NL9000678A

NL9000678A - MAGNETO-OPTICAL RECORDING MEDIUM.

Info

Publication number: NL9000678A
Application number: NL9000678A
Authority: NL
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1989-03-28
Filing date: 1990-03-22
Publication date: 1990-10-16
Also published as: JP2550698B2; DE4009843A1; JPH02254650A; DE4009843C2

Description

Magneto-optisch opneemmedium.Magneto-optical recording medium.

BeschrijvingDescription

De uitvinding heeft betrekking op een magneto-optisch opneemmedium dat geschikt is voor magneto-optisch opnemen van informatie door middel van een laserstraal en en het lezen van de erop geregistreerde magnetische informatie door gebruik van een magneto-optisch effect.The invention relates to a magneto-optical recording medium suitable for magneto-optical recording of information by means of a laser beam and the reading of the magnetic information recorded on it by using a magneto-optical effect.

Herschrijfbare magneto-optische geheugens komen, naar wordt gehoopt, in de nabije toekomst beschikbaar. Het magneto-optische opneemmedium, dat voor dergelijke magneto-optische geheugens wordt gebruikt, bevat een magnetische film, welke is gemaakt van amorfe overgangsmetalen waaronder zeldzame aarden, zoals TbFeCo, en welke wordt gevormd door het in een laag aanbrengen van de magnetische film op een substraat, dat zodanig van glas of een hars is gemaakt, dat de magnetische film een dunne, vertikaal gemagnetiseerde film wordt met een as van gemakkelijke magnetisatie loodrecht op een schijfoppervlak.It is hoped that rewritable magneto-optical memories will be available in the near future. The magneto-optical recording medium used for such magneto-optical memories contains a magnetic film, which is made of amorphous transition metals including rare earths, such as TbFeCo, and which is formed by coating the magnetic film on a substrate made of glass or a resin such that the magnetic film becomes a thin vertically magnetized film with an axis of easy magnetization perpendicular to a disc surface.

Het registreren van informatie op een dergelijk opneemmedium wordt tot stand gebracht door het themomagnetisch schrijven op de dunne magnetische film onder toepassing van een laserstraal. Het weergeven of lezen van informatie wordt uitgevoerd door het detecteren van de rotatie van het polarisatievlak (Kerr-rotatie) van tegen de magnetische dunne film gereflecteerd licht, hetgeen wordt veroorzaakt door het magneto-opti-sche Kerr-effect.Recording of information on such a recording medium is accomplished by themomagnetic writing on the thin magnetic film using a laser beam. The displaying or reading of information is performed by detecting the rotation of the plane of polarization (Kerr rotation) of light reflected against the magnetic thin film, which is caused by the magneto-optical Kerr effect.

De magnetische dunne film, welke thans wordt gebruikt voor een vertikaal gemagnetiseerde film, heeft een Kerr-rota-tiehoek θκ van 0,3° tot 0,4° en een modulatiefactor voor een reproducerend licht veroorzaakt door de opneembit is 1% of ligt in de orde van grootte daarvan. Er treedt dus het probleem op dat de CN-verhouding bij het lezen voor het weer geven niet voldoende is. In het algemeen is het bekend dat de CN-verhouding bij het weergeven 40 dB of meer moet zijn om de foutenfrequentie van een opneemmedium constant te houden. Voor een grotere betrouwbaarheid is 45 dB noodzakelijk. Om dit nadeel op te heffen, is een werkwijze voorgesteld voor het verbeteren van een CN-verhouding door het gebruik van een schijnbare vergroting van de Kerr-rotatiehoek welke wordt veroorzaakt als het reflectievermogen van een opneemmedium lager wordt gemaakt door het aanbrengen van een diëlektrische film, welke is gemaakt van S13N4, AlN of dergelijke, tussen de magnetische dunne film en het substraat.The magnetic thin film currently used for a vertically magnetized film has a Kerr rotation angle θκ of 0.3 ° to 0.4 ° and a modulation factor for a reproducing light caused by the pick-up bit is 1% or lies in the order of magnitude thereof. Thus, the problem arises that the CN ratio when reading for display is not sufficient. In general, it is known that the CN ratio when reproduced must be 40 dB or more to keep the error rate of a recording medium constant. 45 dB is required for greater reliability. To overcome this drawback, a method for improving a CN ratio has been proposed using an apparent increase in the Kerr rotation angle caused when the reflectivity of a recording medium is lowered by applying a dielectric film , which is made of S13N4, AlN or the like, between the magnetic thin film and the substrate.

