darin absenkt, so dass gegebenenfalls auch ein kritischer Druck erreicht wird, bei welchem der Flüssigkeitsstrahl auffächert, ist bei diesem bekannten Ausführungsbeispiel zusätzlich vorgesehen, dass in die Durchtrittskammer ein Hilfsgas eingebracht wird, welches den Flüssigkeitsstrahl umhüllen und mit diesem gemeinsam aus der unteren Öffnung des Inserts austreten soll. Dieses zusätzliche Hilfsgas mag zwar dazu beitragen, dass Verschmutzungen in das Innere der Durchtrittskammer von außen nicht eindringen, der zusätzliche Hilfsgasstrom verkompliziert jedoch den baulichen Aufwand für die Einkoppelvorrichtung und erfordert eine relativ komplexe Steuerung, soll überhaupt der gewünschte Druckausgleichseffekt erreicht werden, und zwar eine Steuerung bzw. Regelung der Gasmenge, des Gasdruckes und der Gasparameter der Hilfsgasversorgung in Abhängigkeit von dem Druck des ringförmigen Oberflächengasstrahles.Furthermore, in the WO 2015087209 A2 According to a further exemplary embodiment, it is described that bores are provided in the insert between the feed line or the pressure chamber of the surface gas jet and the passage chamber for the liquid jet. These bores are intended to equalize the pressure in the passage chamber with respect to the external pressure. However, these compensating bores do not take into account the fact, and this aspect is not even rudimentarily described in this known coupling device according to this prior art, that the pressure in the passage chamber from the upper area, which faces the nozzle for generating the liquid jet, and the lower The area from which the jet of liquid emerges varies. In order to prevent the liquid jet from gradually lowering the pressure therein due to the entrainment of air molecules as it penetrates the passage space, so that a critical pressure is reached at which the liquid jet fans out, it is additionally provided in this known embodiment that in an auxiliary gas is introduced into the passage chamber which envelops the liquid jet and is intended to exit together with it from the lower opening of the insert. This additional auxiliary gas may contribute to the fact that contamination does not penetrate into the interior of the passage chamber from the outside, but the additional auxiliary gas flow complicates the structural effort for the coupling device and requires a relatively complex control, if the desired pressure equalization effect is to be achieved at all, namely a control or regulation of the gas quantity, the gas pressure and the gas parameters of the auxiliary gas supply as a function of the pressure of the annular surface gas jet.

Diese zahlreichen Versuche einer Optimierung der eigentlichen Bearbeitung am Werkstück mittels dieser verschiedenen bekannten Einkoppelvorrichtungen haben schon zu recht brauchbaren Ergebnissen bei der Bearbeitung der Werkstücke mittels Laserstrahl geführt, weisen aber noch immer Nachteile bzw. Verbesserungsmöglichkeiten auf.These numerous attempts to optimize the actual machining on the workpiece by means of these various known coupling devices have already led to quite useful results when machining the workpieces by means of a laser beam, but they still have disadvantages and opportunities for improvement.

Die Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, die Nachteile der Vorrichtungen gemäß dem Stand der Technik zu überwinden und eine weitere Verbesserung der Effektivität der Bearbeitung und der Zuverlässigkeit der Einkoppelvorrichtung zu erreichen.The object of the invention is therefore to overcome the disadvantages of the devices according to the prior art and to achieve a further improvement in the effectiveness of the processing and the reliability of the coupling device.

Diese Aufgabe wird durch eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 und durch ein Verfahren zum Einstellen eines Druckes in einer Einkoppelvorrichtung mit den Merkmalen gemäß Anspruch 8 erreicht. Zweckmäßige Weiterbildungen sind in den jeweiligen abhängigen Ansprüchen definiert.This object is achieved by a laser beam machining device with the features according to claim 1 and by a method for setting a pressure in a coupling device with the features according to claim 8. Appropriate further developments are defined in the respective dependent claims.

Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung weist die Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung eine Einkoppelvorrichtung auf zum Einkoppeln eines fokussierten Laserstrahls in einen Flüssigkeitsstrahl mit einem definierten Querschnitt. Die Einkoppelvorrichtung weist ein Gehäuse auf, in welchem eine Flüssigkeitsdüse vorgesehen ist, welche den Flüssigkeitsstrahl ausbildet. Außerdem weist das Gehäuse eine Austrittsöffnung auf, durch welche der aus der Flüssigkeitsdüse zuvor ausgetretene und ausgebildete Flüssigkeitsstrahl aus dem Gehäuse austritt. Vorzugsweise ist der Querschnitt der Austrittsöffnung größer als der Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls. Nachdem der Flüssigkeitsstrahl durch die Flüssigkeitsdüse ausgebildet worden ist, durchläuft er eine Durchtrittskammer, bis er aus der Austrittsöffnung austritt. Das bedeutet, dass die Durchtrittskammer zwischen der Flüssigkeitsdüse und der Austrittsöffnung im Gehäuse angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist nun eine Druckkammer vorgesehen, welche mit einem Gas beaufschlagt wird. Von der Druckkammer zur Durchtrittskammer führt zumindest eine beide Kammern strömungsverbindende Drosselbohrung. An deren durchtrittskammerabgewandter Seite, d. h. auf der Seite der Druckkammer, liegt ein Druck an, welcher größer ist als der Druck in der Durchtrittskammer. Erfindungsgemäß sind der Querschnitt der zumindest einen Drosselbohrung und ein resultierender Austrittsöffnungsquerschnitt, welcher aus dem Querschnitt der Austrittsöffnung vermindert um den Querschnitt des Flüssigkeitsstrahles definiert ist, welcher keine direkte Umhüllung durch einen Gasstrahl bei seinem Austritt aus der und bei seinem Durchtritt durch die Durchtrittskammer und auch nach seinem Austritt aus der Austrittsöffnung aufweist, derart dimensioniert, dass in der Durchtrittskammer gegenüber dem Druck in der Druckkammer kein Überdruck herrscht. Vorzugsweise ist der Druck in der Druckkammer größer als der Außendruck. Das bedeutet für diesen Fall, dass die Drosselbohrung so dimensioniert ist, dass in der Durchtrittskammer gegenüber dem Außendruck kein Überdruck herrscht. Es ist jedoch auch möglich, dass in der Druckkammer aufgrund einer entsprechend vorgesehenen Ableitung des der Druckkammer zunächst zugeführten Gases ein gewisser Unterdruck im Vergleich zum Außendruck herrscht. Wegen des sich in der Durchtrittskammer ausbildenden Druckes, welcher den Druck in der Druckkammer nicht übersteigt, d. h. kein Überdruck oder ein Unterdruck ist, erfolgt ein entsprechendes Überströmen des Gases von der Druckkammer in die Durchtrittskammer. Vorzugsweise ist jede Drosselbohrung parallel zur Ausbreitungsrichtung des Flüssigkeitsstrahles verlaufend angeordnet. In einem solchen Fall realisiert die Drosselbohrung ein derartiges Überströmen von der Druckkammer in die Durchtrittskammer, dass dort ein Unterdruck sich ausbildet oder geschaffen wird, welcher nicht den Druck in der Druckkammer übersteigt.According to a first aspect of the invention, the laser beam machining device has a coupling device for coupling a focused laser beam into a liquid jet with a defined cross section. The coupling device has a housing in which a liquid nozzle is provided which forms the liquid jet. In addition, the housing has an outlet opening through which the liquid jet that has previously emerged and formed from the liquid nozzle emerges from the housing. The cross section of the outlet opening is preferably larger than the cross section of the liquid jet. After the liquid jet has been formed by the liquid nozzle, it passes through a passage chamber until it emerges from the outlet opening. This means that the passage chamber is arranged between the liquid nozzle and the outlet opening in the housing. According to the invention, a pressure chamber is now provided to which a gas is applied. At least one flow-connecting throttle bore leads from the pressure chamber to the passage chamber. On the side facing away from the passage chamber, ie on the side of the pressure chamber, there is a pressure which is greater than the pressure in the passage chamber. According to the invention, the cross section of the at least one throttle bore and a resulting outlet opening cross section, which is defined from the cross section of the outlet opening reduced by the cross section of the liquid jet, which is not directly enveloped by a gas jet when it emerges from and when it passes through the passage chamber and also after having its exit from the outlet opening, dimensioned such that there is no excess pressure in the passage chamber compared to the pressure in the pressure chamber. The pressure in the pressure chamber is preferably greater than the external pressure. In this case, this means that the throttle bore is dimensioned in such a way that there is no overpressure in the passage chamber in relation to the external pressure. It is however, it is also possible that a certain negative pressure compared to the external pressure prevails in the pressure chamber due to a correspondingly provided discharge of the gas initially supplied to the pressure chamber. Because of the pressure developing in the passage chamber, which does not exceed the pressure in the pressure chamber, ie is not an overpressure or a negative pressure, a corresponding overflow of the gas takes place from the pressure chamber into the passage chamber. Each throttle bore is preferably arranged to run parallel to the direction of propagation of the liquid jet. In such a case, the throttle bore realizes such an overflow from the pressure chamber into the passage chamber that a negative pressure develops or is created there which does not exceed the pressure in the pressure chamber.

Da über die Drosselbohrung ein Überströmen des Gases von der Druckkammer in die Durchtrittskammer unter einem dimensionierungsbedingt vorhandenen Druckabfall auftritt, ist erfindungsgemäß nun vorgesehen, dass der Querschnitt der Drosselbohrung wie auch der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt derart und zueinander dimensioniert sind, dass sich Druckverhältnisse in der Durchtrittskammer einstellen, welche auch nach längerem Betrieb ein Absinken des Druckes bis auf einen kritischen Druck, bei welchem ansonsten der Flüssigkeitsstrahl aufbrechen würde, vermieden wird. Durch diese dimensionsmäßige Abstimmung des Querschnittes der Drosselbohrung bzw. des Querschnittes von vorzugsweise vorhandenen mehreren Drosselbohrungen und dem resultierenden Austrittsöffnungsquerschnitt am Gehäuse der Einkoppelvorrichtung wird gewährleistet, dass der Flüssigkeitsstrahl einen solche laminare Länge beibehält, dass der eingekoppelte Laserstrahl zuverlässig zu der Bearbeitungsstelle an der Werkstückoberfläche gebracht werden kann und dort mit hoher Effektivität den vorgesehenen Materialabtrag realisiert. Und dies ist gemäß der Erfindung möglich, ohne dass für den Flüssigkeitsstrahl eine direkte Ummantelung durch ein Hilfsgas oder durch einen Gasstrahl ringförmiger Anordnung, welcher direkt an den Flüssigkeitsstrahl anliegt, vorhanden sein muss. Die kinetische Energie des Flüssigkeitsstrahles ist dabei hoch genug, dass im Falle beispielsweise von ebenen oder konvexen zu bearbeitenden Oberflächen, das mit dem Flüssigkeitsstrahl an die Bearbeitungsstelle transportierte Wasser bzw. die dorthin transportierte Flüssigkeit ohne Weiteres ablaufen kann, so dass der in den Flüssigkeitsstrahl eingekoppelte Laser direkt zur Bearbeitungsoberfläche geführt werden kann, ohne dass er eine die Effektivität der Bearbeitung negativ beeinflussende Wassersäule durchdringen muss.Since the gas overflows from the pressure chamber into the passage chamber via the throttle bore with a pressure drop due to the dimensions, it is now provided according to the invention that the cross-section of the throttle bore and the resulting outlet opening cross-section are dimensioned in such a way and with respect to one another that pressure conditions are established in the passage chamber, which, even after prolonged operation, prevents the pressure from dropping to a critical pressure at which the liquid jet would otherwise break open. This dimensional coordination of the cross-section of the throttle bore or the cross-section of preferably several throttle bores and the resulting outlet opening cross-section on the housing of the coupling device ensures that the liquid jet maintains such a laminar length that the coupled laser beam can be reliably brought to the processing point on the workpiece surface can and there realizes the intended material removal with high effectiveness. And this is possible according to the invention without the need for a direct sheathing for the liquid jet by an auxiliary gas or by a gas jet of an annular arrangement which is directly adjacent to the liquid jet. The kinetic energy of the liquid jet is high enough that in the case of, for example, flat or convex surfaces to be machined, the water or the liquid transported to the machining point can easily run off, so that the laser coupled into the liquid jet can be guided directly to the processing surface without having to penetrate a column of water that negatively affects the effectiveness of the processing.

