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CN111566023A - 输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置 - Google Patents

输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置 Download PDF

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CN111566023A CN201880085970.2A CN201880085970A CN111566023A CN 111566023 A CN111566023 A CN 111566023A CN 201880085970 A CN201880085970 A CN 201880085970A CN 111566023 A CN111566023 A CN 111566023A
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Abstract

输送系统(2)的控制方法包括：多个输送台车(6)中的特定的输送台车(6)将特定的移载位置信息发送至管理装置(18)的步骤；管理装置(18)从对应信息提取与从特定的输送台车(6)接收到的特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，并将提取出的特定的通信设备目的地信息发送到特定的输送台车(6)的步骤；以及特定的输送台车(6)利用从管理装置(18)接收到的特定的通信设备目的地信息，对于第一通信设备(14)以及第二通信设备(16)中的与第一半导体制造装置(10)连接的第一通信设备(14)，执行用于在第一半导体制造装置(10)与特定的输送台车(6)之间移载FOUP(4)的通信的步骤。

Description

输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置
技术领域
本发明涉及输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置。
背景技术
专利文献1中公开了具备用于输送储存有半导体晶圆的FOUP(Front OpeningUnified Pod：前开式晶圆传送盒)的高架行驶式的多个输送台车和用于处理半导体晶圆的多个半导体制造装置的半导体制造系统。
在多个半导体制造装置各个配置有1组通信设备以及无线接入点。另外，在多个半导体制造装置各个配置有用于载置FOUP的载置端口。通信设备经由并行电缆与载置端口连接，并且经由LAN(Local Area Network：局域网)电缆与无线接入点连接。
多个输送台车各个能够经由无线接入点与通信设备进行无线通信。输送台车在接近特定的半导体制造装置时，将用于开始用于在与该特定的半导体制造装置的载置端口之间移载FOUP的处理的消息信号发送至与该载置端口连接的通信设备。
专利文献1：日本特开2015－82574号公报
在上述的半导体制造系统中，输送台车在将消息信号发送至通信设备时，需要将通信设备的地址指定为发送目的地。然而，在例如半导体制造装置被追加、撤除或者变更等的情况下，通信设备的地址会被变更，产生多个输送台车中的每个输送台车中的通信设备的地址的管理变得繁琐这样的课题。
发明内容
本发明是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供能够统一地管理通信设备目的地信息的输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置。
为了实现上述目的，本发明的一方式所涉及的输送系统的控制方法是具备用于输送被输送物的多个输送台车、在与上述多个输送台车各个之间移载上述被输送物的多个移载装置、与上述多个移载装置分别连接的多个通信设备、以及管理上述多个通信设备的管理装置的输送系统的控制方法，上述多个输送台车各个具有第一存储部，该第一存储部存储表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息，上述管理装置具有第二存储部，该第二存储部存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置各个中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地，上述控制方法包括如下步骤：(a)上述多个输送台车中的特定的输送台车将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置；(b)上述管理装置从上述对应信息提取与从上述特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，并将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车；以及(c)上述特定的输送台车利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息，对于上述多个通信设备中的与上述特定的移载装置连接的特定的通信设备，执行用于在上述特定的移载装置与上述特定的输送台车之间移载上述被输送物的通信。
根据本方式，管理装置存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，所以能够在管理装置中统一地管理通信设备目的地信息。其结果，即使是通过例如移载装置被追加、撤除或者变更等，而通信设备的通信设备目的地信息被变更的情况，也能够以较少的作业量容易地更新存储于管理装置的对应信息。
例如，也可以构成为上述输送系统还具备控制上述多个输送台车各个的行驶的控制装置，上述控制方法还包括如下步骤：(d)上述特定的输送台车从上述控制装置接收表示上述管理装置的目的地的管理装置目的地信息，在上述(a)中，上述特定的输送台车利用从上述控制装置接收到的上述管理装置目的地信息，将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置。
根据本方式，不需要在特定的输送台车中预先存储管理装置目的地信息，所以能够节约第一存储部的存储容量。
例如，也可以构成为上述输送系统具备包括第一管理装置以及第二管理装置在内的多个上述管理装置，在上述(d)中，上述特定的输送台车从上述控制装置接收表示上述多个管理装置各自的目的地的多个上述管理装置目的地信息，在上述(a)中，上述特定的输送台车在从上述控制装置接收到的上述多个管理装置目的地信息中选择表示上述第一管理装置的目的地的第一管理装置目的地信息，利用上述第一管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第一管理装置。
根据本方式，输送系统具备多个管理装置，所以能够实现冗余化。
例如，也可以构成为上述控制方法还包括：(e)上述特定的输送台车在上述(a)中不能与上述第一管理装置通信的情况下，在从上述控制装置接收到的上述多个管理装置目的地信息中选择表示上述第二管理装置的目的地的第二管理装置目的地信息，利用上述第二管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第二管理装置。
根据本方式，特定的输送台车即使在与第一管理装置之间不能通信的情况下，也能够利用第二管理装置目的地信息将特定的移载位置信息发送至第二管理装置。
例如，也可以构成为上述输送系统具备包括第一管理装置以及第二管理装置在内的多个上述管理装置，在上述(d)中，上述特定的输送台车从上述控制装置接收表示上述第一管理装置的目的地的第一管理装置目的地信息，在上述(a)中，上述特定的输送台车利用从上述控制装置接收到的上述第一管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第一管理装置，上述控制方法还包括如下步骤：(f)上述特定的输送台车在上述(a)中不能与上述第一管理装置通信的情况下，从上述控制装置接收表示上述第二管理装置的目的地的第二管理装置目的地信息；以及(g)上述特定的输送台车利用从上述控制装置接收到的上述第二管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第二管理装置。
根据本方式，输送系统具备多个管理装置，所以能够实现冗余化。另外，特定的输送台车即使在与第一管理装置之间不能通信的情况下，也能够利用第二管理装置目的地信息将特定的移载位置信息发送至第二管理装置。并且，在特定的输送台车即使在上述(a)中在与第一管理装置之间能够通信的情况下，也从第一管理装置所具备的对应信息提取与第一管理装置从特定的输送台车接收到的特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息时，有时例如由于通信处理的集中等而提取处理需要相对较长的时间。这样的情况下，第一管理装置将表示该主旨的响应信号发送至特定的输送台车。特定的输送台车也可以在从第一管理装置接收到该响应信号的情况下，从控制装置接收到的多个管理装置目的地信息中利用第二管理装置目的地信息，将特定的移载位置信息发送至第二管理装置。