Het gebruik van S13N4, AlN voor de diëlektrische film, veroorzaakt een inwendige spanning, welke ontstaat door het kathodeverstuiven, een scheurtje in de diëlektrische dunne filmlaag, via welk vocht uit de atmosfeer binnendringt in de magnetische film en de magnetische film corrodeert. Het in de stand van de techniek bekende opneemmedium heeft derhalve het nadeel dat de opneem- en/of weergeefkarakteristiek achteruit gaat wanneer het aan de atmosfeer wordt blootgesteld. Bovendien kan, bij gebruik van een diëlektrische dunne film met een verkeerde dikte, de opneem- en/of weergeefkarakteristiek niet worden verbeterd doordat het reflectievermogen van het opneemmedium niet zo laag wordt als wordt verwacht en de schijnbare Kerr-rotatiehoek 0k niet even groot wordt als binnen de verwachting ligt.The use of S13N4, AlN for the dielectric film, causes an internal stress created by the sputtering, a crack in the dielectric thin film layer, through which moisture from the atmosphere penetrates the magnetic film and corrodes the magnetic film. The recording medium known in the art therefore has the drawback that the recording and / or reproducing characteristic deteriorates when it is exposed to the atmosphere. In addition, when using a dielectric thin film of wrong thickness, the recording and / or reproducing characteristic cannot be improved because the reflectivity of the recording medium does not become as low as expected and the apparent Kerr rotation angle 0k does not become as great as is within expectation.

Bovendien, wanneer een halfgeleiderlaser wordt gébruikt voor het registreren van informatie op of het weglaten ervan van een magneto-optisch opneemmedium, wordt de omwentelings-snelheid van een schijf vaak vergroot om de overdracht snelheid van de informatie te verbeteren. Een laserstraal bestraalt een punt van het opneemmedium gedurende eën kortere tijd als de omwentelingssnelheid toeneemt. Het kan daardoor onmogelijk worden de temperatuur van het opneemmedium te verhogen tot een werkpunt voor het opnemen of weglaten, d.w.z., de Curie-temperatuur.In addition, when a semiconductor laser is used to record or omit information from a magneto-optical recording medium, the revolution speed of a disc is often increased to improve the transfer speed of the information. A laser beam irradiates a point of the recording medium for a shorter time as the rotation speed increases. Therefore, it may become impossible to raise the temperature of the recording medium to an operating point for recording or omitting, i.e., the Curie temperature.

Het doel van de uitvinding is het verschaffen van een magneto-optisch opneemmedium, dat geen scheur veroorzaakt in een diëlektrische film en zeer goede anti-corrosie-eigenschappen heeft.The object of the invention is to provide a magneto-optical recording medium that does not crack a dielectric film and has very good anti-corrosion properties.

Een ander doel van de uitvinding is het verschaffen van een magneto-optisch opneemmedium waarin nooit een verlaging optreedt van de weergevende CN-verhouding, welke is verbeterd door het aaribrengen van een diëlektrische film tussen een magnetische film en een substraat.Another object of the invention is to provide a magneto-optical recording medium in which the display CN ratio never decreases, which is improved by providing a dielectric film between a magnetic film and a substrate.

Nog een doel van de uitvinding is het verschaffen van een magneto-optisch opneemmedium dat geschikt is voor het erop opnemen van informatie of het wissen daarvan bij een hoge omwentelingssnelheid van een schijf onder toepassing van een halfgeleiderlaser.Another object of the invention is to provide a magneto-optical recording medium suitable for recording information or erasing it at a high revolution speed of a disk using a semiconductor laser.