Dadurch, dass durch eine geeignete Abstimmung des Durchmessers der Drosselbohrung auf den resultierenden Austrittsöffnungsquerschnitt bzw. umgekehrt wird erreicht, dass der Druck in der Durchtrittskammer nicht größer ist als in der Druckkammer. Dadurch ist gewährleistet, dass keine Luftummantelung des Flüssigkeitsstrahls zur Angleichung der Geschwindigkeitsverhältnisse zwischen dem Flüssigkeitsstrahl und seiner Umgebung entsteht. Der Druckausgleich in der Durchtrittskammer bezüglich der Tendenz eines sich bildenden Unterdruckes durch den Durchtritt des Flüssigkeitsstrahls und dessen Mitreißen von Luftmolekülen erfolgt selbsttätig. Vorzugsweise ist der durchschnittliche Druck in der Durchtrittskammer leicht geringer als der oder maximal gleich dem Umgebungsdruck, keinesfalls jedoch größer als der Umgebungsdruck im Sinne eines Überdruckes.Because the diameter of the throttle bore is suitably matched to the resulting outlet opening cross-section or vice versa, it is achieved that the pressure in the passage chamber is not greater than in the pressure chamber. This ensures that the liquid jet is not surrounded by air to adjust the speed ratios between the liquid jet and its surroundings. The pressure equalization in the passage chamber with regard to the tendency for a negative pressure to form as a result of the passage of the liquid jet and its entrainment of air molecules takes place automatically. The average pressure in the passage chamber is preferably slightly less than or at most equal to the ambient pressure, but in no way greater than the ambient pressure in the sense of an overpressure.

Wenn die Druckverhältnisse in der Durchtrittskammer wie vorstehend geschildert sind, besteht eher eine Tendenz, dass Außenluft oder außen befindliches Gas entgegen der Durchtrittsrichtung des Flüssigkeitsstrahles durch die Austrittsöffnung in das Innere der Durchtrittskammer zurückströmt. Dies ist von Vorteil bezüglich des zuvor geschilderten Druckausgleiches in der Durchtrittskammer, hat jedoch den Nachteil, dass bei zu großer Austrittsöffnung gegebenenfalls Verschmutzungspartikel in das Innere des Durchtrittsraumes hineingefördert werden können. Das bedeutet, dass der Querschnitt der resultierenden Austrittsöffnung nicht zu groß gewählt werden darf. Andererseits darf dieser Austrittsöffnungsquerschnitt auch nicht zu klein gewählt werden. Im Grenzfall wäre der Austrittsöffnungsquerschnitt gerade so groß wie der Querschnitt des Flüssigkeitsstrahles. In einem solchen Fall ließe sich nicht verhindern, dass mit dem Flüssigkeitsstrahl dennoch Luftmoleküle aus der Durchtrittskammer nach außen mitgerissen werden. Letztendlich würde dies zu einem Druckabsenken in der Durchtrittskammer führen. Wenn die Druckabsenkung so groß wird, dass ein kritischer Wert für den Druck unterschritten wird, besteht die Gefahr, dass der Flüssigkeitsstrahl sich auflöst, d. h. von der Strahlform in eine Sprayform übergeht. Dies muss unter allen Umständen vermieden werden, weil dadurch die Funktion der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nicht mehr gegeben wäre.If the pressure conditions in the passage chamber are as described above, there is more of a tendency that outside air or outside gas flows back against the passage direction of the liquid jet through the outlet opening into the interior of the passage chamber. This is advantageous with regard to the previously described pressure equalization in the passage chamber, but has the disadvantage that if the outlet opening is too large, dirt particles may possibly be conveyed into the interior of the passage space. This means that the cross-section of the resulting outlet opening must not be too large. On the other hand, this outlet opening cross-section must not be too small. In the borderline case, the exit opening cross section would be just as large as the cross section of the liquid jet. In such a case it would not be possible to prevent air molecules from being carried away from the passage chamber to the outside with the liquid jet. Ultimately, this would lead to a drop in pressure in the passage chamber. If the pressure drop becomes so great that the pressure falls below a critical value, there is a risk that the liquid jet will dissolve, i.e. H. changes from the jet shape to a spray shape. This must be avoided under all circumstances, because it would no longer function of the laser beam processing device.

Überraschenderweise hat sich nun gezeigt, dass es im Rahmen doch relativ enger Grenzen durch eine geeignete Dimensionierung sowohl der Drosselbohrung als auch des resultierenden Austrittsöffnungsquerschnittes, und zwar im Hinblick auf eine gegenseitige Abstimmung der jeweiligen Querschnitte, erreicht werden kann, dass die für die Bearbeitung notwendige laminare Länge ausreichend groß ist, dass der Flüssigkeitsstrahl möglichst ungestört und damit im Flüssigkeitsstrahl auch der darin eingekoppelte Laserstrahl zur Bearbeitungsoberfläche am Werkstück geleitet werden kann. Dadurch kann die Vorrichtung zuverlässig arbeiten, ohne dass Verschmutzungspartikel in das Innere der Durchtrittskammer hineingelangen und dass dennoch das an der Werkstücksoberfläche mit dem Flüssigkeitsstrahl auftreffende Wasser von dort abgeführt werden kann.Surprisingly, it has now been shown that, within relatively narrow limits, by suitable dimensioning of both the throttle bore and the resulting outlet opening cross-section, namely with a view to mutual coordination of the respective cross-sections, it can be achieved that the laminar required for machining Length is sufficiently large that the liquid jet can be guided as undisturbed as possible and thus the laser beam coupled into it can also be guided to the machining surface on the workpiece in the liquid jet. As a result, the device can work reliably without contaminating particles getting into the interior of the Passage chamber and that the water hitting the workpiece surface with the liquid jet can nevertheless be discharged from there.

Vorzugsweise ist in der Einkoppelvorrichtung ein so genanntes Insert vorhanden, welches die Durchtrittskammer von der Druckkammer - mit Ausnahme der beide Kammern verbindenden Drosselbohrung - voneinander trennt. Das die Druckkammer beaufschlagende Gas wird vorzugsweise über einen Durchtrittsbereich, welcher zwischen der Außenseite des Inserts und dem Gehäuse ausgebildet ist, nach außen vorzugsweise in Form eines ringförmig ausgebildeten Gasstrahls geführt. Dieser ringförmig ausgebildete Gasstrahl umgibt zwar den Flüssigkeitsstrahl, berührt diesen jedoch nicht, zumindest nicht im Bereich des Austritts des Flüssigkeitsstrahls aus der Einkoppelvorrichtung. Dieser Gasstrahl ist in der Art eines Airjets ausgebildet und weist eine derartige kinetische Energie auf, dass am Bearbeitungsort des Laserstrahls am Werkstück selbst in im Werkstück vorhandenen Kavitäten die sich dort angesammelte Flüssigkeit vom Bearbeitungsort des Lasers ferngehalten werden kann. Die Trennung zwischen der Durchtrittskammer und der Druckkammer bietet somit den Vorteil, den laminaren Bereich bzw. die laminare Länge des Flüssigkeitsstrahls möglichst ungestört bis zum Auftreffen auf dem Bearbeitungsort am Werkstück zu belassen, aber gleichermaßen einen Airjet zur Verfügung zu stellen, mittels welchem das am Werkstück vorhandene Wasser zu verdrängen, d. h. sozusagen die Bearbeitungsoberfläche des Werkstückes freizublasen. Durch die Trennung von Durchtrittskammer und Druckkammer ist es darüber hinaus möglich, die jeweils erforderlichen Parameter für die Flüssigkeit, die Druckbedingungen in den Kammern wie entsprechend auch für das Gas für den Airjet so anzupassen, dass optimale Bearbeitungsergebnisse erreicht werden können. Da bei einer Einkoppelvorrichtung gemäß dem Stand der Technik sowohl der Airjet als auch der Flüssigkeitsstrahl aus einer gemeinsamen Düse austreten, welche den Airjet an den Flüssigkeitsstrahl anformt, ist diese unabhängige Einstellung und Beeinflussung der Parameter der Fluide dort nicht ohne Weiteres möglich. Vorzugsweise sind die Drosselbohrungen beziehungsweise ist die zumindest eine Drosselbohrung parallel zur Längsachse des Inserts ausgerichtet. Andere Ausrichtungen der Drosselbohrungen sind aber auch möglich.A so-called insert is preferably present in the coupling device which separates the passage chamber from the pressure chamber - with the exception of the throttle bore connecting the two chambers - from one another. The gas acting on the pressure chamber is preferably guided to the outside via a passage area which is formed between the outside of the insert and the housing, preferably in the form of an annular gas jet. This ring-shaped gas jet surrounds the liquid jet, but does not touch it, at least not in the area of the exit of the liquid jet from the coupling device. This gas jet is designed in the manner of an air jet and has such kinetic energy that at the processing location of the laser beam on the workpiece even in cavities present in the workpiece, the liquid that has collected there can be kept away from the processing location of the laser. The separation between the passage chamber and the pressure chamber thus offers the advantage of leaving the laminar area or the laminar length of the liquid jet as undisturbed as possible until it hits the machining location on the workpiece, but also of providing an air jet by means of which the workpiece is applied displace existing water, d. H. So to speak, to blow free the machining surface of the workpiece. By separating the passage chamber and pressure chamber, it is also possible to adapt the required parameters for the liquid, the pressure conditions in the chambers and, accordingly, also for the gas for the airjet, so that optimal processing results can be achieved. Since in a coupling device according to the prior art both the air jet and the liquid jet emerge from a common nozzle, which forms the air jet onto the liquid jet, this independent setting and influencing of the parameters of the fluids is not easily possible there. The throttle bores or the at least one throttle bore are preferably aligned parallel to the longitudinal axis of the insert. However, other orientations of the throttle bores are also possible.