例如，也可以构成为上述控制方法还包括如下步骤：(h)上述控制装置对于上述多个输送台车中的第一输送台车发送第一行驶指示信号，该第一行驶指示信号用于指示行驶到上述特定的移载装置的位置，并且将第一被输送物从上述第一输送台车移载到上述特定的移载装置；(i)上述管理装置获取表示在上述特定的移载装置的上方是否存在第二被输送物的被输送物信息；(j)上述第一输送台车接收到上述第一行驶指示信号后，决定指示从当前位置行驶到上述特定的移载装置的位置的第一路径的第一行驶计划；(k)上述第一输送台车向上述管理装置询问在假设基于上述第一行驶计划在第一时刻到达上述特定的移载装置的位置的情况下，在上述第一时刻在上述特定的移载装置的上方是否存在上述第二被输送物；以及(l)上述第一输送台车在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方不存在上述第二被输送物这样的上述询问的结果的情况下，采用上述第一行驶计划，在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方存在上述第二被输送物这样的上述询问的结果的情况下，决定与上述第一行驶计划不同的第二行驶计划，并且采用决定的上述第二行驶计划，上述第二行驶计划指示比上述第一路径长的第二路径，该第二路径为在从上述特定的移载装置向上述多个输送台车中的第二输送台车的上述第二被输送物的移载完成，并且上述第二被输送物与上述特定的移载装置的上方分离后，上述第一输送台车到达上述特定的移载装置的位置。
根据本方式，第一输送台车根据在特定的移载装置的上方是否存在第二被输送物，采用第一行驶计划以及第二行驶计划的任意一个，所以能够提高第一以及第二被输送物的输送效率。
例如，也可以构成为上述控制方法还包括如下步骤：(m)上述控制装置对于上述多个输送台车中的第三输送台车发送第三行驶指示信号，该第三行驶指示信号用于指示行驶到上述特定的移载装置的位置，并且将第三被输送物从上述特定的移载装置移载到上述第三输送台车；(n)上述管理装置获取表示在上述特定的移载装置的上方是否存在上述第三被输送物的被输送物信息；(o)上述第三输送台车在接收到上述第三行驶指示信号后，决定指示从当前位置行驶到上述特定的移载装置的位置的第三路径的第三行驶计划；(p)上述第三输送台车向上述管理装置询问在假设基于上述第三行驶计划在第二时刻到达上述特定的移载装置的位置的情况下，在上述第二时刻在上述特定的移载装置的上方是否存在上述第三被输送物；以及(q)上述第三输送台车在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方存在上述第三被输送物这样的上述询问的结果的情况下，采用上述第三行驶计划，在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方不存在上述第三被输送物这样的上述询问的结果的情况下，决定与上述第三行驶计划不同的第四行驶计划，并且采用决定的上述第四行驶计划，上述第四行驶计划指示比上述第三路径长的第四路径，该第四路径为在向上述特定的移载装置的上述第三被输送物的载置完成后，上述第三输送台车到达上述特定的移载装置的位置。
根据本方式，第三输送台车根据在特定的移载装置的上方是否存在第三被输送物，采用第三行驶计划以及第四行驶计划的任意一个，所以能够提高第三被输送物的输送效率。
例如，也可以构成为上述控制方法还包括如下步骤：(r)上述控制装置在上述特定的移载装置载置有上述第二被输送物的状态下，对于上述第二输送台车发送第二行驶指示信号，该第二行驶指示信号用于指示行驶到上述特定的移载装置的位置，并且将上述第二被输送物从上述特定的移载装置移载到上述第二输送台车。
根据本方式，能够对于第二输送台车指示行驶到特定的移载装置的位置，并且将第二被输送物从特定的移载装置移载到第二输送台车。
例如，也可以构成为上述输送系统还具备无线接入点，在上述(a)中，上述特定的输送台车经由上述无线接入点将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置，在上述(b)中，上述管理装置经由上述无线接入点将上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车，在上述(c)中，上述特定的输送台车经由上述无线接入点对于上述特定的通信设备执行上述通信。
根据本方式，特定的输送台车进行利用无线接入点的无线通信，所以不需要如使用例如在发送侧设备和接收侧设备使光轴一致而通信的光通信的情况那样在光轴一致之前等待通信的开始，即使在行驶中也能够与管理装置以及特定的通信设备分别通信。其结果，能够缩短到特定的输送台车完成与特定的通信设备之间的通信为止的时间。
例如，也可以构成为上述控制方法还包括如下步骤：(s)在上述(c)中，在上述特定的输送台车想要经由上述无线接入点对于上述特定的通信设备执行上述通信时，没有来自上述特定的通信设备的响应的情况下，上述特定的输送台车判定为上述特定的通信设备是不能通信的状态，并将该判定结果经由上述无线接入点通知给上述管理装置。
根据本方式，管理装置能够容易地把握多个通信设备各个是否是可通信的状态。
例如，也可以构成为上述控制方法还包括如下步骤：(t)上述管理装置将心跳信号发送至上述多个通信设备各个；(u)上述管理装置在有从上述多个通信设备中的任意一个通信设备对上述心跳信号的响应的情况下，判定为该通信设备是可通信的状态，在没有从上述多个通信设备中的任意一个通信设备对上述心跳信号的响应的情况下，判定为该通信设备是不能通信的状态。
根据本方式，管理装置能够容易地把握多个通信设备各个是否是可通信的状态。
例如，也可以构成为上述对应信息还包括与上述移载位置信息以及上述通信设备目的地信息建立对应关系的表示上述通信设备的通信属性的通信属性信息，在上述(b)中，上述管理装置从上述对应信息提取与从上述特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的上述特定的通信设备目的地信息以及特定的通信属性信息，并将提取出的上述特定的通信设备目的地信息以及上述特定的通信属性信息发送至上述特定的输送台车，在上述(c)中，上述特定的输送台车利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息以及上述特定的通信属性信息，对于上述特定的通信设备执行上述通信。
根据本方式，特定的输送台车能够在与特定的通信设备之间执行与特定的通信设备的通信属性信息对应的通信。
另外，本发明的一方式所涉及的输送系统是用于输送被输送物的输送系统，具备：多个输送台车，用于输送上述被输送物；多个移载装置，在与上述多个输送台车各个之间移载上述被输送物；多个通信设备，与上述多个移载装置分别连接；以及管理装置，管理上述多个通信设备，上述多个输送台车各个具有：第一存储部，存储表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息；以及第一通信部，将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置，上述管理装置具有：第二存储部，存储表示移栽位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置各个中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地；控制部，从上述对应信息提取与从上述多个输送台车中的特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息；以及第二通信部，将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车，上述特定的输送台车的上述第一通信部进一步利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息，对于上述多个通信设备中的与上述特定的移载装置连接的特定的通信设备，执行用于在上述特定的移载装置与上述特定的输送台车之间移载上述被输送物的通信。
根据本方式，管理装置存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，所以能够在管理装置中统一地管理通信设备目的地信息。其结果，即使在例如移载装置被追加、撤除或者变更等而通信设备的通信设备目的地信息被变更的情况下，也能够以较少的作业量容易地更新存储于管理装置的对应信息。
另外，本发明的一方式所涉及的管理装置是管理与在与输送台车之间移载被输送物的多个移载装置分别连接的多个通信设备的管理装置，具备：存储部，存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置各个中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地；通信部，从上述输送台车接收表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息；以及控制部，从上述对应信息提取与接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，上述通信部将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述输送台车。
根据本方式，管理装置存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，所以能够在管理装置中统一地管理通信设备目的地信息。其结果，即使在例如通过移载装置被追加、撤除或者变更等而通信设备的通信设备目的地信息被变更的情况下，也能够以较少的作业量容易地更新存储于管理装置的对应信息。
根据本发明的一方式所涉及的输送系统的控制方法等，能够统一地管理通信设备目的地信息。
附图说明
图1是表示实施方式1所涉及的输送系统的概要的图。
图2是表示实施方式1所涉及的输送系统的功能构成的框图。
图3是表示实施方式1所涉及的管理表格的一个例子的图。
图4是表示实施方式1所涉及的输送系统的动作的序列图。
图5是表示实施方式2所涉及的输送系统的功能构成的框图。
图6是表示实施方式2所涉及的输送系统的动作的序列图。
图7是表示实施方式3所涉及的输送系统的功能构成的框图。
图8是表示实施方式3所涉及的输送系统的动作的序列图。
图9是表示实施方式3所涉及的输送系统的动作的序列图。
图10是表示实施方式4所涉及的输送系统的功能构成的框图。
图11是表示实施方式4所涉及的管理装置的动作的流程图。
具体实施方式