Voor het bereiken van de hierboven genoemde en andere doelstellingen, bevat een magneto-optisch opneemmedium volgens de uitvinding: een substraat, een op het substraat gevormde diëlektrische laag bestaande uit SiAlNO, en een dunne, op de diëlektrische laag gevormde magnetische film, welke een as van gemakkelijke magnetisatie heeft, welke loodrecht op het oppervlak van het substraat staat.To achieve the above-mentioned and other objects, a magneto-optical recording medium according to the invention comprises: a substrate, a dielectric layer formed on the substrate consisting of SiAlNO, and a thin magnetic film formed on the dielectric layer, which has an axis of easy magnetization perpendicular to the surface of the substrate.

De dikte van het substraat kan tussen 40 en 120 nm liggen.The thickness of the substrate can be between 40 and 120 nm.

De diëlektrische laag kan in het SiAlNO koper bevatten.The dielectric layer can contain copper in the SiAlNO.

Het gehalte aan koper in de diëlektrische laag kan tussen 0,5 en 4,5 at % liggen.The copper content in the dielectric layer can be between 0.5 and 4.5 at%.

De diëlektrische laag kan in het SiAlNO samarium bevatten.The dielectric layer can contain samarium in the SiAlNO.

Het gehalte aan samarium in de diëlektrische laag kan tussen 1,0 en 5,5 at % liggen.The samarium content in the dielectric layer can be between 1.0 and 5.5 at%.

De hierboven genoemde en andere doelstellingen, effecten, kenmerken en voordelen van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de volgende beschrijving van een aantal uitvoeringsvormen aan de hand van de tekening.The above-mentioned and other objects, effects, features and advantages of the invention will become apparent from the following description of a number of embodiments with reference to the drawing.

Fig.l is een doorsnede van de structuur van een uitvoeringsvorm van een magneto-optisch opneemmedium volgens de uitvinding,Fig. 1 is a sectional view of the structure of an embodiment of a magneto-optical recording medium according to the invention,

Fig.2 toont de betrekkingen tussen de CN-verhouding bij het weergeven en, en tussen een optimaal laservermogen bij het opnemen en de dikte van de SialNO-film bij een uitvoeringsvorm van het medium volgens de uitvinding,Fig. 2 shows the relations between the CN ratio when displaying and, and between an optimum laser power when recording and the thickness of the SialNO film in an embodiment of the medium according to the invention,

Fig.3 toont de betrekkingen tussen de CN-verhouding bij het weergeven en de verblijftijd in een atmosfeer met hoge vochtigheid bij een uitvoeringsvorm van het medium volgens de uitvinding,Fig. 3 shows the relations between the CN ratio on display and the residence time in a high humidity atmosphere in an embodiment of the medium according to the invention,

Fig.4 toont de betrekkingen tussen het Cu-gehalte in een SiAlNO-laag en de CN-verhouding bij het weergeven, het optimale laservermogen bij het registreren Pwopt en het laservermogen bij het wissen Pe, enFig. 4 shows the relations between the Cu content in a SiAlNO layer and the CN ratio on display, the optimal laser power on recording Pwopt and the laser power on erasing Pe, and

Fig.5 toont de betrekkingen tussen het Sm-gehalte in de SiAlNO-laag en de CN-verhouding bij het weergeven, het optimale laservermogen bij het opnemen Pwopt en en het laservermogen bij het wissen Pe.Fig. 5 shows the relations between the Sm content in the SiAlNO layer and the CN ratio on display, the optimum laser power on recording Pwopt and and the laser power on erasing Pe.

Fig.l toont in doorsnede een structuur van een uitvoeringsvorm van een magneto-optisch opneemmedium volgens de uitvinding. Het medium bevat een lichtdoorlatende plaat of substraat 1, dat is gemaakt van glas of van een hars, een daarop aangebrachte diëlektrische laag 2, een amorfe dunne magnetische film 3, welke is gemaakt van TbFe of ItoFeCo of dergelijke, welke is aangebracht op de diëlektrische laag 2 en de beschermingslaag 4, welke is gemaakt van een diëlektrische laag en welke in een laag op de film 3 is aangebracht.Fig. 1 shows in cross-section a structure of an embodiment of a magneto-optical recording medium according to the invention. The medium contains a light transmissive plate or substrate 1 made of glass or a resin, a dielectric layer 2 deposited thereon, an amorphous thin magnetic film 3 made of TbFe or ItoFeCo or the like applied to the dielectric layer 2 and the protective layer 4, which is made of a dielectric layer and which is coated on the film 3.