Vorzugsweise ist der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt größer als der Querschnitt der zumindest einen Drosselbohrung, noch weiter bevorzugt ist der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt ca. doppelt so groß wie der Querschnitt der zumindest einen Drosselbohrung. Damit der Flüssigkeitsstrahl durch das Innere des Inserts, welches Teil der Durchtrittskammer ist, ungestört hindurchtreten kann, ist der Durchmesser des Inserts zum Durchtritt des Flüssigkeitsstrahls um ein Vielfaches größer als der Durchmesser des Flüssigkeitsstrahls. Vorzugsweise ist am Austritt des Inserts eine Blende vorgesehen, damit ein definierter Querschnitt vorhanden ist, welcher in Relation zu den Drosselbohrungen dimensioniert werden kann. Dieser blendenartige Einzug am Austritt des Inserts dient dazu, die Druckverhältnisse in der Durchtrittskammer erfindungsgemäß so einzustellen, dass einerseits kein Überdruck gegenüber dem Druck in der Druckkammer auftritt, dass aber andererseits die Öffnung nur so groß ist, dass ein Rückströmen von Verschmutzungen in die Durchtrittskammer minimiert oder eliminiert wird und die Größe der blendenartigen Öffnung bzw. des blendenartigen Einzugs so gewählt wird, dass ein entsprechender Druckausgleich in der Durchtrittskammer am Austrittsende ebenso realisiert werden kann, wie im Bereich der Durchtrittskammer, welcher auf der Seite der Flüssigkeitsdüse durch die Drosselbohrungen ausgebildet ist. Die Durchmesser der Drosselbohrungen sind so klein gewählt, dass neben der Drosselwirkung beim Durchströmen dieser Drosselbohrungen gerade so viel Druckausgleich realisiert wird, dass in der Durchtrittskammer kein Überdruck gegenüber dem Druck in der Druckkammer bzw. dem Außendruck herrscht. Vorzugsweise sind beispielsweise vier Drosselbohrungen, auch aus Gründen der Symmetrie, vorhanden, welche jeweils einen Durchmesser von 0,4 mm aufweisen, d. h.. echte Drosselbohrungen sind. Der Querschnitt jeder einzelnen Drosselbohrung beträgt daher 0,125 mm2, so dass der Gesamtquerschnitt der Drosselbohrungen sich auf 0,5 mm2 beläuft. Wenn demgegenüber beispielsweise die resultierende Austrittsöffnung im Durchmesserbereich von 1,2 bis 1,5 mm liegt, beträgt der zugehörige resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt ca. 1,1 mm2, was reichlich doppelt so groß ist wie die Gesamtquerschnittsfläche aller Drosselbohrungen. Das Vorsehen von vier oder zwei Drosselbohrungen ist aus Gründen der Symmetrie bevorzugt. Vorzugsweise haben die Drosselbohrungen alle einen gleich großen Querschnitt.The resulting outlet opening cross section is preferably larger than the cross section of the at least one throttle bore; even more preferably, the resulting outlet opening cross section is approximately twice as large as the cross section of the at least one throttle bore. So that the liquid jet can pass through the interior of the insert, which is part of the passage chamber, undisturbed, the diameter of the insert for the passage of the liquid jet is many times larger than the diameter of the liquid jet. A screen is preferably provided at the outlet of the insert so that there is a defined cross section which can be dimensioned in relation to the throttle bores. This diaphragm-like indentation at the outlet of the insert is used to adjust the pressure conditions in the passage chamber according to the invention so that on the one hand there is no overpressure compared to the pressure in the pressure chamber, but on the other hand the opening is only so large that a backflow of contamination into the passage chamber is minimized or is eliminated and the size of the diaphragm-like opening or the diaphragm-like indentation is selected so that a corresponding pressure equalization can be realized in the passage chamber at the outlet end as well as in the area of the passage chamber, which is formed on the side of the liquid nozzle by the throttle bores. The diameter of the throttle bores are selected so small that, in addition to the throttling effect when flowing through these throttle bores, just enough pressure equalization is achieved that there is no overpressure in the passage chamber compared to the pressure in the pressure chamber or the external pressure. For example, there are preferably four throttle bores, also for reasons of symmetry, which each have a diameter of 0.4 mm, ie. are real throttle bores. The cross section of each individual throttle bore is therefore 0.125 mm 2 , so that the total cross section of the throttle bores is 0.5 mm 2 . In contrast, if, for example, the resulting outlet opening is in the diameter range from 1.2 to 1.5 mm, the associated resulting outlet opening cross-section is approx. 1.1 mm 2 , which is almost twice as large as the total cross-sectional area of all throttle bores. The provision of four or two throttle bores is preferred for reasons of symmetry. The throttle bores preferably all have the same cross-section.

Weiter bevorzugt ist, dass der Auslass der Druckkammer konzentrisch zur Austrittsöffnung im Insert für den Flüssigkeitsstrahl und als Gasaustrittsdüse ausgebildet ist. Diese Anordnung führt zu einer ringförmig ausgebildeten Strahlform für das Gas, wobei das Innere dieses Gasringes das Äußere des Flüssigkeitsstrahls nicht berührt, d. h. von diesem beabstandet ist.It is further preferred that the outlet of the pressure chamber is designed concentrically to the outlet opening in the insert for the liquid jet and as a gas outlet nozzle. This arrangement leads to a ring-shaped jet shape for the gas, the inside of this gas ring not touching the outside of the liquid jet, i. H. is spaced from this.

Vorzugsweise ist die zumindest eine Drosselbohrung bzw. sind die mehreren Drosselbohrungen und der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt derartig dimensioniert, dass in der Durchtrittskammer gegenüber dem Außendruck kein Unterdruck und kein Überdruck herrschen. Vorzugsweise sind sowohl die Drosselbohrung als auch der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt so dimensioniert und sind beide Querschnitte so aufeinander abgestimmt, dass in der Durchtrittskammer ein Unterdruck, insbesondere ein geringer Unterdruck herrscht, welcher jedoch so groß ist, dass ein definierter kritischer Wert nicht unterschritten wird. Unter definiertem kritischen Wert ist zu verstehen, dass das der Wert des Unterdruckes ist, bei welchem der aus der Flüssigkeitsdüse austretende Flüssigkeitsstrahl zerfällt und sich als Spray ausbildet, mithin keine laminare Länge mehr hat. Damit wäre die Funktion der Laser-Bearbeitungsvorrichtung unterbrochen.The at least one throttle bore or the plurality of throttle bores and the resulting outlet opening cross-section are preferably dimensioned in such a way that there is no underpressure and no overpressure in the passage chamber with respect to the external pressure. Preferably, both the throttle bore and the resulting outlet opening cross-section are dimensioned and Both cross-sections are matched to one another in such a way that there is an underpressure, in particular a slight underpressure, in the passage chamber, which, however, is so great that it does not fall below a defined critical value. A defined critical value is to be understood as meaning that this is the value of the negative pressure at which the liquid jet emerging from the liquid nozzle disintegrates and forms as a spray, and therefore no longer has a laminar length. This would interrupt the function of the laser processing device.

Wie schnell im Betrieb bei fehlerhafter Dimensionierung der Querschnitte der Drosselbohrung und der resultierenden Austrittsöffnung zueinander dieser kritische Wert erreicht wird, hängt zum einen von den Durchmesserverhältnissen von Drosselbohrung und resultierendem Austrittsöffnungsquerschnitt ab, hängt aber zum anderen auch von den Parametern der Flüssigkeit wie auch des Airjets wie auch der Druckverhältnisse in der Durchtrittskammer und der Druckkammer ab. Erfindungsgemäß sind die genannten Verhältnisse und Parameter so gewählt, dass die Laser-Bearbeitungsvorrichtung ohne Unterbrechung und ohne Fehlfunktion kontinuierlich so lange arbeiten kann, bis die Bearbeitungsaufgabe erfüllt ist, ohne dass die Vorrichtung zwischendurch abgeschaltet werden muss oder das Bearbeiten zumindest zeitweise eingestellt werden muss, um die Vorrichtung gegebenenfalls neu auf die Bearbeitungsaufgabe einzustellen.How quickly this critical value is reached during operation if the cross-sections of the throttle bore and the resulting outlet opening are incorrectly dimensioned depends on the one hand on the diameter ratios of the throttle bore and the resulting outlet opening cross-section, but on the other hand also on the parameters of the liquid and the air jet also the pressure conditions in the passage chamber and the pressure chamber. According to the invention, the said ratios and parameters are selected so that the laser processing device can work continuously without interruption and without malfunction until the processing task is completed, without the device having to be switched off in between or the processing having to be stopped at least temporarily in order to if necessary, adjust the device again for the processing task.

Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einstellen eines Druckes in einer Durchtrittskammer für einen Flüssigkeitsstrahl einer Laser-Bearbeitungsvorrichtung, welche zwischen einer den Flüssigkeitsstrahl erzeugenden Flüssigkeitsdüse und einer Gehäuseaustrittsöffnung angeordnet ist. Der in den Flüssigkeitsstrahl zur Bearbeitung einer Werkstückoberfläche eingekoppelte Laserstrahl tritt zusammen mit dem Flüssigkeitsstrahl aus der Flüssigkeitsdüse aus und durchläuft zusammen mit dem Flüssigkeitsstrahl die Durchtrittskammer. Im Bereich der Durchtrittskammer, welcher auf die Flüssigkeitsdüse weist, ist eine Drosselbohrung vorgesehen, welche an ihrer der Durchtrittskammer abgewandten Seite mit einem Gas in einer Druckkammer beaufschlagt wird, deren Druck größer ist als der Druck in der Durchtrittskammer, vorzugsweise größer ist als ein Außendruck außerhalb der Vorrichtung. Die Durchtrittskammer ist gegenüber der Flüssigkeitsdüse durch eine Austrittsöffnung für den Flüssigkeitsstrahl begrenzt, wobei der Austrittsöffnungsquerschnitt größer als der Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls ist. Als Austrittsöffnungsquerschnitt ist dabei der resultierende Öffnungsquerschnitt zu betrachten, welcher sich aus dem durch den Durchmesser definierten Austrittsöffnungsquerschnitt vermindert um den Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls ergibt. Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Druck in der Durchtrittskammer nun derart eingestellt, dass dieser gegenüber dem Druck in der Druckkammer kleiner als oder allenfalls so groß wie dieser ist, d. h. dass in der Durchtrittskammer kein Überdruck gegenüber dem Druck in der Druckkammer vorhanden ist.A second aspect of the invention relates to a method for setting a pressure in a passage chamber for a liquid jet of a laser machining device, which is arranged between a liquid nozzle generating the liquid jet and a housing outlet opening. The laser beam coupled into the liquid jet for machining a workpiece surface emerges from the liquid nozzle together with the liquid jet and passes through the passage chamber together with the liquid jet. In the area of the passage chamber, which points to the liquid nozzle, a throttle bore is provided, which is acted upon on its side facing away from the passage chamber with a gas in a pressure chamber, the pressure of which is greater than the pressure in the passage chamber, preferably greater than an external pressure outside the device. The passage chamber is delimited with respect to the liquid nozzle by an outlet opening for the liquid jet, the outlet opening cross section being larger than the cross section of the liquid jet. The resulting opening cross-section is to be considered as the exit opening cross-section, which results from the exit opening cross-section defined by the diameter, reduced by the cross-section of the liquid jet. According to the method according to the invention, the pressure in the passage chamber is now set in such a way that it is less than or at most as great as this compared to the pressure in the pressure chamber, ie. H. that in the passage chamber there is no excess pressure compared to the pressure in the pressure chamber.

Die Einstellung des Druckes in der Durchtrittskammer kann dabei vorzugsweise auch über eine Veränderung des Gasdruckes in der Druckkammer erreicht werden. Vorzugsweise ist es auch oder zusätzlich möglich, dass der Druck in der Durchtrittskammer durch Veränderung des Querschnittes der Drosselbohrung und/oder des Austrittsöffnungsquerschnittes eingestellt wird. Insbesondere kann über die Veränderung der Relation des Querschnittes der Drosselbohrung zu dem Austrittsöffnungsquerschnitt der Druck in der Durchtrittskammer eingestellt werden.The setting of the pressure in the passage chamber can preferably also be achieved by changing the gas pressure in the pressure chamber. It is preferably also or additionally possible for the pressure in the passage chamber to be adjusted by changing the cross section of the throttle bore and / or the cross section of the outlet opening. In particular, the pressure in the passage chamber can be adjusted by changing the relation of the cross section of the throttle bore to the outlet opening cross section.

Es ist jedoch auch möglich, dass vorzugsweise der Druck in der Durchtrittskammer durch Veränderung der Viskosität des Gases in der Druckkammer eingestellt wird.However, it is also possible that the pressure in the passage chamber is preferably adjusted by changing the viscosity of the gas in the pressure chamber.

Vorzugsweise wird der Druck in der Durchtrittskammer so eingestellt, dass gegenüber dem Außendruck kein Überdruck entsteht und dass weiter vorzugsweise gegenüber dem Außendruck auch kein Unterdruck entsteht, so dass in der Durchtrittskammer im Wesentlichen Außendruck herrscht.The pressure in the passage chamber is preferably set in such a way that there is no overpressure with respect to the external pressure and that furthermore, preferably with respect to the external pressure, there is also no negative pressure, so that there is essentially external pressure in the passage chamber.

Weiter vorzugsweise wird der Druck in der Durchtrittskammer über die Relation der Querschnitte der Drosselbohrung und der resultierenden Austrittsöffnung und/oder die Viskosität des Gases in der Druckkammer sowie auch durch die Veränderung des Druckes des Gases in der Druckkammer derart eingestellt, dass in der Durchtrittskammer ein definierter kritischer Wert des Unterdruckes nicht unterschritten wird. Dies ist besonders von Bedeutung, weil bei einem zu niedrigem Druck in der Durchtrittskammer der Flüssigkeitsstrahl von seinem laminaren Strahlverhalten in eine Sprayform übergehen kann, wodurch ein Bearbeiten der Werkstückoberfläche gänzlich unmöglich wird.More preferably, the pressure in the passage chamber is set via the relation of the cross-sections of the throttle bore and the resulting outlet opening and / or the viscosity of the gas in the pressure chamber as well as by changing the pressure of the gas in the pressure chamber in such a way that a defined the negative pressure does not fall below the critical value. This is particularly important because if the pressure in the passage chamber is too low, the liquid jet can change from its laminar jet behavior to a spray form, which makes machining the workpiece surface completely impossible.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Druck in der Durchtrittskammer in einer Vorrichtung geregelt wird, wie sie zuvor beschrieben ist.It is particularly advantageous if the pressure in the passage chamber is regulated in a device as described above.