以下，使用附图详细地对本发明的实施方式进行说明。此外，以下说明的实施方式均示出包含性的或者具体的例子。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接形式、步骤、步骤的顺序等是一个例子，并不是限定本发明的内容。另外，以下的实施方式中的构成要素中独立权利要求未记载的构成要素被描述为任意的构成要素。
(实施方式1)
[1－1.输送系统的概要]
首先，参照图1对实施方式1所涉及的输送系统2的概要进行说明。图1是表示实施方式1所涉及的输送系统2的概要的图。
如图1所示，输送系统2是例如在半导体制造工厂中，用于输送储存有晶圆的FOUP4(被输送物的一个例子)的系统。输送系统2具备多个输送台车6、控制装置8、第一半导体制造装置10(移载装置的一个例子)、第二半导体制造装置12(移载装置的一个例子)、第一通信设备14、第二通信设备16、管理装置18、以及无线接入点20。
多个输送台车6各个是通过沿着例如设置于半导体制造工厂的顶棚的导轨22进行无人行驶而输送FOUP4的高架行驶式的输送台车，是所谓的OHT(Overhead HoistTransfer：空中吊运)。输送台车6能够经由沿着导轨22敷设的供电路径24通过电磁感应现象非接触地接受从电力供给装置(未图示)供给的电力。由此，输送台车6能够一边接受来自供电路径24的电力的供给一边沿着导轨22行驶。
在输送台车6的内部可升降地搭载有用于把持FOUP4的把持部26。例如在输送台车6与第一半导体制造装置10的载置端口32a(后述)之间移载FOUP4时，把持部26从输送台车6下降到载置端口32a的附近。另外，在FOUP4的移载完成时，把持部26从载置端口32a的附近上升到输送台车6，并储存于输送台车6的内部。此外，在半导体制造工厂配置有多个(例如3000台)输送台车6，但为了方便说明，在图1等中仅图示一个输送台车6。
控制装置8是用于控制多个输送台车6各自的行驶的计算机，是所谓的OHVC(Overhead Hoist Vehicle Controller：顶式升降车控制器)。控制装置8能够经由沿着导轨22敷设的馈线28与多个输送台车6各个通信。
第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12分别是用于对储存于FOUP4的晶圆进行处理或者临时存放等的站，设置于导轨22的正下方。
第一半导体制造装置10具有用于搬入以及搬出FOUP4的多个(例如3个)搬入搬出口30a、30b、30c、以及用于载置FOUP4的多个(例如3个)载置端口32a、32b、32c。多个载置端口32a、32b、32c分别配置于对应的多个搬入搬出口30a、30b、30c的附近。多个载置端口32a、32b、32c分别是用于在与输送台车6的把持部26之间移载FOUP4，并且通过多个搬入搬出口30a、30b、30c在与第一半导体制造装置10之间进行FOUP4的交接的装载端口。此外，在本实施方式中，对第一半导体制造装置10具有3个载置端口32a、32b、32c的情况进行了说明，但并不局限于此，也可以具有1个、2个或者4个以上的载置端口。
第二半导体制造装置12具有用于搬入以及搬出FOUP4的多个(例如3个)搬入搬出口34a、34b、34c、以及用于载置FOUP4的多个(例如3个)载置端口36a、36b、36c。多个载置端口36a、36b、36c分别配置于对应的多个搬入搬出口34a、34b、34c的附近。多个载置端口36a、36b、36c分别是用于在与输送台车6的把持部26之间移载FOUP4，并且通过多个搬入搬出口34a、34b、34c在与第二半导体制造装置12之间进行FOUP4的交接的装载端口。此外，在本实施方式中，对第二半导体制造装置12具有3个载置端口36a、36b、36c的情况进行了说明，但并不局限于此，也可以具有1个、2个或者4个以上的载置端口。
此外，在半导体制造工厂设置有多个(例如10000台)半导体制造装置，但为了方便说明，在图1等中仅图示2个半导体制造装置(第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12)。
第一通信设备14是用于对第一半导体制造装置10的多个载置端口32a、32b、32c各个与输送台车6之间的通信进行中介的设备服务器。第一通信设备14具备多个并行端口，多个并行端口各个经由并行电缆38与第一半导体制造装置10的多个载置端口32a、32b、32c分别连接。由此，第一通信设备14能够与第一半导体制造装置10的多个载置端口32a、32b、32c各个通信。另外，第一通信设备14经由LAN电缆40与无线接入点20连接。由此，第一通信设备14能够经由无线接入点20与多个输送台车6分别进行以太网(注册商标)通信。此外，在第一通信设备14与多个输送台车6各个之间的通信例如应用了SEMI(Semiconductor Equipmentand Materials International：全球半导体生产设备材料协会)的E84通信序列。
第二通信设备16是用于对第二半导体制造装置12的多个载置端口36a、36b、36c各个与输送台车6之间的通信进行中介的设备服务器。第二通信设备16具备多个并行端口，多个并行端口各个经由并行电缆42与第二半导体制造装置12的多个载置端口36a、36b、36c各个连接。由此，第二通信设备16能够与第二半导体制造装置12的多个载置端口36a、36b、36c各个通信。另外，第二通信设备16经由LAN电缆(未图示)与无线接入点20连接。由此，第二通信设备16能够经由无线接入点20与多个输送台车6各个进行以太网(注册商标)通信。此外，在第二通信设备16与多个输送台车6各个之间的通信应用了例如SEMI的E84通信序列。
此外，在半导体制造工厂设置有与半导体制造装置数目相同(例如10000台)的通信设备，但为了方便说明，在图1等中仅图示2个通信设备(第一通信设备14以及第二通信设备16)。
管理装置18是用于管理包括第一通信设备14以及第二通信设备16在内的多个通信设备的设备服务器管理器。管理装置18经由LAN电缆46与第一通信设备14以及第二通信设备16分别连接。由此，管理装置18能够与第一通信设备14以及第二通信设备16分别通信。
无线接入点20是无线LAN中的接入点。无线接入点20对a)多个输送台车6各个与第一通信设备14之间的通信、b)多个输送台车6各个与第二通信设备16之间的通信、以及c)多个输送台车6各个与管理装置18之间的通信分别进行中介。
[1－2.输送系统的功能构成]
接下来，参照图2以及图3对实施方式1所涉及的输送系统2的功能构成进行说明。图2是表示实施方式1所涉及的输送系统2的功能构成的框图。图3是表示实施方式1所涉及的管理表格的一个例子的图。
如图2所示，多个输送台车6以及无线接入点20分别与例如依据IEEE802.11系列的无线网络48连接。无线网络48由例如2.4GHz频带或者5GHz频带的WiFi(注册商标)构建。另外，第一通信设备14、第二通信设备16以及管理装置18分别与由例如使用电缆的有线LAN构建的有线网络连接。
多个输送台车6分别具有通信部50(第一通信部的一个例子)、存储部52(第一存储部的一个例子)、以及控制部54。
通信部50在与控制装置8、第一通信设备14、第二通信设备16以及管理装置18各个之间进行无线通信。
存储部52是用于存储各种数据的存储器。具体而言，存储部52暂时存储a)从控制装置8接收到的行驶指示信号(后述)所包含的行驶指示数据、b)从控制装置8接收到的管理装置18的IP(Internet Protocol：互联网协议)地址(管理装置目的地信息的一个例子)、c)从管理装置18接收到的第一通信设备14的IP地址(通信设备目的地信息的一个例子)、以及d)从管理装置18接收到的第二通信设备16的IP地址(通信设备目的地信息的一个例子)。此外，存储部52也可以将上述的各数据预先固定地存储。另外，也可以代替第一通信设备14的IP地址以及第二通信设备16的IP地址，而利用MAC(Media Access Control：介质访问控制)地址等。通信设备目的地信息是能够唯一地确定第一通信设备14以及第二通信设备16各个的信息即可。
控制部54通过控制通信部50以及存储部52来执行各种处理。此外，控制部54通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。由控制部54执行的具体处理以后详细描述。
控制装置8具有通信部56、存储部58、以及控制部60。
通信部56在与多个输送台车6各个之间进行无线通信。
存储部58是用于存储各种数据的存储器。具体而言，存储部58存储a)第一半导体制造装置10的站号、b)第一半导体制造装置10的多个载置端口32a、32b、32c的各装载端口编号、c)第二半导体制造装置12的站号、d)第二半导体制造装置12的多个载置端口36a、36b、36c的各装载端口编号、以及e)管理装置18的IP地址。
站号是用于识别第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12的信息。即，站号是表示FOUP4的移载位置的移载位置信息的一个例子。例如，在第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12分别分配有“ST1”以及“ST2”作为站号。
另外，装载端口编号是用于在第一半导体制造装置10中识别多个载置端口32a、32b、32c，并且在第二半导体制造装置12中识别多个载置端口36a、36b、36c的信息。即，装载端口编号是表示FOUP4的移载位置的移载位置信息的一个例子。例如，在第一半导体制造装置10的多个载置端口32a、32b、32c分别分配有“LP1”、“LP2”以及“LP3”作为装载端口编号。相同地，在第二半导体制造装置12的多个载置端口36a、36b、36c分别分配有“LP1”、“LP2”以及“LP3”作为装载端口编号。此外，在第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12各个仅具有一个载置端口的情况下，也可以省略装载端口编号。