De hiervoor beschreven uitvoeringsvorm maakt voor het substraat 1 gebruik van een voldoende ontgaste plaat van poly-carbonaat met een diameter van 5,25 inch, als magnetische dunne film van een film van 11)23^69^08 of Tb24F670Co6' welke door kathodeverstuiving is aangebracht, en als de beschermingslaag 4 van een film welke is uitgevoerd met een dikte van 100 nm door middel van dezelfde materialen en werkwijze als beschreven voor de diëlektrische laag 2.The above-described embodiment uses for the substrate 1 a sufficiently degassed sheet of polycarbonate with a diameter of 5.25 inch, as a magnetic thin film of a film of 11) 23 ^ 69 ^ 08 or Tb24F670Co6 'which is sputtered and as the protective layer 4 of a film which has been made with a thickness of 100 nm by the same materials and method as described for the dielectric layer 2.

Uitvoeringsvorm l:Embodiment l:

Een magneto-optisch opneemmedium met een diëlektrische laag 2 bestaande uit SiAINO werd vervaardigd.A magneto-optical recording medium with a dielectric layer 2 consisting of SiAINO was prepared.

Voor de vorming van de diëlektrische laag werd op het substraat onder toepassing van een kathodeverstuivingswerk-wijze met een hoogfrequent magnetron, waarbij een gesinterd doel van SiAINO werd gebruikt en onder een druk van argongas van 0,6 Pa en een vermogen voor het kathodeverstuiven 300 W, dunne films van SiAINO op het substraat gevormd. Nadat de diëlektrische laag 2 was gevormd, werd een film 3 van Tb23Fe69Cos met een dikte van 7 0 nm gevormd op de diëlektrische laag 2, welke film 3 werd vervaardigd door middel van kathode-verstuiving van een doel van een Tb-Fe-Co-legering onder toepassing van een kathodeverstuivingswerkwij ze met een gelijkst roommagnetr on uitgevoerd onder een druk in argongas van 2,0 Pa en een vermogen voor het kathodeverstuiven van 300 w. Verder werd een beschermingslaag 4 op de magnetische film 3 gevormd. Tijdens deze processen werd het opneemmedium niet blootgesteld aan lucht.To form the dielectric layer, the substrate was subjected to a high-frequency magnetron sputtering method using a sintered target of SiAINO and argon gas pressure of 0.6 Pa and a power of sputtering 300 W , thin films of SiAINO formed on the substrate. After the dielectric layer 2 was formed, a film 3 of Tb23Fe69Cos with a thickness of 70 nm was formed on the dielectric layer 2, which film 3 was produced by cathode sputtering of a target of a Tb-Fe-Co- alloy using a cathode sputtering process with a DC cream microwave performed under 2.0 Pa argon gas pressure and 300 w cathode sputtering power. Furthermore, a protective layer 4 was formed on the magnetic film 3. During these processes, the recording medium was not exposed to air.