Weitere Vorteile, Anwendungsmöglichkeiten und Details zu der vorliegenden Erfindung werden nun anhand der Beschreibung der Figuren deutlich. In der Zeichnung zeigen:

  • 1: eine vereinfachte, schematische Ansicht einer Einkoppelvorrichtung für eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik;
  • 2: eine prinzipielle Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Einkoppelvorrichtung;
  • 3: eine erfindungsgemäße Einkoppelvorrichtung gemäß 2 bei der Bearbeitung einer Werkstückoberfläche in einer Kavität;
  • 4a): die erfindungsgemäße Einkoppelvorrichtung gemäß 2, jedoch ohne Airjet mit längerer laminarer Länge des Flüssigkeitsstrahls;
  • 4b): die erfindungsgemäße Einkoppelvorrichtung gemäß 2 mit kürzerer laminarer Länge des Flüssigkeitsstrahls und Airjet; und
  • 5: die erfindungsgemäße Einkoppelvorrichtung gemäß 2 mit vergrößerter Darstellung von Flüssigkeitsdüsen und Insert mit Andeutung der Fluidströme.
Further advantages, possible applications and details of the present invention will now become clear from the description of the figures. In the drawing show:
  • 1 : a simplified, schematic view of a coupling device for a laser beam machining device according to the prior art;
  • 2 : a basic sectional view of a coupling device according to the invention;
  • 3 : a coupling device according to the invention according to 2 when machining a workpiece surface in a cavity;
  • 4a) : the coupling device according to the invention according to 2 , but without an airjet with a longer laminar length of the liquid jet;
  • 4b) : the coupling device according to the invention according to 2 with shorter laminar length of the liquid jet and air jet; and
  • 5 : the coupling device according to the invention according to 2 with enlarged representation of liquid nozzles and insert with indication of the fluid flows.

Die in 1 dargestellte Einkoppelvorrichtung gemäß dem Stand der Technik dient für eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, wobei in 1 eine Werkstückoberfläche 14 eingezeichnet ist, auf welche ein Flüssigkeitsstrahl 3 mit eingekoppeltem Laserstrahl 2 zu deren Bearbeitung auftrifft. Ein Schutzfenster 16 ist vorgesehen, um den trockenen Abschnitt eines Laserstrahles 2 und den flüssigen Abschnitt eines Flüssigkeitsstrahles 3 voneinander zu trennen. Eine nicht dargestellte Linse dient dazu, den Laserstrahl 2 auf den Flüssigkeitsstrahl zu fokussieren. Eine Flüssigkeitsdüse 5 ist mit dem Schutzfenster 16 funktionell unter Belassung eines Spaltes zur Aufnahme einer Flüssigkeit wie z. B. Wasser von einer Flüssigkeitsquelle bzw. Flüssigkeitskammer 15 gekoppelt. Die Düse 5 weist eine Öffnung auf, durch welche die Flüssigkeit als Flüssigkeitsstrahl 3 austritt. Die Düse 5 öffnet sich in Richtung auf eine Durchtrittskammer 7, welche unter anderem zur Verbesserung der laminaren Strömung des Flüssigkeitsstrahles 3 dient. Aus einer Gasquelle 20 wird ein Hilfsgasstrom 21 in die Durchtrittskammer über eine separate Zuleitung zugeführt. Das Hilfsgas strömt in Richtung auf den Flüssigkeitsstrahl 3 und ummantelt diesen bis hin zum Austritt aus der Durchtrittskammer 7. Unterhalb der Düse 5 ist ein Insert 10 vorgesehen, welches die Durchtrittskammer 7 nach unten schließt und im Innern den Flüssigkeitsstrahl 3 führt. Das Insert 10 ist so ausgebildet, dass an seinem Äußeren eine Druckkammer 9 ausgebildet ist, welche zur Ausbildung eines Airjets bzw. eines Gasstrahls 17 dient und welche von einer Gasquelle 19 entsprechend mit diesem Gas beaufschlagt ist. Am Austritt aus dem Gehäuse 4 der Einkoppelvorrichtung 1 ist um das untere, hindurchragende Ende des Inserts 10 ein Ringspalt ausgebildet, über welchen ein kreisringförmiger Airjet 17 austritt und den Flüssigkeitsstrahl beabstandet umgibt. Der Airjet 17 ist dabei parallel zum Flüssigkeitsstrahl 14 ausgebildet. Bei dieser bekannten Einkoppelvorrichtung weist das Insert eine physische Trennung zwischen dem Gasstrahl bzw. Airjet 17 und dem Flüssigkeitsstrahl 13 auf. Das bedeutet, dass der Flüssigkeitsstrahl 3 und der Gasstrahl 17 die Einkoppelvorrichtung durch zwei unterschiedliche, voneinander separate Düsenöffnungen verlassen. Durch die physische Trennung des Flüssigkeitsstrahls von dem Gasstrahl ist es möglich, dass eine unabhängige Steuerung des auf die Werkstückoberfläche geleiteten Gasstrahles 17 geleitet wird, d. h. die Parameter des Gasstrahles können unabhängig von denen des Flüssigkeitsstrahles 3 gesteuert werden. Das betrifft insbesondere den Druck und den Volumenstrom, so dass recht gute Bedingungen zum Verdrängen des an der Werkstückoberfläche vorhandenen bzw. sich dort sammelnden Wassers geschaffen werden können, und zwar derart, dass der Gasstrahl 17 nicht in negative Wechselwirkung mit dem Flüssigkeitsstrahl 3 tritt, in dessen Innern der Laserstrahl zur Bearbeitung der Werkstückoberfläche 14 eingekoppelt ist. Die äußere mantelförmige Oberfläche des Inserts 10 erstreckt sich parallel zur Durchtrittsrichtung des Flüssigkeitsstrahls 3 im Innern des Inserts, so dass der als Ringstrahl ausgebildete Gasstrahl parallel zum Flüssigkeitsstrahl 3 verläuft.In the 1 The coupling device shown according to the prior art is used for a laser beam machining device, wherein in 1 a workpiece surface 14th is shown on which a jet of liquid 3 with coupled laser beam 2 for the processing of which occurs. A protective window 16 is intended to be the dry section of a laser beam 2 and the liquid portion of a liquid jet 3 to separate from each other. A lens, not shown, serves to direct the laser beam 2 to focus on the liquid jet. A liquid nozzle 5 is with the protective window 16 functionally, leaving a gap to accommodate a liquid such. B. water from a liquid source or liquid chamber 15th coupled. The nozzle 5 has an opening through which the liquid as a liquid jet 3 exit. The nozzle 5 opens towards a passage chamber 7th which among other things to improve the laminar flow of the liquid jet 3 serves. From a gas source 20th becomes an auxiliary gas stream 21 fed into the passage chamber via a separate feed line. The auxiliary gas flows in the direction of the liquid jet 3 and envelops this up to the exit from the passage chamber 7th . Below the nozzle 5 is an insert 10 provided which the passage chamber 7th closes downwards and inside the liquid jet 3 leads. The insert 10 is designed so that a pressure chamber on its exterior 9 is designed, which for the formation of an air jet or a gas jet 17th serves and which from a gas source 19th is acted upon accordingly with this gas. At the exit from the housing 4th the coupling device 1 is around the lower, protruding end of the insert 10 an annular gap formed over which a circular airjet 17th exits and surrounds the liquid jet at a distance. The airjet 17th is parallel to the liquid jet 14th educated. In this known coupling device, the insert has a physical separation between the gas jet or air jet 17th and the liquid jet 13th on. That means that the liquid jet 3 and the gas jet 17th leave the coupling device through two different, separate nozzle openings. The physical separation of the liquid jet from the gas jet enables independent control of the gas jet directed onto the workpiece surface 17th is directed, ie the parameters of the gas jet can be independent of those of the liquid jet 3 to be controlled. This relates in particular to the pressure and the volume flow, so that very good conditions can be created for displacing the water present on the workpiece surface or collecting there, in such a way that the gas jet 17th not in negative interaction with the liquid jet 3 occurs, inside the laser beam for processing the workpiece surface 14th is coupled. The outer jacket-shaped surface of the insert 10 extends parallel to the direction of passage of the liquid jet 3 inside the insert, so that the gas jet designed as a ring jet is parallel to the liquid jet 3 runs.

Der Durchtrittsraum 7 im Innern der Einkoppelvorrichtung weist im Innern des Inserts einen Durchmesser bzw. einen Querschnitt auf, welcher größer ist als der unmittelbare Austrittsquerschnitt des Inserts, durch welchen der Flüssigkeitsstrahl das Insert - ummantelt mit dem von der Gasquelle gelieferten Hilfsgas - verlässt. Der blendenartige Durchmesser d3 der Austrittsöffnung des Inserts ist deutlich kleiner als der Innendurchmesser d4 des Inserts mit diesem dort ausgebildeten Teil der Durchtrittskammer 7.The passage room 7th inside the coupling device has a diameter or a cross section inside the insert which is larger than the immediate exit cross section of the insert through which the liquid jet leaves the insert - encased with the auxiliary gas supplied by the gas source. The diaphragm-like diameter d 3 of the outlet opening of the insert is significantly smaller than the inner diameter d 4 of the insert with this part of the passage chamber formed there 7th .

Diese bekannte Einkoppelvorrichtung soll durch das zusätzlich zum Gasstrahl 17 in das Innere der Durchtrittskammer 7 und das Innere des Inserts 10 eingeführte, von der Gasquelle 20 stammende Hilfsgas eine Ummantelung des Flüssigkeitsstrahls 3 sichern, damit der Flüssigkeitsstrahl an seiner Oberfläche möglichst wenig oder keine Luftmoleküle aus der Durchtrittskammer 7 ins Äußere befördert und gleichzeitig gegenüber der den Flüssigkeitsstrahl ansonsten umgebenden im Wesentlichen ruhenden Luft nicht nachteilig beeinflusst wird. Dazu ist jedoch ein erhöhter baulicher Aufwand für eine zusätzliche Gasquelle 20 mit den entsprechenden Leitungen, Zuleitungen und Einführungen in das Innere der Einkoppelvorrichtung 1, d. h. das Innere der Durchtrittskammer 7, erforderlich.This known coupling device is said to be in addition to the gas jet 17th into the interior of the passage chamber 7th and the inside of the insert 10 imported from the gas source 20th originating auxiliary gas a jacket of the liquid jet 3 ensure that the liquid jet on its surface has as few or no air molecules as possible from the passage chamber 7th conveyed to the outside and at the same time is not adversely affected in relation to the essentially still air that otherwise surrounds the liquid jet. In addition, however, there is an increased structural effort for an additional gas source 20th with the corresponding lines, supply lines and entries into the interior of the coupling device 1 , ie the interior of the passage chamber 7th , required.

