BE1026753A1 - Sel, agent de desactivation, composition de resist et procede de production de motif de photoresist - Google Patents
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Abstract
Un objet est de fournir un sel capable de produire un motif de résist avec une uniformité de CD (CDU) satisfaisante, et une composition de résist comprenant le sel. La présente invention concerne un sel représenté par la formule (I) telle que définie dans la revendication 1 où, dans la formule (I), R1, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH 2- compris dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-, m1 représente un entier de 0 à 4, et quand m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de R1 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de 0 à 4, et quand m2 est 2 ou plus, une plurarité de R2 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et m3 représente un entier de 0 à 4, et quand m3 est 2 ou plus, une plurarité de R3 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
Description
SEL, AGENT DE DESACTIVATION, COMPOSITION DE RESIST ET
PROCEDE DE PRODUCTION DE MOTIF DE PHOTORESIST
DOMAINE DE L'INVENTION
[0001]
La présente invention concerne un sel, un agent de désactivation « Quencher » et une composition de résist qui contient ce sel ainsi qu'un procédé pour produire un motif de résist utilisant la composition de résist.
ARRIERE-PLAN DE L'INVENTION
[0002]
Le document de brevet 1 mentionne une composition de résist incluant un sel ayant la formule structurelle suivante, une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide, et un générateur d'acide.
Le document de brevet 2 mentionne une composition de résist incluant un sel ayant la formule structurelle suivante, une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide, et un générateur d'acide.
2019/5797
BE2019/5797
Document de l'état de la technique
Document de brevet
[0003]
Document de brevet 1: JP 2017-202993 A
Document de brevet 2: JP 2018-066985 A
Description de l'invention
Problèmes à résoudre par l'invention
[0004]
Un objet de la présente invention est de fournir un sel apte à produire un motif de résist ayant une uniformité de CD (CDU) meilleure que celle d'un motif de résist formé à partir d'une composition de résist comprenant la résine comprenant les sels mentionnés ci-dessus.
Moyens permettant de résoudre les problèmes
[0005]
La présente invention inclut les inventions suivantes.
[1] Un sel représenté par la formule (I) :
où, dans la formule (I),
R1, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH2compris dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-,
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BE2019/5797 ml représente un entier de 0 à 4, et quand ml vaut 2 ou plus, une pluralité de R1 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de 0 à 4, et quand m2 est 2 ou plus, une plurarité de R2 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et m3 représente un entier de 0 à 4, et quand m3 est 2 ou plus, une plurarité de R3 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[2] Un agent de désactivation comprenant un sel selon [1].
[3] Une composition de résist comprenant l'agent de désactivation selon
[2], une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide, et un générateur d'acide.
[4] La composition de résist selon [3], dans laquelle la résine comprenant une unité structurelle comportant un groupe labile en milieu acide est une résine incluant au moins une résine choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (al-1) et une unité structurelle représentée par la formule (al-2):
(a 1-2) où, dans la formule (al-1) et la formule (al-2),
Lal et La2 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O(CH2)ki-CO-O-, kl représente un entier de 1 à 7, et * représente une liaison à -CO-,
Ra4 et Ra5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra5 et Ra7 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique
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BE2019/5797 ayant 3 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, ml représente un entier de 0 à 14, ni représente un entier de 0 à 10, et ni' représente un entier de 0 à 3.
[5] La composition de résist selon [4], dans laquelle la résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide comprend une unité structurelle représentée par la formule (a2-A):
(a2-A) où, dans la formule (a2-A),
Ra50 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,
Ra51 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy,
Aa50 représente une simple liaison ou *-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-, et * représente un site de liaison à l'atome de carbone auquel -Ra50 est lié,
Aa52 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Xa51 et Xa52 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-Oou -O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de Ra51 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
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[6] La composition de résist selon l'un quelconque de [3] à [5], où le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (Bl) :
Qb3 où, dans la formule (Bl),
Qbl et Qb2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Lbl représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy,
Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et
Z+ représente un cation organique.
[7] La composition de résist selon l'un quelconque de [3] à [6], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide.
[8] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend:
(1) une étape d'application de la composition de résist selon l'un quelconque de [3] à [7] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
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Effets de l'invention
[0006]
Il est possible de produire un motif de résist avec une uniformité de CD (CDU) satisfaisante en utilisant une composition de résist contenant un sel de la présente invention.
Mode pour mettre en oeuvre l'invention
[0007]
Tel qu'il est utilisé ici, le terme « (méth)acrylate » signifie chacun « au moins un de : acrylate et méthacrylate ». Des termes tels que « acide (méth) acrylique» et «(méth) acryloyle» ont également la même signification.
Sauf indication contraire, pour ce qui concerne les groupes capables d'avoir des structures linéaires, ramifiées et / ou cycliques tels qu'un groupe hydrocarboné aliphatique, ces groupes incluent l'une quelconque de ces structures. Groupe hydrocarboné aromatique inclut également les groupes dans lesquels un groupe hydrocarboné est lié à un cycle aromatique. Lorsque des stéréoisomères existent, tous les stéréoisomères sont inclus.
Tel qu'utilisé ici, le terme « composant solide de composition de résist » signifie la quantité totale de composants, en excluant le solvant (E) mentionné ci-dessous de la quantité totale de la composition de résist.
[0008]
[Sel représenté par la formule (I)]
Le sel de la présente invention concerne un sel représenté par la formule (I) (ci-après dans la suite parfois appelé «sel (I)»).
Dans la formule (I), des exemples d'atome d'halogène de R1, R2 et R3 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par R1, R2 et R3 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosecbutyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
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Des exemples du groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone de R1, R2 et R3 incluent un groupe hydrocarboné à chaîne tel qu'un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et un groupe obtenu en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle incluent des groupes alkyle tels qu'un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe nonyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 9 et de préférence encore de 1 à 4.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique, polycyclique ou un cycle spiro, ou peut être saturé ou insaturé. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique incluent les groupes cycloalkyle monocycliques tels qu'un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cyclooctyle, un groupe cyclononyle, un groupe cyclodécyle et un groupe cyclododécyle; et des groupes cycloalkyle polycycliques tels qu'un groupe norbornyle et un groupe adamantyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 12 et préférence encore de 3 à 10.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle et un groupe biphényle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 12 et plus préférablement de 6 à 10.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe cycloalkylalkyle, etc.), un groupe aralkyle (un groupe benzyle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tertbutylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyle-6éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, etc.) un groupe arylcycloalkyle (un groupe phénylcyclohexyle, etc.), et analogues.
Quand -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé représenté par R1, R2 et R3 est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre
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BE2019/5797 d'atomes de carbone avant le remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné.
Des exemples du groupe remplacé incluent un groupe hydroxy (un groupe dans lequel -CH2- inclus dans un groupe méthyle est remplacé par -O-), un groupe carboxy (un groupe dans lequel -CH2-CH2- inclus dans un groupe éthyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alcoxy ayant 1 à 11 atomes de carbone (un groupe dans lequel -CH2- inclus dans un groupe alkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone est remplacé par -O-), un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 11 atomes de carbone (un groupe dans lequel CH2-CH2- inclus dans un groupe alkyle ayant 3 à 12 atomes de carbone est remplacé par -O-CO-), un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone (un groupe dans lequel -CH2 - inclus dans un groupe alkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone est remplacé par -CO-), un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 11 atomes de carbone (un groupe dans lequel CH2-CH2- est inclus dans un groupe alkyle ayant 3 à 12 atomes de carbone est remplacé par -CO-O-) et analogues.
Des exemples du groupe alcoxy comprennent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy et un groupe undécyloxy.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle comprennent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe propoxycarbonyle et un groupe butoxycarbonyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle comprennent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy comprennent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propylcarbonyloxy et un groupe butylcarbonyloxy.
ml est de préférence un entier de 0 à 3, de préférence encore de 1 à 3, et de préférence encore de 2 ou 3.
De préférence, m2 et m3 représentent chacun indépendamment un nombre entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou
1.
R1 est de préférence un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 10 atomes de
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BE2019/5797 carbone (-CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-), de préférence encore un atome de fluor ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone (-CH2- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone des atomes, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe hydroxy.
De préférence, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 10 atomes de carbone (-CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-), plus préférablement un atome de fluor, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone (-Ö-Findus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O- ou -CO-), et encore plus préférablement un atome de fluor, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe cycloalkyle monocyclique ayant 3 à 6 atomes de carbone.
[0009]
Des exemples du sel (I) comprennent les sels représentés par les formules suivantes.
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[0010] < Procédé de synthèse du sel (I)>
Le sel (I) peut être produit en faisant réagir un sel représenté par la formule (I-a) avec de l'oxyde d'argent dans un solvant:
AgO2
où tous les symboles sont identiques à ceux définis ci-dessus.
Des exemples de solvant incluent le méthanol et analogues.
La réaction est habituellement effectuée à une température comprise entre 15 et 80°C pendant 0,5 à 24 heures.
[0011]
Le sel représenté par la formule (I-a) peut être produit en faisant réagir un composé représenté par la formule (I-b) avec un composé représenté par la formule (I-c) en présence de pentoxyde de phosphore et d'acide méthanesulfonique dans un solvant, ce qui est suivi par la mise en contact avec de l'iodure de sodium :
CH3SO3H (I-c)
P2O5 Nal
où tous les symboles sont identiques à ceux définis ci-dessus.
Des exemples de solvant comprennent le chloroforme, l'acétonitrile et analogues.
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La réaction est habituellement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 60°C pendant 0,5 à 24 heures.
Des exemples du composé représenté par la formule (I-b) incluent des composés représentés par les formules suivantes, qui sont facilement disponibles sur le marché.
Des exemples du composé représenté par la formule (I-c) incluent des composés représentés par les formules suivantes, qui sont facilement disponibles sur le marché.
Le sel (I) peut également être obtenu en mélangeant un sel représenté par la formule (I-d) en présence d'un catalyseur basique dans un solvant:
où tous les symboles sont identiques à ceux définis ci-dessus.
Des exemples de la base incluent la triéthylamine et analogues.
Des exemples de solvant comprennent le chloroforme et analogues.
La réaction est généralement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 80°C pendant 0,5 à 24 heures.
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[0013]
Le sel représenté par la formule (I-d) peut être obtenu en faisant réagir un composé représenté par la formule (I-b) avec un composé représenté par la formule (I-c) en présence d'acide trifluorométhanesulfonique et d'anhydride trifluoroacétique dans un solvant :
(I-b) (I-c)
CF3SO3H
(I-d) où tous les symboles sont identiques à ceux définis ci-dessus.