控制部60通过控制通信部56以及存储部58来执行各种处理。此外，控制部60通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。由控制部60执行的具体处理以后详细描述。
第一半导体制造装置10的载置端口32a具有通信部62和控制部64。此外，虽然未图示，但第一半导体制造装置10的其他的载置端口32b、32c也相同地具有通信部和控制部。
通信部62在与第一通信设备14之间进行有线通信。
控制部64通过控制通信部62来执行各种处理。具体而言，控制部64执行用于在与输送台车6之间移载FOUP4的互锁处理。互锁处理是指若某工序不完成则不移至下个工序这样的由多个工序构成的互锁序列。此外，控制部64通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。
第二半导体制造装置12的载置端口36a具有通信部66和控制部68。此外，虽然未图示，但第二半导体制造装置12的其他的载置端口36b、36c也相同地具有通信部和控制部。
通信部66在与第二通信设备16之间进行有线通信。
控制部68通过控制通信部66来执行各种处理。具体而言，控制部68执行用于在与输送台车6之间移载FOUP4的互锁处理。此外，控制部68通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。
第一通信设备14具有通信部70和控制部72。
通信部70经由无线接入点20在与多个输送台车6各个之间进行无线通信。另外，通信部70在与管理装置18之间进行有线通信，并且在与第一半导体制造装置10的多个载置端口32a、32b、32c各个之间进行有线通信。
控制部72通过控制通信部70来执行各种处理。此外，控制部72通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。由控制部72执行的具体处理以后详细描述。
第二通信设备16具有通信部74和控制部76。
通信部74经由无线接入点20在与多个输送台车6各个之间进行无线通信。另外，通信部74在与管理装置18之间进行有线通信，并且在与第二半导体制造装置12的多个载置端口36a、36b、36c各个之间进行有线通信。
控制部76通过控制通信部74来执行各种处理。此外，控制部76通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。
管理装置18具有通信部78(第二通信部的一个例子)、存储部80(第二存储部的一个例子)、以及控制部82。
通信部78经由无线接入点20在与多个输送台车6各个之间进行无线通信。另外，通信部78在与第一通信设备14以及第二通信设备16各个之间进行有线通信。此外，通信部78也可以经由无线接入点20在与第一通信设备14以及第二通信设备16各个之间进行无线通信。
存储部80是用于存储管理表格(对应信息的一个例子)的存储器。如图3所示，管理表格是表示第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12的各站号与第一通信设备14以及第二通信设备16的各IP地址的对应关系的数据表格。
在图3所示的例子中，在管理表格的第1行，建立对应关系地储存有第一半导体制造装置10的站号“ST1”和与第一半导体制造装置10连接的第一通信设备14的IP地址“xx.xx.xx.xx”。另外，在管理表格的第2行，建立对应关系地储存有第二半导体制造装置12的站号“ST2”和与第二半导体制造装置12连接的第二通信设备16的IP地址“yy.yy.yy.yy”。
控制部82通过控制通信部78以及存储部80来执行各种处理。此外，控制部82通过例如处理器读出记录于硬盘或者半导体存储器等记录介质的软件程序并执行而实现。由控制部82执行的具体处理以后详细描述。
[1－3.输送系统的动作]
接下来，参照图4对实施方式1所涉及的输送系统2的动作进行说明。图4是表示实施方式1所涉及的输送系统2的动作的序列图。
以下，作为输送系统2的动作的一个例子，对输送台车6在与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间移载FOUP4的情况的动作进行说明。
如图4所示，控制装置8的通信部56将由控制部60生成的行驶指示信号发送至输送台车6(S101)。行驶指示信号是用于对于多个输送台车6中的特定的输送台车6指示行驶到规定的目的地的指令。在目的地例如是第一半导体制造装置10的载置端口32a的情况下，行驶指示信号包括第一半导体制造装置10的站号“ST1”和载置端口32a的装载端口编号“LP1”作为表示输送台车6的目的地的行驶指示数据。此外，控制部60通过从存储部58读出站号“ST1”以及装载端口编号“LP1”来生成行驶指示信号。
输送台车6的通信部50接收从控制装置8发送的行驶指示信号(S102)。行驶指示信号所包含的行驶指示数据(例如，站号“ST1”以及装载端口编号“LP1”)存储于存储部52。由此，控制部54将第一半导体制造装置10的载置端口32a作为目的地使输送台车6行驶。
控制装置8的通信部56将由控制部60生成的询问信号定期地发送至输送台车6(S103)。询问信号是用于对于输送台车6询问当前的行驶位置的指令。
输送台车6的通信部50接收从控制装置8发送的询问信号(S104)。由此，输送台车6的通信部50将由控制部54生成的响应信号发送至控制装置8(S105)。响应信号是表示输送台车6的当前的行驶位置的信号。
控制装置8的通信部56接收从输送台车6发送的响应信号(S106)。控制装置8的控制部60基于接收到的响应信号判断输送台车6的当前的行驶位置。在输送台车6接近到距目的地规定距离以内的情况下，控制装置8的控制部60从存储部58读出管理装置18的IP地址，通信部56将读出的管理装置18的IP地址发送至输送台车6(S107)。另一方面，在输送台车6与目的地分离规定距离的情况下，控制装置8的控制部60返回步骤S103，将询问信号发送至输送台车6。
输送台车6的通信部50接收从控制装置8发送的管理装置18的IP地址(S108)。管理装置18的IP地址存储于存储部52。输送台车6的通信部50将接收到的管理装置18的IP地址作为发送目的地(目的地)，将由控制部54生成的请求信号发送至管理装置18(S109)。请求信号是用于对于管理装置18要求发送与输送台车6的目的地对应的通信设备的IP地址的指令。请求信号例如包括a)站号“ST1”、b)装载端口编号“LP1”、以及c)E84通信序列编号等。
管理装置18的通信部78接收从输送台车6发送的请求信号(S110)。管理装置18的控制部82基于接收到的请求信号，从存储于存储部80的管理表格提取与表示输送台车6的目的地的站号“ST1”对应的第一通信设备14的IP地址“xx.xx.xx.xx”(S111)。通信部78将提取出的第一通信设备14的IP地址发送至输送台车6(S112)。
输送台车6的通信部50接收从管理装置18发送的第一通信设备14的IP地址(S113)。第一通信设备14的IP地址存储于存储部52。输送台车6的通信部50将接收到的第一通信设备14的IP地址作为发送目的地，将由控制部54生成的消息信号发送至第一通信设备14(S114)。消息信号是用于对于第一通信设备14要求开始用于在例如输送台车6与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间移载FOUP4的互锁处理的指令。消息信号例如包括a)站号“ST1”、b)装载端口编号“LP1”、c)E84通信序列编号、d)用于执行互锁处理的卸货/抓货要求数据、以及e)用于识别输送台车6的输送台车ID(Identification：标识符)等。
第一通信设备14的通信部70接收从输送台车6发送的消息信号(S115)。第一通信设备14的控制部72基于接收到的消息信号在与输送台车6之间执行用于互锁处理的通信(S116)。由此，在输送台车6与载置端口32a之间执行用于移载FOUP4的互锁处理。
此外，第一通信设备14也可以不需要在与输送台车6之间执行互锁处理所包含的全部工序的通信，而在与输送台车6之间执行互锁处理的一部分的工序的通信，在与第一半导体制造装置10之间执行互锁处理的剩余的工序的通信。
[1－4.效果]
接下来，与比较例所涉及的输送系统进行对比来对通过本实施方式所涉及的输送系统2得到的效果进行说明。
在比较例所涉及的输送系统中，不具备本实施方式中说明的管理装置18。多个输送台车分别预先储存将用于识别多个半导体制造装置各个的识别信息和与该半导体制造装置连接的通信设备的IP地址建立对应关系的数据表格。多个输送台车分别将从该数据表格读出的通信设备的IP地址作为发送目的地将消息信号发送至通信设备。
例如在半导体制造装置被追加、撤除或者变更等的情况下，有时通信设备的IP地址会被变更。在一个输送系统设置有例如10000台半导体制造装置和3000台输送台车，所以各数据表格存储有10000个IP地址。因此，不容易对于全部3000台输送台车进行更新各数据表格的作业，不能容易地进行数据表格的管理。另外，在进行更新各数据表格的作业时，不得不使全部的输送台车的行驶停止，产生对半导体生产线带来妨碍的可能。
另一方面，在本实施方式所涉及的输送系统2中，管理装置18存储表示多个半导体制造装置的各站号与多个通信设备的各IP地址的对应关系的管理表格。由此，能够通过管理装置18统一地管理多个通信设备的各IP地址。其结果，即使在例如通过半导体制造装置被追加、撤除或者变更等而通信设备的IP地址被变更的情况下，仅进行更新管理装置18存储的管理表格的作业即可，能够容易地进行管理表格的管理。另外，在进行更新管理表格的作业时，不需要使输送台车的行驶停止，所以不会对半导体生产线带来妨碍。
另外，假定将控制装置8和管理装置18构成为一个控制装置的输送系统。但是，在该输送系统中，在更新控制装置内的管理表格时，由于控制装置的动作被限制，而产生对半导体生产线带来妨碍的可能。另一方面，在本实施方式的输送系统2中，控制装置8和管理装置18独立，所以更新管理表格时不对半导体生产线带来妨碍。