In 2 ist eine erfindungsgemäße Einkoppelvorrichtung 1 dargestellt, welche die Nachteile des Standes der Technik vermeidet. Diese Einkoppelvorrichtung 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel weist in an sich bekannter Weise ein Gehäuse 4 auf, in welchem ein Schutzfenster 16 oberhalb einer Flüssigkeitsdüse 5 vorgesehen ist. Zwischen dem Schutzfenster 16 und der Flüssigkeitsdüse 5 ist ein Zwischenraum vorgesehen, in welchen die Flüssigkeit, vorzugsweise Wasser, zugeführt wird, um über die Flüssigkeitsdüse 5 als Flüssigkeitsstrahl 3 in die Durchtrittskammer 7 unterhalb der Flüssigkeitsdüse 5 auszutreten. In die Einkoppelvorrichtung 1 wird ein mittels einer nicht dargestellten Linse konvergierender Laserstrahl so eingeführt, dass deren Fokus unmittelbar in der Flüssigkeitsdüse 5 liegt und als fokussierter Laserstrahl in der Flüssigkeitsdüse 5 in den Flüssigkeitsstrahl 3 eingekoppelt wird. Unterhalb der Flüssigkeitsdüse 5 ist im Innern des Gehäuses 4 der Einkoppelvorrichtung 1 ein Insert 10 vorgesehen, welches die Durchtrittskammer 7 für den Wasserstrahl von einer um die äußere Mantelfläche des Inserts 10 herum angeordneter Druckkammer 9 für einen Gasstrahl 17, welcher auch als Airjet bezeichnet wird, trennt. Gegenüber dem Gehäuse und der äußeren Mantelfläche des Inserts 10 ragt das Insert 10 durch eine Gasaustrittsdüse 11 heraus, so dass diese als Ringdüse um die äußere Mantelfläche des Inserts ausgebildet ist. Die Druckkammer 9 wird über eine in das Gehäuse eingeführte Gaszufuhr, vorzugsweise Luftzufuhr, beaufschlagt. Der ringförmig ausgebildete Gasstrahl 17 ist dafür vorgesehen, auf die in 2 nicht dargestellte Werkstückoberfläche aufzutreffen und dort das mit dem Flüssigkeitsstrahl 3 auf diese Werkstückoberfläche geförderte Wasser bzw. die geförderte Flüssigkeit zu verdrängen, so dass der Flüssigkeitsstrahl mit dem Laserstrahl nicht erst eine Flüssigkeitswand oder eine Flüssigkeitsschicht durchdringen muss, bevor der Laserstrahl an den Ort für die Bearbeitung an der Werkstückoberfläche gelangen kann.In 2 is a coupling device according to the invention 1 shown, which avoids the disadvantages of the prior art. This coupling device 1 according to a first embodiment has a housing in a manner known per se 4th on, in which a protective window 16 above a liquid nozzle 5 is provided. Between the Protective window 16 and the liquid nozzle 5 an intermediate space is provided, in which the liquid, preferably water, is supplied to the liquid nozzle 5 as a jet of liquid 3 into the passage chamber 7th below the liquid nozzle 5 to resign. In the coupling device 1 a laser beam converging by means of a lens (not shown) is introduced in such a way that its focus is directly in the liquid nozzle 5 and as a focused laser beam in the liquid nozzle 5 into the liquid jet 3 is coupled. Below the liquid nozzle 5 is inside the case 4th the coupling device 1 an insert 10 provided which the passage chamber 7th for the water jet from one around the outer surface of the insert 10 around arranged pressure chamber 9 for a gas jet 17th , which is also known as an airjet, separates. Opposite the housing and the outer surface of the insert 10 the insert protrudes 10 through a gas outlet nozzle 11 out, so that it is designed as a ring nozzle around the outer surface of the insert. The pressure chamber 9 is acted upon via a gas supply, preferably an air supply, introduced into the housing. The ring-shaped gas jet 17th is intended to access the in 2 to hit the workpiece surface, not shown, and there that with the liquid jet 3 to displace the water or liquid conveyed on this workpiece surface, so that the liquid jet with the laser beam does not first have to penetrate a liquid wall or a liquid layer before the laser beam can reach the location for processing on the workpiece surface.

Am unteren Austrittsende des Inserts 10 ist eine Austrittsöffnung 6 vorgesehen, welche in 2 dem inneren Durchmesser des Inserts für den Flüssigkeitsstrahl 3 entspricht. Dieser innere Durchmesser des Inserts ist deutlich größer ausgebildet als der Flüssigkeitsstrahl 3 selbst, welcher haardünn ausgebildet ist. Im oberen, zur Flüssigkeitsdüse 5 weisenden Bereich des Inserts 10 ist ein kragenartiger Flansch vorgesehen, in welchem Drosselbohrungen 8 vorhanden sind. Die Drosselbohrungen 8 weisen einen sehr geringen Durchmesser, d. h. eine sehr geringe Querschnittsfläche auf und verbinden die Druckkammer 9 mit der Durchtrittskammer 7. Die Drosselbohrungen sind bei diesem Ausführungsbeispiel parallel zur Längsachse des Inserts ausgerichtet.At the lower exit end of the insert 10 is an outlet opening 6th provided, which in 2 the inner diameter of the insert for the liquid jet 3 corresponds to. This inner diameter of the insert is made significantly larger than the liquid jet 3 even who is hair-thin. In the upper one, to the liquid nozzle 5 pointing area of the insert 10 a collar-like flange is provided in which throttle bores 8th available. The throttle bores 8th have a very small diameter, ie a very small cross-sectional area, and connect the pressure chamber 9 with the passage chamber 7th . In this exemplary embodiment, the throttle bores are aligned parallel to the longitudinal axis of the insert.

Im laufenden Betrieb der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung reißt der Flüssigkeitsstrahl, welcher mit hoher Geschwindigkeit aus der Flüssigkeitsdüse 5 austritt und durch die Durchtrittskammer 7 geleitet wird, Luftmoleküle permanent mit. Trotz der Laminarität des Flüssigkeitsstrahls weist dieser an seiner Oberfläche eine gewisse Rauhigkeit auf, wodurch das Mitreißen der Luftmoleküle erfolgt. Im laufenden Betrieb kann es daher passieren, dass durch den Austrag von Luftmolekülen der Druck in der Durchtrittskammer 7 absinkt. Wenn dabei der Druck einen definierten kritischen Wert, d. h. Unterdruck, erreicht, besteht die Gefahr, dass der Flüssigkeitsstrahl ausfächert, d. h. in eine sprayartige Form übergeht, was auch als kritischer Strahlverdampfungspunkt bezeichnet wird. Daher ist bei diesem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel der Einkoppelvorrichtung 1 im kragenartigen Flansch des Inserts die Ausbildung von Drosselbohrungen 8 vorgesehen. Diese Drosselbohrungen ermöglichen es, den möglicherweise entstehenden Unterdruck in der Durchtrittskammer 7 gegenüber dem Gasdruck in der Druckkammer 9 auszugleichen. Gleichermaßen dient der relativ große Durchmesser des inneren Durchtrittsbereichs des Inserts 10, welcher sich bis zu der Austrittsöffnung 6 für den Flüssigkeitsstrahl 3 erstreckt, dazu, jedenfalls am Austrittsbereich aus der Durchtrittskammer 7 für einen gewissen Druckausgleich zu sorgen. Dieser größere Durchmesser hat jedoch den Nachteil, dass bei gegebenenfalls erfolgender Rückströmung ins Innere der Durchtrittskammer 7 Schmutzpartikel mit hineinbefördert werden, welche sich an der Düse anlagern können und damit nach einer gewissen Betriebszeit zum Unterbrechen der zuverlässigen Funktion der Einkoppelvorrichtung führen und eine Reinigung derselben erfordern. Der Gasstrahl 17, welcher über die ringförmige Gasaustrittsdüse 11 austritt, ist vom Flüssigkeitsstrahl 3 beabstandet, umgibt diesen zwar ringförmig, hat aber zunächst keinen direkten Kontakt mit dem Flüssigkeitsstrahl. Der Gasstrahl 17 dient dazu, die mit dem Flüssigkeitsstrahl 3 auf die Werkstückoberfläche, welche in 2 nicht dargestellt ist, geförderte Flüssigkeit zu verdrängen, so dass der in den Flüssigkeitsstrahl 3 eingekoppelte Laserstrahl 2 direkt und ohne Hindernis auf die Werkstückfläche auftreffen kann. Vor allen Dingen dient der ringförmige Gasstrahl 17 auch dazu, gegebenenfalls in einer in der Werkstückoberfläche vorhandenen Kavität sich ansammelnde Flüssigkeit zu verdrängen, so dass mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung auch Werkstückoberflächen bearbeitet werden können, welche innerhalb einer Kavität liegen und welche ohne einen Gasstrahl zur Verdrängung dieser Flüssigkeit sich allenfalls nur sehr eingeschränkt bearbeiten lassen würden.During operation of the laser beam processing device, the liquid jet tears, which at high speed from the liquid nozzle 5 exits and through the passage chamber 7th is conducted, air molecules permanently with it. Despite the laminarity of the liquid jet, it has a certain roughness on its surface, which entrains the air molecules. During operation, it can therefore happen that the discharge of air molecules reduces the pressure in the passage chamber 7th sinks. If the pressure reaches a defined critical value, ie negative pressure, there is a risk that the liquid jet will fan out, ie change into a spray-like form, which is also referred to as the critical jet evaporation point. Therefore, in this embodiment of the invention, the coupling device 1 the formation of throttle bores in the collar-like flange of the insert 8th intended. These throttle bores make it possible to reduce the possible negative pressure in the passage chamber 7th compared to the gas pressure in the pressure chamber 9 balance. The relatively large diameter of the inner passage area of the insert is used in the same way 10 , which extends up to the outlet opening 6th for the liquid jet 3 extends, in addition, at least at the exit area from the passage chamber 7th to ensure a certain pressure equalization. However, this larger diameter has the disadvantage that if there is a possible return flow into the interior of the passage chamber 7th Dirt particles are also conveyed in, which can accumulate on the nozzle and thus lead to the interruption of the reliable function of the coupling device after a certain operating time and require cleaning of the same. The gas jet 17th , which via the ring-shaped gas outlet nozzle 11 is from the liquid jet 3 at a distance, surrounds it in a ring shape, but initially has no direct contact with the liquid jet. The gas jet 17th serves to keep up with the liquid jet 3 on the workpiece surface, which is in 2 is not shown to displace the pumped liquid, so that the in the liquid jet 3 coupled laser beam 2 can hit the workpiece surface directly and without obstacles. Above all, the ring-shaped gas jet is used 17th also to displace any liquid that may accumulate in a cavity in the workpiece surface, so that the device according to the invention can also be used to process workpiece surfaces that lie within a cavity and that can only be processed to a very limited extent without a gas jet to displace this liquid would.

Gemäß der Erfindung wird nun der Durchtrittsquerschnitt der Drosselbohrungen 8 relativ zu dem Querschnitt der Austrittsöffnung 6 und damit des Durchtrittsbereichs des Flüssigkeitsstrahls 3 durch das Insert gemäß diesem Ausführungsbeispiel dimensioniert. Diese Dimensionierung wird so durchgeführt, dass der Austrittsöffnungsquerschnitt der Austrittsöffnung 6 größer ist als der Querschnitt der Drosselbohrungen. Vorzugsweise ist dieser Querschnitt doppelt so groß wie der der Drosselbohrungen. Als Austrittsöffnungsquerschnitt wird dabei der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt zum Ansatz für die Dimensionierung gebracht, welcher sich ergibt aus dem Querschnitt des inneren Durchmessers des Inserts 10 vermindert um den Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls 3.According to the invention, the passage cross-section of the throttle bores is now 8th relative to the cross section of the outlet opening 6th and thus the passage area of the liquid jet 3 dimensioned by the insert according to this embodiment. This dimensioning is carried out in such a way that the outlet opening cross section of the outlet opening 6th is larger than the cross section of the throttle bores. This cross section is preferably twice as large as that of the throttle bores. The resulting exit opening cross-section is used as the exit opening cross-section Approach for the dimensioning, which results from the cross section of the inner diameter of the insert 10 reduced by the cross-section of the liquid jet 3 .