Des exemples du solvant incluent le chloroforme, l'acétonitrile et analogues.
La réaction est habituellement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 60°C pendant 0,5 à 24 heures.
[0014]
Le sel (I) peut également être obtenu en mélangeant un sel représenté par la formule (I-e) en présence d'un catalyseur basique dans un solvant:
où tous les symboles sont identiques à ceux définis ci-dessus.
Des exemples de la base incluent l'hydroxyde de sodium et analogues.
Des exemples du solvant incluent le chloroforme et analogues.
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La réaction est habituellement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 80°C pendant 0,5 à 24 heures.
[0015]
Le sel représenté par la formule (I-e) peut être obtenu en faisant réagir un composé représenté par la formule (I-b) avec un composé représenté par la formule (I-f) en présence d'acide trifluorométhanesulfonique et d'anhydride trifluoroacétique dans un solvant:
(i-f)
(I-e) où tous les symboles sont identiques à ceux définis ci-dessus.
Des exemples du solvant incluent le chloroforme, l'acétonitrile et analogues.
La réaction est habituellement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 60°C pendant 0,5 à 24 heures.
Des exemples du composé représenté par la formule (I-f) incluent des composés représentés par les formules suivantes, qui sont facilement disponibles sur le marché.
<Agent de désactivation, « Quencher »>
L'agent de désactivation ou quencher de la présente invention comprend un sel (I). Le quencher peut comprendre un sel (I) ou deux ou plusieurs sels (I).
L'agent de désactivation de la présente invention peut inclure, en plus du sel (I), un agent de désactivation connu dans le domaine des resist (ci-après parfois désigné par le terme quencher (C)). Le quencher
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BE2019/5797 (C) peut être utilisé seul ou deux ou plusieurs quenchers peuvent être utilisés en combinaison.
En incluant le sel (I) et le quencher (C) en tant qu'agent de désactivation, un rapport entre la teneur en sel (I) et celle du quencher (C) (rapport en masse; sel (I): quencher (C)) est généralement compris entre 1:99 et 99: 1, de préférence entre 2:98 et 98:2, de préférence encore entre 5:95 et 95:5, de préférence encore entre 10:90 et 90:10 et de de préférence encore entre 15:85 et 85:15.
[0017] Composition de résist>
La composition de résist de la présente invention comprend un agent de désactivation contenant un sel (I), une résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée «résine (A)») et un générateur d'acide (dans la suite parfois appelé générateur d'acide (B)). Le groupe labile en milieu acide signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, formant ainsi un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
La composition de résist de la présente invention comprend de préférence un solvant (dans la suite parfois appelé «solvant (E)»).
La composition de résist de la présente invention peut en outre inclure un agent de désactivation autre que le sel (I) (dans la suite parfois appelé «quencher (C)»), et comprend de préférence un sel générant un acide de faible acidité, tel qu'un sel interne d'acide faible (D) (dans la suite parfois appelé «sel interne d'acide faible (D)»). La composition de résist de la présente invention peut comprendre une résine autre que la résine (A).
[0018]
La teneur en sel (I) est habituellement de 0,001 à 20% en masse, de préférence de 0,005 à 15% en masse et de préférence encore de 0,01 à 10% en masse, sur la base de la quantité du composant solide d'une composition de résist.
Le sel (I) joue le rôle d'agent de désactivation dans la composition de résist.
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[0019] < Résine A>
La résine (A) comprend une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (al)»). Il est préférable que la résine (A) inclue en outre une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al). Des exemples d'unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) incluent une unité structurelle n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée «unité (s) structurelle (s)»), une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) et l'unité structurelle (s) (par exemple, une unité structurelle ayant un atome d'halogène mentionné plus loin (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a4)»)), une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant mentionné plus tard (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a5))) et d'autres unités structurelles dérivées de monomères connus dans la technique.
[0020] <Unité Structurelle (al)>
L'unité structurelle (al) est dérivée d'un composé comprenant un groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé « monomère (al) »)
Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite également appelé groupe (1)) et / ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite également appelé groupe (2)):
Où, dans la formule (1), Ral, Ra2 et Ra3 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ceux-ci, ou Ral et Ra2 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec l'atome de carbone auquel Ral et Ra2 sont liés,
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BE2019/5797 ma et na représentent chacun un nombre entier de 0 ou 1, et au moins un de ceux-ci représente 1, et * représente une position de liaison.
où, dans la formule (2), Ral et Ra2 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, Ra3 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou Ra2 et Ra3 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec X avec l'atome de carbone auquel Ra2 et Ra3 sont liés, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peuvent être remplacés par -O- ou -S-,
X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na' représente un nombre entier de 0 ou 1, et * représente une position de liaison.
[0021]
Des exemples du groupe alkyle pour Ral, Ra2 et Ra3 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle et un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique pour Ral, Ra2 et Ra3 peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique, incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente une liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour Ral, Ra2 et Ra3 est de préférence de 3 à 16.
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Le groupe obtenu en combinant un groupe alkyle avec un
| groupe hydrocarboné | alicyclique | inclut, par exemple, | un | groupe | |
| méthylcyclohexyle, | un | groupe | di méthylcyclohexyle, | un | groupe |
| méthylnorbornyle, | un | groupe | cyclohexyl méthyle, | un | groupe |
| adamantylméthyle, | un | groupe | ada ma ntyldi méthyle, | un | groupe |
norbornyléthyle et analogues.
De préférence ma est 0 et na est 1.
Lorsque Ral et Ra2 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique, des exemples de groupement -C(Ral)(Ra2)(Ra3) incluent les groupes suivants. Le groupe hydrocarboné alicyclique a de préférence de 3 à 12 atomes de carbone. * représente une liaison à -0-
[0022]
Des exemples du groupe hydrocarboné pour Ral, Ra2 et Ra3 incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans Ral, Ra2 et Ra3.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe
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BE2019/5797 cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyl-6-éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe pcyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) un groupe arylcycloalkyle comme le groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Des exemples d'un groupe hétérocyclique formé en liant l'un avec l'autre Ra2’ et Ra3’ avec des atomes de carbone et X auxquels Ra2 et Ra3 sont liés, incluent les groupes suivants. Représente une liaison.
Parmi Ral et Ra2, au moins un est de préférence un atome d'hydrogène.
na' est de préférence 0.
[0023]
Des exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), Ral, Ra2 et Ra3 sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert-butoxycarbonyle.
Un groupe où, dans la formule (1), Ral et Ra2 sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels Ral et Ra2 sont liés, Ra3 est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1.
Un groupe où, dans la formule (1), Ral et Ra2 sont chacun indépendamment un groupe alkyle, Ra3 est un groupe adamantyle, ma = 0 et na = 1.
Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente une liaison.
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[0024]
Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes suivants. * représente une liaison.
[0025]
Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0026]
Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont de préférence cités à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (al) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné
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BE2019/5797 alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0027]
L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (al-0) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (al0)), une unité structurelle représentée par la formule (al-1) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (al-1)) ou une unité structurelle représentée par la formule (a 1-2) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (al-2)). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison.
Ra01
H2 C
Ra02,
2=° l_aoi __pa03
Ra04 (a1-0)
Dans la formule (al-0), la formule (al-1) et la formule (al-2),
La01, Lal et La2 représentent chacun indépendamment -O- ou *O-(CH2)ki-CO-O-, kl représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-,
Ra01, Ra4 et Ra5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra02, Ra03 et Ra04 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes,
Ra5 et Ra7 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, ml représente un entier de 0 à 14, ni représente un entier de 0 à 10, et ni' représente un entier de 0 à 3.
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[0028]
Ra01, Ra4 et Ra5 sont de préférence un groupe méthyle.
La01, Lal et La2 sont de préférence un atome d'oxygène ou *-O(ChhXoï-CO-O- (dans lequel kOl est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et de préférence encore un atome d'oxygène.
Des exemples de groupe alkyle, de groupe hydrocarboné alicyclique et de groupes obtenus en combinant ces groupes dans Ra02, Ra03, Ra04, Ra5 et Ra7 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Ral, Ra2 et Ra3 de formule (1).
Le groupe alkyle dans Ra02, Ra03 et Ra04 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Le groupe alkyle dans Ra5 et Ra7 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, plus préférablement un groupe méthyle, un groupe éthyle ou un groupe isopropyle, et encore plus préférablement un groupe éthyle ou un groupe isopropyle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de Ra02, Ra03, Ra04, Ra5 et Ra7 est de préférence 5 à 12, et de préférence encore 5 à 10.
Le nombre total d'atomes de carbone de groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence 18 ou moins.
Ra02 et Ra03 sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Ra04 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
De préférence, Ra5 et Ra7 sont chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle ou un groupe isopropyle, et de préférence encore un groupe éthyle ou un groupe isopropyle.
ml est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1,
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[0029]
L'unité structurelle (al-0) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-0-1) à la formule (al-0-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra01 dans l'unité structurelle (al-0) est substitué avec un atome d'hydrogène et est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-0-1) à la formule (al0-10).
[0030]
L'unité structurelle (al-1) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Parmi ces unités structurelles, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-1-1) à la formule (al-1-4) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra4 dans l'unité structurelle (al-1) est substitué avec un atome d'hydrogène sont préférées, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-1-1) à la formule (al-1-4) est préférée encore.
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(a1-1-2)
(a1-1-3)
[0031]
Des exemples d'unité structurelle (al-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (al-2-1) à la formule (al-2-6) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra5 dans l'unité structurelle (al-2) est substitué avec un atome d'hydrogène, et les unités structurelles représentées par la formule (al-2-2), la formule (al-2-5) et la formule (al-2-6) sont préférées.
(a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4)
[0032]
Lorsque la résine (A) inclut une unité structurelle (al-0) et/ou une unité structurelle (al-1) et/ou une unité structurelle (al-2), leur teneur totale est habituellement 10 à 95% en moles, de préférence 15 à 90% en moles, de préférence encore 20 à 85% en moles, de préférence encore 25 à 70%, et de préférence encore 30 à 70% en moles sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0033]
Dans l'unité structurelle (al), des exemples d'unité structurelle ayant un groupe (2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (al-4) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (al-4)):
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Ra32
CH2--
p^a35 où, dans la formule (al-4),
Ra32 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir éventuellement un atome d'halogène,
Ra33 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, la représente un entier de 0 à 4, et quand la est 2 ou plus, une pluralité de Ra33 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et
Ra34 et Ra35 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, Ra35 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou Ra35 et Ra35 sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -CO- auquel Ra35 et Ra35 sont liés, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par O- ou -S-.