[1－5.变形例]
在本实施方式的管理表格中，第一半导体制造装置10以及第二半导体制造装置12的各站号与第一通信设备14以及第二通信设备16的各IP地址建立对应关系，但除此以外，也可以将表示第一通信设备14以及第二通信设备16的各通信属性的通信属性信息建立对应关系。通信属性信息例如包括a)通信方法(无线通信还是有线通的区别)、b)无线通信的信道信息、以及c)无线通信的SSID(Service Set Identifier：服务集标识符)等。
该情况下，在上述的步骤S112中，管理装置18的通信部78将第一通信设备14的IP地址和第一通信设备14的通信属性信息发送至输送台车6。由此，在上述的步骤S114中，输送台车6的通信部50基于接收到的第一通信设备14的通信属性信息将消息信号发送至第一通信设备14。
(实施方式2)
[2－1.输送系统的功能构成]
接下来，参照图5对实施方式2所涉及的输送系统2A的功能构成进行说明。图5是表示实施方式2所涉及的输送系统2A的功能构成的框图。此外，在以下的各实施方式中，对与上述实施方式1相同的构成要素标注相同的附图标记，省略其说明。
如图5所示，实施方式2所涉及的输送系统2A在通过具备在动作中的活动侧的第一管理装置18a和在待机中的待机侧的第二管理装置18b而冗余化的点上与上述实施方式1不同。第一管理装置18a具有通信部78a、存储部80a、以及控制部82a。第二管理装置18b具有通信部78b、存储部80b、以及控制部82b。第一管理装置18a以及第二管理装置18b的各构成与上述实施方式1的管理装置18的构成相同。
控制装置8A的存储部58A代替在上述实施方式1中说明的管理装置18的IP地址，而存储第一管理装置18a的IP地址(第一管理装置目的地信息的一个例子)以及第二管理装置18b的IP地址(第二管理装置目的地信息的一个例子)。
多个输送台车6A各自的存储部52A代替在上述实施方式1中说明的管理装置18的IP地址，而暂时存储第一管理装置18a的IP地址以及第二管理装置18b的IP地址。
[2－2.输送系统的动作]
接下来，参照图6对实施方式2所涉及的输送系统2A的动作进行说明。图6是表示实施方式2所涉及的输送系统2A的动作的序列图。此外，在图6中，对与上述实施方式1的图4相同的处理标注相同的步骤编号，省略其说明。
以下，作为输送系统2A的动作的一个例子，对输送台车6A在与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间移载FOUP4(参照图1)的情况的动作进行说明。另外，以在输送台车6A与第一管理装置18a之间产生通信障碍为前提进行说明。
如图6所示，首先，与上述实施方式1相同地执行步骤S101～S106。其后，在输送台车6A接近目的地的情况下，控制装置8A的控制部60A从存储部58A读出活动侧的第一管理装置18a的IP地址。控制部8A的通信部56A将读出的第一管理装置18a的IP地址发送至输送台车6A(S201)。
输送台车6A的通信部50A接收从控制装置8A发送的第一管理装置18a的IP地址(S202)。第一管理装置18a的IP地址存储于存储部52A。输送台车6A的通信部50A将接收到的第一管理装置18a的IP地址作为发送目的地，将由控制部54A生成的请求信号发送至第一管理装置18a(S203)。该请求信号是用于对于第一管理装置18a要求发送与输送台车6A的目的地对应的通信设备的IP地址的指令。
这里，由于在输送台车6A与第一管理装置18a之间产生通信障碍，所以第一管理装置18a的通信部78a不能接收从输送台车6A发送的请求信号，不对请求信号进行响应(S204)。
输送台车6A的通信部50A在即使从发送请求信号起经过规定时间也不能得到来自第一管理装置18a的响应的情况下，将由控制部54A生成的响应信号发送至控制装置8A(S205)。响应信号是表示未得到来自第一管理装置18a的响应的信号。
控制装置8A的通信部56A接收从输送台车6A发送的响应信号(S206)。这里，虽然在图6中未图示，但控制装置8A的控制部60A基于接收到的响应信号判断为输送台车6A不能得到来自第一管理装置18a的响应。由此，控制装置8A的控制部60A从存储部58A读出待机侧的第二管理装置18b的IP地址，通信部56A将读出的第二管理装置18b的IP地址发送至输送台车6A(S207)。
输送台车6A的通信部50A接收从控制装置8A发送的第二管理装置18b的IP地址(S208)。第二管理装置18b的IP地址存储于存储部52A。输送台车6A的通信部50A将接收到的第二管理装置18b的IP地址作为发送目的地，将由控制部54A生成的请求信号发送至第二管理装置18b(S209)。该请求信号是用于对于第二管理装置18b要求发送与输送台车6A的目的地对应的通信设备的IP地址的指令。
第二管理装置18b的控制部82b基于接收到的请求信号，从存储于存储部80b的管理表格提取与表示输送台车6A的目的地的站号“ST1”对应的第一通信设备14的IP地址“xx.xx.xx.xx”(S210)。通信部78b将提取出的第一通信设备14的IP地址发送至输送台车6A(S211)。
输送台车6A的通信部50A接收从第二管理装置18b发送的第一通信设备14的IP地址(S212)。第一通信设备14的IP地址存储于存储部52A。以下，与上述实施方式1相同地，执行步骤S114～S116。
此外，在实施方式2中，以输送台车6A从2台管理装置(第一管理装置18a以及第二管理装置18b)中的任意一方接收第一通信设备14的IP地址的序列进行说明。但是，并不局限于此，例如输送台车6A在从第二管理装置18b也不能接收第一通信设备14的IP地址的情况下，也可以从第三管理装置等接收第一通信设备14的IP地址。即，在由多台管理装置构成输送系统2A的冗余化的情况下也能够应用。
[2－3.效果]
在本实施方式中，设置有活动侧的第一管理装置18a和待机侧的第二管理装置18b，所以能够实现冗余化。即使是这样的构成，也能够通过第一管理装置18a以及第二管理装置18b分别存储管理表格来统一地管理多个通信设备的各IP地址。
[2－4.变形例]
[2－4－1.变形例1]
在本实施方式中，在上述的步骤S201中，控制装置8A的通信部56A仅将第一管理装置18a的IP地址发送至输送台车6A。也可以代替这样的处理，在变形例1中，通信部56A在步骤S201中将第一管理装置18a的IP地址以及第二管理装置18b的IP地址同时发送至输送台车6A。此时，通信部56A也将表示第一管理装置18a是活动侧，第二管理装置18b是待机侧的信息发送至输送台车6A。
该情况下，输送台车6A的控制部54A从接收到的第一管理装置18a以及第二管理装置18b的各IP地址中选择第一管理装置18a的IP地址。输送台车6A的通信部50A将选择的第一管理装置18a的IP地址作为发送目的地，将请求信号发送至第一管理装置18a。
这里，输送台车6A的控制部54A在不能得到来自第一管理装置18a的响应的情况下，选择第二管理装置18b的IP地址。输送台车6A的通信部50A将选择的第二管理装置18b的IP地址作为发送目的地，将请求信号发送至第二管理装置18b。
即，输送台车6A的控制部54A预先从控制装置8A接收第一管理装置18a的IP地址以及第二管理装置18b的IP地址双方，所以能够立刻经由待机侧的第二管理装置18b与第一通信设备14通信。这样，在变形例1中，能够缩短切换通信路径(冗余化)所需要的时间。
[2－4－2.变形例2]
在变形例2中，控制装置8A的通信部56A也可以在步骤S201之前(例如在步骤S101中)，预先将第一管理装置18a的IP地址以及第二管理装置18b的IP地址发送至输送台车6A。其结果，输送台车6A能够早期地将请求信号发送至第一管理装置18a以及第二管理装置18b，能够早期地执行用于互锁处理的通信。
[2－4－3.变形例3]
在变形例3中，第一管理装置18a的IP地址以及第二管理装置18b的IP地址也可以作为历史存储于输送台车6A的存储部52A。该情况下，在反复执行图6的处理的状况中，也可以代替步骤S201、S202、S207以及S208的各处理，而输送台车6A从存储部52A读出第一管理装置18a的IP地址以及第二管理装置18b的IP地址。
(实施方式3)
[3－1.输送系统的功能构成]
参照图7对实施方式3所涉及的输送系统2B的功能构成进行说明。图7是表示实施方式3所涉及的输送系统2B的功能构成的框图。
如图7所示，在实施方式3所涉及的输送系统2B中，包括第一输送台车6Ba和第二输送台车6Bb作为多个输送台车。第一输送台车6Ba除了上述实施方式1中说明的输送台车6(参照图2)的功能以外，还具有如下那样的功能。即，第一输送台车6Ba的控制部54B例如向管理装置18B询问在将FOUP4(是第一被输送物的一个例子，以下，称为“第一FOUP4”)(参照图1)从第一输送台车6Ba移载(卸货)到第一半导体制造装置10的载置端口32a时在载置端口32a的上方是否存在其他的FOUP4(是第二被输送物的一个例子，以下，称为“第二FOUP4”)。第一输送台车6Ba的控制部54B根据该询问的结果采用后述的第一行驶计划以及第二行驶计划的任意一个。此外，第二输送台车6Bb的控制部54B具有与第一输送台车6Ba的控制部54B相同的功能。
这里，“在载置端口32a的上方存在第二FOUP4”是指第二FOUP4载置于载置端口32a的状态、以及第二FOUP4从载置端口32a向第二输送台车6Bb移载(抓货)的中途的状态。
另外，第一通信设备14B的控制部72B生成表示在例如载置端口32a的上方是否存在第二FOUP4的被输送物信息。因此，第一通信设备14B的控制部72B基于例如与第二输送台车6Bb之间的用于互锁处理的通信，判断在载置端口32a的上方是否存在第二FOUP4。此外，第二通信设备16B的控制部76B具有与第一通信设备14B的控制部72B相同的功能。