3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Einkoppelvorrichtung 1, bei welcher das Auftreffen des Flüssigkeitsstrahls, in welchen der Laserstrahl 2 eingekoppelt ist, auf eine Werkstückoberfläche 14 eines Werkstückes 12 gerichtet ist und dort auftrifft, und zwar ohne dass der Flüssigkeitsstrahl 3 durch eine Flüssigkeitssäule dringen muss, weil der Gasstrahl 17 auf die sich in der Kavität 13 sammelnde Flüssigkeit trifft und die zu verdrängende Flüssigkeit 18 über den Rand der Kavität nach außen abführt. Dadurch ist gewährleistet, dass der Flüssigkeitsstrahl direkt auf der zu bearbeitenden Werkstückoberfläche 14 am Boden der Kavität auftrifft. Der prinzipielle Aufbau der Einkoppelvorrichtung 1 ist dem gemäß 2 sehr ähnlich, so dass die einzelnen Bauteile hier nicht nochmals erläutert werden. Im Unterschied zu 2 ist das bei diesem Ausführungsbeispiel vorgesehene Insert 10 mit einer gegenüber dem inneren Durchtrittsdurchmesser verkleinerten Austrittsöffnung 6 versehen. Diese Austrittsöffnung 6 ist in Form einer blendenartigen Einengung bzw. eines blendenartigen Einzugs ausgebildet und gewährleistet, dass die Austrittsöffnung 6 gerade eine solche Größe aufweist, dass der Flüssigkeitsstrahl ohne Ummantelung mit einem Gasstrahl gut das Innere der Durchtrittskammer 7 verlassen kann, aber ein zu starkes Rückströmen von Außenluft oder Außengas durch die Austrittsöffnung 6 in das Innere der Durchtrittskammer 7 hinein aufgrund von einem gegebenenfalls sich ausbildenden Unterdruck minimiert wird. Damit wird verhindert oder zumindest stark reduziert, dass Schmutzpartikel ins Innere der Durchtrittskammer 7 gelangen. 3 shows a further embodiment of a coupling device according to the invention 1 , at which the impingement of the liquid jet, in which the laser beam 2 is coupled onto a workpiece surface 14th of a workpiece 12th is directed and impinges there, without the liquid jet 3 has to penetrate through a column of liquid because the gas jet 17th on which is in the cavity 13th collecting liquid meets and the liquid to be displaced 18th discharges to the outside over the edge of the cavity. This ensures that the liquid jet is directly on the workpiece surface to be machined 14th hits the bottom of the cavity. The basic structure of the coupling device 1 is accordingly 2 very similar, so that the individual components are not explained again here. In contrast to 2 is the insert provided in this exemplary embodiment 10 with an outlet opening that is smaller than the inner passage diameter 6th Mistake. This outlet opening 6th is designed in the form of a diaphragm-like constriction or a diaphragm-like indentation and ensures that the outlet opening 6th has just such a size that the liquid jet without sheathing with a gas jet well covers the interior of the passage chamber 7th can leave, but too strong a backflow of outside air or outside gas through the outlet opening 6th into the interior of the passage chamber 7th is minimized due to a possibly developing negative pressure. This prevents or at least greatly reduces dirt particles from entering the interior of the passage chamber 7th reach.

Die Dimensionierung der Querschnitte der Drosselbohrungen und des resultierenden Austrittsöffnungsquerschnittes 6 erfolgt derart, dass der Druck in der Durchtrittskammer möglichst gleichmäßig ausgebildet und einen solchen Wert aufweist, dass in der Durchtrittskammer 7 entweder kein Überdruck gegenüber dem Außendruck oder zumindest kein Überdruck gegenüber dem Druck in der Druckkammer 9 vorhanden ist. Auf diese Weise wird mit der erfindungsgemäßen Einkoppelvorrichtung 1 verhindert, dass auch bei längerem Betrieb in der Durchtrittskammer 7 sich ein Unterdruck ausbildet, welcher sich in die Nähe eines kritischen Unterdruckes sich entwickelt, ab welchem der Flüssigkeitsstrahl aufbricht und zu einem Spray wird, wodurch die Funktion der Einkoppelvorrichtung nicht mehr gewährleistet wäre. Dies tritt bei der erfindungsgemäßen Einkoppelvorrichtung gerade nicht auf, und zwar, ohne dass - wie es im Stand der Technik vorgesehen ist - ein zusätzliches, den Flüssigkeitsstrahl unmittelbar einschließendes Hilfsgas mit entsprechenden Leitungen, Druckbehältern etc. vorgesehen werden muss. Die Einkoppelvorrichtung gemäß 3 ist dabei konstruktiv besonders günstig bzw. einfach im Vergleich mit der gemäß dem Stand der Technik.The dimensioning of the cross-sections of the throttle bores and the resulting outlet opening cross-section 6th takes place in such a way that the pressure in the passage chamber is as uniform as possible and has a value such that in the passage chamber 7th either no overpressure compared to the external pressure or at least no overpressure compared to the pressure in the pressure chamber 9 is available. In this way, with the coupling device according to the invention 1 prevents that even with prolonged operation in the passage chamber 7th a negative pressure develops, which develops in the vicinity of a critical negative pressure, from which the liquid jet breaks up and becomes a spray, whereby the function of the coupling device would no longer be guaranteed. This does not occur with the coupling device according to the invention, without - as is provided in the prior art - an additional auxiliary gas, which directly encloses the liquid jet, with corresponding lines, pressure vessels, etc., has to be provided. The coupling device according to 3 is structurally particularly favorable or simple in comparison with that according to the prior art.

In 4a) ist eine Einkoppelvorrichtung gemäß 3 dargestellt, und zwar ohne dass ein Gasstrahl 17 vorgesehen sein muss. Eine solche Anordnung ist vor allen Dingen möglich, wenn die zu bearbeitende Werkstückoberfläche entweder konvex oder zumindest eben an der Bearbeitungsstelle ist, von wo das mit dem Flüssigkeitsstrahl an die Bearbeitungsstelle geförderte Wasser bzw. die geförderte Flüssigkeit abfließen kann. Der Vorteil einer Bearbeitung einer Werkstückoberfläche mit einem in einem Flüssigkeitsstrahl 3 eingekoppelten Laserstrahl 2 besteht darin, dass die laminare Länge des Flüssigkeitsstrahls größer ist als bei Vorhandensein eines ringförmigen Gasstrahls, wie dies in 4b) dargestellt ist.In 4a) is a coupling device according to 3 shown, without a gas jet 17th must be provided. Such an arrangement is possible above all if the workpiece surface to be machined is either convex or at least flat at the machining point, from where the water or liquid conveyed to the machining point with the liquid jet can flow off. The advantage of machining a workpiece surface with a jet of liquid 3 coupled laser beam 2 is that the laminar length of the liquid jet is greater than in the presence of an annular gas jet, as shown in FIG 4b) is shown.

In 4a) weist das Insert - ebenso wie bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 - im oberen Kragenbereich Drosselbohrungen 8 auf, welche den Durchtrittsraum 7 mit der Druckkammer 9 verbinden, in welcher in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel Außendruck herrscht. Die Flüssigkeit für den Flüssigkeitsstrahl 3 gelangt über eine Zuleitung und eine Flüssigkeitskammer 15 zur Flüssigkeitsdüse 5, aus welcher der Flüssigkeitsstrahl austritt und in welcher der Laserstrahl 2 über ein Schutzfenster 16 eingekoppelt wird.In 4a) has the insert - just as in the embodiment according to FIG 3 - Throttle holes in the upper collar area 8th on which the passage space 7th with the pressure chamber 9 connect, in which there is external pressure in the present embodiment. The liquid for the liquid jet 3 reaches via a supply line and a liquid chamber 15th to the liquid nozzle 5 from which the liquid jet emerges and in which the laser beam 2 via a protective window 16 is coupled.

In 4b) ist eine Einkoppelvorrichtung gemäß 4a) dargestellt, bei welcher jedoch zusätzlich ein Gasstrahl in die Druckkammer 9 gefördert wird, welcher aus der Druckkammer als ringförmig ausgebildeter Gasstrahl 17 aus der Einkoppelvorrichtung 1 austritt. Der restliche Aufbau entspricht dem gemäß 4a). Da der ringförmige Gasstrahl nach seinem Austritt aus der ringförmigen Gasaustrittsdüse relativ rasch auffächert, berührt nach einer definierten Entfernung der ringförmige Gasstrahl den Flüssigkeitsstrahl. Ab diesem Punkt wird der Flüssigkeitsstrahl 3 bezüglich seiner Laminarität gestört, und der Flüssigkeitsstrahl 3 fächert aus. Dies wird auch als Atomisierungspunkt für den Flüssigkeitsstrahl 3 bezeichnet. Aus den 4a) und 4b) wird deutlich, dass der ringförmige Gasstrahl zwar den Vorteil hat, sich in einer Kavität eines zu bearbeitenden Werkstückes ansammelnde Flüssigkeit zu verdrängen, damit der Flüssigkeitsstrahl mit dem Laserstrahl zuverlässig direkt an die Bearbeitungsstelle gelangen kann. Wegen seiner Auffächerung reduziert der ringförmige Gasstrahl jedoch die laminare Länge des Flüssigkeitsstrahls nach seinem Austritt aus der Austrittsöffnung 6 am unteren Ende des Inserts 10.In 4b) is a coupling device according to 4a) shown, in which, however, a gas jet in the pressure chamber 9 is promoted, which from the pressure chamber as a ring-shaped gas jet 17th from the coupling device 1 exit. The rest of the structure corresponds to this 4a) . Since the ring-shaped gas jet fans out relatively quickly after it emerges from the ring-shaped gas outlet nozzle, the ring-shaped gas jet touches the liquid jet after a defined distance. From this point the liquid jet will be 3 with regard to its laminarity disturbed, and the liquid jet 3 fans out. This is also called the atomization point for the liquid jet 3 designated. From the 4a) and 4b) it becomes clear that the ring-shaped gas jet has the advantage of displacing liquid that collects in a cavity of a workpiece to be machined so that the liquid jet with the laser beam can reliably reach the machining point. Because of its fanning out, however, the ring-shaped gas jet reduces the laminar length of the liquid jet after it emerges from the outlet opening 6th at the bottom of the insert 10 .

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 4a) ist die laminare Länge des Flüssigkeitsstrahles besonders groß und beträgt beispielsweise ca. 50 mm. Demgegenüber ist die laminare Länge bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 4b) kleiner und beträgt beispielsweise 30 bis 35 mm. In beiden Fällen ist diese laminare Länge jedoch ausreichend, weil die Distanz zwischen Austritt des Flüssigkeitsstrahles und Werkstückoberfläche in der Regel ca. 20 mm beträgt. Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 4b) besteht ein weiterer Vorteil darin, dass der ringförmige Airjet bis zum Atomisierungspunkt eine gute Schutzwirkung für den Flüssigkeitsstrahl und damit den darin eingekoppelten Laserstrahl entfaltet. Dies ist beispielsweise von Bedeutung, wenn die Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung mit der Einkoppelvorrichtung während der Bearbeitung über die Werkstückoberfläche bewegt wird und die Schutzwirkung des Airjets verhindert, dass der Flüssigkeitsstrahl mit eingekoppelten Laserstrahl abgelenkt oder deformiert wird.In the embodiment according to 4a) is the laminar length of the liquid jet particularly large and is, for example, approx. 50 mm. In contrast, the laminar length in the exemplary embodiment is shown in FIG 4b) smaller and is, for example, 30 to 35 mm. In both cases, however, this laminar length is sufficient because the distance between the exit of the liquid jet and the workpiece surface is generally approx. 20 mm. In the embodiment according to 4b) Another advantage is that the ring-shaped air jet develops a good protective effect for the liquid jet and thus the laser beam coupled into it up to the atomization point. This is important, for example, when the laser beam processing device with the coupling device is moved over the workpiece surface during processing and the protective effect of the air jet prevents the liquid jet with the coupled laser beam from being deflected or deformed.

Und schließlich ist in 5 eine erfindungsgemäße Einkoppelvorrichtung 1 gemäß 2 dargestellt, bei welcher in der vergrößerten Ausschnittsdarstellung für den Bereich von Flüssigkeitsdüse 5, Durchtrittsraum 7 und Insert 10 die Druck- und Strömungsverhältnisse angedeutet sind. Alle übrigen Elemente bzw. Bauteile entsprechen denen gemäß 2 bzw. auch 3, so dass darauf hier nicht nochmals eingegangen wird. In der Figur bedeuten die in Klammer gesetzten Buchstaben folgendes:

  1. (a) Gas-/Luft-Zuführung mit dem Querschnitt A1 und dem Druck p1,
  2. (b) Druckraum mit Querschnitt A2 und Druck p2 in Form eines Stauraumes,
  3. (c) Drosselbohrung zum Druckausgleich zwischen Durchtrittsraum 7 für den Wasserstrahl 3 und der Druckkammer 9 mit dem Querschnitt A3 und dem Druck p3,
  4. (d) Austrittsöffnung für den Flüssigkeitsstrahl aus dem Insert mit dem Querschnitt A4 und dem Druck p4 und
  5. (e) Ausgang des ringförmigen Gasstrahles 17 aus der Gasaustrittsdüse 11 mit dem Querschnitt A5 und dem Druck p5.
And finally in 5 a coupling device according to the invention 1 according to 2 shown in which in the enlarged detail view for the area of the liquid nozzle 5 , Passage room 7th and insert 10 the pressure and flow conditions are indicated. All other elements or components correspond to those according to 2 or also 3 so that we will not go into it again here. In the figure, the letters in brackets mean the following:
  1. (a) Gas / air supply with cross section A1 and pressure p1,
  2. (b) Pressure space with cross section A2 and pressure p2 in the form of a storage space,
  3. (c) Throttle bore for pressure equalization between the passage space 7th for the water jet 3 and the pressure chamber 9 with the cross section A3 and the pressure p3,
  4. (d) Exit opening for the liquid jet from the insert with the cross section A4 and the pressure p4 and
  5. (e) Exit of the annular gas jet 17th from the gas outlet nozzle 11 with the cross-section A5 and the pressure p5.