[0034]
Des exemples de groupe alkyle dans Ra32 et Ra33 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans Ra32 et Ra33 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
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Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe
1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Parmi ces groupes, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone est préféré, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy sont préférés encore, et un groupe méthoxy est préféré encore.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues.
Des exemples de groupe hydrocarboné dans Ra34, Ra35 et Ra35 incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique et un groupe hydrocarboné aromatique.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
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Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples de groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique mentionnés ci-dessus (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tertbutylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe padamantylphényle, etc.), un groupe aryl-cyclohexyle comme un groupe phénylcyclohexyle et analogues. En particulier, des exemples de Ra35 incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes.
[0035]
Dans la formule (a 1-4), Ra32 est de préférence un atome d'hydrogène,
Ra33 est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy et un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy, la est de préférence 0 ou 1, et de préférence encore 0,
Ra34 est de préférence un atome d'hydrogène, et
Ra35 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné pour Ra35 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou des groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aliphatique alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18
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BE2019/5797 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique dans Ra35 sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans Ra35 est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone.
[0036]
-OC(Ra34)(Ra35)-O-Ra35 dans l'unité structurelle (al-4) est éliminé par mise en contact avec un acide (par exemple, l'acide ptoluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy.
[0037]
L'unité structurelle (al-4) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (al-4-1) à la formule (al-4-12) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à Ra32 est substitué avec un groupe méthyle, et de préférence encore les unités structurelles représentées par la formule (al-4-1) à la formule (al-4-5) et la formule (al-4-10).
[0038]
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (al-4), la teneur est de préférence 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, et de préférence encore 20 à 60 mol%, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
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[0039]
L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (2) inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (al-5) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (al-5)).
Dans la formule (al-5),
Ra8 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène,
Zal représente une simple liaison ou *-(CH2)h3-CO-L54-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente un site de liaison à L51,
L51, L52, L53 et L54 représentent chacun indépendamment -O- ou -s-, si représente un entier de 1 à 3, et si' représente un entier de 0 à 3.
[0040]
L'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et est de préférence un atome de fluor. Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
Dans la formule (al-5), Ra8 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle,
L51 est de préférence un atome d'oxygène, l'un de L52 et L53 est de préférence -O- et l'autre est de préférence -S-, si est de préférence 1,
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BE2019/5797 si' est de préférence un entier de 0 à 2, et
Zal est de préférence une simple liaison ou *-CH2-CO-O-.
[0041]
L'unité structurelle (al-5) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (al-5-1) à la formule (al-5-4) sont préférées, et les unités structurelles représentées par la formule (al-5-1) ou la formule (al-5-2) sont préférées encore.
(a1-5-1) (a1-5-2) (a1-5-3) (a1-5-4)
[0042]
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (al-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0043]
L'unité structurelle (al) inclut aussi les unités structurelles suivantes.
(ai-3-1)
(a1-3-4) (a1-3-5) (a1-3-6) (a1-3-7)
[0044]
Quand la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci-dessus comme (al-3-1) à (al-3-7), la teneur est de préférence 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, et de manière
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BE2019/5797 particulièrement préférable 20 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0045] <Unité structurelle (s)>
L'unité structurelle (s) est dérivée d'un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé monomère (s)). Il est possible d'utiliser, comme monomère duquel l'unité structurelle (s) est dérivée, un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine des résists.
L'unité structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Quand une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a2)) et/ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a3)) est utilisée dans la composition de résist de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhésion à un substrat.
[0046] < Unité structurelle (a2)>
Le groupe hydroxy possédé par l'unité structurelle (a2) peut être un groupe hydroxy alcoolique ou un groupe hydroxy phénolique.
Quand un motif de résist est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, dans le cas où l'on utilise, comme source d'exposition, des rayons à haute énergie comme un laser excimère à KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou de la lumière ultraviolette extrême (UVE), il est préféré d'utiliser une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique comme unité structurelle (a2). Quand on utilise un laser excimère à ArF (193 nm) ou analogue, une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy alcoolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est de préférence encore utilisé une unité structurelle (a2-l) mentionnée ultérieurement. L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[0047]
Dans l'unité structurelle (a2), des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique incluent une unité structurelle
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BE2019/5797 représentée par la formule (a2-A) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a2-A)):
(a2-A) où, dans la formule (a2-A),
Ra50 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,
Ra51 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy,
Aa50 représente une simple liaison ou *-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-, et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -Ra50 est lié,
Aa52 représentent un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Xa51 et Xa52 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-Oou -O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de Ra51 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0048]
Des exemples d'atome d'halogène dans Ra50 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans Ra50 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe
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1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe perfluorohexyle.
Ra50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle dans Ra51 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans Ra51 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone est préféré, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy est préféré encore, et un groupe méthoxy est préféré encore.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle dans Ra51 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy dans Ra51 incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy.
Ra51 est de préférence un groupe méthyle.
[0049]
Des exemples de *-Xa51-(Aa52-Xa52)nb- incluent *-O-, *-CO-O-, *O-CO-, *-CO-O-Aa52-CO-O-, *-O-CO-Aa52-O-, *-O-Aa52-CO-O-, *-CO-O-Aa52O-CO- et *-O-CO-Aa52-O-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-O-, *-CO-O-Aa52-CO-Oou *-O-Aa52-CO-O- sont préférés.
[0050]
Des exemples de groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-1,5diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe butane-l,3-diyle, un groupe
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2-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle.
Aa52 est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0051]
Aa50 est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-OAa52-CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-OCH2-CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
[0052] mb est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de manière particulièrement préférable 0.
Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position ortho ou la position para d'un cycle benzène, et de préférence encore la position para.
[0053]
Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A et JP 2012-12577 A.
Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-l) à la formule (a2-2-6), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra50 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a22-1) à la formule (a2-2-6). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence représentée par la formule (a2-2-l), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a22-6) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Ra50 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans l'unité structurelle représentée par la formule (a2-2-l), l'unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3) ou l'unité structurelle représentée par la formule (a2-2-6).
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02-2-1) 02-2-2) (a2-2-5)
[0054]
Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (a2-A) est de préférence 5 à 80 mol%, de préférence encore 10 à 70 mol%, de préférence encore 15 à 65 mol%, et de préférence encore 20 à 65 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles.
L'unité structurelle (a2-A) peut être incluse dans une résine (A) par polymérisation, par exemple, avec une unité structurelle (al-4) et traitement avec un acide comme l'acide p-toluènesulfonique. L'unité structurelle (a2-A) peut aussi être incluse dans la résine (A) par polymérisation avec l'acétoxystyrène et traitement avec une substance alcaline comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium.
[0055]
Des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l'unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-l) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a2-l)).
Dans la formule (a2-l),
La3 représente -O- ou *-O-(CH2)k2-CO-O-, k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-,
Ral4 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
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Ral5 et Ral5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et ol représente un entier de 0 à 10.
[0056]
Dans la formule (a2-l), La3 est de préférence -O- ou -O-(CH2)fiCO-O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-,
Ral4 est de préférence un groupe méthyle,
Ral5 est de préférence un atome d'hydrogène,
Ral5 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et ol est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
[0057]
L'unité structurelle (a2-l) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-l-l) à la formule (a2-l-6) est préférée, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-l-l) à la formule (a21-4) est préférée encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-l-l) ou la formule (a2-l-3) est préférée encore.
OH OH (a2-1-5) (a2-1-6)
[0058]
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-l), la teneur est habituellement 1 à 45 mol%, de préférence 1 à 40 mol%, de préférence encore 1 à 35 mol%, et de préférence encore 1 à 20 mol%, et de préférence encore 1 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
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[0059] <Unité structurelle (a3)>
Le cycle lactone porté par l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle ß-propiolactone, un cycle ybutyrolactone ou un cycle δ-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle ybutyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure cyclique de γ-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule suivante (a3-2)) est cité à titre d'exemple. [0060]
L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-l), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses:
o (a3-1) (a3-2) (a3-3) où, dans la formule (a3-l), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4),
La4, La5 et La5 représentent chacun indépendamment -O- ou un groupe représenté par *-O-(CH2)k3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7),
La7 représente -O-, *-O-La8-O-, *-O-La8-CO-O-, *-O-La8-CO-OLa9-CO-O- ou *-O-La8-O-CO-La9-O-,
La8 et La9 représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle,
Ral8, Ral9 et Ra20 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
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Ra24 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène,
Xa3 représente -CH2- ou un atome d'oxygène,
Ra21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone,
Ra22, Ra23 et Ra25 représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, pl représente un entier de 0 à 5, ql représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, wl représente un entier de 0 à 8, et quand pl, ql, rl et/ou wl est/sont 2 ou plus, une pluralité de Ra21, Ra22, Ra23 et/ou Ra25 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0061]
Des exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans Ra21, Ra22, Ra23 et Ra25 incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans Ra24 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkyle dans Ra24 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Des exemples du groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans Ra24 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotertbutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
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Des exemples de groupe alcanediyle dans La8 et La9 incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe butane-1,3diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-
1,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4diyle.
[0062]
Dans la formule (a3-l) à la formule (a3-3), de préférence, La4 à La5 sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un entier de 1 à 4 dans *-O-(CH2)k3-CO-O-, de préférence encore -O- et *-OCH2-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène,
Ral8 à Ra21 sont de préférence un groupe méthyle, de préférence, Ra22 et Ra23 sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, pl, ql et rl sont chacun indépendamment un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
[0063]
Dans la formule (a3-4), Ra24 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra25 est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle,
La7 est de préférence -O- ou *-O-La8-CO-O-, et de préférence encore -O-, -O-CH2-CO-O- ou -O-C2H4-CO-O-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3-4)':
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Ra24
O (a3-4)' où Ra24 et La7 sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
[0064]
Des exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 5 A, des monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-l-l), la formule (a3-l-2), la formule (a3-2-l), la formule (a32-2), la formule (a3-3-l), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-l) à la 10 formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant à Ral8, Ral9, Ra20 et Ra24 dans la formule (a3-l) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
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[0065]
[0066]
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement 5 à 70 mol%, de préférence 10 à 65 mol%, et de préférence encore 10 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-l), l'unité structurelle 10 (a3-2), l'unité structurelle (a3-3) ou l'unité structurelle (a3-4) est de préférence 5 à 60 mol%, de préférence encore 5 à 50 mol%, et de préférence encore 10 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0067] <Unité structurelle (a4)>
Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent les unités structurelles suivantes:
p41
(a4) =0
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BE2019/5797 où, dans la formule (a4),
R41 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et R42 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone qui a un atome de fluor, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO.
