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1.
The Concept of LDSI (Locally-Differentiated-Scanning Ion Implantation) for the Fine Threshold Voltage Control in Nano-Scale FETs / Lee, Min-Yong ; Jin, S W ; Sohn, Y S ; Na, S K ; Rouh, K B ; Joung, Y S ; Ki, Y J ; Han, I K ; Song, Y W ; Park, S W
2006 - Published in : AIP Conf. Proc.: 866 (2006) , pp. 62-64 External link: Published version from AIP
In : 16th International Conference on Ion Implantation Technology, Marseilles, France, 11 - 16 Jun 2006, pp.62-64
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