Für die Dimensionierung gilt nun, dass A1 < A2 > A3 < A4 und insbesondere A5 > A1 ist. Bezüglich der Drücke gilt p1 > p2 < p5. Die Luftströmung baut sich wie folgt auf: Das Gas bzw. die Luft strömt über die Zufuhrleitung in die Druckkammer 9. Die Druckkammer 9 ist kein Druckspeicher, da der als Ringspalt ausgebildete Ausgangsquerschnitt für das Gas stets größer ist als der Querschnitt der Zufuhrleitung für das Gas bzw. für die Luft. Insbesondere ist der Ausgangsquerschnitt doppelt so groß wie der Querschnitt der Drosselbohrungen 8. Der Durchtrittsraum 7 für den Flüssigkeitsstrahl 3 weist einen resultierenden Ausgangsquerschnitt A4 auf, welcher größer ist als der Querschnitt der Drosselbohrungen A3. Dadurch entsteht kein Überdruck im Durchtrittsraum 7. Es entsteht dadurch auch keine Luftummantelung bzw. Gasummantelung zur Angleichung der Geschwindigkeitsverhältnisse zwischen dem Flüssigkeitsstrahl 3 und seiner Umgebung. Aufgrund dieser erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Inserts mit einem definierten Ausgangsquerschnitt 5 und den Drosselbohrungen 8 erfolgt der Druckausgleich zu einem sich ansonsten bildenden Unterdruck in der Durchtrittskammer 7 selbsttätig. Das durchschnittliche Druckniveau im Durchtrittsraum 7 ist geringer oder maximal gleich dem Außendruck. Dies kann in vielen Fällen der Umgebungsdruck sein. Es ist jedoch auch denkbar, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung gekapselt ist und unter Druck arbeitet, wobei anstelle von Luft auch ein den Anforderungsbedingungen gemäßes Gas Anwendung finden kann.For the dimensioning, it now applies that A1 <A2> A3 <A4 and in particular A5> A1. With regard to the pressures, p1> p2 <p5 applies. The air flow builds up as follows: The gas or air flows through the supply line into the pressure chamber 9 . The pressure chamber 9 is not a pressure accumulator, since the outlet cross-section for the gas, designed as an annular gap, is always larger than the cross-section of the supply line for the gas or for the air. In particular, the output cross-section is twice as large as the cross-section of the throttle bores 8th . The passage room 7th for the liquid jet 3 has a resulting output cross section A4 which is larger than the cross section of the throttle bores A3. This means that there is no overpressure in the passage space 7th . As a result, there is also no air jacket or gas jacket to adjust the speed ratios between the liquid jet 3 and its surroundings. Because of this embodiment of the insert according to the invention with a defined initial cross section 5 and the throttle bores 8th the pressure is equalized to an otherwise negative pressure in the passage chamber 7th automatically. The average pressure level in the passage area 7th is less than or at most equal to the external pressure. In many cases this can be the ambient pressure. However, it is also conceivable that the device according to the invention is encapsulated and operates under pressure, it being possible for a gas that meets the requirements to be used instead of air.

Über die Dimensionierung und die Steuerung des Druckes, der Temperatur und der Viskosität der eingesetzten Fluide ist es somit möglich, den Druck im Durchtrittsraum 7 der erfindungsgemäßen Einkoppelvorrichtung zu regeln, so dass ein kontinuierlicher, dauerhafter und zuverlässiger Betrieb der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gewährleistet werden kann, wobei der apparative Aufwand gegenüber dem gemäß dem Stand der Technik geringer gehalten ist.By dimensioning and controlling the pressure, temperature and viscosity of the fluids used, it is thus possible to control the pressure in the passage space 7th to regulate the coupling device according to the invention, so that a continuous, permanent and reliable operation of the laser beam processing device can be guaranteed, the outlay on equipment being kept lower compared to that according to the prior art.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

11
EinkoppelvorrichtungCoupling device
22
Laserstrahllaser beam
33rd
FlüssigkeitsstrahlLiquid jet
44th
Gehäusecasing
55
FlüssigkeitsdüseLiquid nozzle
66th
AustrittsöffnungOutlet opening
77th
DurchtrittskammerPassage chamber
88th
DrosselbohrungThrottle bore
99
DruckkammerPressure chamber
1010
InsertInsert
1111
GasaustrittsdüseGas outlet nozzle
1212th
Werkstückworkpiece
1313th
Kavitätcavity
1414th
WerkstückoberflächeWorkpiece surface
1515th
FlüssigkeitskammerLiquid chamber
1616
SchutzfensterProtective window
1717th
Gasstrahl/AirjetGas jet / air jet
1818th
zu verdrängende Flüssigkeitliquid to be displaced
1919th
Gasquelle AirjetAirjet gas source
2020th
Gasquelle HilfsgasGas source auxiliary gas
2121
HilfsgasstromAuxiliary gas flow

Claims (13)

Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung mit einer Einkoppelvorrichtung (1) zum Einkoppeln eines fokussierten Laserstrahls (2) in einen Flüssigkeitsstrahl (3) definierten Querschnittes, aufweisend: eine in einem Gehäuse (4) angeordnete Flüssigkeitsdüse (5) zur Ausbildung des Flüssigkeitsstrahls (3); und eine in dem Gehäuse (4) angeordnete Austrittsöffnung (6) mit einem Querschnitt A4, durch welche der Flüssigkeitsstrahl (3) aus dem Gehäuse (4) austritt und deren Querschnitt größer als der Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls (3) ist; und eine zwischen der Flüssigkeitsdüse (5) und der Austrittsöffnung (6) angeordnete Durchtrittskammer (7) für den Flüssigkeitsstrahl (3); eine Gas-Zuführung mit einem Querschnitt A1 und einem Druck p1; eine Druckkammer (9) für das Gas in Form eines Stauraumes mit einem Querschnitt A2 und einem Druck p2; und einen Ausgang eines ringförmigen Gasstrahles (17) aus einer Gasaustrittsdüse (11) mit einem Druck p5; dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine mit der Durchtrittskammer (7) strömungsverbundene Drosselbohrung (8) mit dem Querschnitt A3, an deren durchtrittskammerabgewandter Seite ein Gas in der Druckkammer (9) mit dem Druck p2 größer als in der Durchtrittskammer (7) anliegt, vorgesehen ist, wobei A1 < A2, A2 > A3, A3 < A4 und ein aus dem Querschnitt der als Blende ausgebildeten Austrittsöffnung (6) vermindert um den Querschnitt des Flüssigkeitsstrahles (3) gebildeter resultierender Austrittsöffnungsquerschnitt derart dimensioniert sind, dass in der Durchtrittskammer (7) kein Überdruck gegenüber dem Druck in der Druckkammer (9) herrscht und für die Drücke p1 > p2 und p2 < p5 gilt.Laser beam processing device with a coupling device (1) for coupling a focused laser beam (2) into a liquid jet (3) defined cross section, comprising: a liquid nozzle (5) arranged in a housing (4) for forming the liquid jet (3); and an outlet opening (6) arranged in the housing (4) with a cross section A4, through which the liquid jet (3) emerges from the housing (4) and whose cross section is larger than the cross section of the liquid jet (3); and a passage chamber (7) for the liquid jet (3) arranged between the liquid nozzle (5) and the outlet opening (6); a gas supply with a cross section A1 and a pressure p1; a pressure chamber (9) for the gas in the form of a storage space with a cross section A2 and a pressure p2; and an exit of an annular gas jet (17) from a gas outlet nozzle (11) at a pressure p5; characterized in that at least one flow-connected throttle bore (8) with the cross section A3 and facing away from the passage chamber is provided with a gas in the pressure chamber (9) with a pressure p2 greater than in the passage chamber (7) , where A1 <A2, A2> A3, A3 <A4 and a resulting exit opening cross-section formed from the cross-section of the exit opening (6) designed as a diaphragm reduced by the cross-section of the liquid jet (3) are dimensioned in such a way that no There is overpressure compared to the pressure in the pressure chamber (9) and the following applies to the pressures p1> p2 and p2 <p5. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas über einen mittels eines im Gehäuse (4) angeordneten Inserts (10) von der Durchtrittskammer (7) abgetrennten Durchtrittsbereich außerhalb von der Austrittsöffnung (6) - den Flüssigkeitsstrahl (3) umgebend - in der Art eines Airjets aus dem Gehäuse (4) mit einer derartigen kinetischen Energie austritt, dass an einem Bearbeitungsort des Laserstrahls (2) an einem Werkstück (12) eine selbst in Kavitäten (13) vorhandene Flüssigkeit vom Bearbeitungsort des Laserstrahles (2) verdrängbar ist.Laser beam processing device according to Claim 1 , characterized in that the gas exits in the manner of an air jet via a passage area separated from the passage chamber (7) by means of an insert (10) arranged in the housing (4) outside of the outlet opening (6) - surrounding the liquid jet (3) the housing (4) exits with such kinetic energy that at a processing location of the laser beam (2) on a workpiece (12) a liquid even in cavities (13) can be displaced from the processing location of the laser beam (2). Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt , doppelt so groß wie der Querschnitt der zumindest einen Drosselbohrung (8) ist.Laser beam processing device according to Claim 1 or 2 , characterized in that the resulting outlet opening cross section is twice as large as the cross section of the at least one throttle bore (8). Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass vier Drosselbohrungen (8), insbesondere gleichen Querschnitts, vorhanden sind.Laser beam machining device according to one of the Claims 1 to 3 , characterized in that four throttle bores (8), in particular of the same cross-section, are present. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckkammer (9) eine konzentrisch zur Austrittsöffnung (6) im Insert (10) ausgebildete Gasaustrittsdüse (11) aufweist.Laser beam machining device according to one of the Claims 2 to 4th , characterized in that the pressure chamber (9) has a gas outlet nozzle (11) formed concentrically to the outlet opening (6) in the insert (10). Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Drosselbohrung (8) und der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt derart dimensioniert sind, dass in der Durchtrittskammer (7) gegenüber dem Außendruck kein Unterdruck herrscht.Laser beam machining device according to one of the Claims 1 to 5 , characterized in that the at least one throttle bore (8) and the resulting outlet opening cross-section are dimensioned such that there is no negative pressure in the passage chamber (7) in relation to the external pressure. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Drosselbohrung (8) und der resultierende Austrittsöffnungsquerschnitt A6 derart dimensioniert sind, dass in der Durchtrittskammer (7) ein Unterdruck herrscht, welcher nicht unter einen definierten kritischen Wert fällt.Laser beam machining device according to one of the Claims 1 to 5 , characterized in that the at least one throttle bore (8) and the resulting outlet opening cross-section A 6 are dimensioned such that there is a negative pressure in the passage chamber (7) which does not fall below a defined critical value. Verfahren zum Einstellen eines Druckes in einer zwischen einer Flüssigkeitsdüse (5) zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahles (3) und einer Austrittsöffnung (6) mit einem Querschnitt A4 am Gehäuse (4) angeordneten Durchtrittskammer (7) für den Flüssigkeitsstrahl (3) einer Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung mit den Merkmalen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, bei welcher ein einer Bearbeitung an einer Werkstückoberfläche (14) dienender Laserstrahl (2) in den Flüssigkeitsstrahl (3) eingekoppelt wird, wobei zumindest eine mit der Durchtrittskammer (7) strömungsverbundene Drosselbohrung (8) an ihrer durchtrittskammerabgewandten Seite mit einem Gas in einer Druckkammer (9) mit einem gegenüber dem Druck in der Durchtrittskammer (7) vorhandenen Überdruck beaufschlagt wird und die Durchtrittskammer (7) durch eine Austrittsöffnung (6) für den Flüssigkeitsstrahl (3) begrenzt wird, deren Austrittsöffnungsquerschnitt größer als der Querschnitt des Flüssigkeitsstrahls (3) ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Durchtrittskammer (7) derart eingestellt, insbesondere geregelt, wird, dass darin gegenüber dem Druck in der Druckkammer (9) kein Überdruck entsteht.Method for setting a pressure in a passage chamber (7) for the liquid jet (3) of a laser beam processing device arranged between a liquid nozzle (5) for generating a liquid jet (3) and an outlet opening (6) with a cross section A4 on the housing (4) with the features according to one of the Claims 1 to 7th , in which a laser beam (2) used for machining a workpiece surface (14) is coupled into the liquid jet (3), at least one throttle bore (8), which is flow-connected to the passage chamber (7), with a gas in a pressure chamber on its side facing away from the passage chamber (9) is acted upon by an overpressure existing in relation to the pressure in the passage chamber (7) and the passage chamber (7) is delimited by an outlet opening (6) for the liquid jet (3), the outlet opening cross section of which is greater than the cross section of the liquid jet (3) is, characterized in that the pressure in the passage chamber (7) is set, in particular regulated, in such a way that there is no overpressure therein compared to the pressure in the pressure chamber (9). Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Durchtrittskammer (7) durch Veränderung des Gasdruckes in der Druckkammer (9) eingestellt wird.Procedure according to Claim 8 , characterized in that the pressure in the passage chamber (7) is adjusted by changing the gas pressure in the pressure chamber (9). Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Durchtrittskammer (7) durch Veränderung des Querschnittes der Drosselbohrung (8) und/oder des Austrittsöffnungsquerschnittes eingestellt wird.Procedure according to Claim 8 or 9 , characterized in that the pressure in the passage chamber (7) is adjusted by changing the cross section of the throttle bore (8) and / or the outlet opening cross section. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Durchtrittskammer (7) durch Veränderung der Viskosität des Gases in der Druckkammer (9) eingestellt wird.Method according to one of the Claims 8 to 10 , characterized in that the pressure in the passage chamber (7) is adjusted by changing the viscosity of the gas in the pressure chamber (9). Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Durchtrittskammer (7) derart eingestellt wird, dass gegenüber dem Außendruck kein Unterdruck entsteht.Method according to one of the Claims 8 to 11 , characterized in that the pressure in the passage chamber (7) is set in such a way that there is no negative pressure compared to the external pressure. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Durchtrittskammer (7) derart eingestellt wird, dass ein definierter kritischer Wert des Unterdruckes nicht unterschritten wird.Method according to one of the Claims 8 to 11 , characterized in that the pressure in the passage chamber (7) is set in such a way that the negative pressure does not fall below a defined critical value.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10307864B2 (en) 2013-12-13 2019-06-04 Avonisys Ag Methods and systems to keep a work piece surface free from liquid accumulation while performing liquid-jet guided laser based material processing
EP3470165B1 (en) * 2017-10-13 2023-08-16 Synova S.A. Apparatus for machining a workpiece with a liquid jet guided laser beam and the assembly thereof
CN108188596A (en) * 2017-12-13 2018-06-22 国轩新能源（苏州）有限公司 Laser Welding plane-welding smoke exhausting type compressing fixture
WO2019162464A1 (en) * 2018-02-23 2019-08-29 Avonisys Ag A method of machining a bore extending from an outer wall of a workpiece with liquid-jet guided laser beam
CN108956376B (en) * 2018-05-08 2020-04-28 中国农业大学 Food rheological property detection system
CN108956377B (en) * 2018-05-08 2020-03-10 中国农业大学 Food rheological property detection method
DE102019103659B4 (en) * 2019-02-13 2023-11-30 Bystronic Laser Ag Gas guide, laser cutting head and laser cutting machine
CN112605528A (en) * 2020-12-09 2021-04-06 淮阴工学院 Micro-nano structure laser forming device and forming method
CN117086478A (en) * 2023-08-28 2023-11-21 中国机械总院集团哈尔滨焊接研究所有限公司 Annular water curtain composite water guide laser processing device and method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1833636B1 (en) * 2004-11-10 2010-07-21 Synova S.A. Process and device for optimising the coherence of a fluidjet used for materialworking
WO2015087209A2 (en) * 2013-12-13 2015-06-18 se2quel Management GmbH Methods and systems to keep a work piece surface free from liquid accumulation while performing liquid-jet guided laser based material processing