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé représenté par R42 incluent un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0068]
Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples du groupe formé par combinaison incluent des groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0069]
Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par au moins une choisie dans le groupe
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BE2019/5797 consistant en la formule (a4-0), la formule (a4-l), la formule (a4-2), la formule (a4-3) et la formule (a4-4):
(a4-0) où, dans la formule (a4-0),
R5 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
L4a représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone,
L3a représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et
R5 représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor. [0070]
Des exemples du groupe hydrocarbné saturé aliphatique divalent dans L4a incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle et un groupe butane-l,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-l,l-diyle, un groupe propane- 1,2-diyle, un groupe butane-
1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,3-diyle et un groupe 2méthy I propa ne-1,2-d iy le.
Des exemples du groupe perfluoroalcanediyle dans L3a incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropane-l,3-diyle, un groupe perfluoropropane-l,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-l,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-l,2-diyle, un groupe perfluoropentane-l,5-diyle, un groupe perfluoropentane-2,2diyle, un groupe perfluoropentane-3,3-diyle, un groupe perfluorohexane1,6-diyle, un groupe perfluorohexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-l,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4-diyle, un groupe perfluorooctane-1,8
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BE2019/5797 diyle, un groupe perfluorooctane-2,2-diyle, un groupe perfluorooctane-
3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4-diyle et analogues.
Des exemples du groupe perfluorocycloalcanediyle dans L3a incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe perfluorocyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0071]
L4a est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3a est de préférence un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0072]
Des exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R5 dans l'unité structurelle (a4-0) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène:
(a4-0-1) (a4-0-2) (a4-0-3) (a4-0-4)
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[0073]
(a4-1) où, dans la formule (a4-l),
Ra41 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Ra42 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Aa41 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-gl), dans lequel au moins l'un de Aa41 et Ra42 a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor):
[dans lequel, dans la formule (a-gl), s représente 0 ou 1,
Aa42 et Aa44 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant,
Aa43 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant,
Xa41 et Xa42 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, CO-O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de Aa42, Aa43, Aa44, Xa41 et Xa42 est 7 ou moins], et * est un site de liaison et * sur le côté droit est un site de liaison à -O-CO-Ra42.
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[0074]
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé dans Ra42 incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques saturés, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique saturé, un groupe hydrocarboné alicyclique saturé-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique saturé-groupe alkyle et analogues.
[0075]
Des exemples de substituant éventuellement porté par Ra42 incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et un atome de fluor est préféré:
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BE2019/5797 *---Xa43—Aa45 (a-g3) où, dans la formule (a-g3),
Xa43 représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-OCO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à Ra42),
Aa45 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et * représente un site de liaison.
Dans Ra42-Xa43-Aa45, quand Ra42 n'a pas d'atome d'halogène, Aa45 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
[0076]
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans Aa45 incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison):
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent un groupe obtenu en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un -groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un -groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle, un -groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues. [0077]
Ra42 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe
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BE2019/5797 alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3).
Quand Ra42 est un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome de fluor est préféré, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préféré encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préféré encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préféré. Des exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Des exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues.
Quand Ra42 est un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de Ra42 est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a-g3) comme substituant, leur nombre est de préférence 1.
[0078]
Quand Ra42 est un groupe hydrocarboné saturé ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), Ra42 est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2):
*---Aa46—Xa44—A347 (a-g2) où, dans la formule (a-g2),
Aa45 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,
Xa44 représente **-O-CO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à Aa45),
Aa47 représente un groupe hydrocarboné aliphatique saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,
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BE2019/5797 le nombre total d'atomes de carbone de Aa45, Aa47 et Xa44 est 18 ou moins, et au moins l'un de Aa45 et Aa47 a au moins un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à un groupe carbonyle.
[0079]
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé pour Aa45 est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aliphatique pour Aa47 est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et Aa47 est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0080]
La structure préférée du groupe représenté par la formule (ag2) est la structure suivante (* est un site de liaison à un groupe carbonyle).
[0081]
Des exemples de groupe alcanediyle dans Aa41 incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle et un groupe hexane-l,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe 1méthylbutane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle.
Des exemples du substituant dans le groupe alcanediyle représenté par Aa41 incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Aa41 est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0082]
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Aa42, Aa43 et Aa44 dans le groupe représenté par la formule
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BE2019/5797 (a-gl) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique, et les groupes hydrocarbonés saturés divalents formés en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe l-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle et analogues.
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Aa42, Aa43 et Aa44 incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
s est de préférence 0.
[0083]
Dans un groupe représenté par la formule (a-gl), des exemples de groupe dans lequel Xa42 est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les groupes suivants. Dans des exemples suivants, * et ** représentent chacun un site de liaison, et ** est un site de liaison à -O-CO-Ra42.
[0084]
Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-l) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à Aa41 dans l'unité structurelle représentée par la formule (a4-l) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
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(a4-1-5) (a4-1-6)
04-1-7) (θ4-1-8) (a4-1-9) (a4-1-10) (a4-1-11)
(a4-1'-5) (a4-T-6)
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[0085]
(a4-1'-8)
(a4-1'-9) (a4-1'-10) (a4-1'-11)
[0086]
Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-l) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-3):
où, dans la formule (a4-2),
Rf5 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
L44 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Rf5 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L44 et Rf5 est 21.
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[0087]
Des exemples du groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone de L44 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour le groupe alcanediyle Aa41.
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé de Rf5 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R42.
Le groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone dans L44 est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0088]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-l-l) à la formule (a4-l-ll). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à Rf5 dans l'unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène est aussi citée à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par la formule (a4-2).
[0089]
Des exemples de l'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-3):
où, dans la formule (a4-3),
R17 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L5 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Afl3 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor,
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Xfl2 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à Afl3),
Afl4 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Afl4 a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, Afl3 et Afl4 est 20. [0090]
Des exemples du groupe alcanediyle dans L5 incluent ceux qui sont les mêmes que mentionnés dans le groupe alcanediyle dans le groupe hydrocarboné saturé divalent de Aa41.
Le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor dans Afl3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant éventuellement un atome de fluor et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant éventuellement un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexanediyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Des exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome de fluor pour Afl4 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Ra42. Parmi ces groupes, sont préférés les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe
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BE2019/5797 perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0091]
Dans la formule (a4-3), L5 est de préférence un groupe éthylène.
Le groupe hydrocarboné saturé divalent de Afl3 est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique divalent ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné à chaîne divalent ayant 2 à 3 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné saturé de Afl4 est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone. Parmi ces groupes, Afl4 est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle. [0092]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-3) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-l'-l) à la formule (a4-l'-ll). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R17 dans l'unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène est aussi citée à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par la formule (a4-3).
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[0093]
Il est aussi possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (a4), une unité structurelle représentée par la formule (a4-4):
°γ·Αί21 (a4-4)
R®' où, dans la formule (a4-4),
Rßl représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
Αβ1 représente -(CH2)ji-, -(CH2)j2-O-(CH2)j3- ou -(CH2)j4-CO-O(CH2)j5-, jl à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et
Rß2 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0094]
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé pour Rß2 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par Ra42. Rß2 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0095]
Dans la formule (a4-4), Αβ1 est de préférence -(CH2)ji-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0096]
L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à Rßl dans l'unité structurelle
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BE2019/5797 (a4-4) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
[0097]
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0098] <Unité structurelle (a5)>
Des exemples de groupe hydrocarboné non partant porté par l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique.
L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-l):
(a5-1) où, dans la formule (a5-l),
R51 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
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R52 représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et
L55 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-. [0099]
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R52 peut être monocyclique ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-méthyladamantyle et analogues.
R52 est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique non substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle.
Des exemples du groupe hydrocarboné saturé divalent dans L55 incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préféré.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Des
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BE2019/5797 exemples de groupe polycyclique hydrocarboné saturé alicyclique divalent incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle.
[0100]
Le groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L55 est remplacé par -O- ou CO- inclut, par exemple, les groupes représentés par la formule (Ll-1) à la formule (Ll-4). Dans les formules suivantes, * et ** représentent chacun un site de liaison, et * représente un site de liaison à un atome d'oxygène.
(L1-1) (L1-2) (L1-3) (L1-4)
Dans la formule (Ll-1),
Xxl représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à Lxl),
LX1 représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone,
Lx2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de LX1 et Lx2 est 16 ou moins.
Dans la formule (Ll-2),
Lx3 représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone,
Lx4 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lx3 et Lx4 est 17 ou moins.
Dans la formule (Ll-3),
Lx5 représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone,
Lx5 et Lx7 représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lx5, Lx5 et Lx7 est 15 ou moins.
Dans la formule (Ll-4),
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Ι_χδ et [_χ9 représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone,
WX1 représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lx8, Lx9 et WX1 est 15 ou moins.
[0101]
LX1 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
Lx2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
Lx3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lx4 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lx5 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
Lx5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
Lx7 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lx8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
Lx9 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
WX1 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
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[0102]
Le groupe représenté par la formule (Ll-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
[0104]
Le groupe représenté par la formule (Ll-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
[0105]
Le groupe représenté par la formule (Ll-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
ch3
[0106]
Le groupe représenté par la formule (Ll-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
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*
[0107]
L55 est de préférence une simple liaison ou un groupe 5 représenté par la formule (Ll-1).
[0108]
Des exemples d'unité structurelle (a5-l) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R51 dans l'unité structurelle (a5-l) dans les 10 unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
(a5-1-7) (a5-1-8) (a5-1-9) (a5-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12)
[0109]
(a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18)
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de 15 préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
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[0110] <Unité structurelle (II)>
La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (II) »). Des exemples spécifiques de l'unité structurelle (II) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférées.