Op de hiervoor beschreven wijze werden opneemmedia gevormd, waarbij de filmdikte d van de diëlektrische 2 varieerde tussen 0 tot 170 nm en werden de CN-verhouding bij het weergeven een optimaal laservermogen Pwopt bij het opnemen gemeten. In het algemeen kan worden gezegd dat hoe hoger het vermogen bij het opnemen wordt, hoe hoger de temperatuur van het medium in zijn geheel wordt, en dat het gedeelte, waarin de tempera tuur hoger wordt dan de werktemperatuur van het registreren (het Curie-punt) zich uitbreidt. Als gevolg hiervan wordt de lengte van de geheugenbit lang. Dientengevolge, wanneer het registreersignaal (frequentie: f, 50% arbeidsfactor) wordt opgenomen, hangt de arbeidsfactor van het weergeef signaal af van het vermogen bij het opnemen. Het optimale laservermogen voor het opnemen Pwopt wordt bepaald als het vermogen voor het opnemen wanneer de arbeidsfactor voor het weergeef signaal 50% wordt. Dan is de verhouding van het signaalniveau C (de sig-naalbreedte met frequentie f) ten opzichte van het niveau van de tweede harmonische C2 (het signaal met breedte 2f) maximaal als het spectrum van het weergeef signaal wordt geanalyseerd.Recording media were formed in the manner described above, in which the film thickness d of the dielectric 2 varied between 0 to 170 nm, and the CN ratio when displaying an optimum laser power Pwopt during recording was measured. In general it can be said that the higher the power becomes when recording, the higher the temperature of the medium as a whole becomes, and that the part in which the temperature becomes higher than the working temperature of the recording (the Curie point ) expands. As a result, the length of the memory bit becomes long. As a result, when the recording signal (frequency: f, 50% power factor) is recorded, the power factor of the reproducing signal depends on the power when recording. The optimum laser power for recording Pwopt is determined as the power for recording when the power factor for the display signal becomes 50%. Then, the ratio of the signal level C (the signal width with frequency f) to the level of the second harmonic C2 (the signal with width 2f) is maximum when the spectrum of the reproducing signal is analyzed.

De CN-verhouding bij het weergeven en het optimale laservermogen voor het opnemen Pwopt, werden gemeten met een straal van de opneempositie van 30 mm en 60 mm, 1800 omwentelingen per minuut voor de schijf, een opneemfrequentie van 1,88 MHz, een aangelegd magnetisch veld van 400 Oe en een laservermogen bij het weergeven van ImW. De laserstraal had een golflengte van 830 nm. Het meetresultaat is weergegeven in Fig.2, waarin een kromme 21 een CN-verhouding aangeeft, welke is gemeten in een positie met een straal van 30 mm, en een kromme 22 een optimaal laservermogen bij het opnemen gemeten in de positie met een straal van 60 mm.The CN ratio at display and the optimum laser power for recording Pwopt, were measured with a radius of the recording position of 30 mm and 60 mm, 1800 revolutions per minute for the disc, a recording frequency of 1.88 MHz, an applied magnetic field of 400 Oe and a laser power when displaying ImW. The laser beam had a wavelength of 830 nm. The measurement result is shown in Fig. 2, in which a curve 21 indicates a CN ratio measured in a position with a radius of 30 mm, and a curve 22 an optimum laser power when recording measured in the position with a radius of 30 mm. 60 mm.

Zoals duidelijk is uit fig.2, stijgt, wanneer de dikte van de SlAlNO-film d tussen 40 en 120 nm ligt, de CN-verhouding uit boven 45 dB welke waarde noodzakelijk is voor digitaal opnemen en wordt het optimale laservermogen Pwopt 8-8,5 mW, welke waarden tonen dat het magneto-optische opneemmedium een hoge opneemgevoeligheid heeft. In het bijzonder, wanneer d tussen 50 en 100 nm ligt, heeft het magneto-optische opneemmedium zeer goede opneem- en weergeef karakteristieken voor Pwopt van ongeveer 8 mW en voor de CN-verhouding voor het weergeven van 50 dB of hoger.As is clear from Fig. 2, when the thickness of the SlAlNO film d is between 40 and 120 nm, the CN ratio exceeds 45 dB which is necessary for digital recording and the optimum laser power Pwopt 8-8 .5 mW, which values show that the magneto-optical recording medium has a high recording sensitivity. In particular, when d is between 50 and 100 nm, the magneto-optical recording medium has very good recording and reproducing characteristics for Pwopt of about 8 mW and for the CN ratio for displaying 50 dB or higher.