另外，管理装置18B的控制部82B从第一通信设备14B获取被输送物信息。管理装置18B的通信部78根据来自第一输送台车6Ba(或者第二输送台车6Bb)的在上述的载置端口32a的上方是否存在第二FOUP4的询问，将表示获取到的被输送物信息的响应信号发送至第一输送台车6Ba(或者第二输送台车6Bb)。
[3－2.输送系统的动作]
接下来，参照图8以及图9对实施方式3所涉及的输送系统2B的动作进行说明。图8以及图9是表示实施方式3所涉及的输送系统2B的动作的序列图。
首先，参照图8，作为输送系统2B的动作的一个例子，对第一输送台车6Ba询问管理装置18B时，在第一半导体制造装置10的载置端口32a的上方不存在第二FOUP4的情况的动作进行说明。
如图8所示，控制装置8的通信部56将由控制部60生成的第一行驶指示信号以及第二行驶指示信号分别发送至第一输送台车6Ba以及第二输送台车6Bb(S301)。
第一行驶指示信号是用于对于第一输送台车6Ba指示行驶到第一半导体制造装置10的载置端口32a的位置，并且将第一FOUP4从第一输送台车6Ba卸货到载置端口32a的指令。这里，“载置端口32a的位置”是指载置端口32a的正上方的导轨22的位置。另外，第二行驶指示信号是用于对于第二输送台车6Bb指示行驶到第一半导体制造装置10的载置端口32a的位置，并且对载置于载置端口32a的第二FOUP4进行抓货的指令。
第一输送台车6Ba接收从控制装置8发送的第一行驶指示信号(S302)。另外，第二输送台车6Bb接收从控制装置8发送的第二行驶指示信号(S303)。
管理装置18B的通信部78将由控制部82B生成的请求信号发送至第一通信设备14B(S304)。请求信号是用于对于第一通信设备14B要求发送表示在载置端口32a的上方是否存在第二FOUP4的被输送物信息的指令。此外，通信部78以一定的周期(例如每2～3秒)将请求信号反复发送至第一通信设备14B。
第一通信设备14B的通信部70接收从管理装置18B发送的请求信号(S305)。第一通信设备14B的控制部72B基于接收到的请求信号生成被输送物信息。
此时，由于第二输送台车6Bb对第二FOUP4的抓货已经执行，所以第一通信设备14B的控制部72B生成表示在载置端口32a的上方不存在第二FOUP4的被输送物信息。此外，为了方便说明，在图8中，省略第二输送台车6Bb所进行的基于第二行驶指示信号的处理的图示。
第一通信设备14B的通信部70将被输送物信息发送至管理装置18B(S306)。管理装置18B的通信部70接收从第一通信设备14B发送的被输送物信息(S307)。此外，上述的步骤S304～S307以一定的周期反复执行。
第一输送台车6Ba在接收到第一行驶指示信号后，基于第一行驶指示信号决定第一行驶计划(S308)。第一行驶计划是指示从当前位置行驶到第一半导体制造装置10的载置端口32a的位置的最短路径亦即第一路径的行驶计划。
第一输送台车6Ba的通信部50将用于询问在假设基于第一行驶计划到达载置端口32a的位置的情况下，在第一输送台车6Ba到达载置端口32a的位置的时间点(相当于第一时刻)在载置端口32a的上方是否存在第二FOUP4的询问信号发送至管理装置18B(S309)。
管理装置18B的通信部78接收从第一输送台车6Ba发送的询问信号(S310)。由此，管理装置18B的通信部78将由控制部82B生成的响应信号发送至第一输送台车6Ba(S311)。响应信号是表示在载置端口32a的上方不存在第二FOUP4的信号。
第一输送台车6Ba的通信部50接收来自管理装置18B的响应信号(S312)。由此，第一输送台车6Ba的控制部54B基于接收到的响应信号，判定为能够进行向载置端口32a的第一FOUP4的卸货，采用第一行驶计划(S313)。其结果，第一输送台车6Ba基于第一行驶计划按第一路径从当前位置行驶到第一半导体制造装置10的载置端口32a的位置。
其后，虽然在图8中未图示，但与上述实施方式1相同地，执行图4的步骤S103以后的各步骤。
接下来，参照图9，作为输送系统2B的动作的一个例子，对在第一输送台车6Ba询问管理装置18B时，在第一半导体制造装置10的载置端口32a的上方存在第二FOUP4的情况的动作进行说明。
如图9所示，与图8所示相同地，执行步骤S301～S305。在步骤S305之后，第一通信设备14B的控制部72B基于接收到的请求信号生成被输送物信息。此时，由于第二输送台车6Bb对第二FOUP4的抓货还未执行，所以第一通信设备14B的控制部72B生成表示在载置端口32a的上方存在第二FOUP4的被输送物信息。此外，为了方便说明，在图9中，省略第二输送台车6Bb所进行的基于第二行驶指示信号的处理的图示。
第一通信设备14B的通信部70将被输送物信息发送至管理装置18B(S306A)。其后，与图8的步骤S307～S310相同地，执行步骤S307A～S310。在步骤S310之后，管理装置18B的通信部78将由控制部82B生成的响应信号发送至第一输送台车6Ba(S311A)。响应信号是表示在载置端口32a的上方存在第二FOUP4的信号。
第一输送台车6Ba的通信部50接收来自管理装置18B的响应信号(S312A)。由此，第一输送台车6Ba的控制部54B基于接收到的响应信号，判定为不能进行向载置端口32a的第一FOUP4的卸货，决定第二行驶计划(S314)，采用决定的第二行驶计划(S315)。第二行驶计划是指示比第一路径长的第二路径的行驶计划，该第二路径是在第二输送台车6Bb对第二FOUP4的抓货完成，并且第二FOUP4与载置端口32a的上方分离后，第一输送台车6Ba到达载置端口32a的位置的环绕路径。
此时，管理装置18B也可以基于开始第二输送台车6Bb对第二FOUP4的抓货的抓货开始时刻以及抓货所需要的过去的时间数据，计算抓货完成的抓货完成时刻，将计算出的抓货完成时刻发送至第一输送台车6Ba。由此，第一输送台车6Ba的控制部54B能够基于从管理装置18B发送的抓货完成时刻决定第二行驶计划。
其结果，第一输送台车6Ba基于第二行驶计划按第二路径行驶，以便在第二输送台车6Bb对第二FOUP4的抓货完成之前的期间绕过载置端口32a的位置行驶，在抓货完成后第一输送台车6Ba到达载置端口32a的位置。
其后，虽然图9中未图示，但与上述实施方式1相同地执行图4的步骤S103以后的各步骤。
[3－3.效果]
在本实施方式中，在载置端口32a的上方不存在第二FOUP4的情况下，第一输送台车6Ba采用指示相对较短的第一路径的第一行驶计划(参照图8)。由此，第一输送台车6Ba能够早期地行驶到载置端口32a的位置，早期地开始卸货。
另一方面，在载置端口32a的上方存在第二FOUP4的情况下，第一输送台车6Ba采用指示比第一路径长的第二路径的第二行驶计划(参照图9)。由此，由于第一输送台车6Ba能够没有不必要的停止地行驶到载置端口32a，所以能够减少由多个输送台车引起的交通阻塞的产生。另外，尽管在载置端口32a载置有第二FOUP4，也能够避免由于第一输送台车6Ba行驶到载置端口32a的位置并开始卸货而产生错误等不良情况。
根据以上所述，能够提高第一以及第二FOUP4的输送效率。
[3－4.变形例1]
在本实施方式中，对管理装置18B经由LAN电缆46与第一通信设备14B以及第二通信设备16B分别连接的情况进行了说明，但也可以在管理装置18B仅与无线通信对应的情况下例如以下那样构成。即，第一输送台车6Ba经由无线接入点20将互锁处理的通信状况发送到管理装置18B。由此，管理装置18B能够例如不对第一通信设备14B进行询问，就判定在载置端口32a的上方是否存在第二FOUP4。
[3－5.变形例2]
在本实施方式中，对控制装置8将第一行驶指示信号以及第二行驶指示信号分别发送至第一输送台车6Ba以及第二输送台车6Bb的情况进行了说明，但也可以例如以下那样构成。
即，控制装置8也可以将第三行驶指示信号发送到第三输送台车。第三行驶指示信号是用于对于第三输送台车指示行驶到载置端口32a的位置，并且将第三FOUP从载置端口32a抓货到第三输送台车的指令。
该情况下，管理装置18将请求信号发送到第一通信设备14B。请求信号是用于对于第一通信设备14B要求发送表示在载置端口32a的上方是否存在第三FOUP的被输送物信息的指令。
第一通信设备14B基于从管理装置18B发送的请求信号，将表示在载置端口32a的上方是否存在第三FOUP的被输送物信息发送到管理装置18B。管理装置18B接收从第一通信设备14B发送的被输送物信息。
第三输送台车在接收到第三行驶指示信号之后，基于第三行驶指示信号决定第三行驶计划。第三行驶计划是指示从当前位置行驶到载置端口32a的位置的最短路径亦即第三路径的行驶计划。
第三输送台车向管理装置18B发送用于询问在假设基于第三行驶计划到达载置端口32a的位置的情况下，在第三输送台车到达载置端口32a的位置的时间点(相当于第二时刻)在载置端口32a的上方是否存在第三FOUP的询问信号。
管理装置18B基于从第三输送台车发送的询问信号，将响应信号发送到第三输送台车。
这里，在响应信号是表示在载置端口32a的上方存在第三FOUP的信号的情况下，第三输送台车基于该响应信号判定为能够进行从载置端口32a向第三输送台车的第三FOUP的抓货，采用第三行驶计划。其结果，第三输送台车基于第三行驶计划按第三路径从当前位置行驶到载置端口32a的位置。
另一方面，在响应信号是表示在载置端口32a的上方不存在第三FOUP的信号的情况下，第三输送台车基于该响应信号判定为不能进行从载置端口32a向第三输送台车的第三FOUP的抓货，决定第四行驶计划，采用决定的第四行驶计划。第四行驶计划是指示比第三路径长的第四路径的行驶计划，该第四路径为在向载置端口32a的第三FOUP的载置完成之后，第三输送台车到达载置端口32a的位置的环绕路径。其结果，第三输送台车基于第四行驶计划按第四路径行驶，以便在向载置端口32a的第三FOUP的载置完成为止的期间绕过载置端口32a的位置行驶，抓货完成之后第三输送台车到达载置端口32a的位置。
(实施方式4)
[4－1.输送系统的功能构成]
参照图10对实施方式4所涉及的输送系统2C的功能构成进行说明。图10是表示实施方式4所涉及的输送系统2C的功能构成的框图。