[OUI]
L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (ΙΙ-Σ-Α'):
(ll-2-Aj où, dans la formule (II-Z-AQ,
X1113 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy,
AX1 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
RA' représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate,
R1113 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et
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ZA+ représente un cation organique.
[0112]
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R1113 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R1113 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par Ra8.
Des exemples du groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par AX1 incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe éthane1,1-diyle, un groupe propane-l,l-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle et analogues.
Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone dans lequel un atome d'hydrogène peut être substitué dans AX1 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotertbutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X1113 incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-1,6diyle, un groupe heptane-l,7-diyle, un groupe octane-l,8-diyle, un groupe nonane-l,9-diyle, un groupe décane-l,10-diyle, un groupe undécane1,11-diyle et un groupe dodécane-l,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane2019/5797
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1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-1,4diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle; le groupe cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-l,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3diyle, un groupe cyclohexane-l,4-diyle et un groupe cyclooctane-l,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-l,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-l,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
Ceux dans lesquels -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (XI) à la formule (X53). Avant le remplacement de -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O-, -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à Axl.
·°'Χ3·
Ο
A ^Χ3' .0___X3 θ
Ό χ4-°-χ3· χ4'δ'χ3· (Χ1) (Χ2) (Χ3) (X4) (X5) (X6) (X7)
Ο A Γ) γ3
JL 7Χ4Υ' Λχ3 S (Χ9) (X8)
0-χ4-0.χ3'**^χ4,5,χ3. χ4^χ3 (Χ13) (X11) (X12) χ5'0'χ4'0γΧ;
ο (Χ19)
0-χ4ΌγΧ1 ο (Χ14)
Ο ·Χ5'·°'Χ4'Λ'Ο·
X4 Ο (Χ10)
-O.
(Χ18)
Ο 4ΌΛΧ<χΟ^χ4 ο.
(X20)
O (X24)
O O (X25) ·χ8'°γχ4ο· ο (Χ26) ο
°'Χ4'^'Ο· (X15) (X21) •x='°Yxts0 (Χ27) Χ5-Ο'Χ4-Ο'χ3'* *'X5'°'X4'S'X3' (X16) (X17)
-O.
(X22) (X23) ,5-Ο^,Χ4 χ5'°ΥχΎ°· ο ο γ3
Ό'Χ'Ο· (X30) (X31) v3
O'X'S(X32) ίΐ γ3 0 Π ο (Χ33) γ3 ·Ο'ΧΌ· (X34)
Ο Υ4 JJ *
O'X\rS3‘ (X37) (X38) (X39) (X40)
Ο Ο (Χ28)
Q ?
Ο (Χ35) (X41) .χ5,0γΧ4 0Αχ3· ο (Χ29) (X36) \rX'S'XO'X' (X42) ο
II γ5 γ4 %' Ό' γ ο
(Χ43)
Ό Ο Χ4'υ'χ3’
O
(Χ44)
Ο
0'ΧγΟ'Χ4'Ο'Χ3' ο (Χ45) χ7-^χ6 °'X7'S'X6 (X46) (X47) (X48)
-ο-χ7·Αο· ·χ8'Ο'Χ7'°'Χ6 ·χ8'υ'χ7'0'χ6
Ο ·χ 8'ο'χ7Αο· (X49) (X50) (X51) (X52) (X53)
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[0113]
X3 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone.
X4 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone.
X5 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
X5 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X7 représente un groupe hydrocarboné saturé trivalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X8 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0114]
Des exemples de cation organique de ZA+ incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ces cations organiques, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré encore. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-l) à la formule (b2-4) (dans la suite parfois appelé cation (b2-l) selon le numéro de la formule).
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[0115] (Rb7)m2 (Rb8)n2
A r A
V# 1 AA (b2-2)
Rb4
Rb5-S+
Rb6 (b2-1) pb9 O
II ^S+-CH-C—Rb12 pb10 I K Rb11 (b2-3)
Dans la formule (b2-l) à la formule (b2-4),
Rb4 à Rb5 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
Rb4 et Rb5 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels Rb4 et Rb5 sont liés, et -CH2- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
Rb7 et Rb8 représentent chacun indépendamment un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
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BE2019/5797 m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5, quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de Rb7 peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de Rb8 peuvent être identiques ou différents,
Rb9 et Rbl° représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
Rb9 et Rbl° peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels Rb9 et Rbl° sont liés, et -CH2- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
Rbl1 représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
Rbl2 représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
Rbl1 et Rbl2 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle, incluant -CH-CO- auquel Rbl1 et Rbl2 sont liés, et -CH2- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
Rbl3 à Rbl8 représentent chacun indépendamment un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
Lb31 représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène, o2, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5, q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à
4, u2 représente 0 ou 1, et
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BE2019/5797 quand o2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl3 sont identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl4 sont identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl5 sont identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl5 sont identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl7 sont identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de Rbl8 sont identiques ou différents.
[0116]
Le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique.
Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle. En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne pour Rb9 à Rbl2 a de préférence 1 à 12 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe cyclodécyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants.
En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique pour Rb9 à Rbl2 a de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
[0117]
Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe
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BE2019/5797 hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins.
[0118]
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe phénanthryle.
Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant de 1 à 18 atomes de carbone (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p-éthylphényle , un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant de 3 à 18 atomes de carbone (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) et analogues.
Quand un groupe hydrocarboné aromatique a un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone sont préférables.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues.
Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
[0119]
Des exemples du groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
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Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propylcarbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyloxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tert-butylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2-éthylhexylcarbonyloxy. [0120]
Le cycle formé par liaison de Rb4 et Rb5 l'un avec l'autre, avec les atomes de soufre auxquels Rb4 et Rb5 sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons et inclut, par exemple, les cycles suivants et analogues. * représente un site de liaison.
[0121]
Le cycle formé en combinant Rb9 et Rbl° ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Le cycle inclut, par exemple, un cycle thiolan-1ium (cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-l-ium, un cycle 1,4oxathian-4-ium et analogues.
Le cycle formé en combinant Rbl1 et Rbl2 ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples de ceux-ci incluent un cycle
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BE2019/5797 oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0122]
Parmi le cation (b2-l) au cation (b2-4), un cation (b2-l) est 5 préféré.
[0123]
Des exemples de cation (b2-l) incluent les cations suivants et analogues.
(b2-c-7j (b2-C-8) (b2-C-9) (b2-c-1D): (b2-c-11)
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[0124]
t-CziHg
(b2-c-14)
(b2-c-15) (Ó2-C-12) (Ó2-C-13)
(b2-c-16) (b2-c-19) (b2-c-20) (b2-c-18)
[0125]
(b2-c-17)
(b2-c-24) (b2-c-25) (b2-c-26) (b2-c-27) (02-0-21) (52-0-22) (b2-c-23)
[0126]
Des exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants et analogues.
(b2-c-28)
(b2-c-29)
(b2-c-30)
[0127]
Des exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants et analogues.
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(b2-c-31)
[0128]
Des exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants et analogues.
(b2-c-37) (b2-c-35)
(b2-c-38) (b2-c-39) (b2-c-40)
[0129]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A') est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
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(II-2-A) où, dans la formule (II-2-A), R1113, X1113 et ZA+ sont tels que ceux définis ci-dessus, z2A représente un entier de 0 à 6,
R1112 et R1114 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z2A est 2 ou plus, une pluralité de R1112 et R1114 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et
Qa et Qb représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par R1112, R1114, Qa et Qb incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par Qbl qui est mentionné ultérieurement.
[0130]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1):
où, dans la formule (II-2-A-1),
R1112, R1113, R1114, Qa, Qb, et ZA+ sont les mêmes que ceux définis ci-dessus,
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R1115 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, z2Al représente un entier de 0 à 6, et
X12 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par R1115 incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe secbutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par X12 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par X1113.
[0131]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-2):
où, dans la formule (II-2-A-2), R1113, R1115 et ZA+ sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, et m et n représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
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[0132]
L'unité structurelle représentée par la formule (II-Z-A7) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant à un groupe méthyle de R1113 est 5 substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant éventuellement avoir un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle , etc.) et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA+ représente un cation organique.
[0133]
L'unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité 15 structurelle représentée par la formule (II-l-l):
R113
0^0—All1-Rll1-S^ \2 (11-1-1) où, dans la formule (II-l-l),
A111 représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent,
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R111 représente un groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
R112 et R113 représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone, et R112 et R113 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels R112 et R113 sont liés,
R114 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et
A' représente un anion organique.
Des exemples de groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R111 incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par R112 et R113 incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R114 incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R114 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par Ra8.
Des exemples de groupe de liaison divalent représenté par A111 incluent, par exemple, un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X1113.
[0134]
Des exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (II-l-l) incluent les unités structurelles suivantes et des unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant à R114 est substitué
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BE2019/5797 par un atome d'hydrogène, un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle ou analogues.
[0135]
Des exemples d'anion organique représenté par A' incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion acide carboxylique. L'anion organique représenté par A' est de préférence un anion acide sulfonique, et l'anion acide sulfonique est de préférence un anion inclus dans le sel mentionné ultérieurement 10 représenté par la formule (Bl).
[0136]
Des exemples d'anion sulfonylimide représenté par A' incluent les suivants.
/CF3 /CFs F2C-CF2 o2s-cf3 o2s-cf2 o2s-czf2
I- I- Iï ï ï o2s-cf3 o2s-cf2 o2s-cf2
CF3 F2b-CF2 cf3 (l-b-1) (l-b-2) n.h.^ 3 o2s—cf2 o2s—cf2 (l-b-4)
[0137]
F2 o2s—c
N zCF2 o2s—cf2 (l-b-5)
Des exemples d'anion sulfonylméthide incluent les suivants.
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O2S-CF3
O2 |_
F3C-S —ç o2s-cf3 /CF3 c n O2S-CF2
F2 O2 |_ f3c-c -S —C o2s-cf2 cf3 f2/c-cf3
O2S—CF 2 3C\ F2o2 2|_ f2c-c -s —c o2s-cf2
F2C-CF3
[0138]
Des exemples d'anion acide carboxylique incluent les suivants.
O
[0139]
Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (II-l-l) incluent les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
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[0140]
Quand l'unité structurelle (II) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (II) est de préférence 1 à 20 mol%, de 5 préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0141]
La résine (A) peut inclure des unités structurelles autres que les unités structurelles mentionnées ci-dessus, et des exemples de telles 10 unités structurelles incluent les unités structurelles bien connues dans la technique.