Omdat de inwendige spanning, welke tijdens het kathode-verstuiven in de SiAINO- film ontstaat kleiner is dan bij een S13N4- of AlN-film, trad geen scheurvorming op in de SiAlNO-film, zoals bij de werkwijze volgens de stand van de techniek onder gebruikmaking van een S13N4 of A1N voor de diëlektrische film. Bovendien werd het opneemmedium volgens deze uitvoeringsvorm gedurende 1000 uur in thermohygrostaat met een temperatuur van 60°C en een relatieve vochtigheid van 90% voor het onderzoeken van de variaties in de eigenschappen. Het resultaat was, zoals getoond in fig.3, dat de CN- verhouding bij het weergeven geen wijziging onderging en dat noch scheurvorming, noch corrosie werd vastgesteld.Since the internal stress generated during the cathode sputtering in the SiAINO film is less than with an S13N4 or AlN film, no cracking occurred in the SiAlNO film, as in the prior art method under using an S13N4 or A1N for the dielectric film. In addition, the recording medium according to this embodiment was placed in thermohygrostat at a temperature of 60 ° C and a relative humidity of 90% for 1000 hours to investigate the variations in the properties. As a result, as shown in Fig. 3, the CN ratio was not altered on display and neither cracking nor corrosion was observed.

Uitvoeringsvorm 2:Embodiment 2:

Een magneto-optisch opneemmedium met een diëlektrische laag 2 bestaande uit koper (Cu) bevattend SiAINO werd vervaardigd.A magneto-optical recording medium with a dielectric layer 2 consisting of copper (Cu) containing SiAINO was prepared.

Als diëlektrische laag 2 werd een diëlektrische laag van SiAINO met 2,0 at % Cu met een dikte van 90 nm gevormd. De vorming werd onder dezelfde omstandigheden als bij uitvoeringsvorm 1 tot stand gebracht onder toepassing van een doel van SiAINO met een daarin ingebed stuk koper met afmetingen van 1 mm x 1 mm x 40 mm. Vervolgens werd, met een kathodever-stuivingswerkwijze met een gelijkstroommagnetron onder dezelfde omstandigheden als bij uitvoeringsvorm 1, een dunne magnetische film 3 van Tb24Fe7oC06 met een dikte van 7 0 nm gevormd. Op overeenkomstige wijze werden onder verandering van het in het doel van SiAINO ingebedde stuk koper, opneemmedia gevormd met diëlektrische lagen 2 met verschillende Cu-gehal-ten.As the dielectric layer 2, a dielectric layer of SiAINO with 2.0 at% Cu with a thickness of 90 nm was formed. The formation was accomplished under the same conditions as in Embodiment 1 using a target of SiAINO with a piece of copper embedded therein sized 1 mm x 1 mm x 40 mm. Then, using a DC magnetron sputtering method under the same conditions as in embodiment 1, a thin magnetic film 3 of Tb24Fe7oC06 having a thickness of 70 nm was formed. Similarly, while changing the piece of copper embedded in the SiAINO target, recording media were formed with dielectric layers 2 of different Cu contents.