Family Cites Families (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3597578A (en) * 1967-03-16 1971-08-03 Nat Res Dev Thermal cutting apparatus and method
US3503804A (en) * 1967-04-25 1970-03-31 Hellmut Schneider Method and apparatus for the production of sonic or ultrasonic waves on a surface
GB1242123A (en) * 1968-11-12 1971-08-11 Nat Res Dev Improvements relating to a method and apparatus for laser beam cutting
GB1235653A (en) * 1969-01-10 1971-06-16 Nat Res Dev Improvements relating to cutting processes employing a laser
US3742182A (en) * 1971-12-27 1973-06-26 Coherent Radiation Method for scanning mask forming holes with a laser beam
US4125757A (en) * 1977-11-04 1978-11-14 The Torrington Company Apparatus and method for laser cutting
US4251709A (en) * 1978-12-29 1981-02-17 Schumacher Berthold W Process for joining metals
SU1266463A3 (en) * 1981-07-10 1986-10-23 Хауни-Верке Кербер Унд Ко.,Кг (Фирма) Device for punching moving thin material
EP0129603A4 (en) * 1982-12-17 1985-06-10 Inoue Japax Res Laser machining apparatus.
US4497692A (en) * 1983-06-13 1985-02-05 International Business Machines Corporation Laser-enhanced jet-plating and jet-etching: high-speed maskless patterning method
JPS6130672A (en) * 1984-07-23 1986-02-12 Hitachi Ltd Selective processing method
DE3643284A1 (en) * 1986-12-18 1988-06-30 Aesculap Ag METHOD AND DEVICE FOR CUTTING A MATERIAL BY MEANS OF A LASER BEAM
US4798931A (en) * 1987-07-17 1989-01-17 Laser Applications, Inc. Simultaneously cutting and welding sheet metal using laser energy
US4859826A (en) * 1987-07-17 1989-08-22 Laser Applications, Inc. Simultaneously cutting and welding sheet metal using laser energy
US4905310A (en) * 1988-07-01 1990-02-27 Laser Applications, Inc. Laser cutting and welding of sheet metal using a shield of compressed air
DE3891388T1 (en) * 1988-09-01 1990-11-22 Inst Fiz Akademii Nauk Litovsk METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING FILTERS BY WORKING BY LASER
AU4504089A (en) * 1988-10-05 1990-05-01 Michael Feygin An improved apparatus and method for forming an integral object from laminations
FR2685922B1 (en) * 1992-01-07 1995-03-24 Strasbourg Elec COAXIAL NOZZLE FOR SURFACE TREATMENT UNDER LASER IRRADIATION, WITH SUPPLY OF MATERIALS IN POWDER FORM.
DE4226620C2 (en) * 1992-08-12 1995-01-19 Thyssen Stahl Ag Process for laser beam cutting of strip or plate-shaped workpieces, in particular of electrical sheet
US5609781A (en) * 1992-10-23 1997-03-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Machining head and laser machining apparatus
DE4418845C5 (en) * 1994-05-30 2012-01-05 Synova S.A. Method and device for material processing using a laser beam
DE19537924C2 (en) * 1994-10-18 1997-06-12 Thyssen Industrie Method for cooling the weld seam area during laser welding and device for carrying out this method
US5773791A (en) * 1996-09-03 1998-06-30 Kuykendal; Robert Water laser machine tool
US6280302B1 (en) * 1999-03-24 2001-08-28 Flow International Corporation Method and apparatus for fluid jet formation
KR100658247B1 (en) * 1999-09-21 2006-12-14 하이퍼썸, 인크. Process and apparatus for cutting or welding a workpiece
US20030062126A1 (en) * 2001-10-03 2003-04-03 Scaggs Michael J. Method and apparatus for assisting laser material processing
TWI236944B (en) * 2001-12-17 2005-08-01 Tokyo Electron Ltd Film removal method and apparatus, and substrate processing system
FR2846581B1 (en) * 2002-10-31 2006-01-13 Usinor METHOD AND DEVICE FOR PUNCHING A FLUID-ENDING JET, IN PARTICULAR WELDING, MACHINING, OR LASER RECHARGING
JP4038724B2 (en) * 2003-06-30 2008-01-30 トヨタ自動車株式会社 Laser cladding processing apparatus and laser cladding processing method
EP1632305A1 (en) * 2004-09-04 2006-03-08 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Process for determining and process for adjusting the reciprocal position of the axis of a laser machining beam and the axis of a processing gas jet on a laser working machine as well as laser working machine with equipment for executing the processes
US7490664B2 (en) * 2004-11-12 2009-02-17 Halliburton Energy Services, Inc. Drilling, perforating and formation analysis
JP5035653B2 (en) * 2005-03-18 2012-09-26 澁谷工業株式会社 Hybrid laser processing equipment
PL1940579T3 (en) * 2005-05-17 2010-11-30 Technikus Ag Method for material working by means of a laser guided in a water jet and device for carrying out said method
JP4997723B2 (en) * 2005-07-21 2012-08-08 澁谷工業株式会社 Hybrid laser processing equipment
JP4844715B2 (en) * 2005-08-25 2011-12-28 澁谷工業株式会社 Hybrid laser processing equipment
JP2007144494A (en) * 2005-11-30 2007-06-14 Tokyo Electron Ltd Apparatus and method for laser processing
US20100213166A1 (en) * 2006-01-25 2010-08-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Process and Device for The Precision-Processing Of Substrates by Means of a Laser Coupled Into a Liquid Stream, And Use of Same
US8134098B2 (en) * 2007-09-28 2012-03-13 Sugino Machine Limited Laser machining apparatus using laser beam introduced into jet liquid column
US8207472B2 (en) * 2008-06-18 2012-06-26 Electro Scientific Industries, Inc. Debris capture and removal for laser micromachining
US20120074110A1 (en) * 2008-08-20 2012-03-29 Zediker Mark S Fluid laser jets, cutting heads, tools and methods of use
US9089928B2 (en) * 2008-08-20 2015-07-28 Foro Energy, Inc. Laser systems and methods for the removal of structures
EP2189236B1 (en) * 2008-11-21 2012-06-20 Synova S.A. Method and apparatus for improving reliability of a machining process
US8525074B2 (en) * 2008-12-26 2013-09-03 Denso Corporation Machining method and machining system for micromachining a part in a machine component
US20100207038A1 (en) * 2009-02-13 2010-08-19 Loughborough University Apparatus and method for laser irradiation
CN101823183A (en) * 2009-03-04 2010-09-08 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 Water-conducted laser device
JP5431831B2 (en) * 2009-08-21 2014-03-05 株式会社ディスコ Laser processing equipment
JP5912264B2 (en) * 2011-02-28 2016-04-27 日本発條株式会社 Laser processing method and apparatus
WO2012131327A1 (en) * 2011-03-25 2012-10-04 Bae Systems Plc Additive layer manufacturing
JP5220914B2 (en) * 2011-05-25 2013-06-26 株式会社スギノマシン Laser processing equipment
US20130193617A1 (en) * 2012-02-01 2013-08-01 Electro Scientific Industries, Inc. Systems and methods for separating non-metallic materials
US9598979B2 (en) * 2012-02-15 2017-03-21 United Technologies Corporation Manufacturing methods for multi-lobed cooling holes
JP5877432B2 (en) 2012-02-29 2016-03-08 株式会社スギノマシン Laser processing equipment
JP6063636B2 (en) * 2012-04-10 2017-01-18 株式会社東芝 Laser processing apparatus, laser processing system, and laser processing method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1833636B1 (en) * 2004-11-10 2010-07-21 Synova S.A. Process and device for optimising the coherence of a fluidjet used for materialworking
WO2015087209A2 (en) * 2013-12-13 2015-06-18 se2quel Management GmbH Methods and systems to keep a work piece surface free from liquid accumulation while performing liquid-jet guided laser based material processing

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WO2017093331A1 (en) 2017-06-08
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