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[0142]
La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (al) et d'une unité structurelle (s), c'est à dire un copolymère d'un monomère (al) et d'un monomère (s).
L'unité structurelle (al) est de préférence au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a 1-0), une unité structurelle (al-1) et une unité structurelle (al-2) (de préférence l'unité structurelle ayant un groupe cyclohexyle, et un groupe cyclopentyle), de préférence encore au moins deux, et de préférence encore au moins deux choisies dans le groupe consistant en une unité structurelle (al-1) et une unité structurelle (al-2).
L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-l) ou une unité structurelle représentée par la formule (a2-A). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-l), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3-4).
Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire une résine par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence 2000 ou plus (de préférence encore 2500 ou plus, et de préférence encore 3000 ou plus), et 50000 ou moins (de préférence encore 30000 ou moins, et de préférence encore 15000 ou moins). Dans la présente description, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par perméation de gel dans les conditions mentionnées dans des exemples.
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[0143] <Résine autre que la résine (A)>
La composition de résist de la présente invention peut inclure une résine autre que la résine (A), en plus de la résine (A).La résine autre que la résine (A) inclut, par exemple, une résine incluant une unité structurelle (a4) ou une unité structurelle (a5) (dans la suite appelée parfois résine (X)).
La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4), en particulier.
Dans la résine (X), la teneur de l'unité structurelle (a4) est de préférence 30 mol% ou plus, de préférence encore 40 mol% ou plus, et de préférence encore 45 mol% ou plus, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (X).
Des exemples d'unité structurelle, qui peut être incluse en outre dans la résine (X), incluent une unité structurelle (al), une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et les unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. En particulier, la résine (X) est de préférence une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5).
L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire une résine par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est de préférence 6000 ou plus (de préférence encore 7000 ou plus), et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure de la masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A).
[0144]
Quand la composition de résist inclut la résine (X), la teneur est de préférence 1 à 60 parties en masse, de préférence encore 1 à 50 parties en masse, de préférence encore 1 à 40 parties en masse, de
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BE2019/5797 manière particulièrement préférée 1 à 30 parties en masse, et de manière particulièrement préférée 1 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0145]
La teneur de la résine (A) dans la composition de résist est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Quand on inclut des résines autres que la résine (A), la teneur totale de la résine (A) et des résines autres que la résine (A) est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Dans la présente description, composant solide de la composition de résist signifie la quantité totale de composants obtenus en retirant un solvant (E) mentionné ultérieurement de la quantité totale de la composition de résist. Le composant solide de la composition de résist et la teneur de la résine peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0146] <Générateur d'Acide (B)>
Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Des exemples de générateur d'acide non ionique comprennent les esters sulfonates (par exemple, ester 2nitrobenzylique, sulfonate aromatique, sulfonate d'oxime, Nsulfonyloxyimide, sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple, disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues. Des exemples typiques du générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple, un sel de diazonium, un sel de phosphonium, un sel de sulfonium, un sel d'iodonium). Des exemples de l'anion du sel d'onium incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et analogues.
Il est possible d'utiliser comme générateur d'acide (B) des composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63-146038 A, JP
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63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, le brevet US No. 3.779.778, le brevet US No. 3.849.137, le brevet DE No. 3914407 et le brevet EP No. 126.712. Des composés produits par un procédé connu peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0147]
Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (Bl) (dans la suite parfois appelé générateur d'acide (Bl)):
Qb1
ΖΓ O3S^|^L^ (B1)
C Y
I
Qb2 où, dans la formule (Bl),
Qbl et Qb2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Lbl représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy,
Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et
Zl+ représente un cation organique.
[0148]
Des exemples du groupe perfluoroalkyle représenté par Qbl et Qb2 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
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De préférence, Qbl et Qb2 sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, les deux sont des atomes de fluor.
[0149]
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans Lbl incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en combinant deux ou plusieurs de ces groupes.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-l,3-diyle, un groupe butane-l,4-diyle, un groupe pentane-l,5-diyle, un groupe hexane-l,6-diyle, un groupe heptane-1,7diyle, un groupe octane-l,8-diyle, un groupe nonane-l,9-diyle, un groupe décane-l,10-diyle, un groupe undécane-l,ll-diyle, un groupe dodécane1,12-diyle, un groupe tridécane-l,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14diyle, un groupe pentadécane-l,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16diyle et un groupe heptadécane-l,17-diyle;
les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1diyle, un groupe propane-l,l-diyle, un groupe propane-l,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2méthylpropane-l,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-l,2-diyle, un groupe pentane-l,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-l,4-diyle;
les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques qui sont des groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-l,3-diyle, un groupe cyclopentane-l,3-diyle, un groupe cyclohexane-l,4-diyle et un groupe cyclooctane-l,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-l,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-l,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0150]
Le groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Lbl est remplacé par -O- ou CO- inclut, par exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (bl-1) à la formule (bl-3). Dans les groupes représentés par la
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BE2019/5797 formule (bl-1) à la formule (bl-3) et les groupes représentés par la formule (bl-4) à la formule (bl-11) qui sont des exemples spécifiques de ceux-ci, * et ** représentent un site de liaison, et * représente une liaison à -Y.
[0151] ** \Lb2· ** ** \[_b6‘ (b1-1)
O (b1-2) (b1-3)
Dans la formule (bl-1),
Lb2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb2 et Lb3 est 22 ou moins.
Dans la formule (bl-2),
Lb4 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb4 et Lb5 est 22 ou moins.
Dans la formule (bl-3),
Lb5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène
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BE2019/5797 inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy,
Lb7 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb5 et Lb7 est 23 ou moins.
[0152]
Dans les groupes représentés par la formule (bl-1) à la formule (bl-3), quand -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant le remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de Lbl.
[0153]
Lb2 est de préférence une simple liaison.
Lb3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
Lb4 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor.
Lb5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lb5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor.
Lb7 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus
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BE2019/5797 dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -0ou -CO-.
[0154]
Le groupe dans lequel -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L1 est remplacé par -O- ou CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (bl-1) ou la formule (bl-3).
[0155]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-1) incluent les groupes représentés par la formule (bl-4) à la formule (bl-8).
Dans la formule (bl-4),
Lb8 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
Dans la formule (bl-5),
Lb9 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et-CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
Lbl° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb9 et Lbl° est 20 ou moins.
Dans la formule (bl-6),
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Lbl1 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone,
Lbl2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl1 et Lbl2 est 21 ou moins.
Dans la formule (bl-7),
Lbl3 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone,
Lbl4 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Lbl5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl3 à Lbl5 est 19 ou moins.
Dans la formule (bl-8),
Lbl5 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-,
Lbl7 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone,
Lbl8 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl5 à Lbl8 est 19 ou moins.
[0156]
Lb8 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
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Lb9 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl1 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
Lbl4 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Lbl5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
Lbl5 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
Lbl7 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Lbl8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0157]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-3) incluent les groupes représentés par la formule (bl-9) à la formule (bill).
O (b1-9) (b1-10) (b1-11)
Dans la formule (bl-9),
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Lbl9 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb20 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -COet un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lbl9 et Lb20 est 23 ou moins.
Dans la formule (bl-10),
Lb21 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb22 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone,
Lb23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -COet un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb21, Lb22 et Lb23 est 21 ou moins.
Dans la formule (bl-11),
Lb24 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
Lb25 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone,
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Lb25 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe 5 alkylcarbonyloxy, -CH2- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de Lb24, Lb25 et Lb25 est 21 10 ou moins.
[0158]
Dans les groupes représentés par la formule (bl-9) à la formule (bl-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant la substitution est pris comme saturé.
[0159] le nombre d'atomes
Des exemples de acétyloxy, un groupe de carbone du groupe hydrocarboné groupe alkylcarbonyloxy incluent propionyloxy, un groupe butyryloxy, cyclohexylcarbonyloxy, un groupe groupe analogues.
[0160]
Des exemples de groupe incluent les suivants:
o o groupe adamantylcarbonyloxy représenté par la formule o
** un un et (bl-4)
*
H3
[0161]
Des exemples de groupe incluent les suivants:
représenté par la formule (bl-5)
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[0162]
Des exemples de groupe incluent les suivants:
représenté par la formule (bl-6)
-h3 4 ch3
**
[0163]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-7) incluent les suivants:
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[0164]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-8) incluent les suivants:
[0165]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-2) incluent les suivants:
[0166]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-9) incluent les suivants:
F F
CH3
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[0167]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-10) incluent les suivants:
[0168]
Des exemples de groupe représenté par la formule (bl-11) incluent les suivants:
OH O.
[0169]
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent les groupes représentés par la formule (Yl) à la formule (Yll) et la formule (Y36) à la formule (Y38).
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Quand -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Des exemples de tels groupes incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y41).
[0170] ·-> -ο Ό -0-0 -Ozb'Oi (Y1) (Y2) (Y3) (Y4) (Y5) (Y6) (Y7) (Y8) (Υθ) (Y10) (Y11 )
Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Yl) à la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y41), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Yll), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27),la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39) ou la formule (Y40), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Yll),la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27),la formule (Y31), la formule (Y30), la formule (Y39) ou la formule (Y40).
Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est un cycle spiro incluant un atome d'oxygène dans la formule (Y28) à la formule (Y35), la formule (Y39) ou la formule (Y40), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène a de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure cétal, il est préféré qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
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[0171]
Des exemples de substituant du groupe méthyle représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CH2)ja-CO-O-Rbl ou un groupe -(CH2)ja-O-CO-Rbl (où Rbl représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, -CH2- inclus dans un groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, S(O)2- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué par un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4) et analogues.
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CH2)ja-CO-O-Rbl ou un groupe -(CH2)ja-O-CO-Rbl (où Rbl représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, -CH2- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, SO2- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué par un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4) et analogues.
[0172]
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
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Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique incluent, par exemple, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryles tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné à chaîne incluent un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle et analogues. Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique incluent le groupe p-cyclohexylphényle, le groupe p-adamantylphényle et analogues.
Des exemples du groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues.
Des exemples de groupe alkyle substitué avec un groupe hydroxy incluent les groupes hydroxyalkyle comme un groupe hydroxy méthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Le groupe alkylcarbonyle inclut, par exemple, un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
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[0173]
Des exemples de Y incluent les suivants.