Het magnet o-optische opneemmedium met een diëlektrische laag van SiAINO met 2,0 at % Cu had zeer lage waarden van het optimale laservermogen bij het opnemen Pwopt bij het opnemen van een signaal en laservermogen bij het wissen Pe van een signaal, welke waarden slechts 4,5 mW bedroegen. De CN-verhouding bij het weergeven bereikte een waarde van 53 dB, hetgeen aan zienlijk meer is dan 45 dB. Aan de ander kant had een magneto-optisch opneemmedium met een diëlektrische laag van SiAINO met 10,0 at % Cu een Pwopt en een Pe van 4 mW, welke waarden nagenoeg gelijk zijn aan die van het vorige medium, maar de CN-verhouding bij weergeven bedroeg 41 dB, welke waarde beneden 45 dB ligt. De krommen 41, 42 en 43 in fig.4 tonen respectievelijk de betrekking tussen het Cu-gehalte en de CN-verhouding bij het weergeven, het Cu-gehalte en Pwopt en het Cu-gehalte en Pe. Als het Cu-gehalte in de diëlektrische laag 2 van SiAINO 0,1 at % passeert, beginnen de de waarden van Pwopt en Pe te zakken. Als het Cu-gehalte 6,0 at % passeert gaat de CN-verhouding bij het weergeven onder de 45 dB zakken. In het bij zonder worden met opneemmedia met een diëlektrische laag met kopergehalten van 0,5 tot 4,5 at % gelijkmatige karakte ristieken verkregen zoals 52 tot 53 dB voor de CN-verhouding bij het weergeven en 4,5 tot 5,0 mW voor Pwopt en Pe.The magneto-optical recording medium with a dielectric layer of SiAINO with 2.0 at% Cu had very low values of the optimal laser power when recording Pwopt when recording a signal and laser power when deleting Pe of a signal, which values only 4.5 mW. The CN ratio in the display reached a value of 53 dB, which is significantly more than 45 dB. On the other hand, a magneto-optical recording medium with a dielectric layer of SiAINO with 10.0 at% Cu had a Pwopt and a Pe of 4 mW, which values are almost equal to those of the previous medium, but the CN ratio at display was 41 dB, which value is below 45 dB. Curves 41, 42 and 43 in Figure 4 show the relationship between the Cu content and the CN ratio on display, the Cu content and Pwopt, and the Cu content and Pe, respectively. As the Cu content in the dielectric layer 2 of SiAINO passes 0.1 at%, the values of Pwopt and Pe begin to drop. When the Cu content passes 6.0 at%, the CN ratio drops below 45 dB when reproduced. In particular, with dielectric layer recording media having copper contents of 0.5 to 4.5 at%, uniform characteristics are obtained, such as 52 to 53 dB for the CN ratio at display and 4.5 to 5.0 mW for Pwopt and Pe.

Uitvoeringsvorm 3:Embodiment 3:

Een magneto-optisch opneemmedium met een diëlektrische laag 2 bestaande uit samarium (Sm) bevattend SiAINO werd vervaardigd. De diëlektrische laag 2 SiAINO met 1,5 at % Sm toegevoegd aan een dunne film van SiAINO werd gevormd met een dikte van 90 nm onder toepassing van dezelfde werkwijze als bij uitvoeringsvorm 2 tot stand gebracht onder toepassing van een doel van gesinterd SiAINO met een daarin ingebed stuk samarium met afmetingen van 1 mm x 1 mm x 40 mm in plaats van het stuk koper. Op overeenkomstige wijze werden onder verandering van het in het doel van SiAlNO ingebedde stuk samarium, opneemmedia gevormd met diëlektrische lagen 2 met verschillende Sm-gehalten.A magneto-optical recording medium with a dielectric layer 2 consisting of samarium (Sm) containing SiAINO was prepared. The dielectric layer 2 SiAINO with 1.5 at% Sm added to a thin film of SiAINO was formed at a thickness of 90 nm using the same method as in embodiment 2 accomplished using a sintered SiAINO target having a embedded piece of samarium with dimensions of 1 mm x 1 mm x 40 mm instead of the piece of copper. Similarly, while changing the piece of samarium embedded in the target of SiAlNO, recording media was formed with dielectric layers 2 of different Sm contents.