如图10所示，在实施方式4所涉及的输送系统2C中，管理装置18C的构成与上述实施方式1不同。具体而言，管理装置18C的控制部82C生成心跳信号，通信部78将生成的心跳信号发送至第一通信设备14以及第二通信设备16各个。控制部82C根据有无来自第一通信设备14以及第二通信设备16各个的对心跳信号的响应，判定第一通信设备14以及第二通信设备16各个是否是可通信的状态。
[4－2.管理装置的动作]
接下来，参照图11对实施方式4所涉及的管理装置18C的动作进行说明。图11是表示实施方式4所涉及的管理装置18C的动作的流程图。
如图11所示，首先，管理装置18C的通信部78将由控制部82C生成的心跳信号发送至第一通信设备14以及第二通信设备16各个(S401)。
管理装置18C的控制部82C判定有无来自第一通信设备14以及第二通信设备16各个的对心跳信号的响应(S402)。在从第一通信设备14(或者第二通信设备16)有对心跳信号的响应的情况下(S402中为是)，管理装置18C的控制部82C判定为第一通信设备14(或者第二通信设备16)是可通信的状态(S403)。
另一方面，在从第一通信设备14(或者第二通信设备16)没有对心跳信号的响应的情况下(S402中为否)，管理装置18C的控制部82C判定为第一通信设备14(或者第二通信设备16)是不能通信的状态(S404)。
在步骤S403或者S404之后，管理装置18C的控制部82C使上述判定结果存储于存储部80(S405)。其后，管理装置18C的控制部82C判定有无来自输送台车6的询问信号(S406)。
例如，输送台车6在与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间进行互锁处理之前，对于管理装置18C发送用于询问第一通信设备14是否是可通信的状态的询问信号。管理装置18C的控制部82C在从输送台车6发送来询问信号的情况下(S406中为是)，将表示存储于存储部80的判定结果的判定结果信号发送至输送台车6(S407)。此外，管理装置18C的控制部82C在未从输送台车6发送来询问信号的情况下(S406中为否)，返回上述的步骤S406。
此外，输送台车6在接收到例如第一通信设备14是可通信状态这样的判定结果的情况下，在与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间开始互锁处理。另一方面，输送台车6在接收到例如第一通信设备14是不能通信的状态这样的判定结果的情况下，将该主旨通知给控制装置8。该情况下，输送台车6根据来自控制装置8的指示，保留与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间的互锁处理，绕过第一半导体制造装置10行驶。
其后，在管理装置18C继续处理的情况下(S408中为是)，返回上述的步骤S401。另一方面，在管理装置18C不继续处理的情况下(S408中为否)，结束处理。
[4－3.效果]
在本实施方式中，管理装置18C能够把握第一通信设备14以及第二通信设备16各个是否是可通信的状态。输送台车6能够根据管理装置18C的判定结果，准确地判断例如在与第一半导体制造装置10的载置端口32a之间是否开始互锁处理。
例如，输送台车6在暂时不能与第一通信设备14通信的情况下，也可以采用指示环绕规定的路径后到达载置端口32a的行驶路径的行驶计划。由此，输送台车6能够在恢复与第一通信设备14之间的通信后，到达载置端口32a。由此，输送台车6可以不用到达载置端口32a后等待通信的恢复，所以能够减少由多个输送台车6引起的交通阻塞的产生，能够提高输送效率。
另外，在不具备本实施方式中说明的管理装置18C的比较例所涉及的输送系统中，在设置有例如总计8000台的通信设备的情况下，需要从上位系统对于全部8000台通信设备发送心跳信号。然而，在这样的情况下，从无线通信路径的上位向下位的LAN频带被压迫，所以有可能对输送台车6的无线通信产生妨碍。
与此相对，在本实施方式中，例如，能够由80个管理装置18C分担管理总计8000台通信设备。该情况下，管理装置18C每1台对于100台通信设备分别发送心跳信号。由此，能够抑制无线通信路径的LAN频带被压迫。
另外，上位系统在确认全部8000台通信设备的通信状态的情况下，能够从80台管理装置18C分别一次性高效地获取对应的100台通信设备的通信状况。
[4－4.变形例]
在本实施方式中，对管理装置18C经由LAN电缆46与第一通信设备14以及第二通信设备16各个连接的情况进行了说明，但在管理装置18C仅与无线通信对应的情况下，也可以例如以下那样构成。即，在例如要经由无线接入点20对于第一通信设备14(或者第二通信设备16)执行互锁处理的通信时，没有来自第一通信设备14(或者第二通信设备16)的响应的情况下，输送台车6也可以判定为第一通信设备14(或者第二通信设备16)是不能通信的状态。
该情况下，输送台车6将该判定结果经由无线接入点20通知给管理装置18C。由此，管理装置18C能够把握第一通信设备14以及第二通信设备16各个是否是可通信的状态。
(其他的变形例等)
以上，基于实施方式1～4对本发明的输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置进行了说明，但本发明不局限于上述各实施方式。对于上述各实施方式实施本领域技术人员想到的变形而得到的方式、以及任意地组合上述各实施方式中的构成要素而实现的其它方式也包含于本发明。
在上述各实施方式中，对于第一半导体制造装置10连接了1台第一通信设备14(14B)，但并不局限于此，也可以在多个载置端口32a、32b、32c各连接1台第一通信设备14(14B)。此时，存储于管理装置18(18a、18b、18B、18C)的管理表格例如将第一半导体制造装置10的站号、多个载置端口32a、32b、32c的各装载端口编号、与多个载置端口32a、32b、32c分别连接的多个第一通信设备14(14B)的各IP地址建立对应关系。在该情况下，站号以及装载端口编号的组合是表示FOUP4的移载位置的移载位置信息的一个例子。
在上述各实施方式中，输送台车6(6A、6Ba、6Bb)经由无线接入点20与第一通信设备14(14B)以及第二通信设备16(16B)各个进行无线通信，但并不局限于此。例如，输送台车6(6A、6Ba、6Bb)也可以不经由无线接入点20而直接与第一通信设备14(14B)以及第二通信设备16(16B)各个进行无线通信。
工业上的可利用性
本发明的输送系统能够应用于用于通过例如沿着设置于顶棚的导轨行驶的输送台车输送FOUP的半导体制造系统等。
附图标记说明
2、2A、2B、2C输送系统；4FOUP(第一FOUP、第二FOUP)；6、6A输送台车；6Ba第一输送台车；6Bb第二输送台车；8、8A控制装置；10第一半导体制造装置；12第二半导体制造装置；14、14B第一通信设备；16、16B第二通信设备；18、18B、18C管理装置；18a第一管理装置；18b第二管理装置；20无线接入点；22导轨；24供电路径；26把持部；28馈线；30a、30b、30c、34a、34b、34c搬入搬出口；32a、32b、32c、36a、36b、36c载置端口；38、42并行电缆；40、46LAN电缆；48无线网络；50、50A、56、56A、62、66、70、74、78、78a、78b通信部；52、52A、58、58A、80、80a、80b存储部；54、54A、54B、60、60A、64、68、72、72B、76、76B、82、82a、82b、82B、82C控制部。

Claims (14)

1.一种输送系统的控制方法，其中，
上述输送系统具备：多个输送台车，用于输送被输送物；多个移载装置，在与上述多个输送台车中的每个输送台车之间移载上述被输送物；多个通信设备，与上述多个移载装置分别连接；以及管理装置，管理上述多个通信设备，
上述多个输送台车中的每个输送台车具有第一存储部，该第一存储部存储表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息，
上述管理装置具有第二存储部，该第二存储部存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置中的每个移载装置中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地，
上述控制方法包括如下步骤：
(a)上述多个输送台车中的特定的输送台车将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置；
(b)上述管理装置从上述对应信息提取与从上述特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，并将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车；以及
(c)上述特定的输送台车利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息，对于上述多个通信设备中的与上述特定的移载装置连接的特定的通信设备，执行用于在上述特定的移载装置与上述特定的输送台车之间移载上述被输送物的通信。
2.根据权利要求1所述的输送系统的控制方法，其中，
上述输送系统还具备控制装置，该控制装置控制上述多个输送台车中的每个输送台车的行驶，
上述控制方法还包括如下步骤：
(d)上述特定的输送台车从上述控制装置接收表示上述管理装置的目的地的管理装置目的地信息，
在上述(a)中，上述特定的输送台车利用从上述控制装置接收到的上述管理装置目的地信息，将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置。
3.根据权利要求2所述的输送系统的控制方法，其中，
上述输送系统具备包括第一管理装置以及第二管理装置在内的多个上述管理装置，