•OH
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[0174]
[0175]
Y est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CH2constituant le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être remplacé par -CO-, -S(O)2- ou -CO-. Y est de préférence encore 10 un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoada manty le, ou des groupes représentés par les formules suivantes.
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[0176]
L'anion dans le sel représenté par la formule (Bl) est de préférence un anion représenté par la formule (Bl-A-1) à la formule (Bl5 A-55) [dans la suite parfois appelé anion (Bl-A-1) selon le numéro de la formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (Bl-A-1) à la formule (Bl-A-4), la formule (BlA-9), la formule (Bl-A- 10), la formule (Bl-A-24) à la formule (Bl-A-33), la formule (Bl-A-36) à la formule (Bl-A-40) et la formule (Bl-A-47) à la 10 formule ( Bl-A-55).
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[0177]
(Bl-A-3)
(Bl-A-7)
(Bl-A-10)
[0178]
(Bl-A-19)
(Bl-A-22)
(Bl-A-23)
(Bl-A-24)
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[0179]
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[0180]
(Bl-A-40) (Bl-A-41) (Bl-A-39)
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(Bl-A-52)
O (Bl-A-55)
R'2 à R'7 représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe méthyle ou un groupe éthyle. R'8 est, par exemple, un groupe aliphatique hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone ou des groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. LA4 est une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone.
Qbl et Qb2 sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples spécifiques de l'anion dans le sel représenté par la formule (Bl) incluent des anions mentionnés dans JP 2010-204646 A. [0182]
Des anions préférés dans le sel représenté par la formule (Bl) sont des anions représentés par la formule (Bla-1) à la formule (Bla-34).
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ÇH3
O3S-cY°-ch3 -03S>|°^0 jQ (Bla-7) (Bla-6)
^ch3 (Bla-11) (Bla-12) (Bla-13)
(Bla-22) (Bla-20) (Bla-21)
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(Bla-32) (Bla-33) (Bla-34)
[0184]
Parmi ceux-ci, l'anion représenté par l'une quelconque de la formule (Bla-1) à la formule (Bla-3) et de la formule (Bla-7) à la formule (Bla-16), la formule (Bla-18), la formule (Bla-19 ) et la formule (Bla-22) à la formule (Bla-30) est préférable.
[0185]
Des exemples du cation organique de Z+ incluent un cation organique onium, un cation organique sulfonium, un cation organique iodonium, un cation organique ammonium, un cation benzothiazolium et un cation organique phosphonium, et comprennent ceux identiques au cation organique ZA+ dans la formule développée représentée par la formule (II-2-A '). Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférables, et un cation arylsulfonium est davantage préférable.
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[0186]
Le générateur d'acide (B) est une combinaison des anions susmentionnés et des cations organiques susmentionnés, et ceux-ci peuvent être éventuellement combinés. Des exemples du générateur 5 d'acide (B) sont de préférence des combinaisons d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (Bla-1) à la formule (Bla-3) et de la formule (Bla-7) à la formule (Bla-16), la formule (Bla 18), la formule (Bla-19) et de la formule (Bla-22) à la formule (Bla-34) avec un cation (b2-l) ou un cation (b2-3).
[0187]
Des exemples du générateur d'acide (B) sont de préférence ceux représentés par la formule (Bl-1) à la formule (Bl-48). Parmi ceux-ci, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés, et ceux représentés par la formule (Bl-1) à la formule (Bl-3), la formule (Bl-5) à la formule 15 (Bl-7), la formule (Bl-11) à la formule (Bl-14), la formule (Bl-20) à la formule (Bl-26), la formule (Bl-29) et la formule (Bl-31) à la formule (Bl-48) sont particulièrement préférables.
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[0188]
(B1-19) (B1-20)
O (B1-21)
[0189]
(B1-34) (B1-35) (B1-36)
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[0190]
B1-39 (B1-37)
(B1-46)
(d1-4ö)
[0192]
Dans la composition de résist de la présente invention, la teneur en 10 générateur d'acide est de préférence de 1 partie en masse ou plus et de 40 parties en masse ou moins, de préférence encore de 3 parties en masse ou plus et de 35 parties en masse ou moins sur la base de 100 parties en masse de la résine (A). La composition de résist de la présente
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BE2019/5797 invention peut inclure soit le générateur d'acide (B) seul, soit une pluralité de générateurs d'acide.
[0193] <Solvant (E)>
La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
Des exemples de solvant (E) incluent les esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; les cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2heptanone et la cyclohexanone; et les esters cycliques comme la ybutyrolactone. Le solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0194] <Agent de désactivation « Quencher » (C)>
Des exemples de l'agent de désactivation (C) comprennent un composé organique basique contenant de l'azote et un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par un générateur d'acide (B) (à l'exclusion d'un sel représenté par la formule (I)). Quand la composition de résist inclut l'agent de désactivation (C) la teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 5% en masse, et de préférence de 0,01 à 3% en masse sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist.
Des exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Des exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Des exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire.
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[0195]
Des exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la Ν,Ν-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine,la triméthylamine, la tri propylamine, la tributylamine, la tripentylamine,la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine,la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la dicyclohexylméthylamine, la tris[2-(2méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4'-diamino-l,2diphényléthane, le 4,4'-diamino-3,3'-diméthyldiphénylméthane, le 4,4'diamino-3,3'-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, l'imidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2di(2-pyridyl)éthane, le l,2-di(4-pyridyl)éthane, le l,2-di(2-pyridyl)éthène, le l,2-di(4-pyridyl)éthène, le l,3-di(4-pyridyl)propane, le l,2-di(4pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4'-dipyridyle, le disulfure de 4,4'-dipyridyle, la 2,2'-dipyridylamine, la 2,2'-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline.
[0196]
Des exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, l'hydroxyde de tétraisopropylammonium, l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de phényltriméthylammonium, l'hydroxyde de 3-(trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-n-butylammonium et la choline.
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[0197]
L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant 5 le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante: -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5.
Des exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite appelé parfois sel interne d'acide faible (D), et les sels mentionnés dans
JP 2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A. Le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est de préférence un sel interne d'acide faible (D).
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[0198]
Des exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels suivants.
[0199] <Autres composants>
La composition de résist de la présente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnés ci-dessus (dans la suite appelés parfois autres composants (F)). Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants et des colorants.
[0200] < Préparation de composition de résist>
La composition de résist de la présente invention peut être préparée par mélange d'un quencher contenant le sel (I), d'une résine (A), d'un générateur d'acide (B), et si nécéssaire, des résines autres que la résine (A), d'un solvant (E), d'un agent de désactivation (C) et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. Il est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de
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BE2019/5797 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. Il est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation.
Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 μm.
[0201] < Procédé pour produire un motif de résist>
Le procédé pour produire un motif de résist de la présente invention inclut:
(1) une étape d'application de la composition de résist de la présente invention sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée. [0202]
La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge (« spin coater »). Des exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat.
[0203]
Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est conduit par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé précuisson) ou un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence d'environ 1 à 1,0 x 105 Pa.
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[0204]
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à F2 (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semiconducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou UVE et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement exposition. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
[0205]
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé cuisson de post-exposition) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement environ 50 à 200°C, et de préférence environ 70 à 150°C.
[0206]
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Des exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes, un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, 5 à 300 secondes. Il est possible de produire un motif de résist positif ou un motif
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BE2019/5797 de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
[0207]
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Des exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2-hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
Il est préféré que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
[0208]
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois solution de développement organique) est utilisée comme solution de développement.
Des exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 2hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,Ndiméthylacétamide; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
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En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté par remplacement par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
[0209]
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester.
Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0210] <Applications>
La composition de résist de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF, une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux ultraviolets extrêmes (UVE), et plus appropriée comme composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou comme composition de résist pour exposition aux UVE et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semi-conducteurs.
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Exemples
[0211]
La présente invention va être décrite plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisées dans les exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par perméation de gel. Les conditions d'analyse de la chromatographie par perméation de gel sont comme suit.
Appareil: type GPC HLC-8120GPC (fabriqué par TOSOH CORPORATION)
Colonne: TSKgel Multipore IIXL-M x 3 + colonne de garde (fabriquée par TOSOH CORPORATION)
Éluant: tétrahydrofurane
Débit: 1,0 mL/min
Détecteur: détecteur RI
Température de la colonne: 40°C
Quantité d'injection: 100 pL
Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION)
[0212]
Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc., spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans les exemples suivants est indiquée par MASSE.
[0213]
Exemple 1: synthèse du sel représentée par la formule (1-3)
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P2O5
H3C-SO3H (l-3-a) (l-3-b)
Nal
(l-3-d)
5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-3-a), 20 parties de chloroforme et 4,56 parties d'un composé représenté par la formule (I-3-b) ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre un refroidissement à 5°C. Une solution mixte de 5,32 parties d'acide méthanesulfonique et de 1,77 partie de pentoxyde de phosphore a été ajoutée goutte à goutte au mélange ainsi obtenu pendant 15 minutes, ce qui a été suivi d'une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, 40 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 30 parties d'acétate d'éthyle ont été ajoutés et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche aqueuse a été isolée par séparation. 30 parties d'acétate d'éthyle ont été ajoutées à la couche aqueuse ainsi obtenue et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche aqueuse contenant un sel représenté par la formule (I-3-c) a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'acétate d'éthyle a été effectuée trois fois. Une fois la couche aqueuse ainsi obtenue filtrée, 14,97 parties d'iodure de sodium et 15 parties d'eau à ions échangés ont été ajoutées au filtrat ainsi obtenu, ce qui a été suivi d'une agitation à 23°C pendant 30 minutes et d'une filtration supplémentaire pour obtenir 5,50 parties d'un sel représenté par la formule (I-3-d).
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(1-3)
1,50 partie d'un sel représenté par la formule (I-3-d) et 45 parties de méthanol ont été mélangés, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, l'ajout de 0,36 partie d'oxyde d'argent et en outre une agitation à 23°C pendant 18 heures. Le mélange ainsi obtenu a été filtré et le filtrat ainsi obtenu a été concentré. 1,30 parties de méthanol, 5,20 parties d'acétonitrile et 40 parties d'éther méthylique de t-butyle ont été ajoutées au résidu concentré, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une filtration pour obtenir 0,94 partie d'un sel représenté par la formule ( 1-3).