Het magnet o-optische opneemmedium met een diëlektrische laag van SiAlNO met 1,5 at % Sm had lage waarden van het optimale laservermogen bij het opnemen Pwopt bij het opnemen van een signaal en laservermogen bij het wissen Pe van een signaal van respectievelijk slechts 4,8 mW en 4,0 mW. De CN-verhouding bij het weergeven bereikte een waarde van 49 dB, hetgeen hoger is dan 45 dB. Aan de ander kant had een magneto-optisch opneemmedium met een diëlektrische laag van SiAlNO met 9,0 at % Sm een Pwopt van 4,2 mW en een Pe van 3,4 mW, welke waarden nagenoeg gelijk zijn aan die van een opneemmedium met een diëlektrische laag van SiAlNO met een Sm-gehalte van 1,5 at %, maar de CN-verhouding bij weergeven bedroeg 42 dB, welke waarde beneden 45 dB ligt. De krommen 51, 52 en 53 in fig.5 tonen respectievelijk de betrekking tussen het Sm-gehalte en de CN-verhouding bij het weergeven, het Sm-gehalte en Pwopt en het Sm-gehalte en Pe. Als het Sm-gehalte in de diëlektrische laag 2 van SiAlNO 0,3 at % passeert, beginnen de de waarden van Pwopt en Pe te zakken. Als het Sm-gehalte 7,5 at % passeert gaat de CN-verhouding bij het weergeven onder de 45 dB zakken. In het bijzonder worden met opneemmedia met een diëlektrische laag met Sm-gehalten van 1,0 tot 5,5 at % karakteristieken verkregen zoals 47-49 dB voor de CN-verhouding bij het weergeven en 4,4 tot 5,0 mW voor Pwopt en 3,6-4,4 mW voor Pe.The magneto-optical recording medium with a dielectric layer of SiAlNO with 1.5 at% Sm had low values of the optimal laser power when recording Pwopt when recording a signal and laser power when erasing Pe from a signal of only 4, respectively. 8 mW and 4.0 mW. The CN ratio at display reached a value of 49 dB, which is higher than 45 dB. On the other hand, a magneto-optical recording medium with a dielectric layer of SiAlNO with 9.0 at% Sm had a Pwopt of 4.2 mW and a Pe of 3.4 mW, which values are almost equal to those of a recording medium with a dielectric layer of SiAlNO with an Sm content of 1.5 at%, but the CN ratio on display was 42 dB, which value is below 45 dB. Curves 51, 52 and 53 in Figure 5 show the relationship between the Sm content and the CN ratio on display, the Sm content and Pwopt, and the Sm content and Pe, respectively. As the Sm content in the dielectric layer 2 of SiAlNO passes 0.3 at%, the values of Pwopt and Pe begin to drop. If the Sm content passes 7.5 at%, the CN ratio will drop below 45 dB when reproduced. In particular, with dielectric layer recording media having Sm contents of 1.0 to 5.5 at%, characteristics such as 47-49 dB for the CN ratio at display and 4.4 to 5.0 mW for Pwopt are obtained. and 3.6-4.4 mW for Pe.

Zoals hierboven beschreven, verschaft de uitvinding een magneto-optisch opneemmedium dat zeer goede opneemgevoelig-heid- en wiskarakteristieken heeft, terwijl de CN-verhouding bij het weergeven op 45 dB of meer wordt gehouden, door toepassing van een SiAlNO-film of een SiAlNo-film met toegevoegd Cu of Sm tussen de magnetische film en het substraat om het ref lectievermogen van het opneemmedium te verlagen en om de schijnbare Kerr-rotatiehoek te vergroten.As described above, the invention provides a magneto-optical recording medium that has very good recording sensitivity and erasing characteristics, while the CN ratio is maintained at 45 dB or more when reproduced, using a SiAlNO film or a SiAlNo film with added Cu or Sm between the magnetic film and the substrate to decrease the reflectivity of the recording medium and to increase the apparent Kerr rotation angle.

De uitvinding is in detail beschreven voor preferente uitvoeringsvormen en uit het voorgaande zal het voor de des-kundige duidelijk zijn, dat veranderingen en modificaties mogelijk zijn zonder dat buiten het kader van de uitvinding wordt getreden.The invention has been described in detail for preferred embodiments, and it will be apparent to those skilled in the art that changes and modifications are possible without departing from the scope of the invention.

Claims

Magnet o-optical recording medium, characterized in that a substrate, a dielectric layer formed on the substrate consisting of SiAINO, and a thin magnetic film formed on the dielectric layer, which has an axis of easy magnetization, which is perpendicular on the surface of the substrate.

Magneto-optical recording medium according to claim 1, characterized in that the thickness of the dielectric layer is between 40 and 120 nm.

Magnet o-optical recording medium according to claim 2, characterized in that the thickness is between 50 and 100 nm.

Magnet o-optical recording medium according to claim 1, characterized in that the dielectric layer contains copper in SiAINO.

Magneto-optical recording medium according to claim 4, characterized in that the copper content in the dielectric layer is between 0.5 and 4.5 at%.

Magneto-optical recording medium according to claim 1, characterized in that the dielectric layer contains samarium in SiAINO.

Magnet o-optical recording medium according to claim 6, characterized in that the samarium content in the dielectric layer is between 0.5 and 4.5 at%.