在上述(d)中，上述特定的输送台车从上述控制装置接收表示上述多个管理装置各自的目的地的多个上述管理装置目的地信息，
在上述(a)中，上述特定的输送台车在从上述控制装置接收到的上述多个管理装置目的地信息中选择表示上述第一管理装置的目的地的第一管理装置目的地信息，利用上述第一管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第一管理装置。
4.根据权利要求3所述的输送系统的控制方法，其中，
上述控制方法还包括：
(e)上述特定的输送台车在上述(a)中不能与上述第一管理装置通信的情况下，在从上述控制装置接收到的上述多个管理装置目的地信息中选择表示上述第二管理装置的目的地的第二管理装置目的地信息，利用上述第二管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第二管理装置。
5.根据权利要求2所述的输送系统的控制方法，其中，
上述输送系统具备包括第一管理装置以及第二管理装置在内的多个上述管理装置，
在上述(d)中，上述特定的输送台车从上述控制装置接收表示上述第一管理装置的目的地的第一管理装置目的地信息，
在上述(a)中，上述特定的输送台车利用从上述控制装置接收到的上述第一管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第一管理装置，
上述控制方法还包括如下步骤：
(f)上述特定的输送台车在上述(a)中不能与上述第一管理装置通信的情况下，从上述控制装置接收表示上述第二管理装置的目的地的第二管理装置目的地信息；以及
(g)上述特定的输送台车利用从上述控制装置接收到的上述第二管理装置目的地信息将上述特定的移载位置信息发送至上述第二管理装置。
6.根据权利要求2～5的任一项所述的输送系统的控制方法，其中，
上述控制方法还包括如下步骤：
(h)上述控制装置对于上述多个输送台车中的第一输送台车发送第一行驶指示信号，该第一行驶指示信号用于指示行驶到上述特定的移载装置的位置，并且将第一被输送物从上述第一输送台车移载到上述特定的移载装置；
(i)上述管理装置获取表示在上述特定的移载装置的上方是否存在第二被输送物的被输送物信息；
(j)上述第一输送台车在接收到上述第一行驶指示信号后，决定指示从当前位置行驶到上述特定的移载装置的位置的第一路径的第一行驶计划；
(k)上述第一输送台车向上述管理装置询问在假设基于上述第一行驶计划在第一时刻到达上述特定的移载装置的位置的情况下，在上述第一时刻在上述特定的移载装置的上方是否存在上述第二被输送物；以及
(l)上述第一输送台车在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方不存在上述第二被输送物这样的上述询问的结果的情况下，采用上述第一行驶计划，在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方存在上述第二被输送物这样的上述询问的结果的情况下，决定与上述第一行驶计划不同的第二行驶计划，并且采用决定的上述第二行驶计划，
上述第二行驶计划指示比上述第一路径长的第二路径，该第二路径为在从上述特定的移载装置向上述多个输送台车中的第二输送台车的上述第二被输送物的移载完成，并且上述第二被输送物与上述特定的移载装置的上方分离后，上述第一输送台车到达上述特定的移载装置的位置。
7.根据权利要求2～6的任一项所述的输送系统的控制方法，其中，
上述控制方法还包括如下步骤：
(m)上述控制装置对于上述多个输送台车中的第三输送台车发送第三行驶指示信号，该第三行驶指示信号用于指示行驶到上述特定的移载装置的位置，并且将第三被输送物从上述特定的移载装置移载到上述第三输送台车；
(n)上述管理装置获取表示在上述特定的移载装置的上方是否存在上述第三被输送物的被输送物信息；
(o)上述第三输送台车在接收到上述第三行驶指示信号后，决定指示从当前位置行驶到上述特定的移载装置的位置的第三路径的第三行驶计划；
(p)上述第三输送台车向上述管理装置询问在假设基于上述第三行驶计划在第二时刻到达上述特定的移载装置的位置的情况下，在上述第二时刻在上述特定的移载装置的上方是否存在上述第三被输送物；以及
(q)上述第三输送台车在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方存在上述第三被输送物这样的上述询问的结果的情况下，采用上述第三行驶计划，在从上述管理装置接收到在上述特定的移载装置的上方不存在上述第三被输送物这样的上述询问的结果的情况下，决定与上述第三行驶计划不同的第四行驶计划，并且采用决定的上述第四行驶计划，
上述第四行驶计划指示比上述第三路径长的第四路径，该第四路径为在向上述特定的移载装置的上述第三被输送物的载置完成后，上述第三输送台车到达上述特定的移载装置的位置。
8.根据权利要求7所述的输送系统的控制方法，其中，
上述控制方法还包括如下步骤：
(r)上述控制装置在上述特定的移载装置载置有上述第二被输送物的状态下，对于上述第二输送台车发送第二行驶指示信号，该第二行驶指示信号用于指示行驶到上述特定的移载装置的位置，并且将上述第二被输送物从上述特定的移载装置移载到上述第二输送台车。
9.根据权利要求1～8的任一项所述的输送系统的控制方法，其中，
上述输送系统还具备无线接入点，
在上述(a)中，上述特定的输送台车经由上述无线接入点将上述特定的移载位置信息发送到上述管理装置，
在上述(b)中，上述管理装置经由上述无线接入点将上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车，
在上述(c)中，上述特定的输送台车经由上述无线接入点对于上述特定的通信设备执行上述通信。
10.根据权利要求9所述的输送系统的控制方法，其中，
上述控制方法还包括如下步骤：
(s)在上述(c)中，在上述特定的输送台车想要经由上述无线接入点对于上述特定的通信设备执行上述通信时，没有来自上述特定的通信设备的响应的情况下，上述特定的输送台车判定为上述特定的通信设备是不能通信的状态，并将该判定结果经由上述无线接入点通知给上述管理装置。
11.根据权利要求1～8的任一项所述的输送系统的控制方法，其中，
上述控制方法还包括如下步骤：
(t)上述管理装置将心跳信号发送至上述多个通信设备中的每个通信设备；以及
(u)上述管理装置在有从上述多个通信设备中的任意一个通信设备对上述心跳信号的响应的情况下，判定为该通信设备是可通信的状态，在没有从上述多个通信设备中的任意一个通信设备对上述心跳信号的响应的情况下，判定为该通信设备是不能通信的状态。
12.根据权利要求1～11的任一项所述的输送系统的控制方法，其中，
上述对应信息还包括与上述移载位置信息以及上述通信设备目的地信息建立对应关系的表示上述通信设备的通信属性的通信属性信息，
在上述(b)中，上述管理装置从上述对应信息提取与从上述特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的上述特定的通信设备目的地信息以及特定的通信属性信息，并将提取出的上述特定的通信设备目的地信息以及上述特定的通信属性信息发送至上述特定的输送台车，
在上述(c)中，上述特定的输送台车利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息以及上述特定的通信属性信息，对于上述特定的通信设备执行上述通信。
13.一种输送系统，用于输送被输送物，该输送系统具备：
多个输送台车，用于输送上述被输送物；
多个移载装置，在与上述多个输送台车中的每个输送台车之间移载上述被输送物；
多个通信设备，与上述多个移载装置分别连接；以及
管理装置，管理上述多个通信设备，
上述多个输送台车中的每个输送台车具有：
第一存储部，存储表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息；以及
第一通信部，将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置，
上述管理装置具有：
第二存储部，存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置中的每个移载装置中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地；
控制部，从上述对应信息提取与从上述多个输送台车中的特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息；以及
第二通信部，将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车，
上述特定的输送台车的上述第一通信部进一步利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息，对于上述多个通信设备中的与上述特定的移载装置连接的特定的通信设备，执行用于在上述特定的移载装置与上述特定的输送台车之间移载上述被输送物的通信。
14.一种管理装置，管理与在与输送台车之间移载被输送物的多个移载装置分别连接的多个通信设备，该管理装置具备：
存储部，存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置中的每个移载装置中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地；
通信部，从上述输送台车接收表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息；以及
控制部，从上述对应信息提取与接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，
上述通信部将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述输送台车。
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