MASSE (spectre ESI (+)): 349.1 [Μ + H]+
[0214]
Exemple 2 : synthèse du sel représentée par la formule (1-12)
(M2)
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2,50 parties d'un composé représenté par la formule (I-12-a), 20 parties de chloroforme, 1,93 partie d'un composé représenté par la formule (I-3-b) et 1,91 partie d'acide trifluorométhanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 3,33 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte en 15 minutes, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 2 heures. Au mélange ainsi obtenu, 3,86 parties de triéthylamine et 7,71 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. On a ajouté à la couche organique ainsi obtenue 50 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. Une fois que la couche organique ainsi obtenue a été concentrée, 30 parties d'éther méthylique de t-butyle ont été ajouté au résidu ainsi obtenu, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre une filtration pour obtenir 0,41 partie d'un sel représenté par la formule (I -12).
MASSE (Spectre ESI (+)): 385.1 [M+H]+ [0215]
Exemple 3 : synthèse du sel représentée par la formule (1-13)
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NaOH
(1-13)
4,43 parties d'un composé représenté par la formule (I-3-a), 20 parties de chloroforme, 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-13-b) et 6,63 parties d'acide trifluorométhanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes en outre un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 9,28 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte en 15 minutes, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 12 heures. Au mélange ainsi obtenu, 50 parties d'une solution aqueuse à 10% d'hydroxyde de sodium ont été ajouté et, après agitation à 23°C pendant 2 heures, une couche organique est isolée par séparation. Cette opération de lavage a été effectuée trois fois. A la couche organique ainsi obtenue 50 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutés et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. Une fois que la couche organique ainsi obtenue a été concentrée, 30 parties d'éther méthylique de t-butyle ont été ajoutées au résidu ainsi obtenu, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et puis une filtration pour obtenir 6,23 parties d'un sel représenté par la formule (I 12).
MASSE (Spectre ESI (+)): 395.1 [M+H]+
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[0216]
Exemple 4 : synthèse du sel représentée par la formule (1-14)
NaOH (1-14-c)
(1-14)
5,20 parties d'un composé représenté par la formule (I-12-a), 20 parties de chloroforme, 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-13-b) et 6,63 parties d'acide trifluorométhanesulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 9,28 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte en 15 minutes, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 12 heures. Au mélange ainsi obtenu, 50 parties d'une solution aqueuse à 10% d'hydroxyde de sodium ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 2 heures, une couche organique est isolée par séparation. Cette opération de lavage a été effectuée trois fois. A la couche organique ainsi obtenue 50 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutés et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, une couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. Une fois que la couche organique ainsi obtenue a été concentrée, 30 parties d'éther méthylique de t-butyle ont été ajoutées au résidu ainsi obtenu, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30
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MASSE (Spectre ESI (+)): 431.1 [M+H]+
[0217]
Synthèse de Résine
Les composés (monomères) utilisés dans la synthèse de la résine (A) sont indiqués ci-dessous. Ci-après, ces composés sont appelés «monomère (al-1-3)» en fonction du nombre de formules.
(a1-4-2)
[0218]
Exemple de synthèse 1 [Synthèse de la résine Al]
On a utilisé un monomère (al-4-2), un monomère (al-1-3) et un monomère (a 1-2-6) en tant que monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 38:24:38 [monomère (al-4-2): monomère (al-1-3): monomère (al-2-6)], et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée à ce mélange de monomères en une quantité égale à 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile en tant qu'amorceur a été ajouté en une quantité de 7 en mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation avec chauffage à 83°C pendant environ 5 heures. Au mélange réactionnel de la polymérisation ainsi obtenu une solution aqueuse d'acide ptoluènesulfonique a été ajoutée. Après agitation pendant 6 heures, une couche organique a été isolée par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et une collecte pour obtenir une résine Al (copolymère) ayant un poids moléculaire moyen en poids d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 78%. Cette résine Al inclut les unités structurelles suivantes.
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A1
[0219] <Préparation de compositions de résists>
Comme le montre le tableau 1, les composants respectifs suivants ont été mélangés et les mélanges ainsi obtenus ont été filtrés à travers un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pores de 0,2 μm pour préparer des compositions de résist. [0220]
[Tableau 1]
| Composition de résist | Résine | Générateur d'acide | Sel (I) | Agent de désactivation | PB/ PEB |
| Composition 1 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | 1-3= 0,7 partie | — | 110°C/ 120°C |
| Composition 2 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | 1-3 = 0,5 partie | Cl = 0,2 partie | 110°C/ 120°C |
| Composition 3 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | 1-12 = 0,7 partie | — | 110°C/ 120°C |
| Composition 4 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | 1-13 = 0,7 partie | — | 110°C/ 120°C |
| Composition 5 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | 1-14 = 0,7 partie | — | 110°C/ 120°C |
| Composition Comparative 1 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | — | IX-1 = 0,7 partie | 110°C/ 120°C |
| Composition Comparative 2 | Al = 10 parties | Bl-43 = 3,4 parties | — | IX-2 = 0,7 partie | 110°C/ 120°C |
[0221] <Résine>
Al: résine Al <Générateur d'acide (B)>
Bl-43: sel représenté par la formule (Bl-43) (synthétisé conformément aux exemples de JP 2016-47815 A)
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<Sel (I)>
1-3: Sel représenté par la formule (1-3)
1-12: Sel représenté par la formule (1-12)
1-13: Sel représenté par la formule (1-13)
1-14: Sel représenté par la formule (1-14) <Agent de désactivation (C)>
IX-1: synthétisé en référence au document JP 2017-202993 A
IX-2: synthétisé conformément aux exemples de JP 2018066985 A
Cl: synthétisé conformément au procédé mentionné dans le document JP 2011-39502 A
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<Solvant>
Acétate d'éther monométhylique de propylène glycol 400 parties Ether monométhylique de propylène glycol 150 parties y-butyrolactone 5 parties
[0222] (Évaluation de l'exposition de la composition de résist avec un faisceau d'électrons)
Chaque galette de silicium de 6 pouces (15,24 cm) de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la composition soit ensuite de 0,04 μm. La galette de silicium revêtue a été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne PB du tableau 1 pendant 60 secondes afin de former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons («ELS-F125 125 keV», fabriqué par ELIONIX INC.), des motifs de trous de contact (espacement des trous de 40 nm / diamètre des trous de 17 nm) ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température montrée dans la colonne PEB du tableau 1 pendant 60 secondes, ce qui a été suivi par un développement à palettes avec une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 2,38 % en masse pendant 60 secondes pour obtenir un motif de résist.
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[0223]
Dans le motif de résist formé après le développement, la sensibilité effective a été exprimée en tant que dose d'exposition à laquelle un diamètre du trou formé de 17 nm d'un motif formé a été obtenu.
[0224] évaluation de l'uniformité de CD (CDU)>
Dans la sensibilité effective, le diamètre de trou de 17 nm a été déterminé en mesurant 24 fois un même trou et la moyenne des valeurs mesurées a été considérée comme le diamètre moyen du trou. L'écarttype a été déterminée dans les conditions où le diamètre moyen de 400 trous autour des motifs formés à un diamètre de trou de 17 nm dans la même galette était considéré comme une population.
Les résultats sont présentés dans le tableau 2. La valeur numérique dans le tableau représente l'écart type (nm).
[0225]
[Tableau 2]
| Composition résist | CDU | |
| Exemple 5 | Composition 1 | 2.76 |
| Exemple 6 | Composition 2 | 2.75 |
| Exemple 7 | Composition 3 | 2.68 |
| Exemple 8 | Composition 4 | 2.70 |
| Exemple 9 | Composition 5 | 2.62 |
| Exemple Comparatif 1 | Composition Comparative 1 | 2.89 |
| Exemple Comparatif 2 | Composition Comparative 2 | 2.85 |
Comparées aux compositions comparatives 1 et 2, les compositions 1 à 5 présentent un faible écart-type, conduisant à une évaluation satisfaisante de l'uniformité de CD (CDU).
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Application industrielle
[0226]
Etant donné que des motifs de résist avec une uniformité de CD (CDU) satisfaisante peuvent être obtenus, une composition de résist 5 comprenant une latte (1) de la présente invention est utile pour le traitement fin de semi-conducteurs et est très utile industriellement.
Claims (8)
- REVENDICATIONS1. Un sel représenté par la formule (I) :où, dans la formule (I),R1, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH2compris dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O- ou -CO-, ml représente un entier de 0 à 4, et quand ml vaut 2 ou plus, une pluralité de R1 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de 0 à 4, et quand m2 est 2 ou plus, une plurarité de R2 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et m3 représente un entier de 0 à 4, et quand m3 est 2 ou plus, une plurarité de R3 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
- 2. Un agent de désactivation comprenant un sel selon la revendication 1.
- 3. Une composition de résist comprenant l'agent de désactivation selon la revendication 2, une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide, et un générateur d'acide.2019/5797133BE2019/5797
- 4. Composition de résist selon la revendication 3, dans laquelle la résine comprenant une unité structurelle comportant un groupe labile en milieu acide est une résine incluant au moins une résine choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (al-1) et une unité structurelle représenté par la formule (al-2):(al-1)où, dans la formule (al-1) et la formule (al-2),Lal et La2 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O(CH2)ki-CO-O-, kl représente un entier de 1 à 7, et * représente une liaison à -CO-,Ra4 et Ra5 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,Ra5 et Ra7 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, ml représente un entier de 0 à 14, ni représente un entier de 0 à 10, et ni' représente un entier de 0 à 3.
- 5. Composition de résist selon la revendication 4, dans laquelle la résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide comprend une unité structurelle représentée par la formule (a2-A):2019/5797134BE2019/5797(a2A) où, dans la formule (a2-A),Ra50 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,Ra51 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy,Aa50 représente une simple liaison ou *-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-, et * représente un site de liaison à l'atome de carbone auxquel -Ra50 est lié,Aa52 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,Xa51 et Xa52 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-Oou -O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de Ra51 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
- 6. La composition de résist selon la revendication 3, où le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (Bl) :Qb1Γ I .L^ ( B1 )G' Ύ · q522019/5797135BE2019/5797 où, dans la formule (Bl),Qbl et Qb2 représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,Lbl représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy,Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, etZ+ représente un cation organique.
- 7. Composition de résist selon la revendication 3, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide.
- 8. Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend:(1) une étape d'application de la composition de résist selon la revendication 3 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
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